JPS61251528A - ガラスレンズ成形のための金型及びその製造方法 - Google Patents
ガラスレンズ成形のための金型及びその製造方法Info
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- JPS61251528A JPS61251528A JP60090887A JP9088785A JPS61251528A JP S61251528 A JPS61251528 A JP S61251528A JP 60090887 A JP60090887 A JP 60090887A JP 9088785 A JP9088785 A JP 9088785A JP S61251528 A JPS61251528 A JP S61251528A
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- Japan
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- silicon carbide
- glass lens
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
-
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- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
- C03B11/084—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses material composition or material properties of press dies therefor
- C03B11/086—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses material composition or material properties of press dies therefor of coated dies
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/02—Press-mould materials
- C03B2215/08—Coated press-mould dies
- C03B2215/14—Die top coat materials, e.g. materials for the glass-contacting layers
- C03B2215/22—Non-oxide ceramics
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、ガラスレンズの成形用金型材に関するもので
、特にプレス成形後における冷間研磨を不要とした高い
面精度と面粗度を有するガラスレンズのプレス成形用金
型及びその製造方法に関する。
、特にプレス成形後における冷間研磨を不要とした高い
面精度と面粗度を有するガラスレンズのプレス成形用金
型及びその製造方法に関する。
［従来の技術１
冷間研磨を不要とするガラスレンズ成形用金型材の具備
条件は、高温でのプレス時に金型面がガラスレンズ面に
そのまま転写されるため、金型面が光学的鏡面研磨可能
なこと、ガラスレンズ成形時の高温下で酸化による肌荒
れを起さないこと、および高温のガラスと接触して融着
を起しにくいこと、さらにはプレス時の衝撃に耐える機
械強度をもつことなどである。
条件は、高温でのプレス時に金型面がガラスレンズ面に
そのまま転写されるため、金型面が光学的鏡面研磨可能
なこと、ガラスレンズ成形時の高温下で酸化による肌荒
れを起さないこと、および高温のガラスと接触して融着
を起しにくいこと、さらにはプレス時の衝撃に耐える機
械強度をもつことなどである。
従来ガラス成形用金型材としては、１３クロム鋼が一般
的に使用されていた。この金型材は高温で酸化され易く
、成形時の高温で酸化され易く、成形時の高温でガラス
と融着しやすい。また酸化防止のために不活性ガス雰囲
気中で使用するとしても、ガラスの離型が困難であるの
で研磨不要のガラスレンズプレス成形用金型材としては
