JPS61115258A - 光磁気記録用媒体 - Google Patents
光磁気記録用媒体Info
- Publication number
- JPS61115258A JPS61115258A JP59235086A JP23508684A JPS61115258A JP S61115258 A JPS61115258 A JP S61115258A JP 59235086 A JP59235086 A JP 59235086A JP 23508684 A JP23508684 A JP 23508684A JP S61115258 A JPS61115258 A JP S61115258A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- film
- recording
- recording layer
- amorphous film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は光磁気記録用媒体に関し、特に希土類と遷移金
属とを主成分とする非晶質膜を記録層とした媒体に関す
る。
属とを主成分とする非晶質膜を記録層とした媒体に関す
る。
（従来の技術）
光磁気記録用媒体の最っとも有望なものの１つとして、
希土類−遷移金属系合金の非晶質膜（以下ＲＥ−ＴＭ膜
という）を用いたものが知られ、例えば、特開昭５２−
３１７０３号公報或いは特開昭５２−１０９１９３号公
報などに開示されている。
希土類−遷移金属系合金の非晶質膜（以下ＲＥ−ＴＭ膜
という）を用いたものが知られ、例えば、特開昭５２−
３１７０３号公報或いは特開昭５２−１０９１９３号公
報などに開示されている。
ＲＥ−ＴＭ膜は、具体的にはＲＥとしてＧｄ 、 Ｔｂ
。
。
Ｄｙ等、ＴＭとしてはＦｅまたはＣｏを主成分とする。
この膜は膜面に対して垂直な磁化をもつ、いわゆる垂直
磁化膜である。ＲＥ−ＴＭ膜を用いた光磁気記録用媒体
は、１μｍφ程度に絞られたレーザビームおよび外部磁
界を用いた熱磁気書込方式によりて１０８ｂ ｉ ｔ／
ｃｍ２というきわめて高密度な記録が可能、また原理的
には無限回に近い消去、再書込ができるという非常にす
ぐれた特長を有する。
磁化膜である。ＲＥ−ＴＭ膜を用いた光磁気記録用媒体
は、１μｍφ程度に絞られたレーザビームおよび外部磁
界を用いた熱磁気書込方式によりて１０８ｂ ｉ ｔ／
ｃｍ２というきわめて高密度な記録が可能、また原理的
には無限回に近い消去、再書込ができるという非常にす
ぐれた特長を有する。
（発明が解決しようとする問題点）
しかし、ＲＥ−ＴＭ膜は非常に耐食性が悪いという重大
な欠陥をもつ。ＲＥ−ＴＭ膜に関する腐蝕として第１に
孔蝕の発生発達があげられる。特にＲＥ−鉄系膜におい
ては短期間のうちに進行する。しかし、この種の腐蝕は
膜表面に保護膜を形成することによって防止することが
できる。この場合の保護膜としては、各種酸化物、チッ
化物等が使用でき材料の選択幅は広い。しかし、第２の
腐蝕として希土類の選択酸化の問題がある。これは希土
類が遷移金属元素に比べ著しく酸化され易いため、選択
的に酸化され、組成に変動がおこり、種々の磁気特性の
変化として現われるものである。
な欠陥をもつ。ＲＥ−ＴＭ膜に関する腐蝕として第１に
孔蝕の発生発達があげられる。特にＲＥ−鉄系膜におい
ては短期間のうちに進行する。しかし、この種の腐蝕は
膜表面に保護膜を形成することによって防止することが
できる。この場合の保護膜としては、各種酸化物、チッ
化物等が使用でき材料の選択幅は広い。しかし、第２の
腐蝕として希土類の選択酸化の問題がある。これは希土
類が遷移金属元素に比べ著しく酸化され易いため、選択
的に酸化され、組成に変動がおこり、種々の磁気特性の
変化として現われるものである。
特に保磁力の変化が著しい。チッ化物はこの選択酸化防
止にも有効とされているが、このチッ化物膜は反応性ス
パッタ法で形成する必要がちシ製造装置面での制約が多
い。
止にも有効とされているが、このチッ化物膜は反応性ス
パッタ法で形成する必要がちシ製造装置面での制約が多
い。
従って、この発明の目的は、耐蝕性にすぐれた光磁気記
録用媒体を提供することにあり、さらには、比較的制約
の少ないス・ぐツタ法や真空蒸着法などで形成できる媒
体を提供することにある。
録用媒体を提供することにあり、さらには、比較的制約
の少ないス・ぐツタ法や真空蒸着法などで形成できる媒
体を提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
この発明はＲＥ−ＴＭ系合金（但し、ＲＦ：、は一種類
