JPS6141210Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6141210Y2 JPS6141210Y2 JP1981086568U JP8656881U JPS6141210Y2 JP S6141210 Y2 JPS6141210 Y2 JP S6141210Y2 JP 1981086568 U JP1981086568 U JP 1981086568U JP 8656881 U JP8656881 U JP 8656881U JP S6141210 Y2 JPS6141210 Y2 JP S6141210Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- probe
- laser
- dust
- mount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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Landscapes
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はレーザトリマ用プローブマウントに関
し、特に抵抗体の切断により飛散する抵抗体の粉
塵や溶融塊を集塵するノズルを具備するレーザト
リマ用プローブマウントに関する。混成集積回路
や抵抗モジユール中の抵抗素子は、セラミツク基
板などの絶縁基板上に酸化ルテニウムなどをスク
リーン印刷して形成されるが、これらの抵抗値を
設定した値を完全に一致させて製作することは極
めて困難である。このため、通常は製作後トリミ
ングによつて設定値への調整が行われる。トリミ
ングにレーザ光線を利用すると、従来のサンドブ
ラスト法などと比較して微小パターンの抵抗に対
し高精度、高速度のトリミングが可能であり、抵
抗素子の大幅な原価低減と性能向上に寄与でき
る。レーザトリミング装置は通常Na：YAGレー
ザ発振器と超音波Ｑスイツチからなるレーザ発振
器部レーザ光線をトリミングすべて抵抗体の位置
まで移動させ、かつ、レーザー光線を照射しなが
ら抵抗体上を移動させるビームポジシヨナ部、抵
抗値を計測するためのプローブおよび抵抗測定
部、トリミング基板を搬送するパーツハンドラ
部、これらをプログラム制御するコンピユータ部
などから構成される。トリミングは、トリミング
しようとする抵抗体の切込み位置にレーザ光が照
射されるようポジシヨニングし、次にＱスイツチ
パルスを発生させ抵抗値を計測しながら抵抗体上
を移動させ切断し、抵抗値が設定値に達した時に
Ｑスイツチパルスとレーザ光線の移動を停止させ
て行われる。トリミングされる基板はパーツハン
ドラ部によつてステツプアンドリピート動作を含
み搬送される。上述したレーザトリミング装置に
おいて、レーザ光によつて抵抗体を切断する際、
飛散する抵抗体の粉塵や溶融塊がプローブ間に漏
洩抵抗を発生させ、測定の精度を低下させたり、
光学部品を活し、レーザ光の透過に障害となる場
合がしばしば発生する。
し、特に抵抗体の切断により飛散する抵抗体の粉
塵や溶融塊を集塵するノズルを具備するレーザト
リマ用プローブマウントに関する。混成集積回路
や抵抗モジユール中の抵抗素子は、セラミツク基
板などの絶縁基板上に酸化ルテニウムなどをスク
リーン印刷して形成されるが、これらの抵抗値を
設定した値を完全に一致させて製作することは極
めて困難である。このため、通常は製作後トリミ
ングによつて設定値への調整が行われる。トリミ
ングにレーザ光線を利用すると、従来のサンドブ
ラスト法などと比較して微小パターンの抵抗に対
し高精度、高速度のトリミングが可能であり、抵
抗素子の大幅な原価低減と性能向上に寄与でき
る。レーザトリミング装置は通常Na：YAGレー
ザ発振器と超音波Ｑスイツチからなるレーザ発振
器部レーザ光線をトリミングすべて抵抗体の位置
まで移動させ、かつ、レーザー光線を照射しなが
ら抵抗体上を移動させるビームポジシヨナ部、抵
抗値を計測するためのプローブおよび抵抗測定
部、トリミング基板を搬送するパーツハンドラ
部、これらをプログラム制御するコンピユータ部
などから構成される。トリミングは、トリミング
しようとする抵抗体の切込み位置にレーザ光が照
射されるようポジシヨニングし、次にＱスイツチ
パルスを発生させ抵抗値を計測しながら抵抗体上
を移動させ切断し、抵抗値が設定値に達した時に
Ｑスイツチパルスとレーザ光線の移動を停止させ
て行われる。トリミングされる基板はパーツハン
ドラ部によつてステツプアンドリピート動作を含
み搬送される。上述したレーザトリミング装置に
おいて、レーザ光によつて抵抗体を切断する際、
飛散する抵抗体の粉塵や溶融塊がプローブ間に漏
洩抵抗を発生させ、測定の精度を低下させたり、
光学部品を活し、レーザ光の透過に障害となる場
合がしばしば発生する。
この考案の目的は粉塵や溶融塊の発生源である
抵抗体に位置的に最も近いプローブリングやプロ
ーブカードを固定するプローブカードマウントに
複数個のノズルを具備させ飛散する抵抗体の粉塵
や溶融塊を効率的に集塵するものである。本考案
によれば、絶縁基板上に印刷もしくは蒸着などに
よつて形成された抵抗体の一部をレーザ光線によ
つて切断することにより回路もしくは抵抗値を所
定の値に自動調整するレーザトリミング装置に使
用され、前記抵抗値検出のために前記抵抗体に接
触するプローブを有するプローブマウントにおい
て、前記絶縁基板より上方でかつ前記プローブの
前記抵抗体接触部の周囲に配置され前記抵抗体の
切断により飛散する抵抗体の粉塵や溶融塊を集塵
する複数個のノズルと、前記ノズルから吸い込ま
れた前記粉塵や溶融塊を外部へ導くための通路と
を含むレーザトリマ用プローブマウントが得られ
る。次に、この考案について図面を参照して説明
する。第１図はこの考案の一実施例であるプロー
ブマウントの概略構成を又第２図は第１図の横断
面図を示すものである。プローブ１１の取付けら
れたプローブカード１２がコネクタ１３とリード
線１４に接続されてプローブマウント１５に固定
されている。プローブマウント１５の底部には集
塵用の配管１６が掘られ、先端に集塵用ノズル１
７が取付けられている。集塵ノズル１７は、プロ
ーブ１１のトリミング基板１９の接触部の周囲に
