JPS60173732A - 光学デイスク - Google Patents

光学デイスク

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JPS60173732A
JPS60173732A JP59020734A JP2073484A JPS60173732A JP S60173732 A JPS60173732 A JP S60173732A JP 59020734 A JP59020734 A JP 59020734A JP 2073484 A JP2073484 A JP 2073484A JP S60173732 A JPS60173732 A JP S60173732A
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optical disc
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disc according
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Mikio Takeshima
竹島　幹夫
Norihiro Funakoshi
宣博 舩越
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、光学ディスクに関し、詳細にはディスク基板
としてプレグルーブ付薄膜形成ガラス基板を使用するこ
とによシ光学的透明性、非施光性（非複屈折性）、平面
性、耐湿性、耐熱性１表面精度および微細加工性の優れ
た光学ディスクに関するものである。
透明ディスク基板の片面に光エネルギーによって変化可
能なＴｏ系等の蒸着膜からなる情報記録層を形成し、そ
の無出側にＡｔ等の金属被覆層を形成してディスク面側
からレーザー光線を照射して情報を再生するタイプの情
報記録・再生ディスクとしてビデオディスクやオーディ
オディスク等が開発され、最近、急速表発展をみせてい
る。この種のディスク材料としては、ガラス及びポリカ
ーざネート系樹脂、ポリメチルメタクリレート系樹脂、
硬質塩化ビニル系樹脂。
４−メチルペンテン系樹脂等の透明性グラスチック材料
が検討されており、このうちポリカーがネート系樹脂、
ポリメチルメタクリレート系樹脂については、一部で実
用化が進められている。グラスチック基板は軽量で透明
性および成形性に優れているが、一方では本質的に軟質
であり、ディスクが薄肉（１，２ｍ又は１．５ｍ）、大
形状（２００＋ｏ＋φ〜３００ｍφ）なため周辺部のだ
れが問題となっている。従来、この面だれを防ぐため、
ディスク板と同厚の支持板を用いて貼シ合わせたり、あ
るいはスペーサーを介して一体化するという方法がとら
れてきたが、これらは満足するものとは言い難い。また
、グラスチック材料は吸湿性が大きいため、ディスクの
そシや記録層への悪影響の問題が考えられ、耐熱性も劣
るため長期的に変形しやすい。その上、ガラスのように
研磨できないため１表面精度も劣るという欠点を持って
いる。
一方、ガラスは透明性、平面性９表面精度。
耐熱性に優れておシ、ｉた、吸湿性も小さいことからデ
ィスク基材として有望視されているが、耐衝撃性に劣る
ため本質的に割れやすいという欠点を持っている。しか
しながら、ディスク全体を保護することによシ耐衝撃性
の欠点を補うことができれば、将来的に高性能な光学デ
ィスクの分野への適用性が開けてくることは明らかであ
る。
また、光学ヘッドのトラッキングサーがのため、ディス
ク面に微細なプレグルーブを形成しておく方法が有効と
され、採用されてきた。しかしながら、ガラス又はグラ
スチックは表面加工性が劣るため、将来はガラス原盤に
フォトレジストをスピンコードし、露光・現像後、電鋳
法によ１ｌＮｉスタンノや−を製造し、このＮｉスタン
パ−を母型として２　Ｐ　（Ｐｈｏｔｏ　−Ｐｏｌｙｍ
ｅｒ　）法を押出し一圧縮成形法、射出成形法等の手法
によシディスク面上にプレグルーブを転写する方法をと
ってきた。しかしながら、このようなルグループ形成法
には以下に示すような欠点が存在し、将来的に実用性を
高めていくうえで大きな障害となっている。すなわち （１）プレグルーブの深さを決定するうえで重要なフォ
トレジスト膜厚を正確に制御することが困難である。
（２）転写工程が多いため、エラーの原因となる欠陥が
増大する。
