JPS6035405A - 銅伝導体組成物 - Google Patents
銅伝導体組成物Info
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
- H01C17/28—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for applying terminals
- H01C17/281—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for applying terminals by thick film techniques
- H01C17/283—Precursor compositions therefor, e.g. pastes, inks, glass frits
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔商業上の技術分野〕
本発明は厚膜伝導体組成物、そして特に銅含有伝導体組
成物に関する。
成物に関する。
厚膜伝導体は混成マイクロ回路および抵抗ネットワーク
のための種々の受動的および能動的装置の接続手段とし
て広く使用されている。一般的伝導体としての使用はあ
る釉の実際使用上の属性、例えば伝導性1はんだ性%は
んだ洩れ抵抗性、他の回路成分との共存性および広範な
条件下での処理性を要求する。厚膜伝導体の有用性に固
有のものとしては組成物中の物質のコストである。性能
特性を有意に変化させることなくコス)?低下させるこ
とは極めて有利である。
のための種々の受動的および能動的装置の接続手段とし
て広く使用されている。一般的伝導体としての使用はあ
る釉の実際使用上の属性、例えば伝導性1はんだ性%は
んだ洩れ抵抗性、他の回路成分との共存性および広範な
条件下での処理性を要求する。厚膜伝導体の有用性に固
有のものとしては組成物中の物質のコストである。性能
特性を有意に変化させることなくコス)?低下させるこ
とは極めて有利である。
厚膜伝導体は伝導体金属と無機結合剤とよりなっている
が、これらは共に微細分割形態でありそして有機媒体中
に分散されている。伝導性金鵡は通常は金、パラジウム
、銀、白金またはそれらの混合物および合金であり、そ
の選択はめられている性能特性、例えば抵抗率、はんだ
性、はんだ洩れ抵抗性、移行抵抗、!&着性その他の特
定の組合せに依存する。
が、これらは共に微細分割形態でありそして有機媒体中
に分散されている。伝導性金鵡は通常は金、パラジウム
、銀、白金またはそれらの混合物および合金であり、そ
の選択はめられている性能特性、例えば抵抗率、はんだ
性、はんだ洩れ抵抗性、移行抵抗、!&着性その他の特
定の組合せに依存する。
この厚膜技術は真空蒸発′1.たけスパタリングによる
粒子の沈着を包含する薄膜技術とは対照をなしている。
粒子の沈着を包含する薄膜技術とは対照をなしている。
厚膜技術は「Handbook ofMateria’
ls and Processes for Fi1θ
ctronicsJi12章(1970年版)中に論じ
られている。
ls and Processes for Fi1θ
ctronicsJi12章(1970年版)中に論じ
られている。
貴金属がその価格の実質的変動金堂ける現在の経済的状
況においては、事業的観点からは、厚膜伝導体組成物中
の伝導性金楓として一層安価な卑金属で置換することは
特に魅力的である。
況においては、事業的観点からは、厚膜伝導体組成物中
の伝導性金楓として一層安価な卑金属で置換することは
特に魅力的である。
数棟の卑金属が提案されそして糧々の成功をもって厚膜
伝導体に対する伝導性相として使用されている。その中
で最も重要なものは銅である。しかしながら空気中で加
熱された場合の銅金楓の反応性の故に、銅含有厚膜伝導
体は一般に非酸化性雰囲気例えば窒素中で焼成される。
伝導体に対する伝導性相として使用されている。その中
で最も重要なものは銅である。しかしながら空気中で加
熱された場合の銅金楓の反応性の故に、銅含有厚膜伝導
体は一般に非酸化性雰囲気例えば窒素中で焼成される。
焼成は一般に850〜1050℃で実施される。900
〜1050℃の温度が好ましい。更に銅含有層の酸化を
除外させるためには抵抗または訪電物質のすべての関連
機能層もまた非酸化性雰囲気中で焼成されることが通常
必要である。
〜1050℃の温度が好ましい。更に銅含有層の酸化を
除外させるためには抵抗または訪電物質のすべての関連
機能層もまた非酸化性雰囲気中で焼成されることが通常
必要である。
銅含有伝導体の一つの非常に重要な潜在的用途は通常は
RuO2およびルテニウム含有ピロクロル物質のような
ルテニウム酸化物ベース材料から製造される厚膜抵抗の
端子に対するものである。しかしながら至適性能特性を
得るためには、そのようなルテニウムベース抵抗体は空
気中で焼成されなくてはならない。それらを窒素中で焼
成した場合には現在利用可能なルテニウムベース抵抗系
は往々にして良好な電気的性質を示さない。従ってルテ
ニウムベース抵抗組成物全最初に空気中で焼成させ、そ
して次いで銅端子および伝導体を適用しそしてこれを非
酸化性雰囲気例えは窒素中で焼成させる二重雰囲気焼成
を使用するのが有利である。この技術はルテニウムベー
ス抵抗の優れた電気的性質と銅伝導体の低コストの組合
せを可能ならしめる。
RuO2およびルテニウム含有ピロクロル物質のような
ルテニウム酸化物ベース材料から製造される厚膜抵抗の
端子に対するものである。しかしながら至適性能特性を
得るためには、そのようなルテニウムベース抵抗体は空
気中で焼成されなくてはならない。それらを窒素中で焼
成した場合には現在利用可能なルテニウムベース抵抗系
は往々にして良好な電気的性質を示さない。従ってルテ
ニウムベース抵抗組成物全最初に空気中で焼成させ、そ
して次いで銅端子および伝導体を適用しそしてこれを非
酸化性雰囲気例えは窒素中で焼成させる二重雰囲気焼成
を使用するのが有利である。この技術はルテニウムベー
ス抵抗の優れた電気的性質と銅伝導体の低コストの組合
せを可能ならしめる。
銅含有厚膜伝導体は当技術分野では勿論既知である。そ
れらは事実広範な種々の適用に対して多くの種々の方法
で処方されている。例えば米国特許第2,993,81
5号明細書は有機媒体中に分散された5〜50重量部の
銅または酸化銅および1重−ti−剖、の還元抵抗性ガ
ラスフリットの層をスクリーン印刷することによる耐熱
性基材上での印刷回路用銅伝導体層の形成方法に関する
ものである。この伝導体層は適用されたは−スト全50
0〜1050℃で2段階で焼成させることにより形成さ
れる。第1焼成段階においては、ガラスを酸化性雰囲気
中で一部焼結させ、そして第2段階においてガラス全還
元性雰囲気中で完全に焼結させる。他方、米国特許第3
.6G532号明細書は酸化カドミウムを含有する硼珪
酸鉛ガラス結合剤を使用した有機重合体結合剤中に分散
せしめられた銅およびガラスフリツ)k含有するセラミ
ック基材上で使用するための伝導性インクに関する。焼
成は820〜850℃の非酸化性雰囲気中で実施されて
いる。
れらは事実広範な種々の適用に対して多くの種々の方法
で処方されている。例えば米国特許第2,993,81
5号明細書は有機媒体中に分散された5〜50重量部の
銅または酸化銅および1重−ti−剖、の還元抵抗性ガ
ラスフリットの層をスクリーン印刷することによる耐熱
性基材上での印刷回路用銅伝導体層の形成方法に関する
ものである。この伝導体層は適用されたは−スト全50
0〜1050℃で2段階で焼成させることにより形成さ
れる。第1焼成段階においては、ガラスを酸化性雰囲気
中で一部焼結させ、そして第2段階においてガラス全還
元性雰囲気中で完全に焼結させる。他方、米国特許第3
.6G532号明細書は酸化カドミウムを含有する硼珪
酸鉛ガラス結合剤を使用した有機重合体結合剤中に分散
せしめられた銅およびガラスフリツ)k含有するセラミ
ック基材上で使用するための伝導性インクに関する。焼
成は820〜850℃の非酸化性雰囲気中で実施されて
いる。
米国特許第3,988.6117号明細書は無溶媒重合
体状結合剤中に分散された表面酸化物除去処理したCu
粒子を包含する伝導体組成物を開示している。この特許
は酸化物不含cu粉末のみに関するものであシ、この文
献の伝導体組成物は非常に高い重合体濃度を含有してい
る。
体状結合剤中に分散された表面酸化物除去処理したCu
粒子を包含する伝導体組成物を開示している。この特許
は酸化物不含cu粉末のみに関するものであシ、この文
献の伝導体組成物は非常に高い重合体濃度を含有してい
る。
米国特許第4,070,518号明細書は特に誘電体基
材上で使用するためのエチルセルロースヲ含有しつる有
機媒体中に分散せしめた85〜975〜97重量%末お
よび5〜15重量%のCaおよびB1不含アルミノ珪酸
鉛ガラスフリットを包含する伝導体組成物に関する。こ
の特許は銅粒子上のすべての酸化物コーティングまたは
銅量に対する組成物中の全酸化物の関係に関しては沈黙
している。この特許はまた、それと共に使用される有機
媒体の詳細に関しては全く沈黙している。
材上で使用するためのエチルセルロースヲ含有しつる有
機媒体中に分散せしめた85〜975〜97重量%末お
よび5〜15重量%のCaおよびB1不含アルミノ珪酸
鉛ガラスフリットを包含する伝導体組成物に関する。こ
の特許は銅粒子上のすべての酸化物コーティングまたは
銅量に対する組成物中の全酸化物の関係に関しては沈黙
している。この特許はまた、それと共に使用される有機
媒体の詳細に関しては全く沈黙している。
米国特許第4,072,771号明細書は前酸化させて