不適当である。さらにモールド表面にガラス状カーボン
を形成させて研磨不要のガラスレンズ成形用金型とする
こと（特開昭４７−１１２７７号公報）、或は表面材と
してＳｔＣ，Ｓｉ３Ｎ４、ｓｉｃ＋ｃを用いること（特
開昭５２−４５６１３号公報）も知られている。
的に使用されていた。この金型材は高温で酸化され易く
、成形時の高温で酸化され易く、成形時の高温でガラス
と融着しやすい。また酸化防止のために不活性ガス雰囲
気中で使用するとしても、ガラスの離型が困難であるの
で研磨不要のガラスレンズプレス成形用金型材としては
不適当である。さらにモールド表面にガラス状カーボン
を形成させて研磨不要のガラスレンズ成形用金型とする
こと（特開昭４７−１１２７７号公報）、或は表面材と
してＳｔＣ，Ｓｉ３Ｎ４、ｓｉｃ＋ｃを用いること（特
開昭５２−４５６１３号公報）も知られている。
［発明が解決しようとする問題点〕
しかし、上記のごとく表面材として形成されたガラス状
カーボンは酸化し易く、構造的にも不安定で、引かき傷
が生じやすい欠点をもつ。一方Ｓ ｉｃ、Ｓ ｔ３Ｎ４
、Ｓ ｉＣ＋Ｃは酸化されにくく、引かき傷を生じに
くいという長所はあるが、特開昭５２−４５６１３号公
報に記載されているごとく、ホットプレス、スパッター
等の手法により、モールド面にＳ Ｉ ＣＳＳ ｉ ３
Ｎ ４ 、Ｓ Ｉ Ｃ＋ Ｃ等を形成する場合には、
次のような問題点がある。すなわちホットプレス法によ
り、モールド面にこれらの材料を形成させる場合は、材
料自身にある「巣」のために光学的鏡面は得られない。
カーボンは酸化し易く、構造的にも不安定で、引かき傷
が生じやすい欠点をもつ。一方Ｓ ｉｃ、Ｓ ｔ３Ｎ４
、Ｓ ｉＣ＋Ｃは酸化されにくく、引かき傷を生じに
くいという長所はあるが、特開昭５２−４５６１３号公
報に記載されているごとく、ホットプレス、スパッター
等の手法により、モールド面にＳ Ｉ ＣＳＳ ｉ ３
Ｎ ４ 、Ｓ Ｉ Ｃ＋ Ｃ等を形成する場合には、
次のような問題点がある。すなわちホットプレス法によ
り、モールド面にこれらの材料を形成させる場合は、材
料自身にある「巣」のために光学的鏡面は得られない。
またスパッター法では厚い膜を得ることは困難であり、
スパッター後に所定の光学的鏡面に仕上げてモールドと
して用いるためには、コーティング用基体は「巣」のな
いものにしなければならない。
スパッター後に所定の光学的鏡面に仕上げてモールドと
して用いるためには、コーティング用基体は「巣」のな
いものにしなければならない。
さらに、Ｓ ＋ Ｃ＋Ｃについも、グラファイト量の範
囲が明記されていないばかりが、本発明者が行なった実
験によると、グラファイト量が多くなると、モールドの
酸化肌荒れが生じ、さらに、ガラスの離型が悪くなるた
め、研磨不要のガラスレンズ成形用金型材としては適さ
ない。
囲が明記されていないばかりが、本発明者が行なった実
験によると、グラファイト量が多くなると、モールドの
酸化肌荒れが生じ、さらに、ガラスの離型が悪くなるた
め、研磨不要のガラスレンズ成形用金型材としては適さ
ない。
また、ホットプレス法によって得られるＳｉ３Ｎ＋には
、焼結助剤として酸化物が含まれているため、ガラスと
の融着が発生するので、化学気相析出法により得られた
Ｓ！３Ｎ＋は、ガラスとの離型が悪い。
、焼結助剤として酸化物が含まれているため、ガラスと
の融着が発生するので、化学気相析出法により得られた
Ｓ！３Ｎ＋は、ガラスとの離型が悪い。
［発明の目的］
上述の説明から明らかなように、本発明の目的は、第１
に高圧で能率的なプレス成形に使用し得るとともに光学
鏡面研磨可能で、ガラスとの融着のない、すなわち離型
しやすい研磨不要のガラスレンズのプレス成形用金型材
を提供することである。第２には上記の金型材を合成す
るための条件を提供することである。
に高圧で能率的なプレス成形に使用し得るとともに光学
鏡面研磨可能で、ガラスとの融着のない、すなわち離型
しやすい研磨不要のガラスレンズのプレス成形用金型材
を提供することである。第２には上記の金型材を合成す
るための条件を提供することである。
［問題点を解決するための手段］
本発明は高圧で能率的なプレス成形に使用し得るととも
に、光学鏡面研磨可能でガラスとの融着のない、すなわ