複数個配置される。配管１６はプローブマウント
１５の取付部まで導びかれており取付けと同時に
集塵用ポンプに接続される。パーツハンドラ部の
載物台１８に乗せられたトリミング基板１９から
発生した抵抗体の粉塵や溶融塊２０は集塵用ノズ
ル１７に吸い込まれている。この結果粉塵や溶融
塊２０はプローカード１２の上面に飛散すること
がなくなり漏洩抵抗の発生や光学部品の汚れを抑
えることが可能である。
抵抗体に位置的に最も近いプローブリングやプロ
ーブカードを固定するプローブカードマウントに
複数個のノズルを具備させ飛散する抵抗体の粉塵
や溶融塊を効率的に集塵するものである。本考案
によれば、絶縁基板上に印刷もしくは蒸着などに
よつて形成された抵抗体の一部をレーザ光線によ
つて切断することにより回路もしくは抵抗値を所
定の値に自動調整するレーザトリミング装置に使
用され、前記抵抗値検出のために前記抵抗体に接
触するプローブを有するプローブマウントにおい
て、前記絶縁基板より上方でかつ前記プローブの
前記抵抗体接触部の周囲に配置され前記抵抗体の
切断により飛散する抵抗体の粉塵や溶融塊を集塵
する複数個のノズルと、前記ノズルから吸い込ま
れた前記粉塵や溶融塊を外部へ導くための通路と
を含むレーザトリマ用プローブマウントが得られ
る。次に、この考案について図面を参照して説明
する。第１図はこの考案の一実施例であるプロー
ブマウントの概略構成を又第２図は第１図の横断
面図を示すものである。プローブ１１の取付けら
れたプローブカード１２がコネクタ１３とリード
線１４に接続されてプローブマウント１５に固定
されている。プローブマウント１５の底部には集
塵用の配管１６が掘られ、先端に集塵用ノズル１
７が取付けられている。集塵ノズル１７は、プロ
ーブ１１のトリミング基板１９の接触部の周囲に
複数個配置される。配管１６はプローブマウント
１５の取付部まで導びかれており取付けと同時に
集塵用ポンプに接続される。パーツハンドラ部の
載物台１８に乗せられたトリミング基板１９から
発生した抵抗体の粉塵や溶融塊２０は集塵用ノズ
ル１７に吸い込まれている。この結果粉塵や溶融
塊２０はプローカード１２の上面に飛散すること
がなくなり漏洩抵抗の発生や光学部品の汚れを抑
えることが可能である。
第１図はこの考案の一実施例であるプローブカ
ードマウントの概略構成を、第２図は横断面図を
示す。 １１はプローブ、１２はプローブカード、１３
はコネクタ、１４はリード線、１５はプローブマ
ウント、１６は配管、１７は集塵用ノズル、１８
はパーツハンドラ載物台、１９はトリミング基
板、２０は飛散する抵抗体の粉塵や溶融塊であ
る。
ードマウントの概略構成を、第２図は横断面図を
示す。 １１はプローブ、１２はプローブカード、１３
はコネクタ、１４はリード線、１５はプローブマ
ウント、１６は配管、１７は集塵用ノズル、１８
はパーツハンドラ載物台、１９はトリミング基
板、２０は飛散する抵抗体の粉塵や溶融塊であ
る。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 絶縁基板上に印刷もしくは蒸着などによつて形
成された抵抗体の一部をレーザ光線によつて切断
することにより回路もしくは抵抗値を所定の値に
自動調整するレーザトリミング装置に使用され、
前記抵抗値検出のために前記抵抗体に接触するプ
ローブを有するプローブマウントにおいて、 前記絶縁基板より上方でかつ前記プローブの前
記抵抗体接触部の周囲に配置され、前記抵抗体の
切断により飛散する抵抗体の粉塵や溶融塊を集塵
する複数個のノズルと、 前記ノズルから吸い込まれた前記粉塵や溶融塊
を外部へ導くための通路とを含むレーザトリマ用
プローブマウント。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981086568U JPS6141210Y2 (ja) | 1981-06-12 | 1981-06-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981086568U JPS6141210Y2 (ja) | 1981-06-12 | 1981-06-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57197607U JPS57197607U (ja) | 1982-12-15 |
| JPS6141210Y2 true JPS6141210Y2 (ja) | 1986-11-25 |
Family
ID=29881784
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981086568U Expired JPS6141210Y2 (ja) | 1981-06-12 | 1981-06-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6141210Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0650681B2 (ja) * | 1984-02-27 | 1994-06-29 | 日本電気株式会社 | 皮膜抵抗器の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS528460A (en) * | 1975-07-11 | 1977-01-22 | Fujitsu Ltd | Appearance examining method |
-
1981
- 1981-06-12 JP JP1981086568U patent/JPS6141210Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS528460A (en) * | 1975-07-11 | 1977-01-22 | Fujitsu Ltd | Appearance examining method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57197607U (ja) | 1982-12-15 |
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