CUOの表面層全生成せしめfCCu粒子とガラスフリ
ットと全15〜25重量係の有機媒体に分散させてなる
伝導体組成物に関する。Ou粗粒子酸化物コーティング
は全固体分(Ou%酸化物およびガラス)の1〜5重量
係全構成する。この特許は酸化物コーティング以外の手
段によるCuOの添加に関しては沈黙しておりそしてそ
れと共に使用される有機媒体の組成に関する重要性を全
く認識していない。
CUOの表面層全生成せしめfCCu粒子とガラスフリ
ットと全15〜25重量係の有機媒体に分散させてなる
伝導体組成物に関する。Ou粗粒子酸化物コーティング
は全固体分(Ou%酸化物およびガラス)の1〜5重量
係全構成する。この特許は酸化物コーティング以外の手
段によるCuOの添加に関しては沈黙しておりそしてそ
れと共に使用される有機媒体の組成に関する重要性を全
く認識していない。
米国特許第4,172,919号明細舎は86〜97重
fl′%のCU粉末、1〜7重量係のOuOおよび1〜
7重1ft%のガラスフリット(これは少くとも75重
月−係のBi2O3含有11′を有する)全10〜60
重量係の不活性有機媒体中に分散せしめてなる伝導体即
成物に関する。この特許は銅粒子上のすべての酸化物コ
ーティングの重要性ならびに銅の量に対する全酸化物の
関係に関してはにこの特許は有機媒体に関しては一般的
通則を教示しているにすぎない。
fl′%のCU粉末、1〜7重量係のOuOおよび1〜
7重1ft%のガラスフリット(これは少くとも75重
月−係のBi2O3含有11′を有する)全10〜60
重量係の不活性有機媒体中に分散せしめてなる伝導体即
成物に関する。この特許は銅粒子上のすべての酸化物コ
ーティングの重要性ならびに銅の量に対する全酸化物の
関係に関してはにこの特許は有機媒体に関しては一般的
通則を教示しているにすぎない。
ヨーロッパ特許出願第[1[]661167号明細書に
は揮発性溶媒中に溶解させた2o〜40重量係のメタク
リレート樹脂金貧有する有機媒体中に65〜80重量部
のcu粉末、0〜6重量部のCuOおよび6〜8重量部
のB1不含低融点ガラスを分散させてなる伝導体組成物
を開示している。
は揮発性溶媒中に溶解させた2o〜40重量係のメタク
リレート樹脂金貧有する有機媒体中に65〜80重量部
のcu粉末、0〜6重量部のCuOおよび6〜8重量部
のB1不含低融点ガラスを分散させてなる伝導体組成物
を開示している。
この出願は銅粒子上のすべての酸化物コーティングの重
要性ならびに全酸化物と銅量の間の関係に関して全く触
れていない。この特許中の有機媒体は非常に高い量の重
θ体も含有している。
要性ならびに全酸化物と銅量の間の関係に関して全く触
れていない。この特許中の有機媒体は非常に高い量の重
θ体も含有している。
前記開示のどれもガラスフリットの1成分としてのOu
Ok包含させることの適当性全認識していない。
Ok包含させることの適当性全認識していない。
本発明はその第一義的態様において
(al 酸化銅コーティングとして少くとも0,2重量
%の酸素全含不しそして0,5〜10μmのサイズ範囲
、1〜5μmの平均粒子サイズおよび1m2/7す、下
の表面積/重j′比を有する金属銅、(blo、1〜1
0μのサイズ範囲および0.5〜5μmの平均粒子サイ
ズを有しそして酸化銅粒子の酸化物でコーティングされ
た銅金属粒子に対する重量楔力”0〜0・157あるよ
うな酸イヒ銅・(cl 300〜700℃の軟化点を有
し一1〜10μmのサイズ範囲および1〜5μmの平均
粒子サイズkmしそして結合剤中の酸化銅の銅金属粒子
上の酸化銅に対する重量比が0〜0.5である無機結合
剤 の微細分割粒子の混合物をすべて (al 全絹底物基準で1.0重量%全越えない樹脂金
含有する有機媒体 中に分散させたものを包含しそして(al、(blおよ
び(clからの酸化銅の合計量がCal中の酸化物コー
ティングされた銅金属の4〜15重量係でおる、印刷可
能な厚膜伝導体組成物に関する。
%の酸素全含不しそして0,5〜10μmのサイズ範囲
、1〜5μmの平均粒子サイズおよび1m2/7す、下
の表面積/重j′比を有する金属銅、(blo、1〜1
0μのサイズ範囲および0.5〜5μmの平均粒子サイ
ズを有しそして酸化銅粒子の酸化物でコーティングされ
た銅金属粒子に対する重量楔力”0〜0・157あるよ
うな酸イヒ銅・(cl 300〜700℃の軟化点を有
し一1〜10μmのサイズ範囲および1〜5μmの平均
粒子サイズkmしそして結合剤中の酸化銅の銅金属粒子
上の酸化銅に対する重量比が0〜0.5である無機結合
剤 の微細分割粒子の混合物をすべて (al 全絹底物基準で1.0重量%全越えない樹脂金
含有する有機媒体 中に分散させたものを包含しそして(al、(blおよ
び(clからの酸化銅の合計量がCal中の酸化物コー
ティングされた銅金属の4〜15重量係でおる、印刷可
能な厚膜伝導体組成物に関する。
第2の態様において、本発明は有機媒体の蒸発、酸化銅
の分解および無機結合剤と銅との焼結を行わせるために
焼成された前記伝導体組成物のパターンフィルムに!す
るセラミック基材を包含する伝導体エレメントに関する
。
の分解および無機結合剤と銅との焼結を行わせるために
焼成された前記伝導体組成物のパターンフィルムに!す
るセラミック基材を包含する伝導体エレメントに関する
。
更にその他の態様において、本発明は端子つき抵抗体の
製造にあたり下記の一連の段階すなわち (1) セラミック基材(陶器、エナメルコーティング
金属基材金倉む)に抵抗体物質と無機結合剤との微細分
割粒子の有機媒体中の混合物全包含する厚?膜抵抗体に
一ス)/Ik適用すること、【(21有機媒体の蒸発お
よび無機結合剤の焼結を行わせるために酸化性雰囲気中
で抵抗体は−スト層を焼成させること、 (3) この焼成された抵抗体層に前記伝導体組成物の
/ξメタ一層を適用すること、そして(4)非酸化性雰
囲気中でこのパターン伝導体層を焼成させて有機媒体の
蒸発、酸化銅の分解および無機結合剤と銅の焼結を行わ
せることを包含する方法に関する。
製造にあたり下記の一連の段階すなわち (1) セラミック基材(陶器、エナメルコーティング
金属基材金倉む)に抵抗体物質と無機結合剤との微細分
割粒子の有機媒体中の混合物全包含する厚?膜抵抗体に
一ス)/Ik適用すること、【(21有機媒体の蒸発お
よび無機結合剤の焼結を行わせるために酸化性雰囲気中
で抵抗体は−スト層を焼成させること、 (3) この焼成された抵抗体層に前記伝導体組成物の
/ξメタ一層を適用すること、そして(4)非酸化性雰
囲気中でこのパターン伝導体層を焼成させて有機媒体の
蒸発、酸化銅の分解および無機結合剤と銅の焼結を行わ
せることを包含する方法に関する。
A、導電性相
本発明の組成物中で使用できる銅粒子の組成および構造
は共に非常に重要である。
は共に非常に重要である。
特に鋼中のある柚の不純物の存在は電気伝導性全低下さ
せそして銅と無機結合剤の焼結を阻害しうるが故に、実
際問題として銅をその上の酸化物層を除いては少くとも
重′M−基準で約99.5係純度または好壕しくに更に
それ以上であることが本質的である。このことは特に重
要である。
せそして銅と無機結合剤の焼結を阻害しうるが故に、実
際問題として銅をその上の酸化物層を除いては少くとも
重′M−基準で約99.5係純度または好壕しくに更に
それ以上であることが本質的である。このことは特に重
要である。
その理由は本発明の組成物の場合には銅の融点(1’0
85℃)よりほとんど50%低い非常に低い焼成温度で
銅粒子の焼結を得ることが必要だからである。500〜
700℃の焼成温度が好ましい。
85℃)よりほとんど50%低い非常に低い焼成温度で
銅粒子の焼結を得ることが必要だからである。500〜
700℃の焼成温度が好ましい。
粒子構造に関しては、粒子サイズおよび粒子形状が共に
非常に重要である。
非常に重要である。
適当な焼結性を得るためには、銅粒子が0.5〜10μ
Iffの粒子サイズ、そして1〜5μmの平均粒子サイ
ズを有していることが本質的である。
Iffの粒子サイズ、そして1〜5μmの平均粒子サイ
ズを有していることが本質的である。
銅粒子が約1μm以下の場合には、粒子表面積が高くな
り過ぎる。これは適当な印刷粘度生成のために過剰量の
有機媒体を使用することを必要ならしめる。更に大量の
有機媒体を燃焼させるのは非常に困難である。他方、銅
粒子のサイズが約10μm以上の場合には、粒子は低い
焼成温度では充分に焼結せず、そして従って伝導体層は
セラミック基材または抵抗体層のどちらにも光分には接
着しない。゛そのような粗大な粒子はまた劣った印刷特
性も生せしめる。これらの同一の理由の故に、これらの
広い許容しうる粒子サイズ限度内でその平均粒子サイズ
が1〜5μmであることも必要である。焼成フィルム中
で史により艮好な性質を達成するためには2〜4μmの
平均銅粒子サイズが好ましい。
り過ぎる。これは適当な印刷粘度生成のために過剰量の
有機媒体を使用することを必要ならしめる。更に大量の
有機媒体を燃焼させるのは非常に困難である。他方、銅
粒子のサイズが約10μm以上の場合には、粒子は低い
焼成温度では充分に焼結せず、そして従って伝導体層は
セラミック基材または抵抗体層のどちらにも光分には接
着しない。゛そのような粗大な粒子はまた劣った印刷特
性も生せしめる。これらの同一の理由の故に、これらの
広い許容しうる粒子サイズ限度内でその平均粒子サイズ
が1〜5μmであることも必要である。焼成フィルム中
で史により艮好な性質を達成するためには2〜4μmの
平均銅粒子サイズが好ましい。
本発明に使用される銅粒子が実質的程度の球形含有して
いることもまた本質的である。すなわちそれらは約1.