以上の希土類元素、ＴＭは一種類以上の遷移元素）の非
晶質膜を記録層とした光磁気記録用媒体に関し、その記
録層上にＴｉ 、 ＣｒおよびＡｔから選ばれた１つ以
上の金属の層（以下金属保護膜層という）を最上の表面
層として被着したものである。
以上の希土類元素、ＴＭは一種類以上の遷移元素）の非
晶質膜を記録層とした光磁気記録用媒体に関し、その記
録層上にＴｉ 、 ＣｒおよびＡｔから選ばれた１つ以
上の金属の層（以下金属保護膜層という）を最上の表面
層として被着したものである。
（作用）
この発明の金属保護層は酸素のｒワタとなって記録層へ
の酸素の侵入を防止し、且つその表面に不働態膜を作る
ことによってｒワタ作用の低下を防止するものと思われ
、後述の如く、記録層の組成変化が大幅に改善され且つ
孔蝕の発生も防止される。
の酸素の侵入を防止し、且つその表面に不働態膜を作る
ことによってｒワタ作用の低下を防止するものと思われ
、後述の如く、記録層の組成変化が大幅に改善され且つ
孔蝕の発生も防止される。
（実施例）
図は本発明の一実施例を示す断面略図である。
図において、１は基板で、この実施例では十分平滑で且
つ透明な厚さ１ｍのガラス基板を用いたが樹脂基板を用
いてもよい。この基板１の上側に記録層２を設ける。こ
の記録層としてはＴｂＦｅの非晶質膜を用いた。膜厚は
６０ ｎｍとした。さらにこの非晶質膜２４）に厚さ１
００ ｎｍの金属保護膜３を最上の表面層として形成す
る。金属保護膜３は、Ｔｉ 。
つ透明な厚さ１ｍのガラス基板を用いたが樹脂基板を用
いてもよい。この基板１の上側に記録層２を設ける。こ
の記録層としてはＴｂＦｅの非晶質膜を用いた。膜厚は
６０ ｎｍとした。さらにこの非晶質膜２４）に厚さ１
００ ｎｍの金属保護膜３を最上の表面層として形成す
る。金属保護膜３は、Ｔｉ 。
Ｃｒもしくはｋｌ又はそれらの合金である。
次の表は、非晶質膜２としてＴｂ１Ｊツチ（磁化曲線に
関して）のＴｂＦｅ膜を用い、金属保護膜３としてＴｉ
、 Ｃｒ 、 ＡＬの１つを用いた場合の実施例（、
）〜（ｃ）について、１２０℃ベーク炉中に保存したと
きの保磁力ＨＣ変化（初期値ＨＣＯ）を示したものであ
り、選択酸化が殆んど発生していないことを推察するこ
とができる。
関して）のＴｂＦｅ膜を用い、金属保護膜３としてＴｉ
、 Ｃｒ 、 ＡＬの１つを用いた場合の実施例（、
）〜（ｃ）について、１２０℃ベーク炉中に保存したと
きの保磁力ＨＣ変化（初期値ＨＣＯ）を示したものであ
り、選択酸化が殆んど発生していないことを推察するこ
とができる。
すなわち、この表では、Ｔｂ１Ｊツチの非晶質膜２を記
録層として用いているため、Ｔｂの選択酸化がおこると
、Ｈｃが増大した後、Ｆｅリッチの反転した磁化曲線を
示すようになり、Ｈｃが減少しはじめるはずであるが、
実施例（、）〜（ｃ）においては、２０時間程度のエー
ジング時間では、保磁力Ｈｃの変化が殆んどなく、選択
酸化が発生していないことが推察される。
録層として用いているため、Ｔｂの選択酸化がおこると
、Ｈｃが増大した後、Ｆｅリッチの反転した磁化曲線を
示すようになり、Ｈｃが減少しはじめるはずであるが、
実施例（、）〜（ｃ）においては、２０時間程度のエー
ジング時間では、保磁力Ｈｃの変化が殆んどなく、選択
酸化が発生していないことが推察される。
前記表には比較例（ｄ）〜（ｆ）を示している。
比較例（ｄ）は保護膜がない場合であり、１２０℃５時
間後には比Ｈｃ／）Ｉｃｏが４．５となシ、２０時間後
には磁化曲線がＦｅ リッチとなった。また比較例（、
）は５ｉ０２膜を用いた場合であシ、保磁力の変化は大
きく、これは成膜時に非晶質膜に侵入した酸素に基づく
ものと思われる。比較例（ｆ）は、金属保護層としてＮ
ｉ層を形成した場合であるが、保磁力Ｈｃの変化は大き
く、選択酸化が起こっていることがわかる。
間後には比Ｈｃ／）Ｉｃｏが４．５となシ、２０時間後
には磁化曲線がＦｅ リッチとなった。また比較例（、
）は５ｉ０２膜を用いた場合であシ、保磁力の変化は大
きく、これは成膜時に非晶質膜に侵入した酸素に基づく
ものと思われる。比較例（ｆ）は、金属保護層としてＮ
ｉ層を形成した場合であるが、保磁力Ｈｃの変化は大き
く、選択酸化が起こっていることがわかる。
また、前記表の実施例（、）〜（ｃ）のものは、腐蝕に
対しても強く、たとえばＮａＣＬ水溶液への浸漬、８５
℃８５チ相対湿度雰囲気での実験において、孔蝕は全く
発生せず、磁気特性、光磁気特性の変化も全く見られな
かった。
対しても強く、たとえばＮａＣＬ水溶液への浸漬、８５
℃８５チ相対湿度雰囲気での実験において、孔蝕は全く