ち離型しやすい研磨不要のガラスレンズのプレス成形用
金型材としてカーボンを含まず、かつ（１１１）面配向
性を有するβ型炭化珪素からなる材料が最も有効である
ことを発見してなったものである。
に、光学鏡面研磨可能でガラスとの融着のない、すなわ
ち離型しやすい研磨不要のガラスレンズのプレス成形用
金型材としてカーボンを含まず、かつ（１１１）面配向
性を有するβ型炭化珪素からなる材料が最も有効である
ことを発見してなったものである。
そして、これらのフリーカーボンを含まない材料を得る
ためには、原料ガス中のＣｉ、Ｓｉのモル分率をそれぞ
れΣＣ１ΣＳｉとした場合、ΣＣ／（ΣＣ＋ΣＳｉ）が
０．４１から０．４７の範囲で化学気相析出法により合
成することができる。ここで、β型炭化珪素の析出温度
をＴ℃、炉内全圧力をＰ とした場合、■＜１５
００で、かつＴＯｒｒ ＜ ３ Ｐ ＋ １２００なる条件のもとで合成するこ
とにより、（１１１）面配向性を有するβ型炭化珪素を
得ることができる。
ためには、原料ガス中のＣｉ、Ｓｉのモル分率をそれぞ
れΣＣ１ΣＳｉとした場合、ΣＣ／（ΣＣ＋ΣＳｉ）が
０．４１から０．４７の範囲で化学気相析出法により合
成することができる。ここで、β型炭化珪素の析出温度
をＴ℃、炉内全圧力をＰ とした場合、■＜１５
００で、かつＴＯｒｒ ＜ ３ Ｐ ＋ １２００なる条件のもとで合成するこ
とにより、（１１１）面配向性を有するβ型炭化珪素を
得ることができる。
化学気相析出法により合成されるＳｉＣは、普通β型の
結晶体で、大別すると表面にピラミッド状の凹凸のある
ファセット状のものと、滑らかなコーン状のものとがあ
る。ファセット状のものには、一般にフリーカーボンが
含まれないという利点があるものの、研削時にダイヤモ
ンドが大きな結晶粒の間に入りこみ、この後に鏡面研磨
したときに、研磨面にダイヤモンドが残存したり、ある
いはこれが脱落して穴になったり、また脱落したダイヤ
モンドによる引かき傷などのトラブルが発生する。とく
に研磨不要のガラスレンズのプレス成形用金型としては
、これらの問題は、重要な要素となる。つまり合成され
たＳｉＣは研磨不要のガラスレンズのプレス成形用金型
としては（１１１）配向面を示すコーン状のものが望ま
しいのである。
結晶体で、大別すると表面にピラミッド状の凹凸のある
ファセット状のものと、滑らかなコーン状のものとがあ
る。ファセット状のものには、一般にフリーカーボンが
含まれないという利点があるものの、研削時にダイヤモ
ンドが大きな結晶粒の間に入りこみ、この後に鏡面研磨
したときに、研磨面にダイヤモンドが残存したり、ある
いはこれが脱落して穴になったり、また脱落したダイヤ
モンドによる引かき傷などのトラブルが発生する。とく
に研磨不要のガラスレンズのプレス成形用金型としては
、これらの問題は、重要な要素となる。つまり合成され
たＳｉＣは研磨不要のガラスレンズのプレス成形用金型
としては（１１１）配向面を示すコーン状のものが望ま
しいのである。
化学気相析出法により、フリーカーボンを含まないＳｉ
Ｃを高速で合成するための原料ガス系としてはＳｉ源と
Ｃ源を別々のガスから供給し、かつ３ｉ源としてはＳｉ
Ｈ＋よりも５ｉＣｊ！４を、またＣ源としては１Ｍ１温
で分解しゃすいＣ３Ｈ８を用い、Ｓ ｉ ＣＩｌ＋のキ
ャリアーガスとしてはＨ２を用いる方が望ましい。
Ｃを高速で合成するための原料ガス系としてはＳｉ源と
Ｃ源を別々のガスから供給し、かつ３ｉ源としてはＳｉ
Ｈ＋よりも５ｉＣｊ！４を、またＣ源としては１Ｍ１温
で分解しゃすいＣ３Ｈ８を用い、Ｓ ｉ ＣＩｌ＋のキ
ャリアーガスとしてはＨ２を用いる方が望ましい。
次に本発明の限定理由を述べる。原料ガス中のＳｉ、Ｃ
のモル分率をそれぞれΣＳ１１ΣＣとすると、第２図に
示すように、１２００℃、１００Ｔ Ｏｒｒにおいて、
ΣＣ／（ΣＣ＋ΣＳｉ）が０．４９１２上の値になると
、析出物はＳ ＋ Ｃ＋Ｃになることがわかる。
のモル分率をそれぞれΣＳ１１ΣＣとすると、第２図に
示すように、１２００℃、１００Ｔ Ｏｒｒにおいて、
ΣＣ／（ΣＣ＋ΣＳｉ）が０．４９１２上の値になると
、析出物はＳ ＋ Ｃ＋Ｃになることがわかる。
本発明では、原料ガス中のΣＣ／（ΣＣ＋ΣＳ１）が０
．４１以下の範囲にある場合にフリーカーボンを含まな
いＳｉＣを合成することができることを見い出した。