0 m2/f以下の表面積−重量比を有していなくては
ならない。0.8m2/Vまたはそれ以下の比が好まし
く、そして0.2〜0.5m2/2は特に好丑しい実際
的最小範囲でおる。
いることもまた本質的である。すなわちそれらは約1.
0 m2/f以下の表面積−重量比を有していなくては
ならない。0.8m2/Vまたはそれ以下の比が好まし
く、そして0.2〜0.5m2/2は特に好丑しい実際
的最小範囲でおる。
2μmサイズ粒子に対する最低の可能な衣面槓−重量比
は完全球体に対しては約0.50 m27tである。4
μサイズの球形粒子に対しては、最低可能表面積−電量
比は約0. ’15 m2/lでおる。
は完全球体に対しては約0.50 m27tである。4
μサイズの球形粒子に対しては、最低可能表面積−電量
比は約0. ’15 m2/lでおる。
しかし実際問題としてそのような完全な球体は得ること
ができない。
ができない。
前記の組成物および構造的基準に加えて、銅粒子が少く
とも一部は酸化鋼層でコーティングされていることが肝
少である。銅酸化物コーティングがコーティングされた
銅粒子の酸化銅重量の少くとも2%?:m成しているこ
とが好ましいが、酸化銅コーティングの量が更により高
く例えば4〜10重量係であることが更により好ましい
。しかしながら酸化銅コーティングが酸化物でコーティ
ングされた粒子の約15重量係を越え女いことが本質的
である。約15重量係以上の酸化物の場合には、それを
使用して製造された端子ははんだづけがより困難とが9
そして溶融はんだ中に反復含浸させた場合溝れに反撥す
る傾向がある。
とも一部は酸化鋼層でコーティングされていることが肝
少である。銅酸化物コーティングがコーティングされた
銅粒子の酸化銅重量の少くとも2%?:m成しているこ
とが好ましいが、酸化銅コーティングの量が更により高
く例えば4〜10重量係であることが更により好ましい
。しかしながら酸化銅コーティングが酸化物でコーティ
ングされた粒子の約15重量係を越え女いことが本質的
である。約15重量係以上の酸化物の場合には、それを
使用して製造された端子ははんだづけがより困難とが9
そして溶融はんだ中に反復含浸させた場合溝れに反撥す
る傾向がある。
きれいな金属表面は高い表面エネルギーを有しており、
これはより低いエネルギー状態に向って強い勾配を与え
る結果となることがよく知られている。そのような表面
エネルギーは例えば酸素のような気体を吸着させそして
これは電気的に陽性の金也原子と強く化学的に反応して
その表面上に強く結合した酸化物層を形成させる( l
GlasS−Metal工nterfaces and
、 Bonainiカリフォルニア大学ローレンス放射
実験室報告UCRL 10611(1963))この機
構の故に、きれいにされたほとんどの金蝿表面は酸化物
の層全含有している。更に、より反応性の金蝿例えば銅
は通常そのような酸化を除外させるための特別の処理の
ない場合には実質的な酸化物コーティング金石している
。すなわちほとんどの銅粉末はそれ以上の処理の必要な
しに酸化物のコーティング金所有している。例えばほと
んどの利用可能な微細分割銅金鵬は粒子の2〜6重量係
を構成する酸化物コーティングを有している。
これはより低いエネルギー状態に向って強い勾配を与え
る結果となることがよく知られている。そのような表面
エネルギーは例えば酸素のような気体を吸着させそして
これは電気的に陽性の金也原子と強く化学的に反応して
その表面上に強く結合した酸化物層を形成させる( l
GlasS−Metal工nterfaces and
、 Bonainiカリフォルニア大学ローレンス放射
実験室報告UCRL 10611(1963))この機
構の故に、きれいにされたほとんどの金蝿表面は酸化物
の層全含有している。更に、より反応性の金蝿例えば銅
は通常そのような酸化を除外させるための特別の処理の
ない場合には実質的な酸化物コーティング金石している
。すなわちほとんどの銅粉末はそれ以上の処理の必要な
しに酸化物のコーティング金所有している。例えばほと
んどの利用可能な微細分割銅金鵬は粒子の2〜6重量係
を構成する酸化物コーティングを有している。
しかしながら酸化物コーティングf:増加させることが
所望される場合には、これは粒子を空気中で攪拌加熱す
ることにより実施されうる。他方、更によシ高い酸化物
含量の球形粒子は、空気中萱たは制御された量の酸素を
含有する雰囲気中でtMk微細化させることによって製
造することができる。銅が少くとも1重量%の酸化物を
含有していることが好ましくそして多くの市場的に入手
可能な銅粉末は粒子表面上に2〜5係の程度の酸化銅k
Vしている。
所望される場合には、これは粒子を空気中で攪拌加熱す
ることにより実施されうる。他方、更によシ高い酸化物
含量の球形粒子は、空気中萱たは制御された量の酸素を
含有する雰囲気中でtMk微細化させることによって製
造することができる。銅が少くとも1重量%の酸化物を
含有していることが好ましくそして多くの市場的に入手
可能な銅粉末は粒子表面上に2〜5係の程度の酸化銅k
Vしている。
酷化物が銅粒子上に依存する場合には、酸化物と有機媒
体との間の一層緊密な接触の故に、本発明の組成物中に
要求される酸化銅のほとんどそして好ましくはそのすべ
てが分散鋼粒子上のコーティングから導かれたものであ
ることが好ましい。組成物に対して要求される酸化物の
砂金のものは、もし存在する場合には組成物に酸化鋼の
粒子を添加させることにより、そして/捷たは器機結合
剤中に酸化銅を包含させることにより供給されうる。す
べての追加の酸化物はいずれかの方法により′!たけ両
方の方法によって供給されうる。しかしながら前記のよ
うに組成物中の全酸化鋼は酸化物でコーティングされた
銅粒子の約15重量係を越えてはならない。
体との間の一層緊密な接触の故に、本発明の組成物中に
要求される酸化銅のほとんどそして好ましくはそのすべ
てが分散鋼粒子上のコーティングから導かれたものであ
ることが好ましい。組成物に対して要求される酸化物の
砂金のものは、もし存在する場合には組成物に酸化鋼の
粒子を添加させることにより、そして/捷たは器機結合
剤中に酸化銅を包含させることにより供給されうる。す
べての追加の酸化物はいずれかの方法により′!たけ両
方の方法によって供給されうる。しかしながら前記のよ
うに組成物中の全酸化鋼は酸化物でコーティングされた
銅粒子の約15重量係を越えてはならない。
前記のことから処方中の酸化鋼としての酸素の合計量を
制愼1する必要があることがわかる。
制愼1する必要があることがわかる。
すなわち銅粉末中の酸化鋼の量は酸化銅として加えられ
たil−またはガラス結合剤中に加えられた量に加えて
考えられなくてはならない。一般にすべての源からの酸
化銅(銅粉上の酸化物コーティングおよび別個にまたに
ガラスフリットに加えられたC!u20およびOuO)
としての酸素の量は、良好な基材接着を得るためには銅
全体の少くとも約1.0重量%でなくてはならない。し
かしながら艮好なはんだ性の保持のためにはそれは約2
.0重量%を越えてはならない。
たil−またはガラス結合剤中に加えられた量に加えて
考えられなくてはならない。一般にすべての源からの酸
化銅(銅粉上の酸化物コーティングおよび別個にまたに
ガラスフリットに加えられたC!u20およびOuO)
としての酸素の量は、良好な基材接着を得るためには銅
全体の少くとも約1.0重量%でなくてはならない。し
かしながら艮好なはんだ性の保持のためにはそれは約2
.0重量%を越えてはならない。
高純度および低酸素含蓄の銅粉末(< 0.3重量係酸
素)はゼロ接着を有する銅伝導体を生成させる。これは
処方中の不充分な酸素によるベヒクルの不完全燃焼に帰
せられる。計qは処方中の酸化鋼からすべての酸素が由
来することセして炉の雰囲気からは酸素が由来しないこ
とを仮定すると典型的な銅伝導体組成物中のベヒクルの
燃焼には約0.5重量感の酸素が要求されることを示す
。
素)はゼロ接着を有する銅伝導体を生成させる。これは
処方中の不充分な酸素によるベヒクルの不完全燃焼に帰
せられる。計qは処方中の酸化鋼からすべての酸素が由
来することセして炉の雰囲気からは酸素が由来しないこ
とを仮定すると典型的な銅伝導体組成物中のベヒクルの
燃焼には約0.5重量感の酸素が要求されることを示す
。
酸素含1tffito重量係まで上昇させるとその接着
は最大水準近くまで上昇しそしてはんだ性もまた優れて
いることが見出される。フイルム接着は銅粉末中の酸素
含量を1.0から1.5重量%酸素に増大させると徐々
に上昇する。はんだ性にはわずかな減少がある。1.5
〜2.0重量係酸素の範囲でに接着は最高値近くに留す
るがはんだ性は顕著に劣化する。
は最大水準近くまで上昇しそしてはんだ性もまた優れて
いることが見出される。フイルム接着は銅粉末中の酸素
含量を1.0から1.5重量%酸素に増大させると徐々
に上昇する。はんだ性にはわずかな減少がある。1.5
〜2.0重量係酸素の範囲でに接着は最高値近くに留す
るがはんだ性は顕著に劣化する。
この観察された接Nおよびはんだ性の酸素含彊二依存性
から至適接着およびはんだ性に対しては約1.0〜2.
