JPS60136264A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents

半導体装置の製造方法

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JPS60136264A JP58243318A JP24331883A JPS60136264A JP S60136264 A JPS60136264 A JP S60136264A JP 58243318 A JP58243318 A JP 58243318A JP 24331883 A JP24331883 A JP 24331883A JP S60136264 A JPS60136264 A JP S60136264A
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Masahiro Kamiya
神谷　政宏
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NEC Corp
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NEC Corp
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D30/00—Field-effect transistors [FET]
    • H10D30/80—FETs having rectifying junction gate electrodes

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