JPS5961011A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPS5961011A
JPS5961011A JP57169707A JP16970782A JPS5961011A JP S5961011 A JPS5961011 A JP S5961011A JP 57169707 A JP57169707 A JP 57169707A JP 16970782 A JP16970782 A JP 16970782A JP S5961011 A JPS5961011 A JP S5961011A
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magneto
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 気記録媒体に関する。
従来、光ｔｍ気メモリー材料の磁性膜としてアモルファ
ス磁性合金ｐＱ　Ｇｄ−Ｃｏ，　Ｇｄ−Ｆｅ，　Ｔｂ−
Ｆｅ　。
（）ｄ−Ｔｂ−Ｆｅ　、　Ｄｙ−Ｔｂ−Ｆｅなどが用い
られていたが磁気光学特性、力−またはファラデー回転
角が不十分で再生時のＳ／Ｎが低かった。キュＩＪ　−
！，度を上げると例えばＧｄ．−Ｔｂ−Ｆｅのようにカ
ー回転角が向上するものがあるかいまたカー回転角は不
十分であり、またキュリ一温度が高いと記録時のレーザ
ーパワーが大きいという欠点がある。
そこで、本発明者等は光磁気メモリー材料の磁性膜とし
てＴｈＦｅＣＯ糸合金を使用してカー回転角を大きくす
ることを既に提案した。しかしながら、ＴｂＦｅＣＯの
使用によりカー回転角が改善きれるが光磁気光学特性と
して釦十分満足のいくものではなかった。オた、キュリ
一温度が高いために記録時のレーザパワーを大きくする
必要がありその結果記録速度を十分にイＵることができ
ないという問題があった。
本発明は上記問題に鑑みてなこれたものであって、遷移
金Ｘ　（Ｆｅ，　Ｃｏ）と希土類（Ｄｙ　、Ｔｂ．　Ｇ
ｄ）との合金薄膜において遷移金属の磁気モーメントが
主に光磁気光学効果に作用している点に着目し、てカー
甘たはファラデー回転角の大きい磁性合金組成を選択し
甘た、記録時のレーザパワーをできるだけ小感くするた
めに遷移金属′に希土類を適正に組合せることにより小
さなエネルギーで記録できかつ再生時に大きなＳ／Ｎを
得ることができる元磁気記録娯体のβｉ」発に成功し本
発明の完成に至った。本発明の目的は記録時のメモリー
媒体面でのレーザパワーが小さいブｔＳ磁気記録媒体を
提供することである。また、本発明の別め目的は（１１
生時のＳ／Ｎすなわち磁気丸字効果ファラデー回転角の
大き、い光磁気記録媒体を提供することである。
本発明の光磁気記録媒体（１、磁性薄層として、一般式 ％式％） （丈中１ＭｌはＴｂ、　ＧｄおよびＤｙを表わし、Ｍｌ
はＴｂ、　ｔ）ｄ、ＤｙおよびＢ１を表わし、そしてＭ
ｌとＭｚは異々つており、０．０　（ｘ　（１，［１，
０７≦ｙ〈１．酎および０．１＜Ｚ＜０．３である） で表わされる磁性合金膜を有することを特徴とするもの
である。
本発明にふ−ける磁性薄層の組成ではＦｅとＣ○の２種
の遷移金ハによってファラデー回転角が改善さね’ｒ　
して２稗の希土類元素の組合せによって垂直異方性とキ
ュリ一温度が調整されるものと考えられる。本発明の磁
性＞１９層に用いられる合金組成の代表的な例とし７て
はり、下のものをあげることができる。
（ＧｄＯ，７Ｔｂｏ、３　）０．２ｉ　（Ｆｅ　Ｏ，９
５ＣＯ０，０５）０．７／、　−（ａ）、　（ＧｄＯ，
５Ｄｙ（１，５）０．１ｓ（Ｆｅ（＋、９ｃｏｏ、＋　
）ｏ、８２°−（ｂ）、（ＴｂｏニアＤｙｏ、２）０．