．４１以下の範囲にある場合にフリーカーボンを含まな
いＳｉＣを合成することができることを見い出した。
また表１は、Ｓ ｉ ＣＩｌ＋ ＋Ｈ２９００Ｉｆｌ／
Ｗｉｎ 。
Ｗｉｎ 。
Ｈ２４５０ｔｌｊ２／ＩＩ！ｎ 、 Ｃ３Ｈ８６０１４
２／１ｆｎ一定で、基体加熱温度を１１５０〜１５００
℃、炉内全圧力を５〜３００−ｒ Ｏｒ ｒの範囲で変
化させたときに得られたＳｉＣ中のＣ／Ｓ ｉ比を蛍光
Ｘ線分析装置を用いて測定したものであって、全湿度、
全圧力範囲において、測定誤差範囲内でほぼＳｔ：Ｃ＝
１：１で、あることがわかる。
２／１ｆｎ一定で、基体加熱温度を１１５０〜１５００
℃、炉内全圧力を５〜３００−ｒ Ｏｒ ｒの範囲で変
化させたときに得られたＳｉＣ中のＣ／Ｓ ｉ比を蛍光
Ｘ線分析装置を用いて測定したものであって、全湿度、
全圧力範囲において、測定誤差範囲内でほぼＳｔ：Ｃ＝
１：１で、あることがわかる。
Ｓ ！ ＣＩ！４／Ｈ２９００１Ｊ２／ｌ！ｎＨ２４５
０１１ｆ／ｎ１ｉｎ Ｃ３Ｈ８６０１Ｊ２／１ａｉｎ ΣＣ／（ΣＣ＋Σ３ｉ）＝０．４２ 従来の研究では、高温はどフリーカーボンが共析し、低
温はどシリコンが共析するといわれていたが、本発明で
は、生成したＳｉＣ中のＣ／Ｓ ｉ比は、析出温度や圧
力にはほとんど依存せず、原料ガス中のΣＣ／（ΣＣ＋
ΣＳｉ）で決まることを見い出した。例えば、ΣＧ／（
ΣＣ＋ΣＳ＋）が０．４７以下のときにはＣ／Ｓ ｉ比
が１のＳｉＣが、また０、４９のときにはＣ／Ｓ ＋
−１，２のＳｉＣ＋Ｃが生成する。このことは、化学量
論的なＳｉＣを合成するための有益な知見である。一方
ΣＣ／（ΣＣ＋ΣＳｉ）が０．４１以下ではフリーカー
ボンのない（１１１）配向をもつβ型多結晶ＳｉＣが得
られるが、β型ＳＩＣを得ることが出来なくなるばかり
でなく、フリーシリコンが存在して来る場合もでて来る
ので望ましい。
０１１ｆ／ｎ１ｉｎ Ｃ３Ｈ８６０１Ｊ２／１ａｉｎ ΣＣ／（ΣＣ＋Σ３ｉ）＝０．４２ 従来の研究では、高温はどフリーカーボンが共析し、低
温はどシリコンが共析するといわれていたが、本発明で
は、生成したＳｉＣ中のＣ／Ｓ ｉ比は、析出温度や圧
力にはほとんど依存せず、原料ガス中のΣＣ／（ΣＣ＋
ΣＳｉ）で決まることを見い出した。例えば、ΣＧ／（
ΣＣ＋ΣＳ＋）が０．４７以下のときにはＣ／Ｓ ｉ比
が１のＳｉＣが、また０、４９のときにはＣ／Ｓ ＋
−１，２のＳｉＣ＋Ｃが生成する。このことは、化学量
論的なＳｉＣを合成するための有益な知見である。一方
ΣＣ／（ΣＣ＋ΣＳｉ）が０．４１以下ではフリーカー
ボンのない（１１１）配向をもつβ型多結晶ＳｉＣが得
られるが、β型ＳＩＣを得ることが出来なくなるばかり
でなく、フリーシリコンが存在して来る場合もでて来る
ので望ましい。
また、本発明に於いては実施例４に述べるように、β型
炭化珪素の析出温度をＴ＜３ｐ＋１２００なる条件を満
さない場合には、表面にピラミッド状の凹凸のある７７
セツト状の多結晶体が生じ、本発明の目的の金型材とし
ては適さない。
炭化珪素の析出温度をＴ＜３ｐ＋１２００なる条件を満
さない場合には、表面にピラミッド状の凹凸のある７７
セツト状の多結晶体が生じ、本発明の目的の金型材とし
ては適さない。
次にフリーカーボンを含まないＳｔＣを合成するための
装置の説明図を第１図に示す。縦型の石英反応管１の一
方にガス供給系１０を、他方に真空排気系１１をそれぞ
れ配置する。石英反応管１の内部にヒツトしたカーボン
ヒーターを１５Ｋｗ、 ４００にＨ２の高周波誘導加熱
により所定温度に加熱し、そのカーボンヒーターからの
間接加熱で基体を加熱する。２はワークコイルである。
装置の説明図を第１図に示す。縦型の石英反応管１の一
方にガス供給系１０を、他方に真空排気系１１をそれぞ
れ配置する。石英反応管１の内部にヒツトしたカーボン
ヒーターを１５Ｋｗ、 ４００にＨ２の高周波誘導加熱
により所定温度に加熱し、そのカーボンヒーターからの
間接加熱で基体を加熱する。２はワークコイルである。
ガス供給系１０内の原料ガスはそれぞれ流ｆｌｉ１８を
通って下部より反応管１に供給されるが、原料のＳ ｉ
Ｃｆ４用バブラー９は、２０℃の恒温槽３の中にセッ
トされ、Ｈｚガスにより反応管１内ヘキヤリアされる。
通って下部より反応管１に供給されるが、原料のＳ ｉ