（３）電鋳工程において、Ｎｉ面内に発生する応力のた
めフォトレジスト面に形成されているプレグルーブ形状
がＮｉ面に正確に転写されない。
（４）　Ｎｉスタンパ−の板厚が０．３　ｍ＠程度と薄
いため、圧力のかかるようなプラスチック成形法におい
てスタンパ−にゆがみを生じたシ、グラスチック成形品
の平面精度低下をまねく。
本発明は、光学ディスクに存在するこれらの問題点全解
決するため、プレゲル“−プ付薄膜を形成したガラス基
板の薄膜露出側に金属被覆層。
記録層、透明保臆層、透明プレート等を設け、この透明
保護層又は透明プレート側からレーザ−光線を照射する
ことによ）情報を再生可能にしたもやで、以下、本発明
に係る光学ディスクを図面に示した実施例に基づいて詳
細に説明する。
一般にＡＡ　、Ｏｒ　、Ｆｅ　、Ｇｅ　、Ｍ、ｏ　、Ｎ
ｂ　、　Ｓｂ　、　Ｓｅ　、８１゜Ｓｍ、Ｔａ　、Ｔｅ
　、Ｔｉ　、Ｖ　、　Ｗの元素及びこれら元素の酸化物
、窒化物、ハロダン化物は表面加工性が優九ているため
、半導体プロセス技術において有望視されている材料で
あシ、その表面にプラズマエツチング等の手法によシト
ラッキングサーボ用のプレグルーブを形成することが可
能である。しかしながら、上記材料は、そのままでは表
面精度および平面精度にすぐれ大形状のものが得にくい
ため、比較的上記性能要求を満足しやすいガラス基板の
表面に上記材料から成る薄膜をスパッタリング等の手法
で形成し、この薄膜上にプレグルーブを形成したものを
用いれば大形状の光学ディスクが可能となる。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図であり、１はガ
ラス基板、２はプレグルーブ付薄膜、３はプレグルーブ
、４は情報ビットを有するＴｅ系等から成る情、報記録
層、５は情報記録層を傷やほこシから保護するための透
明保護層である。
情報は透明保護層５側からレーザー光線を照射すること
によ少記録・再生される。ただし、プレグルーブ付薄膜
２が透明な場合にはガラス基板１側からも記録−再生が
可能である。また、反射率を利用して情報の再生を行う
場合には、第２図の別の実施例に示すように、プレグル
ーブ付薄膜２のプレグルーブ形成面に１００ＯＡ程贋の
Ａｔ等金金属被覆層６′ｆｃ蒸等の手法によ多形成し、
情報を透明保護層５側から再生する。
また、プレグルーブ付薄膜２が透明な場合には、第５図
の別の実施例に示すように、記録層４露出面に金属被覆
層６を形成し、ガラス基板１側から情報の再生を行うこ
とができる。ここで透明保護層５の材質としてはアクリ
゛ル系樹脂が透明性及び非旋光性の点で有効である。
第３図は別の実施例であり、プレグルーブ付薄膜２側に
スペーサー７．７′を介して光学的に透明なプレート８
をエアーギャップ９を有するように設け、かつ、プレグ
ルーブ付薄膜２面に記録層４を形成した光学ディスクで
ある。また、第４図の別の実九例に示すように、プレグ
ルーブ付薄膜２と記録層４との間に金属被覆層６を形成
してもよい。第３図及び第４図の実施例において、情報
は透明プレート８側からレーザー光線を照射することに
よ少記録・再生される。
透明プレート８の材質としてはガラス及びポリカーブネ
ート系樹脂オアクリル系樹脂、硬質塩化ビニル系樹脂、
４−メチルペンテン系樹脂等の透明性基板が使用可能で
ある。
なお、第１図ないし第４図に示した実施例では、１枚の
ディスク基板を用いて片面側のみから記録情報を再生し
うるようにしたが、例えば、第７図の実施例に示すよう
に、ガラス基板１゜１′をガラス基板面が対面するよう
に接着剤１０を介して合体させるか、第８図の実施例に
示すように、ガラス基板１の表面および裏面にプレグル
ーブ付薄膜２．２′を形成するか、又は第６図の実施例
に示すように、第５図に示したディスクを金属被覆層面
が対向するように接着剤１０を介して合体させることな
どによシディスクの表面および裏面を記録拳再生面とし
て利用することができる。勿論、第６図ないし第８図の
実施例に示したディスク構造におけるディスクの表面お
よび裏面の薄膜露出ｉ１ｊを第２図ないし第４図に示し
たようなディスク構造としても良い。
以上のようにして製造した光学ディスクは、基板として
のガラスの吸湿性がほとんどないため、従来のプラスチ
ック基板の場合において問題となっていた吸湿に伴うそ
９変形がなく、また、透明保護層５及び透明プレート８