２２（ＦｅＯ，８ＣＯＯ１２）ｏ、７ａ゛”（Ｃ）、（
Ｔｂ０．９Ｂｉ０．１　）０．１７（Ｆｅｏ、７ａＣｏ
ｏ、２２）ｏ、ａｇ°゛（ｄ）、　（Ｇｄｏ、ａ５Ｂｉ
ｏ、＋５４．２６（Ｆｅｏ、５ａＣＯＯ，１２）ｏ、７
４°°（ｅ）。
光磁気記録媒体の重要な課題は記録時には小さなエネル
ギーを要し、一方再生時には大きなＳ／Ｎがイ４↓らね
ばならない。記録時のエネルギーは磁性膜のキュリ一温
度、膜厚、媒体の熱伝導率が大きな要因である。第１図
は膜厚と記録に必要なエネルギー（レーザ出力）との関
係を示すグラフである。この図から明らかなように、膜
Ｊ％’、　０．０２μｍまで膜厚とレーザ出力は直線間
（、？［に膜厚の増大に比例する。膜厚０．０２μｍり
下になるとレーザ出力が増大する。これはレーザ元が６
過してしまい熱が蓄積されないためである。
したがって、本発明では磁性薄層のニジさを１５０〜５
００Ａにするのが適堝である。
また、第２図は本発明の磁性薄層に用いられる合金組成
と記録可能な出力（レーザパワーｍｗ）およびキュリ一
温度（’Ｃ）との関係を示すグラフである。グラフ中、
実線はレーザパワーを、点線はキュリ一温度を示す。記
録条件としてはＬＤ波長８００ｎｍ、レーザパルス幅５
　ｆｔｇ　、外部磁界２００　ｏｅおよび膜厚００２〜
・００５μｍを用いる。キュリ一温度の低いＤ３＋の量
が増大するに従ってキュＩＪ−ｉ１Ｍ度が低下し、記録
に磨機なレーザパワーの出力が減少する。・ Ｃ）下、図面１について本発明の光Ｂｉ気記録媒体の構
成を説明する。
第６図（Ａｌす、本発明の光磁気記録媒体の層構成例を
示す模式図であって、基板１上に高屈折率層２、磁性薄
層５および酸化防止崩兼反射層４を順次設けたものであ
る。第６図（Ｂ）は別の層構成例を示す模式図であって
、基板１上に磁性薄層２、高屈折率層３、反射層５およ
び酸化防止Ｎ６を順次設けたものである。
基板としては、ガラス、プラスチックなどを用いること
ができる。高屈折率層Ｑコ１例えばＦ６２０３、ＴｉＯ
２、ＣｅＯ２，５ｂ２ｏ３、Ｗｏ３．５ｉＯ１Ｂｉ２０
３、ＣｄＯなどの屈折率が２０以上の物をスパッタリン
グ法によって付着させる。
酸化防止および断熱層としてはＭｇＯ、Ａｔ２０３．５
１０２、ＴｉＯ２、Ｔｈｏ２の酸化物および窒化物Ｔａ
Ｎ。
ＴｉＮ、ＣｒＮ、　ＺｒＮ、　Ｉ３Ｎ、　ＮｂＮ　’ｆ
ｚどが用いられ、膜厚（は１ｏｏｏＱ以上である。第４
図では基板上に磁性薄層が＠１００〜３０ＤＡの膜厚で
付着しており、再生時のレーサー光が透過司能な物であ
る。反射層としては金属薄膜Ｃｕ、　Ａｇ、　Ｃｒ、　
Ａ７．、　Ｒｈ、Ａｕ、Ｎ１およびＭｇＯ，Ａｔ２０５
、ＴｌＯ２、ＴｈＯ２，５１０２などが用いられる。反
射層に金属薄膜を用いる場合はその上に酸化防止層が必
要である。
次に、本発明の光磁気記録媒体の製造例を具体的に説明
する。
厚さ１隣のガラス基板上に最初に磁性層をアルゴンガス
圧３Ｘ１０−２ＴＯｒｒ、放電々力３００Ｗ。
膜作製速度２ＯＡ／ＥｌθＣの東件で作製する。スパッ
タリングは６つのターケ゛ツトを用いて基板回転で行い
例えばＧｄ　Ｔｂ　Ｆｅ　Ｃｏ磁性層のターゲット上の
配置はＦｅターゲット上にＧｄ、　Ｔｂ、Ｃｏのチップ
が磁性層に対応する面積比で配置される。
１つのターゲットは高屈折率層例えばＳｉＯであり、も
う１つの３ターゲツトは反射層例えばＣｕがそれぞれ配
置される。各々の積層膜は同−真壁中でターゲット上の
シャッターが開閉されて順次膜が積層され光磁気記録媒
体が作製されるものである。上述したようにして作製さ
れた本発明の光磁気記録媒体の構成例を以下の表１に記
載する。磁性薄層の欄において、（ａ）、（ｂ）、（Ｃ
）、（ｄ）および（θ）はそれぞれ先に例示した合金組