0重量%そして好ましくは1.0〜1.5重量%の餉粉
中酸素が要求されることが明白である。更に低酸素銅粉
末の接着は酸化鋼の添加により上昇させうろことが見出
された。従って処方へのau2o’lたij OuOの
添加は銅粉上の表面酸化物層として存在せしめられfC
h化銅に犬約相当する結果を与える。両者の場合、良好
な接着およびはんだ性を得るためには約1.0〜2.0
重匍゛係の酸素または0u20またはCUOとしてのそ
の相当物が要求される。下記すなわち1.0重量%O(
Cu粉末中)−8,94重量%CCu20−4.97重
量%CuOは従って酸素含量に関しては等価であると考
えることができる。
から至適接着およびはんだ性に対しては約1.0〜2.
0重量%そして好ましくは1.0〜1.5重量%の餉粉
中酸素が要求されることが明白である。更に低酸素銅粉
末の接着は酸化鋼の添加により上昇させうろことが見出
された。従って処方へのau2o’lたij OuOの
添加は銅粉上の表面酸化物層として存在せしめられfC
h化銅に犬約相当する結果を与える。両者の場合、良好
な接着およびはんだ性を得るためには約1.0〜2.0
重匍゛係の酸素または0u20またはCUOとしてのそ
の相当物が要求される。下記すなわち1.0重量%O(
Cu粉末中)−8,94重量%CCu20−4.97重
量%CuOは従って酸素含量に関しては等価であると考
えることができる。
添加されるべき0u20またはOuOのfA−ハ次の方
程式から計算することができる。
程式から計算することができる。
%it、Ou20−Ekg4[1−%wt、0(Cu粉
末中)〕% wt、0uO−4,97(1−% wt、
o(Cu粉末中)〕以下のものは0.2重′M′%の酸
素(酸化鋼として)を有する銅粉末から艮好な接着およ
びはんだ性を有する銅伝導体処方を製造するために要求
される計算である。この処方は合計86.54重量幅の
銅プラス酸化銅を含有している。追加の酸素が0u20
として加えられる場合、要求される量は %wt、 0u20−8.94(1−0,2)−7,1
5%wt。
末中)〕% wt、0uO−4,97(1−% wt、
o(Cu粉末中)〕以下のものは0.2重′M′%の酸
素(酸化鋼として)を有する銅粉末から艮好な接着およ
びはんだ性を有する銅伝導体処方を製造するために要求
される計算である。この処方は合計86.54重量幅の
銅プラス酸化銅を含有している。追加の酸素が0u20
として加えられる場合、要求される量は %wt、 0u20−8.94(1−0,2)−7,1
5%wt。
であると計算される。
従って、銅粉末の童(0,2重量・係の酸素含有)は以
下の通りである。
下の通りである。
%Wt、Cu粉末−=86.54−% wt、0u20
%wt、Ou粉末=86.54−7.15=79.39
% wt。
%wt、Ou粉末=86.54−7.15=79.39
% wt。
本発明の利点は更に伝導体相が不活性であシそして酸化
銅の分解および銅と無機結合剤との焼成の間の焼結を阻
害しない限りはその他の伝導体物質を含量している場合
に得ることができる。すなわち所望にょシ特別の場合に
は銅を他の卑金属または貴金属とさえも混合させること
ができる。理論的には多量の貴金属さえも銅/酸化銅伝
導体相と糾合せて使用することができる。しかしながら
経隣的な本発明の利点はそれKfって減少することは明
白である。更に添加された金橋粒子が銅、酸化銅および
無機結合剤の間の相互作用全阻害しそれによって焼成厚
膜の性質を劣化させることのないようにするためには、
そのような全極の添加を最小とすることが好ましい。
銅の分解および銅と無機結合剤との焼成の間の焼結を阻
害しない限りはその他の伝導体物質を含量している場合
に得ることができる。すなわち所望にょシ特別の場合に
は銅を他の卑金属または貴金属とさえも混合させること
ができる。理論的には多量の貴金属さえも銅/酸化銅伝
導体相と糾合せて使用することができる。しかしながら
経隣的な本発明の利点はそれKfって減少することは明
白である。更に添加された金橋粒子が銅、酸化銅および
無機結合剤の間の相互作用全阻害しそれによって焼成厚
膜の性質を劣化させることのないようにするためには、
そのような全極の添加を最小とすることが好ましい。
銀は本発明の組成物中に銅と共に使用するのに好ましい
貴金属である。全銅含量基準で1〜50重量係の銀、そ
して好1しくは5〜2o重景%の銀金通常使用すること
ができる。しかし力から銅に相対的な銀の共融比率もi
fc使用しうる。AP10u共融物は72重重量%P/
28重量%Ouである。
貴金属である。全銅含量基準で1〜50重量係の銀、そ
して好1しくは5〜2o重景%の銀金通常使用すること
ができる。しかし力から銅に相対的な銀の共融比率もi
fc使用しうる。AP10u共融物は72重重量%P/
28重量%Ouである。
伝導体中に使用されるガラスおよびその仲の無機結合剤
はいくつかの機能を果す。結合剤の一次的機能は基材へ
の化学的または機械的結合金与えることである。それら
は1だガラス結合剤が伝導体表面全溝らした場合液相焼
結によって金属フィルムの焼結を容易ならしめうる。ガ
ラスが適当な流れ性を准しているためには、ガラス結合
剤が600℃以下の軟化点”(t−iしていることが好
ましい。これは基材への接着に対して要求され、そして
本発明の低焼成組成物のためには約500〜500℃の
軟化点が好ましい。この結合剤系の化学組成はこれら厚
膜伝導体組成物の機能に対しては臨界的ではないが、し
かし無機結合剤は焼成の間の金属粒子の焼結を助けるに
充分なだけに低い温度で溶融または流れるべきである。
はいくつかの機能を果す。結合剤の一次的機能は基材へ
の化学的または機械的結合金与えることである。それら
は1だガラス結合剤が伝導体表面全溝らした場合液相焼
結によって金属フィルムの焼結を容易ならしめうる。ガ
ラスが適当な流れ性を准しているためには、ガラス結合
剤が600℃以下の軟化点”(t−iしていることが好
ましい。これは基材への接着に対して要求され、そして
本発明の低焼成組成物のためには約500〜500℃の
軟化点が好ましい。この結合剤系の化学組成はこれら厚
膜伝導体組成物の機能に対しては臨界的ではないが、し
かし無機結合剤は焼成の間の金属粒子の焼結を助けるに
充分なだけに低い温度で溶融または流れるべきである。
無機結合剤は好ましくは1〜20重量部そして好ましく
は5〜15重量部の水準における低軟化点低粘度ガラス
である。本明細書に使用されている場合、「低軟化点ガ
ラス」の表現はファイバー伸長法(ASTM 0338
−57)で測定した場合、意図されているピーク焼成温
度より100℃だけ低軟化点金石しているものである。
は5〜15重量部の水準における低軟化点低粘度ガラス
である。本明細書に使用されている場合、「低軟化点ガ
ラス」の表現はファイバー伸長法(ASTM 0338
−57)で測定した場合、意図されているピーク焼成温
度より100℃だけ低軟化点金石しているものである。
本発明に使用てれるガラス¥1また無機粒子の液相焼結
を助けるためKは焼成温度で低粘度を有していなくては
ならない。液相焼結を助ける焼成温度で6以下の比粘度
(torη)を有するガラスが好ましい。硼珪酸鉛ガラ
スおよび酸化ビスマス含有ガラスが特に好ましい無機結
合剤である。
を助けるためKは焼成温度で低粘度を有していなくては
ならない。液相焼結を助ける焼成温度で6以下の比粘度
(torη)を有するガラスが好ましい。硼珪酸鉛ガラ
スおよび酸化ビスマス含有ガラスが特に好ましい無機結
合剤である。
硼珪酸鉛ガラスは本発明に広く使用されて罫pそしてこ
れは低い軟化点および艮好な基材接着性の観点から優れ
ていることが見出された。
れは低い軟化点および艮好な基材接着性の観点から優れ
ていることが見出された。
しかしながら艮好な密封性および湿気耐性を確実ならし
めるためには、低硼酸ガラスをすなわち約20重量係以
下のB2O5またはその相当物を含有するものを使用す
ることが好ましい。還元性および非還元性両タイプのガ
ラスが使用可能である。
めるためには、低硼酸ガラスをすなわち約20重量係以
下のB2O5またはその相当物を含有するものを使用す
ることが好ましい。還元性および非還元性両タイプのガ
ラスが使用可能である。
無機結合剤の量は通常固体分(有機媒体を除く)の1〜
20M−M:%、そして好ましくは5〜10重協゛%で
ある。
20M−M:%、そして好ましくは5〜10重協゛%で
ある。
前記のように、ある場合にはガラス中に少量の酸化銅全
包含させて銅粒子上の酸化物および/または添加されf
c酸酸化粗粒子補充させることが望ましいかもしれない
。ガラス中の酸化銅の量は従って得られる処方組成物が
酸化物でコーティングされた銅粒子の重量基準で約15
重食%を越えない酸化銅を含有するように選はれなくて
は彦らない。
包含させて銅粒子上の酸化物および/または添加されf
c酸酸化粗粒子補充させることが望ましいかもしれない
。ガラス中の酸化銅の量は従って得られる処方組成物が
酸化物でコーティングされた銅粒子の重量基準で約15
重食%を越えない酸化銅を含有するように選はれなくて
は彦らない。
ガラスは通常のガラス製造技術によって所望の成分を所
望の比率で混合しそしてこの混合物を加熱して溶融物を
