JP3843786B2 - レーザトリミング装置 - Google Patents
レーザトリミング装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3843786B2 JP3843786B2 JP2001263251A JP2001263251A JP3843786B2 JP 3843786 B2 JP3843786 B2 JP 3843786B2 JP 2001263251 A JP2001263251 A JP 2001263251A JP 2001263251 A JP2001263251 A JP 2001263251A JP 3843786 B2 JP3843786 B2 JP 3843786B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- laser trimming
- probes
- discharge nozzle
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、チップ抵抗器やチップインダクタなどの電子部品の特性値（回路定数）を修正するトリミング加工中に発生する粉塵による汚染を防止し得るレーザトリミング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来において、例えば、電子部品としてのチップ抵抗器における抵抗値を修正するレーザトリミング機にはプローブガードが使用される。このプローブガードは、チップ抵抗器の電極部分に当接し抵抗値を測定するためのプローブが、チップ抵抗器の配列に対応して２列が対向して配置された構造となっている。抵抗値を修正するためのレーザ光はプローブガードの中央部分に設けた所定孔の開口部を通して照射され、チップ抵抗器の抵抗体部分を熱エネルギーにて昇華させ削り取る。
【０００３】
この際に発生する構成素体である抵抗体や導電材の粉塵は、例えば特開平８−３１６２７５号公報で開示されているように吸引により回収する方式や、同じく特開平３−１１２１０２号公報および特開昭６１−２９２９５０号公報に開示されているようにエアーの吹き出しとその吸引を併用した方式があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
電気的特性の測定を行うためのプローブは、構成する基板上に絶縁材を介して保持されているが、この保持部に構成素子である抵抗体や導電材などの粉塵が付着すると、隣接するプローブ同士の絶縁が保持できなくなり、抵抗値測定すなわち電気的特性の測定精度が低下するという課題があった。
【０００５】
しかしながら、前記いずれの方法においても粉塵の発生箇所であるチップ抵抗器などの加工面と、粉塵を吸引するダクトとの間には測定用のプローブが存在し、高温かつ高速で飛散する粉塵をプローブに付着させなくすることは困難であるばかりか、逆に吹き付け塗装をするがごとく汚染を加速させる原因になっていた。
【０００６】
また、前記の方法を発展させて対向するプローブの内側に吸引用のダクトを配設する構成も考えられるが、レーザ光を遮断せず、またチップ抵抗器などの製品の位置認識カメラの動作や、それらのために使用される照明の妨げにならずダクトを配設することは困難である。
【０００７】
さらに、近年の電子部品の小型化および高精度測定に必要とされる４接点化の要求にしたがって、プローブも微細ピッチ化が進展しており、ますますプローブ相互間に付着する粉塵の影響（支障）が大きくなってきている。
【０００８】
本発明は、前記課題を解決しようとするものであり、粉塵によるプローブの汚染を防ぎ、電気的特性の測定精度の低下を防止できるレーザトリミング装置を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明のレーザトリミング装置は以下の構成を有する。
【００１０】
本発明の請求項１に記載の発明は、特に、電気的特性の測定を行う複数のプローブを保持体にて平行するように保持し、かつ前記複数のプローブの一端を電気的に接続した基板と、前記複数のプローブを包含しかつ被測定体と当接する前記複数のプローブの他端が突出する唯一の開口部としてのエアー吹き出し口を有するエアー排出ノズルを含み、レーザ加工時に前記エアー排出ノズルへ供給されたエアーを前記エアー吹き出し口より吹き出すように構成したプローブガードを備えており、これにより、プローブの保持体にはレーザ加工における粉塵が侵入しないという作用効果が得られる。
【００１１】
本発明の請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、特に、エアー排出ノズルを、絶縁材による保持体、上カバー、下カバーおよび対のサイド体で構成したものであり、これにより、任意で最適なエアー排出ノズルが容易に構成できるという作用効果が得られる。
【００１２】
本発明の請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、特に、エアー排出ノズルは、被測定体の認識、被測定体への照明およびレーザ加工に支障の無い位置にエアー吹き出し口を構成したものであり、これにより、レーザトリミング（加工）時において、レーザ光を遮断せず、また製品の位置認識用のカメラ動作や、そのために使用される照明の妨げにならないという作用効果が得られる。