成に対応する。表１に示した本発明の光磁気記録媒体に
ついて、レーザ８００　ｎｍおよび媒体面１ｍＷを用い
て測定したファラデー効果によるカー回転角（θｋ）と
記録周波数２　Ｍ　ｂ　ｉ　ｔ、／Ｓにおける記録レー
ザーパワーを以下の表２に示す。
表　　１ Ａ８元光磁気録媒体の構成〔第３図（Ａ）　）試料Ａ　
　磁性薄層　　　高屈折率層　　酸１げ勇トＪ曽兼反射
層Ａ−１（ａ）膜厚２５０Ａ　　ＳｉＯ膜厚　５００λ
　）’Ｉｇｏ　　５００［ＩＡＡ−２（ｂ）　　’　４
００λ　ＴｉＯ２ｐ　２ｏｏｒ＋Ｘ　　Ａ２２０５３０
ＤＯＡＡ−”ｌ　　（ｃ）　　’　３０ｏ′Ａｓｔｏ　
　ｓ　１ｏｏｏ″Ａ、　　Ｆｅ２Ｏ３３０［］［］ＡＡ
−４（ｃ］、）　　’　　２５０Ａ　　ＣｅＯ２’　　
３０００Ａ　　Ｗｏ３　３０［１０ＡＡ−５（０）　　
ｎ　２００＾　ＳｉＯ’　２５００λ　Ａｚ２ｏ３５０
０ｒｌＡＢ、光磁気記録媒体の構成〔第３図（Ｂ）〕磁
磁性薄層　　高屈折率層　　反射層　酸化防止層Ｂ−１
（ａ）膜厚２０　ＤＡ　　ＳｉＯ膜厚２５０［］Ｘ　　
ｃｕ　５０００＾５ｉ０２５ｆ］０ＯＡＢ−２（ｂ）　
”　２００λＳｉＯ’　２０［］ＯＡ　Ｃｕ　　’　　
Ｃｅ０２３００ＱＡＢ−５（ｃ）　〃１５０Ａ　ＴｉＯ
２’　！１０００λＭｇＯ”Ｉ’ｉ０２３０００ＡＢ−
４（ｄ）　’　１７０Ａ、　ＳｉＯ’　　５００Ａ　Ｗ
Ｏ２’　　ＴａＮ３００ｎＡＢ−５（ｅ）　　〃　２ｓ
ｏＱ−ＣｅＯ２＃　　１０００ス　ｐＪ、　　　’　　
　　ＣｒＮ５ＤＤＣＪＡ表　　　２ Ａ−１０，７４６５ｍＷ Ａ−２０，６２４，２ Ａ−３０，５８３，０ Ａ−４０，５２３，０ Ａ−５０，６４３，０ Ｂ−１０，８８３，５ Ｂ−２０，７４２，８ Ｂ−３０，６８２，５ Ｂ−４０，６０２，８ Ｂ−５０，７２２，５
【図面の簡単な説明】
第１図は磁性薄層の膜厚と記録エネルギーとの関係を示
すグラフであシ、第２図は磁性薄層の合金組成と記録エ
ネルギーとの関係を示すグラフであり、そして第３図囚
および（Ｂ）は光磁気記録媒体の層構成を示す模式四で
ある。 １・・・基板、２・・磁性薄層、５・・・高屈折率層、
４・・・酸化防止層」１反射層、５・・・反射層、６・
・酸化防止層。 特許出願人　　株式会社　リ　　コ　　一代　理　人　
　弁狸士　　山　　下　　　白　　パ□図 （Ｂ） 手続補正書 １１ｆ（ｆｔ１５７年１２月２目 特許庁長官　若　杉　和　夫　殿 １、事件の表示 昭和５フイＩ”ｌ’、）許願第１６９７０７号３、補正
をする者 事件との関係　特許出願人 住所　東京都大田区中馬込１丁目３４作６号名称　（６
７４）　　株式会社　リ　コ　−４、代理人 ５、補正命令の日刊　（自発） 昭和　　年　　月　　ＩＪ　（発送日　昭６、　補正）
対象　　明細書全文および図面７、補正の内容 １）明細書を別紙訂正明細蓬のとおり全文補正します。 ２）図面第３図（Ａ）を別紙のとおり補正します（符号
「−６」を「２」と、そして符号「２」を「６」と補正
します）。 以上 訂　　正　　明　　、ｉ、ｉｌｌ　　　引。 １、発明の名称　　光磁気記録媒体 ２、特許請求の範囲 磁性薄層として、一般式 ％式％） （式中、ＭＩはＴｂ、ＧｄおよびＤｙを表わし、Ｍｆｉ
はＴｂ、　（Ｍ、、　ＤｙおよびＢ１を表わし、そして
ＭＩと１匂は異なっており、０．０　（ｘ　（１，［１
，０，７≦ｙ（１，０および０．１＜Ｚ＜０．６である
） で表わさハ、る硼性合金１Ｎを有することを特徴とする
光磁気記録媒体。 ３、発明の詳細な説明 本発明は新規な組成の磁性溝層を有する光磁気記録媒体
に関する。 従来、光磁気メモリー材料の磁恰膜としてアモルファス
磁性合金膜Ｇｄ−Ｃｏ、Ｇｄ−Ｆｅ、　Ｔｂ−Ｉ＋’ｅ
。 Ｇｄ−Ｔｂ−Ｆｅ、Ｄｙ−Ｔｂ−Ｆｅなどが用いられて
いたが磁気光学特性、カーまたはファラデー回転角が不
