JPS59217249A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPS59217249A
JPS59217249A JP9206983A JP9206983A JPS59217249A JP S59217249 A JPS59217249 A JP S59217249A JP 9206983 A JP9206983 A JP 9206983A JP 9206983 A JP9206983 A JP 9206983A JP S59217249 A JPS59217249 A JP S59217249A
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JP
Japan
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rare earth
transition metal
earth metal
metal
contg
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JP9206983A
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Noboru Sato
昇 佐藤
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Sony Corp
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    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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    • G11B11/10Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
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    • G11B11/10582Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
    • G11B11/10586Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material

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  • Thin Magnetic Films (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、例えば書き換え可能な光磁気ディスクに適用
する光磁気記録媒体に係わる。
背景技術とその問題点 レーザー光、例えば半導体レーザー光による四き込み、
読み出しを行うことができ書き換え可能な光磁気ディス
ク等の光磁気記録媒体としζ、希土類金属−遷移金属系
の記録材料が用いられる。
光磁気記録材料としての垂直磁化膜の磁気特性は、これ
に対する記録、すなわち磁気バブルの形成、再生、及び
消去の特性を決める重要な要素である。記録パワーの低
減化に関しては、硼化Mが大きく、抗磁ノ月1c及びキ
ュリ一温度Tcがイ1ζいことが望ましいが、再生信号
の大きさ、C/N (S/N)の改善に関し°ζは、こ
れが磁化の方向に基ずくカー回転角の大きさに依存(比
例)するものであり、このカー回転角θには、磁化M、
抗磁力11cと同様に温度依存性を有し高温になるにつ
れてその値が小さくなるものであり、キュリ一点Tcで
零となっ°ζしまう。したがっζこの種の光磁気記録材
料の特性としCば、レーザー照射による温度」1昇に伴
う特性の低下、例えばカー回転角θにの低下による出力
低)を回避するために記録材料のキュリ一点が成る程度
高いことが要求される。このような要求からTb−Re
を主体とする希土類−遷移金属系光磁気記録材料ではキ
ュリ一点の商いGd −FeをTb−Feに混入させる
ことによってキュリ一点T c’c iAlめるように
したGdTb−Feが提イハされた。このGdTb−F
eは、キュリ一点Tcが市められたことにより、多少の
カー回転角の向−し、したがっ゛ζ多少のC/Nの向上
ははかられるものの、大きな向上はみられず、また、磁
化M及び抗磁力Ilc等の磁気特性の向上には余り効果
が得られない。つまり、例えば第1図に夫々曲線[1,
+21及び(3)で示す磁化M、抗磁力Hc及びカー回
転角θにの温度特性を有するTb−Fe系を主体とする
磁気材料において、上述したGd−Feの添加によっ”
ζ、各特性を矢印aにネオ方向に、すなわちキュリ一点