生成させることによって製造される。当技術分野では周
知のように加熱はピーク温度1で、そして溶融物が完全
に液体となりそして拘置となるような時間の間実施され
る。本研究においては成分全プラスチックボール全潰す
るポリエチレンジャー中で振盪させることにより予め混
合させそして次いで800〜1000℃に白金るつぼ中
で溶融させる。この溶融物音1〜1v2時間の間ピーク
温度に加熱する。
望の比率で混合しそしてこの混合物を加熱して溶融物を
生成させることによって製造される。当技術分野では周
知のように加熱はピーク温度1で、そして溶融物が完全
に液体となりそして拘置となるような時間の間実施され
る。本研究においては成分全プラスチックボール全潰す
るポリエチレンジャー中で振盪させることにより予め混
合させそして次いで800〜1000℃に白金るつぼ中
で溶融させる。この溶融物音1〜1v2時間の間ピーク
温度に加熱する。
次いで溶融物全冷水中に注ぐ。溶融物に対する水の容量
比を増大することによって急冷の間の水の最高温度全可
及的に低く保つ。水から分離した後風乾によってかまた
はメタノールで洗うことによって水を置換させることに
よって和製のフリットから残存水を除去する。次いでこ
の粗製のフリットヲアルミナ粉砕媒体を使用してアルミ
ナ容器中で3〜5時間ミル処理する。この物質によシピ
ックアップされるアルミナはもしあるとしてもX線回折
分析により ff1ll定した場合の測定可能限界内に
はない。
比を増大することによって急冷の間の水の最高温度全可
及的に低く保つ。水から分離した後風乾によってかまた
はメタノールで洗うことによって水を置換させることに
よって和製のフリットから残存水を除去する。次いでこ
の粗製のフリットヲアルミナ粉砕媒体を使用してアルミ
ナ容器中で3〜5時間ミル処理する。この物質によシピ
ックアップされるアルミナはもしあるとしてもX線回折
分析により ff1ll定した場合の測定可能限界内に
はない。
ミル処理したフリットスラリー全ミルから除去した後、
過剰の溶媒を傾瀉にょシ除去し、そしてフリット粉末を
室温で風乾させる。次いでこの乾燥させた粉末を525
メツシユスクリーンでスクリーン処理してすべての大形
粒子を除去する。
過剰の溶媒を傾瀉にょシ除去し、そしてフリット粉末を
室温で風乾させる。次いでこの乾燥させた粉末を525
メツシユスクリーンでスクリーン処理してすべての大形
粒子を除去する。
このフリットの二つの主たる性質は(1)それが無機結
晶性粒子状物置の液相焼結を助けること、そして(2)
それが基材への結合を形成するということである。
晶性粒子状物置の液相焼結を助けること、そして(2)
それが基材への結合を形成するということである。
C0有機媒体
機械的混合によって無機粒子を有機液体媒体(ベヒクル
)と混合してスクリーン印刷に適当なコンシスチンシー
およびレオロジーe!するは−スト様組成物を生成させ
る。後者は通常の方法で通常の罷電体基材上に「厚膜」
として印刷される。
)と混合してスクリーン印刷に適当なコンシスチンシー
およびレオロジーe!するは−スト様組成物を生成させ
る。後者は通常の方法で通常の罷電体基材上に「厚膜」
として印刷される。
それが乾燥および焼成の間にきれいに蒸発ける限9はす
べての不活性液体をベヒクル中に使用することができる
。#厚化剤および/または安定剤および/またはその他
の一般的添加剤を加えたかなたは加えていない種々の有
機液体をベヒクルとして使用することができる。使用し
うる有機液体の例は脂肪族アルコール、そのようなアル
コールのエステル例えばアセテートおよびプロピオネー
ト、チルはン例えば松根油、テルピネオールその他、樹
脂例えば低級アルコールのポリメタクリレートの溶液お
よび溶媒例えば松根油中のエチルセルロースの溶液およ
びエチレングリコールモノアセテートのモノブチルエー
テルである。好ましいベヒクルはエチルセルロース訃よ
び2,2.4− )リメチルはンタンジオールー1,5
−モノイソブチレートに基づくものである。ベヒクルに
は基材への適用後の迅速な乾燥全促進させるための揮発
性液体全含有させてもよい。
べての不活性液体をベヒクル中に使用することができる
。#厚化剤および/または安定剤および/またはその他
の一般的添加剤を加えたかなたは加えていない種々の有
機液体をベヒクルとして使用することができる。使用し
うる有機液体の例は脂肪族アルコール、そのようなアル
コールのエステル例えばアセテートおよびプロピオネー
ト、チルはン例えば松根油、テルピネオールその他、樹
脂例えば低級アルコールのポリメタクリレートの溶液お
よび溶媒例えば松根油中のエチルセルロースの溶液およ
びエチレングリコールモノアセテートのモノブチルエー
テルである。好ましいベヒクルはエチルセルロース訃よ
び2,2.4− )リメチルはンタンジオールー1,5
−モノイソブチレートに基づくものである。ベヒクルに
は基材への適用後の迅速な乾燥全促進させるための揮発
性液体全含有させてもよい。
有機媒体中には広範囲な種々の不活性液体を使用しうる
にしても、通常の厚膜組成物とは来なって、本発明に使
用するための有機媒体の有機重合棒金iは非常にせ1い
限度内に保持されていなくてはならないことが発見され
た。特にエチルセルロースおよびメタクリレート樹脂の
ような重合体物質の含tは分散液の固体分含量の1.0
重量%以上ではない水準に保持されていなくてはならな
いということが発見された。特に非アクリル重合体例え
ばエチルセルロースカ有機媒体中で使用される場合には
0,5重量%を越えない重合体水準が好ましい。有機媒
体中でのいくらかより高い重合体水準が窒素焼成雰囲気
が炉の燃焼帯域中で数ppmの酸素を含有している場合
には許容できる。
にしても、通常の厚膜組成物とは来なって、本発明に使
用するための有機媒体の有機重合棒金iは非常にせ1い
限度内に保持されていなくてはならないことが発見され
た。特にエチルセルロースおよびメタクリレート樹脂の
ような重合体物質の含tは分散液の固体分含量の1.0
重量%以上ではない水準に保持されていなくてはならな
いということが発見された。特に非アクリル重合体例え
ばエチルセルロースカ有機媒体中で使用される場合には
0,5重量%を越えない重合体水準が好ましい。有機媒
体中でのいくらかより高い重合体水準が窒素焼成雰囲気
が炉の燃焼帯域中で数ppmの酸素を含有している場合
には許容できる。
理論的には有機媒体中には樹脂金全く存在させないこと
が望ましい。しかしながら実際問題として分散物中に適
当なレオロジー性を生成させてそれをスクリーン印刷に
よって満足裸に適用できるようにするためには有機媒体
は少くとも約1〜5重量係の樹脂を含有していなくては
ならない。
が望ましい。しかしながら実際問題として分散物中に適
当なレオロジー性を生成させてそれをスクリーン印刷に
よって満足裸に適用できるようにするためには有機媒体
は少くとも約1〜5重量係の樹脂を含有していなくては
ならない。
分散液中のベヒクルの固体分に対する比率はかなり変動
させることができ、そして分散液の適用される方法およ
び使用されるベヒクルの抛類に依存する。通常良好な被
覆の達成のためには一分散液は相補的に70〜9o%固
体分および60〜10%ベヒクル全含有している。
させることができ、そして分散液の適用される方法およ
び使用されるベヒクルの抛類に依存する。通常良好な被
覆の達成のためには一分散液は相補的に70〜9o%固
体分および60〜10%ベヒクル全含有している。
本発明の組成物の処方においては、有機媒体の量を最小
化させそしてまた前記のように有枦媒体中の高分子量物
質の量を最小化させることが好ましい。この両方に対す
る理由は有機媒体の完全な蒸発を与えることである。酸
化による有機媒体の蒸発に対して利用しうる酸素蓋は、
勿論、非酸化性雰囲気中で銅を焼成させることの必要性
の故に非常に限定される。従って、この組成物の処方に
おいては可及的少量の有機媒体を使用してレオロジー全
調整して所望の印刷粘度を生成させる。すなわち粘度を
減少させならびに有機媒体の蒸発全強化させる両方のた
めにtdまた有機媒体中の樹脂の量を10重量%または
それ以下の水準に限定させることが好ましい。この量は
全組成物の1.0重量%以下に相当する。本発明の組成
物は勿論その有利な特性に悪影響を与えないその他の物
質の添加によって修正さぜることかできる。そのような
処方は当技術分野内にある。
化させそしてまた前記のように有枦媒体中の高分子量物
質の量を最小化させることが好ましい。この両方に対す
る理由は有機媒体の完全な蒸発を与えることである。酸
化による有機媒体の蒸発に対して利用しうる酸素蓋は、
勿論、非酸化性雰囲気中で銅を焼成させることの必要性
の故に非常に限定される。従って、この組成物の処方に
おいては可及的少量の有機媒体を使用してレオロジー全
調整して所望の印刷粘度を生成させる。すなわち粘度を
減少させならびに有機媒体の蒸発全強化させる両方のた
めにtdまた有機媒体中の樹脂の量を10重量%または
それ以下の水準に限定させることが好ましい。この量は
全組成物の1.0重量%以下に相当する。本発明の組成
物は勿論その有利な特性に悪影響を与えないその他の物
質の添加によって修正さぜることかできる。そのような