【００１３】
本発明の請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、特に、エアー排出ノズルに除塵および除湿されたエアーを供給する構成を有しており、これにより、エアー供給源であるコンプレッサーなどで発生するオイルや水分などが、エアー排出ノズル内部においてプローブや保持体に付着することはなく、その絶縁性を阻害しないという作用効果が得られる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
以下、実施の形態を用いて、本発明の特に請求項１〜４に記載の発明について説明する。
【００１５】
図１は本発明の実施の形態１におけるレーザトリミング装置のプローブガードの要部斜視図、図２は同保持部分の部分断面斜視図、そして図３は同プローブガードを使用したレーザトリミングを説明する要部断面図である。
【００１６】
図１および図２において、１は金属材あるいは樹脂材でなる所定角度に曲げ加工された上カバーであり、抵抗値やインダクタンス値などの電気的特性の測定を行う超鋼材の導体でなる複数組、本実施の形態では２組すなわち対のプローブ９を、絶縁材でなる保持体１０を介して所定間隔で平行に配設し、電気的特性の測定を行うための配線、周辺回路などが形成されて中央部に抜き孔１５を有する基板８の上面の一部に密着して設置されている。
【００１７】
２は同じく曲げ加工された下カバーであり、基板８の裏面に固着された前記保持体１０の下面に中央部を密着して設置されている。
【００１８】
３は同じくＬ字形状でなる対のサイド体であり、上カバー１と下カバー２および保持体１０により形成される空間の両側面を密閉するため、上カバー１と下カバー２のそれぞれを両サイドに密着して、基板８の抜き孔１５部分に設置されている。
【００１９】
そして、上カバー１と下カバー２および対のサイド体３、そして基板８と保持体１０により形成される空間は、プローブ９の後部すなわち保持体１０の近傍を内包しかつ先端部分のみを開口部とした密閉構造のエアー排出ノズルとなっている。
【００２０】
対のサイド体３には、前記空間部分の開口部であるエアー吹き出し口４から吹き出すエアー５を、エアー供給源（図示せず）から導入し送出するための配管７が内蔵されており、その先端口６は前記空間部分に向って設けられている。
【００２１】
この吹き出し用のエアー５は、エアー供給源から導入されるに際して、エアードライヤーやエアークリーナー（図示せず）を通過させて、除塵と除湿を行っている。
【００２２】
前記の上カバー１、下カバー２、サイド体３、基板８および保持体１０で構成された空間部分、すなわちエアー排出ノズルにおけるエアー吹き出し口４は、後で説明するがレーザ光を遮断せず、また製品の位置認識用のカメラ動作や、そのために使用される照明の妨げにはならない構成であり、同じく妨げにならないプローブ９の保持体１０から僅かな距離の位置である。
【００２３】
すなわち上カバー１、下カバー２および対のサイド体３によりプローブ９全体の後部の一部を覆っているのであり、本実施の形態ではプローブ９の２列の対向配列に対応して、空間部分すなわちエアー排出ノズルは対の構造となっている。以上によりレーザトリミング装置のプローブガード１１が構成されている。
【００２４】
以上のように構成されたプローブガード１１について、以下その動作について図面を用いて説明する。
【００２５】
図３において、まず搬送され供給された抵抗、コイルなどの電子部品１４は、認識カメラ（図示せず）などにより、その状態や位置を認識して所定位置（箇所）に位置決めされる。
【００２６】
次に、対のプローブ９を被レーザトリミング体である電子部品１４の電極部分に当接させて、初期の電気的特性値（回路定数）例えば抵抗値やインダクタンス値の測定が行われる。
【００２７】
この測定結果をもとに、集光レンズ１６により集光されたレーザ光１２を電子部品１４の構成素体に照射し、熱エネルギーにて構成素体を昇華させ削り取ることにより、電気的特性値（回路定数）すなわち抵抗値やインダクタンス値を所定値に修正するのである。
【００２８】
そして前記動作開始直前からレーザトリミング動作終了直後まで、エアー吹き出し口４より供給されたエアー５を一定圧力で一定量を吹き出し続けているのである。
【００２９】
以上のように本実施の形態１のレーザトリミング装置のプローブガード１１は、プローブ９の保持体１０の近傍を上カバー１、下カバー２、対のサイド体３および保持体１０により密閉して覆われるとともに、唯一の開口部としてのエアー吹き出し口４からはエアー５が吹き出されているため、レーザトリミング加工により発生する構成素体による粉塵１３は、前記吹き出し口４から侵入することができない。
【００３０】
したがって、保持体１０の近傍におけるプローブ９への粉塵１３の付着がなく、隣接するプローブ９同士の絶縁性が損なわれることはない。
【００３１】
また、エアー吹き出し口４の位置は、基板８に取付けられたプロープ９の保持体１０から粉塵１３の侵入を防ぐ必要な距離のみとしており、レーザ光１２あるいは被加工（測定）製品の位置認識用のカメラ動作や、それらのために使用される照明の妨げになる事は無いのである。
【００３２】
さらに、エアー吹き出し口４から吹き出すエアー５を、エアークリーナーやエアードライヤーなどにより清浄で乾燥させたエアーとしており、エアー供給源であるコンプレッサーで発生するオイルや水分などがプローブ９や保持体１０に付着することはなく、その絶縁性を阻害することは無い。