Ｃｆ４用バブラー９は、２０℃の恒温槽３の中にセッ
トされ、Ｈｚガスにより反応管１内ヘキヤリアされる。
原料ガスＳ ｉ Ｃ１！−＋ ＋）−１２および０３
Ｈｇを混合器４で混合した後、反応管１内に導入すると
共に、全体の８２ｆｆｉを一定に保つため、別系統のＨ
？ラインを用意して直接反応管１に供給する。排気は反
応管上部より行ない、油回転ポンプ（リキッドシールド
タイプポンプ）５により行なう。油回転ポンプ５と反応
ｉ！１の間に、トラップ６を設は未反応のＳｉＣβ４お
よび反応副生成物のＨＣｆを除去する。また、反応管内
の圧力はマノメーター７を用いて制御する。
Ｈｇを混合器４で混合した後、反応管１内に導入すると
共に、全体の８２ｆｆｉを一定に保つため、別系統のＨ
？ラインを用意して直接反応管１に供給する。排気は反
応管上部より行ない、油回転ポンプ（リキッドシールド
タイプポンプ）５により行なう。油回転ポンプ５と反応
ｉ！１の間に、トラップ６を設は未反応のＳｉＣβ４お
よび反応副生成物のＨＣｆを除去する。また、反応管内
の圧力はマノメーター７を用いて制御する。
［実施例１］
１２００℃、１００ｒ ｏ ｒ ｒでＳ ｉ Ｃｆ＋
＋Ｈ２９０ＧｍＩｌ／ Ｗｉｎ 、、Ｈ２４５０ｌ１１
２ ／ Ｎｎの条件下で０３Ｈ８量を１０．２Ｇ、４０
．６０．８Ｇ、１００１ｚ／ｌｉｎと変えたときのΣＣ
／（ΣＣ＋ΣＳｉ）はそれぞれ０．８８．０．１６２．
０．２７９．０．３６７．０．４３６．０、４９２とな
りＣ３Ｈ８１００１ｊ２のときのみがＣ／５ｉ−１，２
０！：なり、Ｓ ｉ Ｃ＋Ｃとなッテいる。
＋Ｈ２９０ＧｍＩｌ／ Ｗｉｎ 、、Ｈ２４５０ｌ１１
２ ／ Ｎｎの条件下で０３Ｈ８量を１０．２Ｇ、４０
．６０．８Ｇ、１００１ｚ／ｌｉｎと変えたときのΣＣ
／（ΣＣ＋ΣＳｉ）はそれぞれ０．８８．０．１６２．
０．２７９．０．３６７．０．４３６．０、４９２とな
りＣ３Ｈ８１００１ｊ２のときのみがＣ／５ｉ−１，２
０！：なり、Ｓ ｉ Ｃ＋Ｃとなッテいる。
［実施例２］
１２００℃、１００Ｔ Ｏｒ ｒで、Ｈ２総１１０４０
１Ｎ／１ｎ 、 Ｃ３Ｈ８６０＋ｕ２／ｗｉｎの条件下
で、 ５ｉＣｊ２＋＋Ｈ２量を１５０．３００．６００
．９００．１２０Ｇ。
１Ｎ／１ｎ 、 Ｃ３Ｈ８６０＋ｕ２／ｗｉｎの条件下
で、 ５ｉＣｊ２＋＋Ｈ２量を１５０．３００．６００
．９００．１２０Ｇ。
１５００ ａｌｌ ／ｗｉｎと変えたときのΣＧ／（Σ
Ｃ＋Σｓ＋＞はそれぞれ０．７７７．０．６３５．０．
４６６．０、３６７．０．３０３となり３ｉＣＩ１４＋
Ｈ２が１５０゜３００ ｇｉＩｌ／ｓｉｎのときに、Ｃ
／Ｓ ｉはそれぞれ２．１３．１．２３となりＳ＋Ｃ＋
Ｃとなっている。
Ｃ＋Σｓ＋＞はそれぞれ０．７７７．０．６３５．０．
４６６．０、３６７．０．３０３となり３ｉＣＩ１４＋
Ｈ２が１５０゜３００ ｇｉＩｌ／ｓｉｎのときに、Ｃ
／Ｓ ｉはそれぞれ２．１３．１．２３となりＳ＋Ｃ＋
Ｃとなっている。
［実施例３］
Ｃ／Ｓ ｉが１゜０．１，２．１．５．２．０の各種Ｓ
ｉＣについて、ダイヤモンドペーストを用いて約３０Ａ
Ｒ１１１ａＸの岐面に研磨した後、８００℃大気中で４
５時間酸化させた後の面粗度の変化を第３図に示した。
ｉＣについて、ダイヤモンドペーストを用いて約３０Ａ
Ｒ１１１ａＸの岐面に研磨した後、８００℃大気中で４
５時間酸化させた後の面粗度の変化を第３図に示した。
これかられかるように、Ｃ／Ｓ ｉっまりフリーカーボ
ン量が増加するにつれて、酸化による肌荒れが顕著にな
り、ガラスが離型しに（くなる。
ン量が増加するにつれて、酸化による肌荒れが顕著にな
り、ガラスが離型しに（くなる。
［実施例４］
Ｓ ｉ Ｃｊ２４ ＋Ｈ２９００１ｊ！／Ｗｉｎ
、Ｈ２４５０ｍｌ１／ｓｉｎ 、 Ｃ３Ｈ８６０ｍｌ
ｌ／ｍ１１１の条件下で基体加熱温度（Ｔ ｄ ）１１
５０〜１５００℃、炉内全圧カ（Ｐｔｏｔ）５〜３００
ｖｏｒｒで６０分合成したときの析出面の配向性をＸ線
回折で調べた結果が表２に示す。
、Ｈ２４５０ｍｌ１／ｓｉｎ 、 Ｃ３Ｈ８６０ｍｌ
ｌ／ｍ１１１の条件下で基体加熱温度（Ｔ ｄ ）１１
５０〜１５００℃、炉内全圧カ（Ｐｔｏｔ）５〜３００
ｖｏｒｒで６０分合成したときの析出面の配向性をＸ線
回折で調べた結果が表２に示す。
表２
上記表２から明らなように、化学気相析出法により合成
