JPS60259378A - 研削機における研削液供給方法およびその装置 - Google Patents
研削機における研削液供給方法およびその装置Info
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- JPS60259378A JPS60259378A JP59110760A JP11076084A JPS60259378A JP S60259378 A JPS60259378 A JP S60259378A JP 59110760 A JP59110760 A JP 59110760A JP 11076084 A JP11076084 A JP 11076084A JP S60259378 A JPS60259378 A JP S60259378A
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- JP
- Japan
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- grinding
- grinding fluid
- fluid
- plate
- grindstone
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
- B24B55/02—Equipment for cooling the grinding surfaces, e.g. devices for feeding coolant
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/0042—Devices for removing chips
- B23Q11/005—Devices for removing chips by blowing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/10—Arrangements for cooling or lubricating tools or work
- B23Q11/1076—Arrangements for cooling or lubricating tools or work with a cutting liquid nozzle specially adaptable to different kinds of machining operations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D7/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
- B24D7/10—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor with cooling provisions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D7/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
- B24D7/18—Wheels of special form
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は研削機とくにカップ型砥石を用いる研削機の研
削液供給方法およびその装置に関するものである。
削液供給方法およびその装置に関するものである。
従来カップ型砥石を用いる研削機械においては、主軸の
中心部軸方向に貫通する穴よシこの主軸に支持されたカ
ップ型砥石の内側面に向って研削液を供給するか、また
は砥石の外側よシ研削液を供給するものが実施されてい
る。
中心部軸方向に貫通する穴よシこの主軸に支持されたカ
ップ型砥石の内側面に向って研削液を供給するか、また
は砥石の外側よシ研削液を供給するものが実施されてい
る。
然るに上記前者においては、主軸の中心部軸方向に貫通
する研削液供給穴を穿設する必要があるため、容易に研
削液供給穴を加工することができない。また主軸の研削
液供給穴と研削液れがある。
する研削液供給穴を穿設する必要があるため、容易に研
削液供給穴を加工することができない。また主軸の研削
液供給穴と研削液れがある。
上記後者においては、砥石の回転による遠心力にさから
って研削液を研削部に供給するため研削部に十分なる研
削液の供給ができない。
って研削液を研削部に供給するため研削部に十分なる研
削液の供給ができない。
本発明は上記の欠点を除去し、簡単な構成にて研削液を
円滑に供給可能な研削液供給方法およびその装置を提供
することにある。
円滑に供給可能な研削液供給方法およびその装置を提供
することにある。
本発明は上記の目的を達成するため、発明したもので、
その発明の１つは、砥石の下面に向って下方から斜方向
に研削液を噴射し、砥石の下面に当ったときの反射力お
よび砥石の回転による遠心力を利用して研削液を砥石の
研削部に供給することを特徴とするものでオリ、他の発
明の１つは砥石の下面に向って下方から斜方向に研削液
噴射口を開口し、この研削液噴出口よシ上記砥石の下面
に当ったときの反射力および砥石の回転による遠心力を
利用して研削液を砥石の研削部に供給する如くノズルを
設けたことを特徴とするものであシ、さらに他の発明の
１つは、砥石の下面に支持され中央部に上下方向に貫通
する供給穴と、この供給穴よシ砥石の研削部に向って外
周面に放射状に開口する複数個のガイド穴とを有、する
ガイドを設け、このガイドの上記供給穴に向って下方か
ら斜方向に研削液を噴射す゛るノズルを設けたことを特
徴とするものである。
その発明の１つは、砥石の下面に向って下方から斜方向
に研削液を噴射し、砥石の下面に当ったときの反射力お
よび砥石の回転による遠心力を利用して研削液を砥石の
研削部に供給することを特徴とするものでオリ、他の発
明の１つは砥石の下面に向って下方から斜方向に研削液
噴射口を開口し、この研削液噴出口よシ上記砥石の下面
に当ったときの反射力および砥石の回転による遠心力を
利用して研削液を砥石の研削部に供給する如くノズルを