Tcを向上させる方向の改善ははかっている。しかしな
がら、この場合、矢印す及びCに示ず方向への改善は、
殆んどはかることができないものであって特に磁化M、
シカ−転角θにの値自体の向上はばかられてぃない。
一方、Tb−Pe糸の光磁気記録材料として、キュリ一
点の低いDy −Feを添加したDyTb−Fe糸材料
は、キュリ一点が低く、これによって記録パワーの減少
をはかることができるものである。
発明の目的 本発明においては、特に磁化及びカー回転角の向上、す
なわち−に述の第1図に不ず特性にお番ノる矢印す及び
C方向への改善をはかることができるようにした光磁気
記録媒体を提供するものである。
ずなわら本発明においては、磁化及びカー回転角の向上
によっζ、再生特性の向」二をはかると共に高密度記録
、C/N比の向上をはかることができる。ずなわぢ、こ
の種の記録における記録ビットの直径は抗磁力と磁化に
反比例するので、上述したよ・うに磁化の向上に伴って
記録ヒソ]・径の縮小化がはかられζ、これによって1
1〕1密度記録化。
C/Nの向上がはかられるものである。
発明のJ既要 本発明におい°Cは、上述したような、希土類金属−遷
移金属系光磁気記録材料による光磁気記録媒体において
、希土類金属が15〜30原子%に、遷移金属が85〜
70原子%に、最も望ましい値としては、希土類金属が
約20原子%、遷移金属が80原子%の割合とし、しか
も遷移金属としては、特にGoを1〜20原子%含むF
eCoを用い、また希土類金属としては、Tbを用いる
か、10原子%以ドのGdを含むTbGdを用いるか、
50原子%以下のOyを含むTbDyを用いる。
実施例 実施例1 遷移金属として4原子%Co−残部Fe(1;)、トP
eCo4と表わす)を80重量%、希土類金属としζT
bを20重量%とし゛ζ光磁気記録媒体を作製した。こ
の媒体は、第2図に示すように、基体(1)、例えばガ
ラス、或いはアクリル、ポリカーボネイト等より成るデ
ィスク基体上に、希土類金属層(2)と、遷移金属層(
3)とが、夫々1層以上例えば多層に順次交JLに積層
されるようにすると共に、これら希土類金属層(2)と
遷移金属層(3)との間に、これら金属層(2)及び(
3)の各成分を共に含む中間層(4)を介在させる。
このような構成を有する光磁気記録媒体を得るには、希
土類金属と遷移金属とを夫々異るスパッター源として設
け、両スパックー源から基体(1)に向って同時に夫々
の金属をスパッタリングする。この場合、両スパッタリ
ング源からの基体(1)に対する土たるスパッタリング
位置がJLいに異るように、両スパッタリンク源と基体
との位置関係と、史に両スパンタリング源と基体との間
に配置するマスクを選定する。そし”C1これら各スパ
ッター倣と基体とを相対的に回転移動させることにょっ
”ζ基体fil 1に、赤土1.11金属層と、遷移金
属層とを積層し、両金属層間に希土類金属と遷移金属と
の両成分を含む中間層を介在させた光磁気記録層を形成
する。
このようにして、基体(1〕上に遷移金属層と希土類金
属j留とが積層され”ζ形成された記録層におけるその
厚さ方向に関する各金属の分布は、例えば第3図に夫々
遷移金属を実線で、希土類金属を破線で不ずように、J
!tさ方向に交互にピークを有し、このピーク部では互
いに他の金属を殆んど含まないような分布を生じるよう
にする。ずなゎら遷移金属の分布のピーク部では、希土
類金属を殆んど含まずに遷移金属のみの層(3)が形成
されるようにし、希土類金属の分布のピーク部では遷移
金属を殆んど含まずに希土類金属のみの層(2)が形成
され、両ピーク部間において希土類及び遷移金属の両金
属を含む中間1% (41が形成されるようにする。
尚、この場合、基体に対するスパッタリングによる各金
属層の成長速度は、2〜20人/秒就中5〜10人/秒
となるように基体とスパックリング源との相対的回転速
度、そのほかのスパッタリング条件を選定することが望
ましい。すなわち、基体とスパッタリング源との相対的
回転速度が速すぎζ、その成長速度が2人/秒未満とな
ると、遷移金属と希土類金属とが夫々1楢状に形成され
難くなり、また20人/秒を超えると磁気的特性が低下
しζくることが認められた。
尚、このスパッタリングを実施するスパンクリング装置
としζは、マグネトし1ン型構成をとり得るが、これを
特殊の構成とする。第4図はスパッタリング装置の一例
の路線的構成を示すもので、この場合、ベルン中(図示
せず)内に、軸心〇−〇′を中心として回転する基台(
6)を設け、これの例えば下面に目的とする光磁気記録
媒体を構成するガラス根、樹脂扱等より成る基体(11
が配置される。そしζ、この基体(1)に対向して軸心
0−0′を中心に等月間H+、4、ずなわぢ180°の