【００３３】
なお、本実施の形態１では、エアー排出ノズルの構成を保持体１０、上カバー１、下カバー２および対のサイド体３により構成しているが、保持体１０と一体構成としても良く、さらにエアー吹き出し口４から吹き出されたエアー５を吸引する機構をレーザ照射に支障のない位置に付設してもよい。
【００３４】
【発明の効果】
以上のように本発明のレーザトリミング装置によれば、レーザトリミングにおける電気的特性の測定に使用されるプローブと、このプローブが取付け保持された保持体を密閉して覆いながらも、唯一の開口部であるエアー吹き出し口を有するエアー排出ノズルを有する構成となっており、このエアー吹き出し口から前記プローブの一端が突出した構造であることと、同エアー吹き出し口よりエアーを吹き出させることにより、レーザ加工により発生する粉塵はこのエアー吹き出し口より侵入することは無いものである。
【００３５】
したがって、レーザ光、認識用カメラの動作、およびそれらのための照明に支障を与えず、保持体の近傍におけるプローブへの粉塵の付着により、隣接するプローブ同士の絶縁性が損なわれることがないという効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１におけるレーザトリミング装置のプローブガードの要部斜視図
【図２】同保持部分の部分断面斜視図
【図３】同プローブガードを使用したレーザトリミングを説明する要部断面図
【符号の説明】
１ 上カバー
２ 下カバー
３ サイド体
４ 吹き出し口
５ エアー
６ 先端口
７ 配管
８ 基板
９ プローブ
１０ 保持体
１１ プローブガード
１２ レーザ光
１３ 粉塵
１５ 抜き孔
【発明の属する技術分野】
本発明は、チップ抵抗器やチップインダクタなどの電子部品の特性値（回路定数）を修正するトリミング加工中に発生する粉塵による汚染を防止し得るレーザトリミング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来において、例えば、電子部品としてのチップ抵抗器における抵抗値を修正するレーザトリミング機にはプローブガードが使用される。このプローブガードは、チップ抵抗器の電極部分に当接し抵抗値を測定するためのプローブが、チップ抵抗器の配列に対応して２列が対向して配置された構造となっている。抵抗値を修正するためのレーザ光はプローブガードの中央部分に設けた所定孔の開口部を通して照射され、チップ抵抗器の抵抗体部分を熱エネルギーにて昇華させ削り取る。
【０００３】
この際に発生する構成素体である抵抗体や導電材の粉塵は、例えば特開平８−３１６２７５号公報で開示されているように吸引により回収する方式や、同じく特開平３−１１２１０２号公報および特開昭６１−２９２９５０号公報に開示されているようにエアーの吹き出しとその吸引を併用した方式があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
電気的特性の測定を行うためのプローブは、構成する基板上に絶縁材を介して保持されているが、この保持部に構成素子である抵抗体や導電材などの粉塵が付着すると、隣接するプローブ同士の絶縁が保持できなくなり、抵抗値測定すなわち電気的特性の測定精度が低下するという課題があった。
【０００５】
しかしながら、前記いずれの方法においても粉塵の発生箇所であるチップ抵抗器などの加工面と、粉塵を吸引するダクトとの間には測定用のプローブが存在し、高温かつ高速で飛散する粉塵をプローブに付着させなくすることは困難であるばかりか、逆に吹き付け塗装をするがごとく汚染を加速させる原因になっていた。
【０００６】
また、前記の方法を発展させて対向するプローブの内側に吸引用のダクトを配設する構成も考えられるが、レーザ光を遮断せず、またチップ抵抗器などの製品の位置認識カメラの動作や、それらのために使用される照明の妨げにならずダクトを配設することは困難である。
【０００７】
さらに、近年の電子部品の小型化および高精度測定に必要とされる４接点化の要求にしたがって、プローブも微細ピッチ化が進展しており、ますますプローブ相互間に付着する粉塵の影響（支障）が大きくなってきている。
【０００８】
本発明は、前記課題を解決しようとするものであり、粉塵によるプローブの汚染を防ぎ、電気的特性の測定精度の低下を防止できるレーザトリミング装置を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明のレーザトリミング装置は以下の構成を有する。
【００１０】
本発明の請求項１に記載の発明は、特に、電気的特性の測定を行う複数のプローブを保持体にて平行するように保持し、かつ前記複数のプローブの一端を電気的に接続した基板と、前記複数のプローブを包含しかつ被測定体と当接する前記複数のプローブの他端が突出する唯一の開口部としてのエアー吹き出し口を有するエアー排出ノズルを含み、レーザ加工時に前記エアー排出ノズルへ供給されたエアーを前記エアー吹き出し口より吹き出すように構成したプローブガードを備えており、これにより、プローブの保持体にはレーザ加工における粉塵が侵入しないという作用効果が得られる。
【００１１】