充分で再生時のｓ／Ｎが低かった。キュリ一温度を上け
ると例えばＧｄ−Ｔｂ−Ｆｅのようにカー回転角が向上
するものがあるがい１だカー回転角は不充分であり、ま
たキュリ一温度が高いと記録時のレーザーパワーが大き
いという欠点がある。 そこで、本発明者等は光磁気メモリー材料の磁性膜とし
てＴｂＦｅＣｏ系合金を使用してカー回転角を大きくす
ることを既に提案した。しかしながら、ＴｂＦｅＣｏの
使用によりカー回転角が改養されるが光磁気光学特性と
しては充分満足のいくものではなかった。また、キュリ
一温度が高いために記録時のレーザパワーを大きくする
必要があシその結果記録速度を充分に得ることができな
いという問題があった。 本発明は上記問題に鑑みてなされたものであって、遷移
金Ｍ（ｙｅ、Ｃｏ）と希土類（Ｄｙ、’ｒｂ、ｏａ）と
の合金薄膜において遷移金属の磁気モーメントが主に光
磁気光学効果に作用している点に着目してカー寸たけフ
ァラデー回転角の大きい磁性合金組成を選択し゛また、
記録時のレーザパワーをできるだけ小さくするために遷
移金属に希土類を１・適正に組合せることによυ小さな
エネルギーで記録できかつ再生時に大きなＳ／Ｎを得る
ことができる光磁気記録媒体の開発に成功し７本発明の
完成に至った。本発明の目的は記録時のメモリー媒体面
でのレーザパワーが小さい光磁気記録媒体を提供するこ
とである。また、本発明の別の目的は再生時のＳ／Ｎす
なわち磁気光学効果ファラデー回転角の大きい光磁気記
録媒体を提供することである。 本発明の光磁気記録媒体は、磁性薄層として。 一般式 ％式％） （式中、ＭＪはＴｂ、　ＧｄおよびＴＪｙを表わし、Ｍ
ＪＩはＴｂ、Ｇｄ　、ＤｙおよびＢ１を表わし、そして
ＭＪとＭｘは異なっており、０．０＜ｘ＜１．０．０７
≦、ｙ＜１．０および０．１　＜　ｚ　＜　０．３であ
る）で表わされる磁性合金膜を有することを特徴とする
ものである。 本発明における磁性薄層の組成ではＦｅとＣ。 の２釉の遷移金属によってファラデー回転角が教養され
そして２種の希土類元素の組合せによって垂直異方性と
キュリ一温度が調整されるものと考えられる。本発明の
磁性薄層に用いられる合金組成の代表的な例としては以
下のものをあげることができる。 （Ｇｄｏ−７Ｔｂｏ、ｘ）ｏ、２４（Ｆｅｏ、９５ＣＯ
ｏ、ｏｓ）ｏ、７６−（ａ）、　（Ｇｃｌｏ、５Ｄ７０
．５）０．１８（Ｆｅｏ、９Ｃｏｏ、１）ｏ、ａ２−（
ｂ）、（Ｔｂ０．７Ｄ７０．２）０．２２（Ｆｅ０．８
ＣＯ０，２）０．７８　＝’（ｃ）、（Ｔｂ０．９　Ｂ
ｉ　ｏ、１）ｏ、１ｙ　（Ｆｅ　Ｑ、７８ＣＯ０，２２
）ｏ、ａ　３　＝（ｄ）、　（Ｇｄ　ｏ、ａ　ｓ　Ｂｉ
ｏ、１ｓ）ａ、２６（Ｉ’ｅｏ−８８ｃＯ０，１２）０
．７４°−（ｅ）。 光磁気記録媒体の重要な課題は記録時には小さなエネル
ギーを要し、一方再生時には大きなＳ／Ｎが祷らねばな
らない。記録時のエネルギーは磁性膜のキュリ一温度、
膜厚、媒体の熱伝導率が大きな要因である。第）図は膜
厚と記録に必要なエネルギー（レーザ出力）との関係を
示すグラフである。この図から明らかなように、膜厚０
６０２μｍまで膜厚とレーザ出力は直線関係に膜厚の増
大に比例する。膜厚０．０２μｍ以下になるとレーザ出
力が増大する。これはレーザ光が透過してしまい熱が蓄
積されないためである。 したがって、本発明では磁性薄層の厚さを２００〜１０
０ＤＡにするのが適轟である。 また、第２図は本発明の磁性薄層に用いられる合金組成
と記録可能な出力（レーザパワーｍｗ）およびキュリ一
温度（Ｃ）との関係を示すグラフである。グラフ中、実
線はレーザパワーを、点線はキュリ一温度を示す。記録
条件としてはＴ、Ｄ波長８００　ｎｍ、レーザパルス幅