角間隔を保持しζ2個のスパッター源(7)及び(8)
を配置する。
これらスパッター海(7)及び+8+と基台(6)、ず
なわぢ基体(11との間には、スパッター源(7)及び
(8)より夫々スパッターされる金属のスパッターイ1
フ置を規制するマスク(9)を配置する。この例では、
スパッター源(7)は赤土幻1金属Tbの板状体より成
るターゲット00)を有し、スパッター源(8)は、遷
移金属FeCo4の板状体より成るターゲラI−(11
)をイ1して成る。
(12)及び(13)は、人々マグネットを示す。
マスク(9)は、例えば第5図にボずように、ターゲラ
1−(10)及び(11)に対向する部分にこれらター
ゲラl−GO)及び(11)の中心を通る直線X方向に
外側に向っζ広がる例えばいちょう形の窓(14)及び
(15)が穿設されζ成る。第5図においては内窓(1
4)及び(15)の大きさは、同一に選ばれているが、
これら窓(14)及び(15)の面積は、基体fll上
に形成する記録層の希土類金属と、遷移金属との割合に
刻応する比率をもって形成し得る。
すなわち、この実施例1においCは、希土類金属よる媒
体を作製した。
実施例3 実施例1と同様の方法によるも、この場合、希土類金属
として、すなわちスパッター源(7)のターゲットa〔
としてDyが501京子%以上のTbDyを用い、遷移
金属としζFeCo4を用いた。
実施例2及び3のいずれの場合も、比較例1に比し、M
s及びθにの向上がばかられた。
面、」二速の各実施例におい°乙遷移令属FeCoのC
oの含有量を1〜20原子%に選定するときは比較例に
比し、Ms、θにの向上がみられるが、より好ましくは
3〜7原子%であった。そして、この構成による光磁気
材料は、いわゆるキュリ一点記録材があった。尚、この
組成において、PeCoにおけるGoの含有量が1原子
%未満でばMs、θにの向上の効果は殆んどのられず、
20原子%を越えると補償点記録材の性質を帯びて来゛
C1組成の多少のばらつきによっ゛ζキュリ一点記録材
か補償点記録材かに変化するので記録媒体の製造が1r
tj例となる。
また、実施例2で挙げたように、希土類金属TbGdを
用いる場合、そのGdはlO原子%以ドとする。その理
由はGdが10原子%を越える場合、キュリ一点Tcが
trtr <なり過き゛るごとを認めたことに3上る。
また希土類金属とし°C実施例3で示したように113
1を添加するときはTcの(!に−1−の効果を14I
ることができるので、遷移金属とし“jCoを添加する
ことによってTcが篩くなり過ぎることによるTc調整
の効果を得ることができる。しかしながらI)yが50
原子%を越えると、Tcが低くなり過ぎ、これに伴う冒
頭に述べた諸欠点が生じζくる。
尚、上述のスパッター装置における各スパッター源(7
)及び(8)の各ターゲット00及び(11)は、希土
類金属及び遷移金属が2元素以上の場合、夫々の合金よ
り構成することもできるし各金属元素の張り合せ体によ
っ゛ζ構成することができる。
発明の効果 上述したように本発明によれば、特に飽和磁化Ms、カ
ー回転角θにの向上をはかることができるものであり、
したがって、記録パワーの低減化。
再生出力の向上、高密度記録化、C/Nの向上をはかる
ことができるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の説明に供する光磁気記録媒体の磁化曲
線図、第2図は本発明による光磁気記録媒体の路線的拡
大111i面図、第3図はその成分分布図、第4図は本
発明製法を実施するスパッタリング装置の一例の路線的
構成図、第5図はその要部の平面図、第6図は本発明に
よる光磁気記録媒体の磁化曲線図、第7図は比較例の磁
化曲線図である。 [1は基体、(2)は希土類金属1tj、(3)は遷移
金属層、(4)は中間層である。 第1図 閂、Hc、θに 第5図 第6図 第7図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 希土類金属−遷移金属系光磁気記録材料による光磁気記
    録媒体におい°ζ、上記希土類金属が15〜30原子%
    、」1記遷移金属が85〜70原子%に選定され、上記
    遷移金属としζCoを1〜20原子%含むFeC。 を用い、上記希土類金属としてTbを用いるか、または
    10原子%以−トのGdを含むTbGdを用いるか、或
    いは50原子%以下のDyを含むrboyを用い°ζ成
    る光磁気記録媒体。
JP9206983A 1983-05-25 1983-05-25 光磁気記録媒体 Pending JPS59217249A (ja)

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