処方は当技術分野内にある。
スクリーン印刷用ペーストの粘度は低、中および高剪断
速度でブルックフィールドHBT粘度計(*印分のみは
コーンアンドプレート型式)で測定した場合、典型的に
は以下の範囲内にある。
速度でブルックフィールドHBT粘度計(*印分のみは
コーンアンドプレート型式)で測定した場合、典型的に
は以下の範囲内にある。
剪断速度(秒−1) 粘度(Pa 、 B )0.2
100〜5ooo = 30 G−2000好ましい 600〜1500 最も好ましい 4 40〜400 − 100〜250 好ましい 140〜200 最も好ましい 3841 7〜4〇− 1ト25 好ましい 12〜18 最も好ましい 使用されるベヒクル量は最終的に所定の処方粘度により
決定される。
100〜5ooo = 30 G−2000好ましい 600〜1500 最も好ましい 4 40〜400 − 100〜250 好ましい 140〜200 最も好ましい 3841 7〜4〇− 1ト25 好ましい 12〜18 最も好ましい 使用されるベヒクル量は最終的に所定の処方粘度により
決定される。
本発明の組成物の製造においては粒子状無機固体金有機
担体と共に混合させそして適当な装置全使用して分散さ
せて懸濁液とし、粘度が4秒−1の剪断速度で約100
〜250Pa、S範囲内の組成物全生成させる。
担体と共に混合させそして適当な装置全使用して分散さ
せて懸濁液とし、粘度が4秒−1の剪断速度で約100
〜250Pa、S範囲内の組成物全生成させる。
以下の実施例においては処方は次の操作で実施された。
ペースト成分から約5%の有機成分(これは処方の約0
.5重量%に相当する)を減じたものを容器中に一緒に
秤量する。この成分を次いで激しく攪拌して均一なブレ
ンドを生成させる。
.5重量%に相当する)を減じたものを容器中に一緒に
秤量する。この成分を次いで激しく攪拌して均一なブレ
ンドを生成させる。
次いでこのブレンド全分散装置に通過させて粒子の艮好
な分散全達成させる。ヘゲマンゲージを使用してペース
ト中の粒子の分散状態を測定する。この装置バ一方の端
で25μm深さでそして他方の端で深さOVC盛り上っ
ているスチールブロック内のチャンネルより成っている
。ブレードを使用してベース)kこのチャンネル長さに
沿って引張る。集塊の直径がチャンネルの深さより太と
がった場所ではチャンネル中にスクラッチ(引掻き)が
出現する。満足すべき分散液は典型的には10〜15μ
mの第4スクラッチ点を与える。チャンネルの半分が株
われない点は良好に分散したは−ストの場合には典型的
には6〜8μmである。〉20μmの第4スクラッチ点
測定および〉10μmの「半チャンネル」測定値は劣っ
た分散の懸濁液を示す。
な分散全達成させる。ヘゲマンゲージを使用してペース
ト中の粒子の分散状態を測定する。この装置バ一方の端
で25μm深さでそして他方の端で深さOVC盛り上っ
ているスチールブロック内のチャンネルより成っている
。ブレードを使用してベース)kこのチャンネル長さに
沿って引張る。集塊の直径がチャンネルの深さより太と
がった場所ではチャンネル中にスクラッチ(引掻き)が
出現する。満足すべき分散液は典型的には10〜15μ
mの第4スクラッチ点を与える。チャンネルの半分が株
われない点は良好に分散したは−ストの場合には典型的
には6〜8μmである。〉20μmの第4スクラッチ点
測定および〉10μmの「半チャンネル」測定値は劣っ
た分散の懸濁液を示す。
ペーストの有機成分よりなる残余の5%を次いで加え、
そして有機媒体の含量全調整して完全に処方された場合
の粘度を4秒−1の剪断速度で140〜200Pa、S
とする。
そして有機媒体の含量全調整して完全に処方された場合
の粘度を4秒−1の剪断速度で140〜200Pa、S
とする。
次いでこの組成物を基材例えばアルミナセラミックに通
常はスクリーン印刷法によって適用して約25〜80μ
、好ましくは25〜60μそして最も好ましくは25〜
35μの湿潤時厚さとする。本発明の伝導体組成物は自
動プリンターまたはハンドプリンターを使用して通常の
方法で基材上に印刷することができる。好ましくは20
0〜525メツシュスクリーン全使用して自動スクリー
ンステンシル技術が使用される。印刷されたパターンを
次いで2oo℃以下例えば120〜150℃で約5〜1
5分間乾燥させ、そしてその後で焼成させる。無機結合
剤と微細分割銅粒子の両方の焼結を実施するための焼成
は好ましくは約600℃での有機物質の燃焼および60
0℃までの加熱による厚膜の緊密化を可能ならしめるよ
うな温度プロフィルを使用して窒素雰囲気下にベルト炉
中で実施される。次いで過焼結、要求されない中間温度
での化学反応または急速すぎる冷却によシ生ぜしめられ
うる基材破損を阻止するための制御された冷却サイクル
全実施する。全体的焼成工程は好ましくはピーク焼成温
度に達するまでの20〜25分、焼成温度での約10分
、および冷却における約20〜25分の約1時間にわた
る。ある場合には60分の短い全サイクル時間全使用し
うる。
常はスクリーン印刷法によって適用して約25〜80μ
、好ましくは25〜60μそして最も好ましくは25〜
35μの湿潤時厚さとする。本発明の伝導体組成物は自
動プリンターまたはハンドプリンターを使用して通常の
方法で基材上に印刷することができる。好ましくは20
0〜525メツシュスクリーン全使用して自動スクリー
ンステンシル技術が使用される。印刷されたパターンを
次いで2oo℃以下例えば120〜150℃で約5〜1
5分間乾燥させ、そしてその後で焼成させる。無機結合
剤と微細分割銅粒子の両方の焼結を実施するための焼成
は好ましくは約600℃での有機物質の燃焼および60
0℃までの加熱による厚膜の緊密化を可能ならしめるよ
うな温度プロフィルを使用して窒素雰囲気下にベルト炉
中で実施される。次いで過焼結、要求されない中間温度
での化学反応または急速すぎる冷却によシ生ぜしめられ
うる基材破損を阻止するための制御された冷却サイクル
全実施する。全体的焼成工程は好ましくはピーク焼成温
度に達するまでの20〜25分、焼成温度での約10分
、および冷却における約20〜25分の約1時間にわた
る。ある場合には60分の短い全サイクル時間全使用し
うる。
本発明の組成物を使用した抵抗体の成形においては、抵
抗体層全適当なパターンで基材(通常は96重重量%ア
ルミナ)に適用しそして酸化性雰囲気中で焼成させる。
抗体層全適当なパターンで基材(通常は96重重量%ア
ルミナ)に適用しそして酸化性雰囲気中で焼成させる。
次いで本発明の伝導体組成物を適当なパターンで適用し
そして非酸化性雰囲気中で抵抗体物質の強度の還元およ
び銅金鵬の相互作用を除外させるに光分なだけ低い温度
で焼成させる。この方法で銅含有伝導体は託い焼成温度
での酸化性雰囲気の激しさには曝されないことになる。
そして非酸化性雰囲気中で抵抗体物質の強度の還元およ
び銅金鵬の相互作用を除外させるに光分なだけ低い温度
で焼成させる。この方法で銅含有伝導体は託い焼成温度
での酸化性雰囲気の激しさには曝されないことになる。
接着性
接Nは2インチ/分の引張υ速度で90°剥離配向で「
インストロン」引張シテスターを使用して測定された。
インストロン」引張シテスターを使用して測定された。
20ゲージ前めっきワイヤを220℃の62 Eln/
36 Pb/ 21’はんだまたは260℃の63
Sn/ 37Pbはんだにアルファ611スラツクスを
使用して10秒間はんだ浸漬させることによって80ミ
ル×80ミルパツドに結付させた。老化の研究は150
℃により制御されたブルーMスタビルーサーム(Blu
e Mstabil−Therm@)オーブン中で実施
された。老化彼、試験パーツを数時間空気中で平衡化さ
せ、その後でこのワイヤを引張った。
36 Pb/ 21’はんだまたは260℃の63
Sn/ 37Pbはんだにアルファ611スラツクスを
使用して10秒間はんだ浸漬させることによって80ミ
ル×80ミルパツドに結付させた。老化の研究は150
℃により制御されたブルーMスタビルーサーム(Blu
e Mstabil−Therm@)オーブン中で実施
された。老化彼、試験パーツを数時間空気中で平衡化さ
せ、その後でこのワイヤを引張った。
はんだ性
はんだ性の試験は以下のようにして実施された。焼成パ
ーツを活性の穏やかなロジンフラックス例えばアルファ
611に浸漬させ次いでセラミックチップの端金溶融は
んだ中に浸漬させることによって2〜4秒加熱した。次
いでこのチップを10秒間このはんだ中に沈め、引張シ
出し、きれいにそして検査した。はんだ性は通常焼成銅
含有厚膜上のはんだ被覆の係を観察することにより視覚
的に測定された。アルファ611はアルファ・メタルズ
社により製造されたはんだフラックスの商品名である。
ーツを活性の穏やかなロジンフラックス例えばアルファ
611に浸漬させ次いでセラミックチップの端金溶融は
んだ中に浸漬させることによって2〜4秒加熱した。次
いでこのチップを10秒間このはんだ中に沈め、引張シ
出し、きれいにそして検査した。はんだ性は通常焼成銅
含有厚膜上のはんだ被覆の係を観察することにより視覚
的に測定された。アルファ611はアルファ・メタルズ