５μ日、外部磁界２０００ｅおよび膜厚０．０２〜０．
１７７ｍを用いる。キュリ一温度の低いＤｙの量が増大
するに従ってキュリ一温度が低下し、記録に必要なレー
ザパワーの出力が減少する。 以下、図面について本発明の光磁気記録媒体の構成を説
明する。 第３図（ロ）は本発明の光磁気記録媒体の層構成例を示
す模式図であって、基板１上に高屈折率層２、磁性薄層
３および酸化防止層４を順次設けたものである。第６図
（Ｂ）は別の層構成例を示す模式図であって、基＆１上
に磁性薄層２、高屈折率層６、反射層５および醇化防止
層６を順次設けたものである。 基板としては、ガラス、プラスチックなくを用いること
ができる。高屈折率層は例えばＦｅ２Ｏ２、’］’　１
０２、Ｃｅ０２．５ｂ２ｏ３、ＷＯ３，５ｉＯ１Ｂ　ｉ
２０３、ＣｄＯなどの屈折率が２．　Ｏｒ：ｘ上の物を
スパッタリング法によって付着させる。 酸化防止層としては）ＡｇＯ，Ａ１２０ｙ、、５１ｏ２
、’ｒ１ｏ２およびＴｈｅ２の酸化物が用いられ、膜厚
は１０００Ａ以上である。第６図（Ｂ）では基板上に磁
性薄層が膜２００〜５００／＼の膜厚で付着しており、
再生時のレーザー光が透過可能々物である。反射層とし
ては金属薄膜Ｃｕ、Ａｇ、　Ｃｒ、　Ａ１．Ｒｈ、　Ａ
ｕ　およびＮ１などが用いられる。反射層に金属薄膜を
用いる場合はその上に酸化防止層が必要である。 次に、本発明の光磁気記録媒体の製造側全具体的に説明
する。 厚さ１能のガラス基板上に最初に磁性層をアルゴンガス
圧３Ｘ　１０−２Ｔｏｒｒ、放電々力３００Ｗ、膜作製
速度２０犬／８θＣの条件で作製する。スパッタリング
は６つのターゲットを用いて基板回転で行い例えばＧｄ
　Ｔｂ　Ｐｅ　Ｃｏ磁性層のターゲット上の配置はＦｅ
ターゲット上にＧｄ、　Ｔｂ−Ｃｏのチップが磁性層に
対応する面精比で配置される。 １つのターゲットは高屈折′４層例えばＳｉＯであシ、
もう１つのターゲットは反射層例えばＣｕがそれぞれ配
置される。各々の積層膜は同一真空中でターゲット上の
シャッターが開閉されて順次膜が８ｔＮされ光磁気記録
媒体が作製されるものである。上述したようにして作製
された本発明の光磁気記録媒体の構成例を以下の表１に
記載する。磁性薄層の欄において、（ａ）、（ｂ）、（
Ｃ）、（ｄ）および（θ）はそれぞれ先に例示した合金
組成に対応する。表１に示した本発明の光磁気記録媒体
について、レーザ８００　ｎｍおよび媒体面１ｍｗを用
いて測定したファラデー効果によるカー回転角（θｋ）
と記録周波数２Ｍ　ｂｉｔ／Ｓにおける記録レーザパワ
ーを以下の表２に示す。 表　　　１ Ａ、″ｌｔ、磁気記録媒体の構成〔第３図囚〕Ａ、−２
（ｂ）　　〃　　６ｏｏス　　’ｒｉｏ２　　＃　　２
０００ス　Ａ／２０３　３０（１０スＡ−３（ｃ）　〃
８ｏｏスＳｉＯＩ　１００（］λＦｅ２Ｏ３３０００ス
Ａ−４（ｃｌ）　’　１０００Ａ　ＣｅＯ２”５０００
Ａ　ＷＯ３３０００λＡ−５（ｅ）　’　５０．ＯＮ　
ｓｌｏ　ｓ　２５００スＡｔ２ｏ３５０００Ａ１３、光
磁気記録媒体の構成〔第３図（Ｂ〉〕磁性薄層　　高屈
折率層　　反射層　酸化ＩＬ’ｊ止層１−１１１１胛園
■−一―−１１−枠一一■――−−−。 Ｂ−１（ａ）Ｈ１ｊＪＭ２ＤＯＡ　　ＳｉＯＭノ草２５
ＱＱＡ　　Ｃｕ　５００（ＪＡ　　５ｉ０２５０００Ａ
Ｂ−２（ｂ）　’　２００Ａ　ＳｉＯ’　２０ＵＯＡ　
Ｃｕ　　＃Ｃｅ０２３０００ＡＢ−３（ｃ）　　’　　
２００Ａ　　ＴｉＯ２’　　３０００Ｘ　Ａｇ　　’　
　　　Ｔｉ０２３０００ＡＢ−４（ｄ）　　’　　　２
００；Ｖ　　ｓｌｏ　　　ｓ　　　５００λ　Ａｕ　　
　’　　　　ＴａＮ　　３０００ＡＢ−５（ｅ）　〃２
５０ス　ＣｅＯ２’　　１０［］ＯＡ　ＡＬ　　’　　