されるβ−８ｉＣには、大別すると、ファセット状のも
のとコーン状のものとがある。７７セツト状とコーン状
の試料を同一条件で研削、 ４゜研磨した結果、ファセ
ット状の試料では、研磨面にダイヤモンドが残存したり
、これが脱落して生じたと思われる引かき傷が観察され
た。
されるβ−８ｉＣには、大別すると、ファセット状のも
のとコーン状のものとがある。７７セツト状とコーン状
の試料を同一条件で研削、 ４゜研磨した結果、ファセ
ット状の試料では、研磨面にダイヤモンドが残存したり
、これが脱落して生じたと思われる引かき傷が観察され
た。
従って、欠陥のない光学的な鏡面をもったＳｉＣを得る
ための化学気相析出条件は、コーン状すなわち（１１１
）配向のＳｉＣを合成する条件、すなわち析出温度Ｔ’
Ｃは１５０Ｇ’Ｃ以下、ＰＴＯｒ ｒを炉内圧力とした
場合、Ｔ ＜ ３ Ｐ ＋ １２０ｏなる条件が適して
いるが、特に低温で高圧はど適していることがわかる。
ための化学気相析出条件は、コーン状すなわち（１１１
）配向のＳｉＣを合成する条件、すなわち析出温度Ｔ’
Ｃは１５０Ｇ’Ｃ以下、ＰＴＯｒ ｒを炉内圧力とした
場合、Ｔ ＜ ３ Ｐ ＋ １２０ｏなる条件が適して
いるが、特に低温で高圧はど適していることがわかる。
［本発明の効果］
本発明によればフリーカーボンのないβ型炭化珪素を使
用するため、酸化による金型の寿命の低下が防止でき、
プレスレンズ成形用金型として好適である。コーン状の
（１１１）面配向を示すβ型炭化珪素であるため、金型
を加工する際、ダイアモンドが結晶粒の間に入り込むこ
となく、平滑な面が得られ、精度の高い研磨不要のガラ
スレンズを容易に製造することができる。
用するため、酸化による金型の寿命の低下が防止でき、
プレスレンズ成形用金型として好適である。コーン状の
（１１１）面配向を示すβ型炭化珪素であるため、金型
を加工する際、ダイアモンドが結晶粒の間に入り込むこ
となく、平滑な面が得られ、精度の高い研磨不要のガラ
スレンズを容易に製造することができる。
第１図は本発明を実施するための装置の説明図、第２図
は原料ガス中のΣＧ／（ΣＣ＋ΣＳｉ）と合成されたＳ
ｉＣ中のＣ／Ｓｉ、３比との関係を示すグラフ、第３図
は８９０℃大気中で４５時間処理後のＳｉＣのＣ／Ｓ
ｉ比との関係を示すグラフである。
は原料ガス中のΣＧ／（ΣＣ＋ΣＳｉ）と合成されたＳ
ｉＣ中のＣ／Ｓｉ、３比との関係を示すグラフ、第３図
は８９０℃大気中で４５時間処理後のＳｉＣのＣ／Ｓ
ｉ比との関係を示すグラフである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ モールド表面にフリーカーボンを含まず、かつ（１
１１）面配向性を有するβ−型炭化珪素を形成させてな
るガラスレンズ成形のための金型。 ２ 化学気相析出法によりモールド表面に炭化珪素層を
析出形成させる方法において、原料ガス中のＣ、Ｓｉの
モル分率をそれぞれΣＣ、ΣＳｉとした場合、ΣＣ／（
ΣＣ＋ΣＳｉ）が、０．４７以下の範囲で合成すること
を特徴とするガラスレンズ成形のための金型の製造方法
。 ３ ΣＣ／（ΣＣ＋ΣＳｉ）が０．４７〜０．４１であ
る特許請求の範囲第２項記載のガラスレンズ成形のため
の金型の製造方法。 ４ β−型炭化珪素の析出温度をＴ℃、炉内全圧力をＰ
＿Ｔ＿ｏ＿ｒ＿ｒとした場合、Ｔ＜１５００で、かつＴ
＜３Ｐ＋１２００なる条件のもとで気相析出法により、
合成することを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の
ガラスレンズ形成のための金型の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60090887A JPS61251528A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | ガラスレンズ成形のための金型及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60090887A JPS61251528A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | ガラスレンズ成形のための金型及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61251528A true JPS61251528A (ja) | 1986-11-08 |
