JPS61121034A - 薄膜トランジスタアレイ - Google Patents

薄膜トランジスタアレイ

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JPS61121034A
JPS61121034A JP59242876A JP24287684A JPS61121034A JP S61121034 A JPS61121034 A JP S61121034A JP 59242876 A JP59242876 A JP 59242876A JP 24287684 A JP24287684 A JP 24287684A JP S61121034 A JPS61121034 A JP S61121034A
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Ichiro Yamashita
一郎 山下
Mamoru Takeda
守 竹田
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明はアクティブマトリクス方式液晶ディスプレイ
等に用いられる薄膜トランジスタ（ＴＰＴ）アレイに関
する。
従来の技術 従来のこの種のＴＦＴアレイとしては、例えば特開昭５
９−４７６２３号公報に示されるように、第５図のよう
な構成になっていた。すなわち走査−線Ｘ、〜Ｘ、　　
ヘゲート電極を、信号線Ｙ１〜ＹＮへソース電極を接続
したＴＦＴｌｌをそなえ、そのドレイン電極は絵素電極
２６に接続されている。
絵素電極と対向アース電極の間に液晶１３が挿入され独
立した絵素１４を構成する。液晶は等制約にコンデンサ
として働くが場合によってはこれに並列に補助コンデン
サが追加されることもある。
第６図忙よｆｉＴＦＴの働きを説明する。走査線Ｘ１．
Ｘ２．Ｘ３．・・・・・・には第６図に示すような選択
パルスｐ１．ｐ２．ｐ３．・・・・・・がそれぞれ印加
される。
特定の走査線例えばｘｌが選択状態のとき（他のすべて
の走査線は非選択）これに接続される一連のＴＰＴのソ
ース・ドレイン間が導通となり、それらに接続された各
絵素に、対応する信号線の電圧が印加される。ｘｌが非
選択に切り換ると上記ＴＰＴは非導通となるので上記絵
素に印加された電圧は次にｘｌが選択されるまで前回の
値を保持する。このようにＴＦＴアレイを用いた液晶デ
ィスプレイは、必要な信号電圧を正確にかつ独立に各絵
素に伝達することが出来るのでクロストークがなくコン
トラスト比の大きい表示が可能となり注目を集めている
。
発明が解決しようとする問題点 ところが、このような構成で走査線、信号線の本数が増
えるとすべてのＴＰＴを良品として作シ込む事が極めて
困難となる。と（［ＴＰＴは第７図にその断面構造を示
すようにゲート２１とソース２２、ドレイン２３間が絶
縁膜２４と半導体膜２５を介して積層されているため、
ピンホールその他工程上のトラブルによってゲートソー
ス間、あるいはゲート・ドレイン間が短絡してしまう恐
れがある。とくにゲート・ソース間短絡は、これにつな
がる走査線と信号線上のすべてのＴＰＴの動作異常を招
き、いわゆる線欠陥という重大不良をもたらす。また、
ソース電極とドレイン電極が７オトリングライの不良に
より短絡すると、そのＴＰＴにかかわる液晶セルの動作
異常すなわち点欠陥をもたらす。
本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、いくつか
のＴＰＴが不良であっても絵素欠陥（線欠陥および点欠
陥）が発生しないような構成のＴＦＴアレイを提供する
ことを目的としている。
問題点を解決するだめの手段 本発明は上記問題点を解決するため、１つの絵素当り２
つのＴＰＴをそなえ、それらのゲート電極を上記絵素を