ＣｒＮ　３０００Ａ表　　　２ Ａ−１０，７４６ｍＷ Ａ−２０，６２７ Ａ−３０，５８７ Ａ−４０，５２８ Ａ−５０，６４６ Ｂ−１０，８８３，５ Ｂ−２０，７４２，８ Ｂ−３０，６８２，５ Ｂ−４０，６０２，８ Ｂ−５０，７２２，５ ４、図面の簡単な説明 第１図は磁性薄層の膜厚と記録エネルギーとの関係を示
すグラフであシ、第２図は磁性薄層の合金組成と記録エ
ネルギーとの関係を示すグラフであり、そして絹３図（
Ａ”ｌおよび（Ｒ）は光磁気配録媒体の層構成を示す枠
弐図である。 １・・・基板、２・・・磁性薄層、６・・・高屈折率Ｂ
ｉ、４・・酸化防ｄ一層、５・・・反射層、６・酸化防
止層。 肴許８猪（１人　　株式会社　リ　　コ　　−第１図 第。 （Ａ） （Ｇ ３図 （８） 「−

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 磁性い＃／層として、一般式 ％式％） （式中、Ｍ工けＴｌ）、　ｆ）ｄおよびＤｙを表わし、
    Ｍ■ばはＴｂ、　Ｇ（］、　ＤｙおよびＢ１を表わし、
    そして）ＩＩとＭＩｒケ異なっており、　０．０（ｘ（
    １，［］、０．７≦ｙ〈１０および０．１　（Ｚ　（０
    ，３である〕で表わさ、ｈる磁性合金膜を有することを
    特徴とする光磁気記録媒体。
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Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59104737A (ja) * 1982-12-03 1984-06-16 Seiko Instr & Electronics Ltd 光磁気デイスク
JPS59162250A (ja) * 1983-03-04 1984-09-13 Toshiba Corp 磁性合金
JPS59208706A (ja) * 1983-05-12 1984-11-27 Daido Steel Co Ltd 熱磁気記録材料
JPS59217249A (ja) * 1983-05-25 1984-12-07 Sony Corp 光磁気記録媒体
JPS609855A (ja) * 1983-06-28 1985-01-18 Toshiba Corp 磁性合金
JPS60107751A (ja) * 1983-11-17 1985-06-13 Canon Inc 光熱磁気記録媒体
JPS60231306A (ja) * 1984-05-01 1985-11-16 Ricoh Co Ltd 非晶質磁気光学層
JPS60231307A (ja) * 1984-05-01 1985-11-16 Ricoh Co Ltd 非晶質磁気光学層
JPS60233810A (ja) * 1984-05-04 1985-11-20 Ricoh Co Ltd 非晶質磁気光学層
JPS60246606A (ja) * 1984-05-22 1985-12-06 Ricoh Co Ltd 非晶質磁気光学層
JPS60251540A (ja) * 1984-05-26 1985-12-12 Ricoh Co Ltd 非晶質磁気光学層
JPH03181040A (ja) * 1990-11-28 1991-08-07 Ricoh Co Ltd 光磁気記録媒体
JPH03181038A (ja) * 1990-11-28 1991-08-07 Ricoh Co Ltd 光磁気記録媒体
JPH03181039A (ja) * 1990-11-28 1991-08-07 Ricoh Co Ltd 光磁気記録媒体
JPH05174437A (ja) * 1991-04-30 1993-07-13 Canon Inc 光磁気記録媒体