社により製造されたはんだフラックスの商品名である。
以下の実施例を参照することによって本発明はより良好
に理解されよう。
に理解されよう。
例 1〜4
銅を一次伝導体成分として使用して釉々の合計量の銅粒
子上の酸化物コーティングがらおよび0u20添加がら
導がれた酸化銅を含有する一連の4f′!lIの厚膜伝
導体組成物を製造した。次の性質ヲ有する2釉の銅粉末
が使用された。
子上の酸化物コーティングがらおよび0u20添加がら
導がれた酸化銅を含有する一連の4f′!lIの厚膜伝
導体組成物を製造した。次の性質ヲ有する2釉の銅粉末
が使用された。
性 質 Ou粉末A cu粉末B
10μ以下のサイズの重量% 99.9 99.9平均
粒子サイズ(μm)2.2 4.0表面積(m2/l)
0.3 0.25タップ密度(φ) 4.5 4.8 コーテイング中の酸素重量% 1.0 0.1各例に使
用された無機結合剤は次の組成および性質を有していた
。
粒子サイズ(μm)2.2 4.0表面積(m2/l)
0.3 0.25タップ密度(φ) 4.5 4.8 コーテイング中の酸素重量% 1.0 0.1各例に使
用された無機結合剤は次の組成および性質を有していた
。
組成 重藪
PbO6F3.4
0dO9,3
s1o2 9.3
B2o3 13.0
ioo、。
性質
軟化点C℃) 455
谷側で使用された有機媒体は次の組成を有していた。
組成 重量%
ジブチルカルピトール 28.5
ジブチルフタレート 51.5
トリテシルホスフエート 1.3
エチルセルロース 5.2
β−テルピネオール 11.4
ioo、。
一連の各組成物を前記様式で処方しそして使用してこれ
また前記の方法で厚膜伝導体を処方した。各焼成伝導体
全接着性、はんだ性および伝導性に関して試験した。4
釉の厚膜伝導体組成物の組成およびそれから製造された
伝導体の性質は以下の表1に与えられている。
また前記の方法で厚膜伝導体を処方した。各焼成伝導体
全接着性、はんだ性および伝導性に関して試験した。4
釉の厚膜伝導体組成物の組成およびそれから製造された
伝導体の性質は以下の表1に与えられている。
表 1
伝導体性質に及ぼす銅酸化物含量の作用Ou粉末A B
6.5 − 77、O Cu粉末粉末 −86,579,0− Ou 20 7.5 9.5 無機結合剤 5.7 5.7 5.7 5.5有機媒体
7.8 7.8 7.8 8.0100.0 100
.0 100.0 100.0伝導体性賀 接着性 高 劣 高 高 はんだ性 良好 良好 良好 劣 伝導性 良好 良好 良好 可 倒1および2からのデータによれば粉末上の酸化物とし
ての過度に小量の酸素は接着に対して劣化的であること
がわかる。しかしながら例5は漬水される酸素量が0u
20の添加ならびに銅粒子上の酸化物のコーティングに
よって与えられうろことを示す。しかし例4は多すぎる
酸化物はそれが非常に良好な接漸全与えるにしてもはん
だ性および伝導性に劣化的でありうることを示している
。このことから、本発明の組成物は銅酸化物として2.
0重t%を越えない酸素を含有すべきであることがわか
る。0.5〜1.5重量%が好ましい。
6.5 − 77、O Cu粉末粉末 −86,579,0− Ou 20 7.5 9.5 無機結合剤 5.7 5.7 5.7 5.5有機媒体
7.8 7.8 7.8 8.0100.0 100
.0 100.0 100.0伝導体性賀 接着性 高 劣 高 高 はんだ性 良好 良好 良好 劣 伝導性 良好 良好 良好 可 倒1および2からのデータによれば粉末上の酸化物とし
ての過度に小量の酸素は接着に対して劣化的であること
がわかる。しかしながら例5は漬水される酸素量が0u
20の添加ならびに銅粒子上の酸化物のコーティングに
よって与えられうろことを示す。しかし例4は多すぎる
酸化物はそれが非常に良好な接漸全与えるにしてもはん
だ性および伝導性に劣化的でありうることを示している
。このことから、本発明の組成物は銅酸化物として2.
0重t%を越えない酸素を含有すべきであることがわか
る。0.5〜1.5重量%が好ましい。
例 5および6
カドミウム不含無機結合剤の2種の異った組1戊ヲ使用
して別の系列の2釉の伝導体を処方しそして例1の記載
と同一の方法で試験した。結合剤は次の組成および性質
を有していた。
して別の系列の2釉の伝導体を処方しそして例1の記載
と同一の方法で試験した。結合剤は次の組成および性質
を有していた。
PbOZal 80.6
n2o5 12.4 12.0
si、o2 5.4 6.0
Az2o3 4.1 −
ZnO−1,4
100,0100,0
性質
軟化点C℃) 443 430
これらの厚膜組成物の組成およびそれから製造された伝
導体の性質は以下の表2に与えられている。
導体の性質は以下の表2に与えられている。
表 2
伝導体の性質に及ぼすフリット組成の作用Cu粉末A8
6.5 86.5 Cu粉末B −− Cu20 − − 無機結合剤A 5.7 − 無機結合剤B5.7 有機媒体 7.8 7.8 too、o ioo、。
6.5 86.5 Cu粉末B −− Cu20 − − 無機結合剤A 5.7 − 無機結合剤B5.7 有機媒体 7.8 7.8 too、o ioo、。
酸化端としての総酸素量(重量%) 0.9 0.9伝
導体性質 接着性 高 高 はんだ性 良好 良好 伝導性 良好 良好 例5および例6の組成物は例1および例4のものと同様
に良好な伝導性を与えた。すなわちその軟化点が300
〜700℃の範囲内にあってその焼成温度において充分
な流れ金与える限シは硼珪酸鉛タイプ結合剤の組成は臨
界的ではないと考えられる。
導体性質 接着性 高 高 はんだ性 良好 良好 伝導性 良好 良好 例5および例6の組成物は例1および例4のものと同様
に良好な伝導性を与えた。すなわちその軟化点が300
〜700℃の範囲内にあってその焼成温度において充分
な流れ金与える限シは硼珪酸鉛タイプ結合剤の組成は臨
界的ではないと考えられる。
例 7〜10
有機媒体の量の調節によって処方中の重合体物質の量を
0.2〜1.2重量%に変動させて更に一連の厚膜伝導
体組成物を処方した。有機媒体は90重重量%溶* (
2,2,4−)リメチルはンクンジオールー1.3−モ
ノイソブチレート)中に溶解された10重重量%エチル
セルロースよシなっていた。有機媒体が異なシそして伝
導体相中で銀金使用する以外はこれらの組成物は例1と
同一であった。すなわちそれらは銅粉末Aおよび悪機結
合剤Aを使用していた。厚膜組成物のm成およびそれか
ら製造された伝導体の性質は以下の表6に与えられてい
る。はんだ性試験においては数値評価の減少は改善され
たはんだ性を意味している。
0.2〜1.2重量%に変動させて更に一連の厚膜伝導
体組成物を処方した。有機媒体は90重重量%溶* (
2,2,4−)リメチルはンクンジオールー1.3−モ
ノイソブチレート)中に溶解された10重重量%エチル
セルロースよシなっていた。有機媒体が異なシそして伝
導体相中で銀金使用する以外はこれらの組成物は例1と
同一であった。すなわちそれらは銅粉末Aおよび悪機結
合剤Aを使用していた。厚膜組成物のm成およびそれか
ら製造された伝導体の性質は以下の表6に与えられてい
る。はんだ性試験においては数値評価の減少は改善され
たはんだ性を意味している。
表 3
伝導体性質に及ぼす重合体含量の作用
Cu粉末A 77.7 73,9 72.7 725煕
根結合剤t、 5.6 5.3 5.2 5.2有機媒
体 IQ、5 14.7 16.1 16.5合計重合
体含−i 0.2 0.7 1.0 1.2伝導体性賀 接着性にュートン)初期 29 30 − 25〃 老
化 22 13 − <2 はんだ性 4 3 2 1 表6のデータは約0.5重量%以上の重合体の場合には
はんだ性が改善されるという事実にもかかわらず老化接
着性は顕著に低下することを示す。
根結合剤t、 5.6 5.3 5.2 5.2有機媒
体 IQ、5 14.7 16.1 16.5合計重合
体含−i 0.2 0.7 1.0 1.2伝導体性賀 接着性にュートン)初期 29 30 − 25〃 老
化 22 13 − <2 はんだ性 4 3 2 1 表6のデータは約0.5重量%以上の重合体の場合には
はんだ性が改善されるという事実にもかかわらず老化接
着性は顕著に低下することを示す。
例 11〜16
処方中の重合体物質の量を有機媒体の量の調整によって
0.56〜0.84重重量圧変動させて更に別の一連の
厚膜伝導体組成物が処方された。この有機媒体は次の組
成を有していた。
0.56〜0.84重重量圧変動させて更に別の一連の
厚膜伝導体組成物が処方された。この有機媒体は次の組
成を有していた。
エチルセルロース 7重量幅
ジブチルフタレー1・31
トリデシルホスフェート 1
1[10,0
ここでもまた、異種の有機媒体および伝導体用の銀含有
の他はこの組成物は例1と同一であった。これらの厚膜
組成物の組成およびそれから製造された伝導体の性質は
以下の表4に与えられている。
の他はこの組成物は例1と同一であった。これらの厚膜
組成物の組成およびそれから製造された伝導体の性質は
以下の表4に与えられている。
表 4
伝導体の性質に及ぼす重合体含量の作用Ou粉末A 7
4.8 73.4 71.7A?粉末(表面積1〜1.