本発明の請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、特に、エアー排出ノズルを、絶縁材による保持体、上カバー、下カバーおよび対のサイド体で構成したものであり、これにより、任意で最適なエアー排出ノズルが容易に構成できるという作用効果が得られる。
【００１２】
本発明の請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、特に、エアー排出ノズルは、被測定体の認識、被測定体への照明およびレーザ加工に支障の無い位置にエアー吹き出し口を構成したものであり、これにより、レーザトリミング（加工）時において、レーザ光を遮断せず、また製品の位置認識用のカメラ動作や、そのために使用される照明の妨げにならないという作用効果が得られる。
【００１３】
本発明の請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、特に、エアー排出ノズルに除塵および除湿されたエアーを供給する構成を有しており、これにより、エアー供給源であるコンプレッサーなどで発生するオイルや水分などが、エアー排出ノズル内部においてプローブや保持体に付着することはなく、その絶縁性を阻害しないという作用効果が得られる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
以下、実施の形態を用いて、本発明の特に請求項１〜４に記載の発明について説明する。
【００１５】
図１は本発明の実施の形態１におけるレーザトリミング装置のプローブガードの要部斜視図、図２は同保持部分の部分断面斜視図、そして図３は同プローブガードを使用したレーザトリミングを説明する要部断面図である。
【００１６】
図１および図２において、１は金属材あるいは樹脂材でなる所定角度に曲げ加工された上カバーであり、抵抗値やインダクタンス値などの電気的特性の測定を行う超鋼材の導体でなる複数組、本実施の形態では２組すなわち対のプローブ９を、絶縁材でなる保持体１０を介して所定間隔で平行に配設し、電気的特性の測定を行うための配線、周辺回路などが形成されて中央部に抜き孔１５を有する基板８の上面の一部に密着して設置されている。
【００１７】
２は同じく曲げ加工された下カバーであり、基板８の裏面に固着された前記保持体１０の下面に中央部を密着して設置されている。
【００１８】
３は同じくＬ字形状でなる対のサイド体であり、上カバー１と下カバー２および保持体１０により形成される空間の両側面を密閉するため、上カバー１と下カバー２のそれぞれを両サイドに密着して、基板８の抜き孔１５部分に設置されている。
【００１９】
そして、上カバー１と下カバー２および対のサイド体３、そして基板８と保持体１０により形成される空間は、プローブ９の後部すなわち保持体１０の近傍を内包しかつ先端部分のみを開口部とした密閉構造のエアー排出ノズルとなっている。
【００２０】
対のサイド体３には、前記空間部分の開口部であるエアー吹き出し口４から吹き出すエアー５を、エアー供給源（図示せず）から導入し送出するための配管７が内蔵されており、その先端口６は前記空間部分に向って設けられている。
【００２１】
この吹き出し用のエアー５は、エアー供給源から導入されるに際して、エアードライヤーやエアークリーナー（図示せず）を通過させて、除塵と除湿を行っている。
【００２２】
前記の上カバー１、下カバー２、サイド体３、基板８および保持体１０で構成された空間部分、すなわちエアー排出ノズルにおけるエアー吹き出し口４は、後で説明するがレーザ光を遮断せず、また製品の位置認識用のカメラ動作や、そのために使用される照明の妨げにはならない構成であり、同じく妨げにならないプローブ９の保持体１０から僅かな距離の位置である。
【００２３】
すなわち上カバー１、下カバー２および対のサイド体３によりプローブ９全体の後部の一部を覆っているのであり、本実施の形態ではプローブ９の２列の対向配列に対応して、空間部分すなわちエアー排出ノズルは対の構造となっている。以上によりレーザトリミング装置のプローブガード１１が構成されている。
【００２４】
以上のように構成されたプローブガード１１について、以下その動作について図面を用いて説明する。
【００２５】
図３において、まず搬送され供給された抵抗、コイルなどの電子部品１４は、認識カメラ（図示せず）などにより、その状態や位置を認識して所定位置（箇所）に位置決めされる。
【００２６】
次に、対のプローブ９を被レーザトリミング体である電子部品１４の電極部分に当接させて、初期の電気的特性値（回路定数）例えば抵抗値やインダクタンス値の測定が行われる。
【００２７】
この測定結果をもとに、集光レンズ１６により集光されたレーザ光１２を電子部品１４の構成素体に照射し、熱エネルギーにて構成素体を昇華させ削り取ることにより、電気的特性値（回路定数）すなわち抵抗値やインダクタンス値を所定値に修正するのである。
【００２８】
そして前記動作開始直前からレーザトリミング動作終了直後まで、エアー吹き出し口４より供給されたエアー５を一定圧力で一定量を吹き出し続けているのである。
【００２９】
以上のように本実施の形態１のレーザトリミング装置のプローブガード１１は、プローブ９の保持体１０の近傍を上カバー１、下カバー２、対のサイド体３および保持体１０により密閉して覆われるとともに、唯一の開口部としてのエアー吹き出し口４からはエアー５が吹き出されているため、レーザトリミング加工により発生する構成素体による粉塵１３は、前記吹き出し口４から侵入することができない。