はさんで相隣る２本の走査線にそれぞれ接続した事を特
徴とするものである。
作　　用 本発明は上記した構成によシ、１つの絵素に接続された
２つのＴＰＴのうち一方が不良であればそれを絵素ない
し走査線から切り離して他方のＴＰＴでもって絵素を駆
動することが出来るので絵素欠陥の発生確率を著しく低
減し、ＴＦＴアレイの歩留シを著しく向上できる。
従来例において単にＴＰＴを全く並列に追加する事も考
えられるが、これはどちらのＴＰＴが不良であるかを判
別することが困難である。また、１絵素当り２本の走査
線を準備して２つのＴＰＴのゲート電極を別々の走査線
に接続する構成も提案されているが、これは絵素の有効
面積（開口率）を大幅に低下させるという問題点を有す
る。
実施例 以下実施例を示す。
（実施例１） 第１図に示すように、本実施例では１つの絵素（例えば
Ｃ２１）に２つのＴＰＴ（Ｔ２１Ａと”２１Ｂ）を設け
、それらのソースは共通の信号線（Ｙｌ）に接続され、
ゲートは絵素をはさんで相隣る走査線（ｘ２およびＸ３
）Ｋそれぞれ接続され、ドレインはともに絵素（Ｃ２１
）の絵素電極に接続されている。絵素の縦方向の数をＭ
とすると走査線はＭ＋１本ある。走査線ｘ１及びｘ２に
は第５図Ｐ１の走査パルスが加えられ、以下ｘ３にはＰ
２、ｘ４にはＰ３．・・・・・・×Ｍ＋、にはＰＭが加
えられる。従っ′て一つのＴＦＴが選択されるのは周期
Ｔ毎に１回で、その選択期間は７７Ｍである。さて、再
び絵素Ｃ２１に注目する。走査線ｘ２Ｖｃ選択パルスが
入るとＴＦＴ　Ｔ２１Ａが導通となり信号線からは本来
絵素Ｃ１１に与えるべき信号（これをｖｌｌとする）が
０２１に印加される。しかし次のタイミング（Ｔ／Ｍ後
）にはＸ３からの選択パルスがＴＦＴ　Ｔ２１Ｂに印加
されてＴ２１Ｂが導通となり信号線からは本来Ｃ２１に
与えられるべき信号（これを■２１とする）が０２１　
’印加される。以後、次の周期（約１時間後）までＴ２
１Ａ　Ｉ　Ｔ２１Ｂ　　はともに非導通で、Ｃ２１は最
后に与えられた信号ｖ２１を保持する。走査線数（Ｍ＋
１）が十分大きいときは絵素Ｃ２１は実効的に信号ｖ２
１で駆動され、■１１の効果は無視出来る。
次に、もしもＴ２１　Ｂのゲートとソース間が工程不良
により短絡したとすると、これは先に述べたように線欠
陥を発生させて都合が悪い。この時は、Ｔ２１　Ｂのゲ
ートを走査線ｘ３から切り離す。切シ離す手段は、例え
ばゲート部にレーザーを照射してゲート接続部の金属を
蒸発させる方法、機械的に削る方法、あるいは化学的に
エツチングする方法などが適用出来る。第２図は本実施
例の平面構造図を示したもので、各ＴＰＴのゲートは走
査線との接続部２８において切断しゃすく形成しである
０ 上記のようにＴ　Ｆ　Ｔ　　Ｔ２１Ｂのゲートを走査線
から切り離すとＴ２１　Ｂは常に非導通となるが、絵素
Ｃ２１にはＴＦＴ　Ｔ２１Ａにより絵素Ｃ１１に対応す
る信号電圧■１１が走査線Ｘ２の選択されるタイミング
で供給され、１周期Ｔの間保持される。従ってこの場合
線欠陥は発生しないばかりでなく、絵素Ｃ２１は点欠陥
ともならず近接した絵素（Ｃ１１）の信号（ｖ、１）で
動作する。
なお、不良ＴＦＴが”２１　Ａの場合には、Ｔ２１Ａを
走査線から切り離しても絵素Ｃ２１はＴＦＴＴ２１ＢＫ
よって本来の信号ｖ２１を受けて正常に動作する事は言
うまでもない。
また第２図に示すようにドレイン２２と絵素電極２６の
接続部２９を切断し易く形成しておけば、万一、ＴＰＴ
のソース・ドレイン間が短絡しても接続部２９を切断す
ることにより絵素欠陥を救うことが出来る。
（実施例２） 第３図に本発明の他の実施例を示す。各絵素に対応する
２つのＴＰＴのソースが、絵素をはさんで相隣る２本の
信号線にそれぞれ接続されている点を除いて他の構成は
実施例１と同じである。例えば絵素Ｃ２゜を実効的に駆