7m2/f) 6.2 6.1 5.9無機結合剤A
5.4 5.3 5.1// B −−− 有機媒体 13.6 15.2. 17.3総重合体含
量 0.6 0.7 0.8伝導体性質 老化接着性にュートン) 25 18 16例14およ
び例15 これらの例においては所望のCuO含量の一部を無機結
合剤の1成分として包含させて2種の銅含有厚膜組成物
が処方された。銅粉末伝導体用および無機結合剤は次の
性質を有していた。
4.8 73.4 71.7A?粉末(表面積1〜1.
7m2/f) 6.2 6.1 5.9無機結合剤A
5.4 5.3 5.1// B −−− 有機媒体 13.6 15.2. 17.3総重合体含
量 0.6 0.7 0.8伝導体性質 老化接着性にュートン) 25 18 16例14およ
び例15 これらの例においては所望のCuO含量の一部を無機結
合剤の1成分として包含させて2種の銅含有厚膜組成物
が処方された。銅粉末伝導体用および無機結合剤は次の
性質を有していた。
10μm以下の粒子サイズ(重量%) 99.9平均粒
子サイズ(μm) 3.0 表面積<mVI)0.3 表面コーティング中の酸素(重量膚) 0.4無機結合
剤D B205 (重量%) 46.7 CuO(重量%) 53.り ioo、。
子サイズ(μm) 3.0 表面積<mVI)0.3 表面コーティング中の酸素(重量膚) 0.4無機結合
剤D B205 (重量%) 46.7 CuO(重量%) 53.り ioo、。
とのCuO含有ガラススリットは約650’C,の軟化
点を有していた。前記銅粉末およびガラス7リツトから
スクリーン印刷に適当な2種の厚膜組成物が前記方法で
製造された。両処分を96重に%アルミナ基材上にコー
ティングさせ、焼成させそして接着性、はんだ性および
伝導性に関して試験した。この厚膜物質の組成およびそ
れから製造された伝導体層の性質は次の通υであった。
点を有していた。前記銅粉末およびガラス7リツトから
スクリーン印刷に適当な2種の厚膜組成物が前記方法で
製造された。両処分を96重に%アルミナ基材上にコー
ティングさせ、焼成させそして接着性、はんだ性および
伝導性に関して試験した。この厚膜物質の組成およびそ
れから製造された伝導体層の性質は次の通υであった。
表 5
無機結合剤へのOuO添加効果
Ou粉末0 86.5 86.2
無機結合剤C−五〇
// D 5.7 3.0
有機媒体 7.8 7.8
酸化銅としての総酸素量(重i′%) 1.0 0.7
総重拓゛体含量(重量%) 0.8 0.8伝導体性質 接着性 高 高 はんだ性 良好 良好 伝導性 良好 良好 例14において単一結合剤として使用された場合%au
o@有フリット(無機結合剤D)の高い軟化声は、充分
な結合剤の流れおよび基材の結合を生成させるためには
900℃でこの組成物を焼成させることを必要とする。
総重拓゛体含量(重量%) 0.8 0.8伝導体性質 接着性 高 高 はんだ性 良好 良好 伝導性 良好 良好 例14において単一結合剤として使用された場合%au
o@有フリット(無機結合剤D)の高い軟化声は、充分
な結合剤の流れおよび基材の結合を生成させるためには
900℃でこの組成物を焼成させることを必要とする。
しかしながら例15に示されているように、等置部の無
機結合剤OおよびDの混合物の使用は銅フイルム中の優
れた接着性、はんだ性および伝導性の発現を伴なって6
00℃での焼成を可能ならしめる。
機結合剤OおよびDの混合物の使用は銅フイルム中の優
れた接着性、はんだ性および伝導性の発現を伴なって6
00℃での焼成を可能ならしめる。
前記テークはガラスフリットに加えられfc場合のCu
Oが本発明の組成物に粒子状形態で加えられた場合のC
uOと同様に有効であること全示している。
Oが本発明の組成物に粒子状形態で加えられた場合のC
uOと同様に有効であること全示している。
モアース・アンド・コンパ二一
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)(at 酸化銅コーティングとして少くとも0.2
重量%の酸素を含有しそして0.5〜10μmのサイズ
範囲、1〜5μmの平均粒子サイズおよび1 m2 /
f以下の表面積/重量比ヲ有する金稿銅、 (blO,1〜10μのサイズ範囲および0.5〜5μ
mの平均粒子サイズを有しそして酸化銅粒子の酸化物で
コーティングされた銅金属粒子に対する1i1−比が0
〜015でおるような酸化銅、 (cl 300〜700℃の軟化点、1〜15μmのサ
イズ範囲および1〜5μmの平均粒子サイズを有しそし
て結合剤中の酸化銅の銅金属粒子上の酸化銅に対する重
量比が0〜0.5である無機結合剤 の微細分割粒子混合物を、すべて (cll 全組成物基準で1.0重量%を越えない樹脂
を含有する有機媒体 中に分散させたものを包含し、そして(alt(1)1
およびtelからの酸化銅の合計量が(alの銅金属と
酸化銅の合計の15重量%に越えないものである、印刷
可能な厚膜伝導体組成物。 2) (a)、(1))および(clからの合計酸化銅
含量が4〜10重量係である前記特許請求の範囲第1項
記載の組成物。 3)酸化銅のすべてが銅粒子の酸化物コーティングから
導かれる前記特許請求の範囲第1項記載の組成物。 4)酸化鋼として加えられた酸素の銅金属粒子上の酸化
銅に対する重量比が0.2〜0.5である前記特許請求
の範囲第1項記載の組成物。 5)無機結合剤中の酸化銅の銅金属粒子上の酸化鋼に対
する重量比が0.2〜0.5である前記特許請求の範囲
第1項記載の組成物。 6)全組成物基準で分散されfc−固体70〜90重量
%でありそして有機媒体が50〜10重量%である前記
特許請求の範囲第1項記載の組成物。 7)無機結合剤が硼珪酸鉛ガラスである前記特許請求の
範囲第1項記載の組成物。 B)ガラスが20重量係以下のB2O5’fr含有して
いる前記特許請求の範囲第7項記載の組成物。 9)銅基率で1〜50重量係の微細分割銀金塊粒子を含
Mしている前記特許請求の範囲第1項記載の組成物。 10)共融比率の銅および銀粒子を含有する前記特許請
求の範囲第1項記載の組成物。 11)有機媒体の蒸発、酸化銅の分解および無機結合剤
と銅との焼結を行わせるために焼成せしめた前記特許請
求の範囲第1項記載の組成物のパターンフィルム’に!
するセラミック基材全包含する伝導体エレメント。 12)端子つき抵抗体を製造するにあたり。 (1) セラミック基材に抵抗体物質と無機結合剤の微
細分割粒子の有機媒体中に分散させた混合物全包含する
厚膜抵抗体は−スト層を適用すること、 (21有機媒体の蒸発および無機結合剤の液相焼結全行
わせるために酸化性雰囲気中で抵抗体ペースト層會焼成
させること、 (6) この焼成抵抗体層に前記特許請求の範囲第1項
記載の伝導体組成物のパターン層を適用すること、そし
て (4)非酸化性雰囲気中でこのパターン伝導体層に焼成
させて有機媒体の蒸発、酸化銅の分解および無機結合剤
と銅との焼結を行わせること 全包含する方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/505,730 US4521329A (en) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | Copper conductor compositions |
US505730 | 1983-06-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6035405A true JPS6035405A (ja) | 1985-02-23 |
JPH0334162B2 JPH0334162B2 (ja) | 1991-05-21 |
Family
ID=24011585
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59124614A Granted JPS6035405A (ja) | 1983-06-20 | 1984-06-19 | 銅伝導体組成物 |
JP61179002A Granted JPS62110202A (ja) | 1983-06-20 | 1986-07-31 | 伝導体エレメント |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61179002A Granted JPS62110202A (ja) | 1983-06-20 | 1986-07-31 | 伝導体エレメント |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4521329A (ja) |
EP (1) | EP0131778B2 (ja) |
JP (2) | JPS6035405A (ja) |
KR (1) | KR910005524B1 (ja) |
CA (1) | CA1211930A (ja) |
DE (1) | DE3472327D1 (ja) |
DK (1) | DK159698C (ja) |
GR (1) | GR82171B (ja) |
IE (1) | IE55567B1 (ja) |
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