【００３０】
したがって、保持体１０の近傍におけるプローブ９への粉塵１３の付着がなく、隣接するプローブ９同士の絶縁性が損なわれることはない。
【００３１】
また、エアー吹き出し口４の位置は、基板８に取付けられたプロープ９の保持体１０から粉塵１３の侵入を防ぐ必要な距離のみとしており、レーザ光１２あるいは被加工（測定）製品の位置認識用のカメラ動作や、それらのために使用される照明の妨げになる事は無いのである。
【００３２】
さらに、エアー吹き出し口４から吹き出すエアー５を、エアークリーナーやエアードライヤーなどにより清浄で乾燥させたエアーとしており、エアー供給源であるコンプレッサーで発生するオイルや水分などがプローブ９や保持体１０に付着することはなく、その絶縁性を阻害することは無い。
【００３３】
なお、本実施の形態１では、エアー排出ノズルの構成を保持体１０、上カバー１、下カバー２および対のサイド体３により構成しているが、保持体１０と一体構成としても良く、さらにエアー吹き出し口４から吹き出されたエアー５を吸引する機構をレーザ照射に支障のない位置に付設してもよい。
【００３４】
【発明の効果】
以上のように本発明のレーザトリミング装置によれば、レーザトリミングにおける電気的特性の測定に使用されるプローブと、このプローブが取付け保持された保持体を密閉して覆いながらも、唯一の開口部であるエアー吹き出し口を有するエアー排出ノズルを有する構成となっており、このエアー吹き出し口から前記プローブの一端が突出した構造であることと、同エアー吹き出し口よりエアーを吹き出させることにより、レーザ加工により発生する粉塵はこのエアー吹き出し口より侵入することは無いものである。
【００３５】
したがって、レーザ光、認識用カメラの動作、およびそれらのための照明に支障を与えず、保持体の近傍におけるプローブへの粉塵の付着により、隣接するプローブ同士の絶縁性が損なわれることがないという効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１におけるレーザトリミング装置のプローブガードの要部斜視図
【図２】同保持部分の部分断面斜視図
【図３】同プローブガードを使用したレーザトリミングを説明する要部断面図
【符号の説明】
１ 上カバー
２ 下カバー
３ サイド体
４ 吹き出し口
５ エアー
６ 先端口
７ 配管
８ 基板
９ プローブ
１０ 保持体
１１ プローブガード
１２ レーザ光
１３ 粉塵
１５ 抜き孔
Claims (4)
- 電気的特性の測定を行う複数のプローブを保持体にて平行するように保持し、かつ前記複数のプローブの一端を電気的に接続した基板と、前記複数のプローブを包含しかつ被測定体と当接する前記複数のプローブの他端が突出する唯一の開口部としてのエアー吹き出し口を有するエアー排出ノズルを含み、レーザ加工時に前記エアー排出ノズルへ供給されたエアーを前記エアー吹き出し口より吹き出すように構成したプローブガードを備えたレーザトリミング装置。
- エアー排出ノズルは、絶縁材で成る保持体、上カバー、下カバーおよび対のサイド体で構成してなる請求項１に記載のレーザトリミング装置。
- エアー排出ノズルは、被測定体の認識、被測定体への照明およびレーザ加工に支障の無い位置にエアー吹き出し口を構成してなる請求項１に記載のレーザトリミング装置。
- エアー排出ノズルには、除塵および除湿されたエアーを供給してなる請求項１に記載のレーザトリミング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001263251A JP3843786B2 (ja) | 2001-08-31 | 2001-08-31 | レーザトリミング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001263251A JP3843786B2 (ja) | 2001-08-31 | 2001-08-31 | レーザトリミング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003077715A JP2003077715A (ja) | 2003-03-14 |
| JP3843786B2 true JP3843786B2 (ja) | 2006-11-08 |
Family
ID=19090035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001263251A Expired - Fee Related JP3843786B2 (ja) | 2001-08-31 | 2001-08-31 | レーザトリミング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3843786B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113859970B (zh) * | 2021-10-25 | 2023-06-09 | 青岛非凡包装机械有限公司 | 一种多伺服真空旋转理料器 |
-
2001