動するのは、走査線ｘ３の選択パルスに同期した信号線
Ｙ３の信号である。
（実施例１では信号線Ｙ２の信号であった）。
本実施例はカラーディスプレイに対応すべく考え出され
たものである。マトリクス形ディスプレイでカラー表示
を行う場合、混色をよくするために通常三原色（Ｒ，Ｇ
、Ｂ）をインラインでなくこの例では第４図のようにず
らして配列する。本実施例では、例えば絵素Ｃ２２のＴ
ＦＴ　Ｔ２２Ｂが不良であってこれを切り離すと０２２
には本来Ｃ１１に加えられるべき信号がＴ２２Ａにより
供給される。
Ｃ１１と０２゜は第４図のような色配置においては同色
であるので０２２は最近接の同色絵素の信号を拾って動
作し、欠陥とはならない。なお、絵素Ｃ２□のＴＦＴ　
Ｔ２２Ａを不良で切り離した場合には絵素Ｃ２２は本来
の信号で正常に動作することは言うまでもない。
発明の効果 以上述べてきたように本発明は簡単な構成で、ＴＦＴア
レイの歩留りを著しく向上させる手段を提供するもので
ありその工業的、実用的価値は犬きい０
【図面の簡単な説明】
第１図および第２図はそれぞれ本発明の一実施例におけ
るＴＦＴアレイ構成図及び平面構造図、第３図は本発明
の他の実施例における構成図、第４図は第３図に対応し
た色配置図、第５図は従来のＴＦＴアレイ構成図、第６
図は走査線に印加する電圧波形の図、第７図はＴＦＴの
断面構造図である。 −”　ｌ　Ｃ１１１Ｃ１２ｆＣ２１１Ｃ２゜、・・・・
・・絵素、”　ｌ　”１１Ａ＋”１１Ｂｌ”２１ＡＩ　
　２１Ｂ・・・・・・薄膜トう：ｙジスタ（ＴＦＴ）　
　Ｘｌ、Ｘ２．Ｘ３・＝−Ｊ査線、Ｙｌ、Ｙ２．Ｙ３・
・・〜・・信号線、２１・・・・・・ゲート、２２・・
・・・・ドレイン、２３・・・・・・ソース、２６・・
・・・・絵素電極。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名ＸＩ
、に２　　−　　　　＊＋ａ Ｙ１　・　Ｙ２　　・　　　　　　イ↓千（ネ象χ　　
　　　　　Ｙ２　　　　　　　　Ｙ３　−第２図 ゛２／６絞鼻禿棧 第３図 第４図 １４・・・於素 ２６　　締素電極 ×ｒ、Ｘ２．Ｘｉ、　走査、線

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）絶縁性基板の一方の面内にＭ＋１本の走査線と、
    前記走査線と直交するＮ＋１本の信号線と、これら走査
    線と信号線で囲まれたＮ×Ｍ個の領域に各１個づつ配列
    されたＮ×Ｍ個の絵素電極と、各絵素電極の１つに対応
    して２つの薄膜トランジスタが形成されており、上記２
    つの薄膜トランジスタのドレイン電極が共に対応する１
    つの絵素電極に接続され、上記２つの薄膜トランジスタ
    のゲート電極が対応する絵素電極をはさんで相隣る２本
    の走査線にそれぞれ接続され、かつ上記２つの薄膜トラ
    ンジスタのソース電極が対応する上記絵素電極をはさん
    で相隣る２本の信号線のいずれかに接続されていること
    を特徴とする薄膜トランジスタアレイ。
  2. （２）上記走査線とこれに接続された各薄膜トランジス
    タのゲート電極の接続部を熱的、化学的、電気的あるい
    は機械的手段によって必要に応じて独立に切断出来るよ
    うに構成した事を特徴とする特許請求の範囲第１項記載
    の薄膜トランジスタアレイ。
  3. （３）上記各薄膜トランジスタのドレイン電極とこれに
    接続された絵素電極の接続部を熱的、化学的、電気的あ
    るいは機械的手段によって必要に応じて独立に切断出来
    るように構成した事を特徴とする特許請求の範囲第１項
    記載の薄膜トランジスタアレイ。
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