JPH05182265A (ja) * 1991-04-30 1993-07-23 Canon Inc 光磁気記録媒体
US5473582A (en) * 1993-09-02 1995-12-05 Nikon Corporation Magneto-optical recording method having constant recording sensitivity and magneto-optical recording medium used therefor

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3348423C2 (de) * 1982-05-10 1994-11-17 Canon Kk Verwendung einer amorphen magnetischen quaternären GdTbFeCo-Legierung für die Herstellung einer magnetooptischen Aufzeichnungsschicht
US4721658A (en) * 1984-04-12 1988-01-26 Minnesota Mining And Manufacturing Company Amorphous magneto optical recording medium
US4684454A (en) * 1983-05-17 1987-08-04 Minnesota Mining And Manufacturing Company Sputtering process for making magneto optic alloy
US4833043A (en) * 1983-05-17 1989-05-23 Minnesota Mining And Manufacturing Company Amorphous magneto optical recording medium
US4615944A (en) * 1983-05-17 1986-10-07 Minnesota Mining And Manufacturing Company Amorphous magneto optical recording medium
US4569881A (en) * 1983-05-17 1986-02-11 Minnesota Mining And Manufacturing Company Multi-layer amorphous magneto optical recording medium
DE3519070A1 (de) * 1984-05-29 1985-12-05 Ricoh Co., Ltd., Tokio/Tokyo Magneto-optisches aufzeichnungsmedium
JPS6122452A (ja) * 1984-07-09 1986-01-31 Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> 光磁気記録媒体
JP2680586B2 (ja) * 1987-11-26 1997-11-19 シャープ株式会社 光磁気記憶媒体
DE3803000A1 (de) * 1988-02-02 1989-08-10 Basf Ag Flaechenfoermiges, mehrschichtiges magneto-optisches aufzeichnungsmaterial
DE68909520T2 (de) * 1988-07-07 1994-04-21 Oki Electric Ind Co Ltd Magneto-optisches Speichermedium.