設けたことを特徴とするものであシ、さらに他の発明の
１つは、砥石の下面に支持され中央部に上下方向に貫通
する供給穴と、この供給穴よシ砥石の研削部に向って外
周面に放射状に開口する複数個のガイド穴とを有、する
ガイドを設け、このガイドの上記供給穴に向って下方か
ら斜方向に研削液を噴射す゛るノズルを設けたことを特
徴とするものである。
以下本発明の実施例を示す第１図及至第３図につき説明
する。
する。
第１図は本発明の１実施例を示し、同図において、１は
主軸にして、研削機本体（図示せず）に矢印方向に回転
する如く支持されている。２は平板状をしたプレートに
して、その中心部上面を上記主軸ｌの下面にボルト３に
て締着支持されている。４はリング状をしたダイヤモン
ド砥石にして、上記プレート２の外周部にボルト５に締
着支持され、下面にはダイヤモンドの研削刃６を固定し
ている。７は研削機本体を構成するベッドにして、矢印
方向に回転自在にテーブル８を支持している。９はチャ
ックにして、上記テーブル８上に支持され、研削するシ
リコンウェハ１０ヲ締着している。１１は研削液供給部
にして、上記ベッド７に固定され、内部に研削液供給源
（図示せず）に接続する研削液供給路（図示せず）を有
する台１１ａと、この台１１ａの上方斜面に支持され、
上記研削液供給路に接続して上記プレート２の下面に向
って斜方向に開口する噴射口１１ｃを有するノズルｌｌ
ｂから形成されている。
主軸にして、研削機本体（図示せず）に矢印方向に回転
する如く支持されている。２は平板状をしたプレートに
して、その中心部上面を上記主軸ｌの下面にボルト３に
て締着支持されている。４はリング状をしたダイヤモン
ド砥石にして、上記プレート２の外周部にボルト５に締
着支持され、下面にはダイヤモンドの研削刃６を固定し
ている。７は研削機本体を構成するベッドにして、矢印
方向に回転自在にテーブル８を支持している。９はチャ
ックにして、上記テーブル８上に支持され、研削するシ
リコンウェハ１０ヲ締着している。１１は研削液供給部
にして、上記ベッド７に固定され、内部に研削液供給源
（図示せず）に接続する研削液供給路（図示せず）を有
する台１１ａと、この台１１ａの上方斜面に支持され、
上記研削液供給路に接続して上記プレート２の下面に向
って斜方向に開口する噴射口１１ｃを有するノズルｌｌ
ｂから形成されている。
上記の構成であるから、主軸１が矢印方向に回転すると
、プレート２を介してダイヤモンド砥石４が回転する。
、プレート２を介してダイヤモンド砥石４が回転する。
またテーブル８が矢印方向に回′転すると、シリコンウ
エノ・１０が回転する。
エノ・１０が回転する。
この状態でノズルｌｌｂの噴出口ｌｉｅよシ点線にて示
す如くプレート２の下面に向って下方から斜方向に研削
液を噴射すると、研削液はプレート２に当ったときの反
射力およびプレート２の回転による遠心力によって点線
にて示す如く外方の研削刃６の下面に向って噴射される
。
す如くプレート２の下面に向って下方から斜方向に研削
液を噴射すると、研削液はプレート２に当ったときの反
射力およびプレート２の回転による遠心力によって点線
にて示す如く外方の研削刃６の下面に向って噴射される
。
つぎに第２図および第３図は本発明の他の１実施例を示
し、同図においては第１図に示すプレート２の下面にガ
イド１２ヲ付設したのみであるからこれ以外は第１図と
同一符号をもって示す。
し、同図においては第１図に示すプレート２の下面にガ
イド１２ヲ付設したのみであるからこれ以外は第１図と
同一符号をもって示す。
而して上記ガイド１２は、プレート２の下面に支持され
、中央部に上下方向に貫通ずる供給穴１２ａと、この供
給穴１２ａよシ上記研削刃６の下面に向って外周面に放
射状に開口する複数個のガイド穴１２ｂとから形成され
ている。
、中央部に上下方向に貫通ずる供給穴１２ａと、この供
給穴１２ａよシ上記研削刃６の下面に向って外周面に放
射状に開口する複数個のガイド穴１２ｂとから形成され
ている。
上記の構成であるから、ノズルｌｌｂよ９点線にて示す
如く、ガイド１２の供給穴１２ａ内に向って下方向から
斜方向に研削液が供給すると、研削液はプレート２の下
面に轟ったときの反射力およびプレート２０回転による
遠心力によｐガイド穴１２ｂ内を通って研削刃６の下面
に噴射される。
如く、ガイド１２の供給穴１２ａ内に向って下方向から
斜方向に研削液が供給すると、研削液はプレート２の下
面に轟ったときの反射力およびプレート２０回転による
遠心力によｐガイド穴１２ｂ内を通って研削刃６の下面
に噴射される。
したがって本発明においては、つぎに述べる効果を有す
る。
る。
（１） ノズルよシブレートの下面に向って下方から斜
方向に研削液を供給するのみによってその反射力および
プレートの回転による遠心力を利用して研削液を自動的
に研削刃の下面に供給することができるので、簡単な構
成にて容易に研削液を研削刃の下面に供給することがで
きる。
方向に研削液を供給するのみによってその反射力および
プレートの回転による遠心力を利用して研削液を自動的
に研削刃の下面に供給することができるので、簡単な構
成にて容易に研削液を研削刃の下面に供給することがで
きる。
（２）研削液を直接研削刃の下面に供給するので有効に
研削液を供給することができる。
研削液を供給することができる。
（３） プレートの下面に簡単な構成のガイドを設ける
ことによって研削液をさらに有効的に研削刃の下面に供
給することができる。
ことによって研削液をさらに有効的に研削刃の下面に供
給することができる。
第１図は本発明の１実施例を示す断面正面図、第２図は
本発明の他の１実施例を示す断面正面図、第３図はその
ガイドを示す断面平面図である。 １・・・主軸、２・・・プレート、４・・・ダイヤモン
ド砥石、６・・・研削刃、７・・・ベッド、８・・・テ
ーブル、９川チヤツク、１０・・・シリコンウェハ、１
１・・・研削液供給部、ｌｌｂ・・・ノズル、１２・・
・ガイド。 （′″′ ＼、１ 代理人弁理士 高 橋 明 夫 第１目
本発明の他の１実施例を示す断面正面図、第３図はその
ガイドを示す断面平面図である。 １・・・主軸、２・・・プレート、４・・・ダイヤモン