| JPH0146454B2 JPH0146454B2 (ja) | 1989-10-09 |
Family
ID=14010936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60090887A Granted JPS61251528A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | ガラスレンズ成形のための金型及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61251528A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63210276A (ja) * | 1987-02-26 | 1988-08-31 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | ミラー |
| JPH02267128A (ja) * | 1989-04-06 | 1990-10-31 | Olympus Optical Co Ltd | 光学素子成形用型及びその製造方法 |
| WO2007139015A1 (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-06 | Konica Minolta Opto, Inc. | 成膜方法、金型及び金型の製造方法 |
| JP2008045155A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Konica Minolta Opto Inc | 成膜装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5245613A (en) * | 1975-09-02 | 1977-04-11 | Eastman Kodak Co | Process for molding of optical glass body and body with said process |
-
1985
- 1985-04-30 JP JP60090887A patent/JPS61251528A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5245613A (en) * | 1975-09-02 | 1977-04-11 | Eastman Kodak Co | Process for molding of optical glass body and body with said process |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63210276A (ja) * | 1987-02-26 | 1988-08-31 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | ミラー |
| JPH02267128A (ja) * | 1989-04-06 | 1990-10-31 | Olympus Optical Co Ltd | 光学素子成形用型及びその製造方法 |
| WO2007139015A1 (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-06 | Konica Minolta Opto, Inc. | 成膜方法、金型及び金型の製造方法 |
| JP2008045155A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Konica Minolta Opto Inc | 成膜装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0146454B2 (ja) | 1989-10-09 |
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