の吸湿による影響もガラスの剛性が大きいため、ディス
クとしてのそシ変形は非常に小さい。そのうえ、ガラス
は耐熱性もあるため長期信頼性を十分に満足する。また
、ガラス基板面に形′成された薄膜上にプレグルーブを
直接形成したものを光学ディスク用基板として用いるた
め、従来のＮｉスタンパ−１４いてプレグルーブを転写
したものと比較して転写工程が省略されるため、エラー
率の面からみて大幅に高性能化された光学ディスクが得
られる。
以上、図面に示した実施例にもとすいて説明したように
、本発明はおおむね以上のように構成されているから、 （１）　透明保護層及び透明プレートの選択によシレー
ザー光線に光学的な歪を与えず、しかも。
レーザー光線を十分に透過する透明性を有することがで
きる。
（２）ガラスは吸湿性がｉｔとんどないため、吸湿に伴
うそシ変形がなく、透明保険層及び透明プレートの吸湿
による影響もガラスの剛性が大きいため、ディスクとし
てのそＦ）Ｋ形は非常に小さい。また、ガラスは耐熱性
もあるため長期信頼性を十分満足した光学ディスクが得
られる。
（３）　ガラス基板上に形成された薄膜面にプレグルー
ブを直接形成したものを光学ディスク用基板として用い
ているため、従来のＮｉスタン／４’−を用いた転写法
によるプレグルーブ形成の場合と比較してエラー率を大
幅に減少でき、かなシ高性能化された光学ディスクが得
られる。
【図面の簡単な説明】
、第１図ないし第８図線本発明に係る光学ディスクの断
面図である。 図面中、 １．１′はガラス基板、 ２．２１はプレグルーブ付薄膜、 ３．３′はプレグルーブ、 ４．４′は記録層、 ５．５１は透明保護層、 ６は金属被覆層、 ７．７′はスペーサー、 ８は透明プレート、 ９はエアーギャップ、 １０は接着剤でおる。 特許出願人　日本電信電話公社 代理人　弁理士　光　石　士　部　（化１名）第１図 第３図 第５図 第７図 第８図

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）平面性および表面精度の優れたガラス基板゛の片
    面にトラッキングサーが用のプレグルーブを持つＡｔ、
    Ｃｒ　、Ｆｅ　、Ｇｅ　、Ｍｏ　、Ｎｂ　、Ｓｂ　、Ｓ
    ｅ　。 Ｓｉ、８ｍ、Ｔａ、Ｔｅ、Ｔｉ、Ｖ、Ｗの元素及びこれ
    ら元素の酸化物、窒化物、ノ・ロダン化物から成る薄膜
    を形成したものを光学ディスク用基板として用いるとと
    もに、このプレグルーブは薄膜側に光エネルギーによっ
    て変化可能な記録層を形成する一方、この記録層の露出
    側に光学的に透明な保護層を形成したことを特徴とする
    光学ディスク。
  2. （２）前記プレグルーブ付薄膜形成ガラス基板の薄膜露
    出側に金属被覆層を設けたことを特徴とする特許請求の
    範囲第１項記載の光学ディスク。
  3. （３）前記プレグルーブ付薄膜形成ガラス基板の薄膜露
    出側にスペーサーを介して光学的に透明なプレートを設
    け、かつ、前記薄膜面に記録層を形成したことを特徴と
    する特許請求の範囲第１項記載の光学ディスク。
  4. （４）前記薄膜と前記記録層との間に金属被覆層を設け
    たことを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の光学デ
    ィスク。
  5. （５）前記記録層露出側に金属被覆層を設けたことを特
    徴とする特許請求の範囲第１項自載の光学ディスク。
  6. （６）前記ガラス基板面が対向する様に接着剤を介して
    貼シ合せ、両面を記録・再生可能に構成したことを特徴
    とする特許請求の範囲第１項または第２項または第３項
    または第４項記載の光学ディスク。
  7. （７）前記金属被覆層面が対向するように接着剤を介し
    て貼り合せ、両面を記録・再生可能に構成したことを特
    徴とする特許請求の範囲第５項記載の光学ディスク。
  8. （８）ｇラス基板の表面および裏面に前記プレグループ
    付薄膜を形成するとともに、この薄膜露出側の両面を記
    録−再生可能に構成したことを特徴とする特許請求の範
    囲第１項または第２項または第３項または第４項記載の
    光学ディスク。
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