ド砥石、６・・・研削刃、７・・・ベッド、８・・・テ
ーブル、９川チヤツク、１０・・・シリコンウェハ、１
１・・・研削液供給部、ｌｌｂ・・・ノズル、１２・・
・ガイド。 （′″′ ＼、１ 代理人弁理士 高 橋 明 夫 第１目
Claims (3)
- （１）砥石の下面に向って下方から斜方向に研削液を噴
射し、砥石の下面に肖ったときの反射力および砥石の回
転による遠心力を利用して研削液を砥石の研削部に供給
することを特徴とする研削機における研削液供給方法。 - （２）砥石の下面に向って下方から斜方向に研削液噴射
口を開口し、この研削液噴出口よシ上記砥石の下面に当
ったときの反射力および砥石の回転による遠心力を利用
して研削液を砥石の研削部に供給する如くノズルを設け
たことを特徴とする研削機における研削液供給装置。 - （３）砥石の下面に支持され、中央部に上下方向に貫通
する供給穴と、この供給穴よシ砥石の研削部に向って外
周面に放射状に開口する複数個のガイド穴とを有するガ
イドを設け、このガイドの上町供給穴に向って下方から
斜方向に研削液噴射するノズルを設けたことを特徴とす
る研削機における研削液供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59110760A JPS60259378A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 研削機における研削液供給方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59110760A JPS60259378A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 研削機における研削液供給方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60259378A true JPS60259378A (ja) | 1985-12-21 |
Family
ID=14543867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59110760A Pending JPS60259378A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 研削機における研削液供給方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60259378A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100486137B1 (ko) * | 1997-08-15 | 2005-07-18 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공장치 및 가공방법 |
| WO2011086715A1 (ja) * | 2010-01-13 | 2011-07-21 | 株式会社アライドマテリアル | 超砥粒ホイールおよびそれを用いたウエハの製造方法ならびにウエハ |
| CN111070055A (zh) * | 2019-12-27 | 2020-04-28 | 科达半导体有限公司 | 一种超薄晶圆加工装置 |
| EP4023393A4 (en) * | 2019-08-30 | 2023-09-13 | Guilin Champion Union Diamond Co., Ltd. | TOOL COOLING MECHANISM |
-
1984
- 1984-06-01 JP JP59110760A patent/JPS60259378A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100486137B1 (ko) * | 1997-08-15 | 2005-07-18 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공장치 및 가공방법 |
| WO2011086715A1 (ja) * | 2010-01-13 | 2011-07-21 | 株式会社アライドマテリアル | 超砥粒ホイールおよびそれを用いたウエハの製造方法ならびにウエハ |
| CN102712076A (zh) * | 2010-01-13 | 2012-10-03 | 联合材料公司 | 超级磨粒砂轮、使用了该超级磨粒砂轮的晶片的制造方法以及晶片 |
| JP5465257B2 (ja) * | 2010-01-13 | 2014-04-09 | 株式会社アライドマテリアル | 超砥粒ホイール、その使用方法およびそれを用いたウエハの製造方法ならびにウエハ |
| KR101395947B1 (ko) * | 2010-01-13 | 2014-05-16 | 가부시끼가이샤 아라이도 마테리아루 | 초지립 휠 및 그것을 사용한 웨이퍼의 제조 방법 및 웨이퍼 |
| CN102712076B (zh) * | 2010-01-13 | 2014-10-15 | 联合材料公司 | 超级磨粒砂轮、使用了该超级磨粒砂轮的晶片的制造方法以及晶片 |
| US9011206B2 (en) | 2010-01-13 | 2015-04-21 | A.L.M.T. Corp. | Super abrasive wheel with dispensing capability, method of manufacturing wafer using the same, and wafer |
| EP4023393A4 (en) * | 2019-08-30 | 2023-09-13 | Guilin Champion Union Diamond Co., Ltd. | TOOL COOLING MECHANISM |
| CN111070055A (zh) * | 2019-12-27 | 2020-04-28 | 科达半导体有限公司 | 一种超薄晶圆加工装置 |
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