JPH02158939A (ja) * 1988-12-12 1990-06-19 Nikon Corp オーバーライト可能な光磁気記録媒体
JP2660569B2 (ja) * 1989-02-10 1997-10-08 三菱電機株式会社 光磁気記録媒体
US5094925A (en) * 1989-06-30 1992-03-10 Sharp Kabushiki Kaisha Opto-magnetic recording medium
JP2882657B2 (ja) * 1990-02-16 1999-04-12 三菱樹脂株式会社 光磁気記録媒体
JP2617025B2 (ja) * 1990-08-11 1997-06-04 シャープ株式会社 磁気記録媒体とその記録再生方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE793138A (fr) * 1971-12-21 1973-04-16 Siemens Ag Couche de memoire magneto-optique
GB1436011A (en) * 1972-08-29 1976-05-19 Ibm Amorphous magnetic material
NL7713503A (en) * 1977-12-07 1979-06-11 Philips Nv Thermomagnetic information recorder e.g. for laser beams - has active layer of gadolinium, iron and holmium, dysprosium or terbium
GB2077065B (en) * 1980-02-23 1985-01-09 Sharp Kk Magnetooptic memory medium
CA1185013A (en) * 1981-01-14 1985-04-02 Kenji Ohta Magneto-optic memory medium
DE3309483C3 (de) * 1982-03-17 2003-02-27 Canon Kk Magnetooptisches Aufzeichnungsmaterial und dessen Verwendung
DE3348423C2 (de) * 1982-05-10 1994-11-17 Canon Kk Verwendung einer amorphen magnetischen quaternären GdTbFeCo-Legierung für die Herstellung einer magnetooptischen Aufzeichnungsschicht
JPS595450A (ja) * 1982-07-02 1984-01-12 Ricoh Co Ltd 光磁気記録媒体

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0120500B2 (ja) * 1982-12-03 1989-04-17 Seiko Denshi Kogyo Kk
JPS59104737A (ja) * 1982-12-03 1984-06-16 Seiko Instr & Electronics Ltd 光磁気デイスク
JPS59162250A (ja) * 1983-03-04 1984-09-13 Toshiba Corp 磁性合金
JPS59208706A (ja) * 1983-05-12 1984-11-27 Daido Steel Co Ltd 熱磁気記録材料
JPS59217249A (ja) * 1983-05-25 1984-12-07 Sony Corp 光磁気記録媒体
JPS609855A (ja) * 1983-06-28 1985-01-18 Toshiba Corp 磁性合金
JPH0515778B2 (ja) * 1983-06-28 1993-03-02 Tokyo Shibaura Electric Co
JPS60107751A (ja) * 1983-11-17 1985-06-13 Canon Inc 光熱磁気記録媒体
JPS60231307A (ja) * 1984-05-01 1985-11-16 Ricoh Co Ltd 非晶質磁気光学層
JPS60231306A (ja) * 1984-05-01 1985-11-16 Ricoh Co Ltd 非晶質磁気光学層
JPS60233810A (ja) * 1984-05-04 1985-11-20 Ricoh Co Ltd 非晶質磁気光学層
JPS60246606A (ja) * 1984-05-22 1985-12-06 Ricoh Co Ltd 非晶質磁気光学層
JPS60251540A (ja) * 1984-05-26 1985-12-12 Ricoh Co Ltd 非晶質磁気光学層
JPH03181039A (ja) * 1990-11-28 1991-08-07 Ricoh Co Ltd 光磁気記録媒体
JPH03181038A (ja) * 1990-11-28 1991-08-07 Ricoh Co Ltd 光磁気記録媒体
JPH03181040A (ja) * 1990-11-28 1991-08-07 Ricoh Co Ltd 光磁気記録媒体
JP2544684B2 (ja) * 1990-11-28 1996-10-16 株式会社 リコー 光磁気記録媒体
JP2544685B2 (ja) * 1990-11-28 1996-10-16 株式会社 リコー 光磁気記録媒体
JPH05174437A (ja) * 1991-04-30 1993-07-13 Canon Inc 光磁気記録媒体
JPH05182265A (ja) * 1991-04-30 1993-07-23 Canon Inc 光磁気記録媒体
US5473582A (en) * 1993-09-02 1995-12-05 Nikon Corporation Magneto-optical recording method having constant recording sensitivity and magneto-optical recording medium used therefor

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Publication number Publication date
DE3335689A1 (de) 1984-04-05
JPH0413779B2 (ja) 1992-03-10
DE3335689C2 (ja) 1992-06-11

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