発生せず、磁気特性、光磁気特性の変化も全く見られな
かった。
なお、これらの実施例（ａ）〜（Ｃ）のものについては
、１０ｍＷ以下の半導体レーデ光を用いて１μ３以下の
書込時間で記録書込みを行って約１μｍφ以下の微小記
録を得、また１、 ＯＯガロ以上の消去及び再書込みの
反復に耐えることを確認した。
、１０ｍＷ以下の半導体レーデ光を用いて１μ３以下の
書込時間で記録書込みを行って約１μｍφ以下の微小記
録を得、また１、 ＯＯガロ以上の消去及び再書込みの
反復に耐えることを確認した。
（発明の効果）
上述したところから明らかなように本発明による光磁気
記録用媒体は従来のこの種の記録用媒体よシも耐蝕性に
すぐれており、また、書込み、消去の反復性を著しく増
大し得、高密度記録が可能となシ記録感度が良く、シか
も記録の安全性が良いという利点を有し、金属保護層は
形成手段としてス・９ツタ法、真空蒸着法等適宜の膜形
成方法で容易に形成でき、形成方法に対する制約が少な
り （という利点を有する。
記録用媒体は従来のこの種の記録用媒体よシも耐蝕性に
すぐれており、また、書込み、消去の反復性を著しく増
大し得、高密度記録が可能となシ記録感度が良く、シか
も記録の安全性が良いという利点を有し、金属保護層は
形成手段としてス・９ツタ法、真空蒸着法等適宜の膜形
成方法で容易に形成でき、形成方法に対する制約が少な
り （という利点を有する。
図は本発明の一実施例の構成を示す断面図である。
１・・・基板、２・・・記録層として用いる非晶質膜、
３・・・金属保護膜。 特許出願人 沖電気工業株式会社 伊 藤 彰 義
３・・・金属保護膜。 特許出願人 沖電気工業株式会社 伊 藤 彰 義
Claims (1)
- ＲＥを希土類元素から選ばれた一種以上の元素とし且つ
ＴＭを遷移金属元素から選ばれた一種以上の元素とし、
ＲＥ−ＴＭ系合金の非晶質膜を記録層とした光磁気記録
用媒体において、Ｔｉ、ＣｒおよびＡｌから選ばれた一
種類以上の金属からなる層が前記非晶質膜上に表面層と
して被着されていることを特徴とした光磁気記録用媒体
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59235086A JPS61115258A (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 | 光磁気記録用媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59235086A JPS61115258A (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 | 光磁気記録用媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61115258A true JPS61115258A (ja) | 1986-06-02 |
Family
ID=16980857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59235086A Pending JPS61115258A (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 | 光磁気記録用媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61115258A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0359114A2 (en) * | 1988-09-13 | 1990-03-21 | Teijin Limited | Magneto-optical recording medium |
-
1984
- 1984-11-09 JP JP59235086A patent/JPS61115258A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0359114A2 (en) * | 1988-09-13 | 1990-03-21 | Teijin Limited | Magneto-optical recording medium |
| US5633746A (en) * | 1988-09-13 | 1997-05-27 | Teijin Limited | Magneto-optical recording medium |
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