- 2001-08-31 JP JP2001263251A patent/JP3843786B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2003077715A (ja) | 2003-03-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5910727A (en) | Electrical inspecting apparatus with ventilation system | |
| US6902941B2 (en) | Probing of device elements | |
| JP2003522334A (ja) | センサー装置 | |
| US6792677B1 (en) | Method of manufacturing an electronic component unit | |
| US7772590B2 (en) | Metal comb structures, methods for their fabrication and failure analysis | |
| JP3843786B2 (ja) | レーザトリミング装置 | |
| KR101952847B1 (ko) | 워피지 측정 시스템 및 워피지 측정 방법 | |
| US6894515B2 (en) | Inspection unit and method of manufacturing substrate | |
| JP2001021615A (ja) | Ｂｇａ検査用ソケットのコンタクトプローブ | |
| US20020186016A1 (en) | Electrification quantity measurement apparatus, electrification quantity measurement method, static electricity discharge detection apparatus, and static electricity discharge detection method | |
| JP2001296325A (ja) | 回路基板検査方法および回路基板検査装置 | |
| US3580066A (en) | Method for detecting exposure of a base material through an overlying coating | |
| JP4477183B2 (ja) | 回路基板検査方法および回路基板検査装置 | |
| JP2003273174A (ja) | 半導体検査装置 | |
| US20100104739A1 (en) | Surface treating method for probe card in vacuum deposition device | |
| KR200277289Y1 (ko) | 칩콘덴서 검사용 기판의 패턴 커팅장치 | |
| JPH04271148A (ja) | ソケット | |
| KR20030055727A (ko) | 전자부품 실장용 솔더의 제거 방법 및 장치 | |
| KR100630758B1 (ko) | 수분측정장치 및 이를 이용한 수분측정방법 | |
| JPH10224092A (ja) | 電子部品装着方法及びその装置 | |
| JP2590770Y2 (ja) | 光学式測定器 | |
| JP2002040101A (ja) | 半導体チップ検査装置 | |
| KR19990021286A (ko) | 반도체장치의 검사장치 | |
| KR19990024877U (ko) | 웨이퍼 검사장치의 프로브카드 | |
| KR20040076114A (ko) | 프로브 카드를 위한 프로브 니들 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040217 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20050701 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060718 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060725 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060807 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090825 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100825 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110825 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110825 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120825 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130825 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |