JPH0384755A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0384755A JPH0384755A JP21870489A JP21870489A JPH0384755A JP H0384755 A JPH0384755 A JP H0384755A JP 21870489 A JP21870489 A JP 21870489A JP 21870489 A JP21870489 A JP 21870489A JP H0384755 A JPH0384755 A JP H0384755A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- recording medium
- magneto
- amorphous alloy
- optical recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims abstract description 20
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims abstract description 16
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910017061 Fe Co Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 15
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims 1
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 18
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- -1 rare earth transition metal Chemical class 0.000 description 2
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は光磁気記録媒体に関し、さらに詳しくは書き換
え可能な光ディスクなどに用いられ、磁気カー回転効果
あるいはファラデー効果などの磁気光学効果を用いて読
み出すことのできる光磁気記録媒体に関するものである
。
え可能な光ディスクなどに用いられ、磁気カー回転効果
あるいはファラデー効果などの磁気光学効果を用いて読
み出すことのできる光磁気記録媒体に関するものである
。
[従来の技術]
光磁気記録媒体の材料としては、主として以下の条件が
要求されている。
要求されている。
(a)垂直磁化膜であること。
(b)キュリー温度が100〜200℃の間にあること
。
。
(C)大きな保磁力を有していること。
(d)カー回転角θkが大きいこと。
「e、QO等にTb、Gdなどの重希土類を添加した場
合、磁気異方性が増加し垂直磁化膜になることが知られ
ている。こうしたことから、光磁気記録媒体の材料とし
て、GdTbFe、DyFe、GdCo、TbCo、T
bDyFe、TbFeC0などの重希土類−3d遷移金
属非晶質合金薄膜が前記条件を満足し、かつ量産に適し
、読み出しノイズのないことから有望とされている。
合、磁気異方性が増加し垂直磁化膜になることが知られ
ている。こうしたことから、光磁気記録媒体の材料とし
て、GdTbFe、DyFe、GdCo、TbCo、T
bDyFe、TbFeC0などの重希土類−3d遷移金
属非晶質合金薄膜が前記条件を満足し、かつ量産に適し
、読み出しノイズのないことから有望とされている。
特にTbFeCoは、有望視され実用化のための検討が
進められている。
進められている。
また、光磁気ディスクの高性能化としてオーバーライド
機能が求められている。オーバーライドを実現する方法
は、幾つか提案されているが、その中で磁界変調方式は
、最も有力な方法の一つとされている。
機能が求められている。オーバーライドを実現する方法
は、幾つか提案されているが、その中で磁界変調方式は
、最も有力な方法の一つとされている。
[発明が解決しようとする課題]
磁界変調方式では、レーザで記録媒体を連続加熱し、媒
体温度をキュリー温度以上にした状態で記録信号に合わ
せて記録磁界を反転させ、オーバーライドを行う。この
記録磁界は、磁気ヘッドに組み込まれたコイルに流れる
電流方向を変化させて磁界方向を高速で反転させるため
、記録磁界の値は小さくする必要がある。
体温度をキュリー温度以上にした状態で記録信号に合わ
せて記録磁界を反転させ、オーバーライドを行う。この
記録磁界は、磁気ヘッドに組み込まれたコイルに流れる
電流方向を変化させて磁界方向を高速で反転させるため
、記録磁界の値は小さくする必要がある。
一方、オーバーライドに必要な記録磁界の大きさは、記
録媒体の磁化に比例して発生する反磁界の大きさに依存
する。このため、記録媒体は磁化の小さな室温で補償組
成近傍の組成のものが選ばれている。さらに磁化の値を
小さくする目的で軽希土類の添加も試みられている。し
かし、その媒体においても記録磁界として±300Qe
程度が必要なため、記録磁界の反転時間が長くなる。こ
のため記録磁区間に遷移領域が発生し、記録ノイズの増
加の原因になる。
録媒体の磁化に比例して発生する反磁界の大きさに依存
する。このため、記録媒体は磁化の小さな室温で補償組
成近傍の組成のものが選ばれている。さらに磁化の値を
小さくする目的で軽希土類の添加も試みられている。し
かし、その媒体においても記録磁界として±300Qe
程度が必要なため、記録磁界の反転時間が長くなる。こ
のため記録磁区間に遷移領域が発生し、記録ノイズの増
加の原因になる。
本発明は、以上述べたような従来の問題点を解決するた
めになされたもので、磁界変調オーバーライドに適する
媒体として記録媒体の磁化に比例して発生する反磁界を
小さくした光磁気記録媒体を提供することにある。
めになされたもので、磁界変調オーバーライドに適する
媒体として記録媒体の磁化に比例して発生する反磁界を
小さくした光磁気記録媒体を提供することにある。
[課題を解決するための手段]
本発明は、膜面に垂直な方向に磁気容易軸を有するMl
−Fe−Co (但し、MlはNd、Pr、Tbおよ
びDyのうちの少なくとも1種類を示す〉で表される組
成の非晶質合金記録膜が中間層としてのクロム(C「〉
層を挟んで各1層ずつ形成されてなり、2層の前記非晶
質合金記録膜は、それぞれの磁化が異なるようにその組
成および/または層厚が制御されてなることを特徴とす
る光磁気記録媒体、および膜面に垂直な方向に磁気容易
軸を有する。M’ −Fe−Co−Ml (但し、Ml
はNd、Pr、TbおよびDyのうちの少なくとも1種
類を示し、MlはTi、Pt、 Cr、 Ta。
−Fe−Co (但し、MlはNd、Pr、Tbおよ
びDyのうちの少なくとも1種類を示す〉で表される組
成の非晶質合金記録膜が中間層としてのクロム(C「〉
層を挟んで各1層ずつ形成されてなり、2層の前記非晶
質合金記録膜は、それぞれの磁化が異なるようにその組
成および/または層厚が制御されてなることを特徴とす
る光磁気記録媒体、および膜面に垂直な方向に磁気容易
軸を有する。M’ −Fe−Co−Ml (但し、Ml
はNd、Pr、TbおよびDyのうちの少なくとも1種
類を示し、MlはTi、Pt、 Cr、 Ta。
Ai、Inのうちの少なくとも1種類を示す)で表され
る組成の非晶質合金記録膜が中間層としてのクロム(C
r)層を挟んで各1層ずつ形成されてなり、2層の前記
非晶質合金記録膜は、それぞれの磁化が異なるようにそ
の組成および/または層厚が制御されてなることを特徴
とする光磁気記録媒体である。
る組成の非晶質合金記録膜が中間層としてのクロム(C
r)層を挟んで各1層ずつ形成されてなり、2層の前記
非晶質合金記録膜は、それぞれの磁化が異なるようにそ
の組成および/または層厚が制御されてなることを特徴
とする光磁気記録媒体である。
本発明において、中間層であるCr層の層厚は、0.3
〜0.9層mの範囲であることが好ましく、また2層の
非晶質合金記録膜の層厚差は1〜5 nmの範囲である
ことが好ましい。
〜0.9層mの範囲であることが好ましく、また2層の
非晶質合金記録膜の層厚差は1〜5 nmの範囲である
ことが好ましい。
[作用]
「e金属薄膜の中間層にC「金属層を適当な層厚で積層
した場合、中間層を挟む2層のFe膜の磁化が反強磁性
的に結合することが知られている( P、 Grube
rg、 R,5chreiber、 Y、 Pang、
H,B。
した場合、中間層を挟む2層のFe膜の磁化が反強磁性
的に結合することが知られている( P、 Grube
rg、 R,5chreiber、 Y、 Pang、
H,B。
Brodsky and H,Sowers、 Phy
s、 Rev、 Lett、 57゜2442 (19
86))。現在、光磁気記録媒体に主に用いられている
希土類遷移金属非晶質合金記録膜の主成分はFeである
ことから、記録媒体を2層に分け、中間層にC「金属層
を積層した場合、中間層を挟む2層の記録媒体の磁化が
反強磁性的に結合することが期待される。
s、 Rev、 Lett、 57゜2442 (19
86))。現在、光磁気記録媒体に主に用いられている
希土類遷移金属非晶質合金記録膜の主成分はFeである
ことから、記録媒体を2層に分け、中間層にC「金属層
を積層した場合、中間層を挟む2層の記録媒体の磁化が
反強磁性的に結合することが期待される。
この2層の記録媒体の組成が同じで厚さがほぼ等しい場
合、記録媒体全体の磁化は打ち消しあってOに近くなり
、記録消去時の反磁界の影響は小さくなる。この場合、
記録媒体の磁化が完全にOの場合は、外部記録磁界によ
る書き込み消去が不可能である。このため、記録膜の2
層の層厚に差をつけるか、あるいはその組成を異ならし
める必要がある。層厚に差をつける場合、層厚差に記録
媒体全体の磁化の大きさは比例するため、あまり大きい
場合、効果は小さくなる。このため、層厚差Ddは、1
〜5 nmの範囲であることが望まれる。
合、記録媒体全体の磁化は打ち消しあってOに近くなり
、記録消去時の反磁界の影響は小さくなる。この場合、
記録媒体の磁化が完全にOの場合は、外部記録磁界によ
る書き込み消去が不可能である。このため、記録膜の2
層の層厚に差をつけるか、あるいはその組成を異ならし
める必要がある。層厚に差をつける場合、層厚差に記録
媒体全体の磁化の大きさは比例するため、あまり大きい
場合、効果は小さくなる。このため、層厚差Ddは、1
〜5 nmの範囲であることが望まれる。
また、本発明の非晶質合金薄膜にTi、pt。
Ta、Cr、AIl、I nのいずれかの元素1種類以
上を好ましくは5%以下添加することは、光磁気記録媒
体の耐候性の向上に有効である。添加する元素は、1種
類または複数でもよい。また、光磁気ディスクの用途に
よってはこの添加元素はなくてもかまわない。
上を好ましくは5%以下添加することは、光磁気記録媒
体の耐候性の向上に有効である。添加する元素は、1種
類または複数でもよい。また、光磁気ディスクの用途に
よってはこの添加元素はなくてもかまわない。
本発明は、記録媒体の組成系もしくは組成比に関わらず
全ての垂直磁気異方性を有する希土類遷移金属非晶質膜
について有効である。
全ての垂直磁気異方性を有する希土類遷移金属非晶質膜
について有効である。
[実施例]
次に、本発明の実施例について図面を参照して詳細に説
明する。
明する。
3極RFマグネトロンスパツタリングにより、ガラス基
板上に本発明による光磁気記録媒体の成膜を行った。F
e8oCO2oターゲツト上に5 mm角のNd、Pr
、Tb、oyチップを配列した複合ターゲットを用い、
希土類組成を変化させた非晶質合金薄膜を作製した。膜
厚は第1層を4OnIn。
板上に本発明による光磁気記録媒体の成膜を行った。F
e8oCO2oターゲツト上に5 mm角のNd、Pr
、Tb、oyチップを配列した複合ターゲットを用い、
希土類組成を変化させた非晶質合金薄膜を作製した。膜
厚は第1層を4OnIn。
第2層を38 nmとし、中間層C「の層厚を0.2層
mからi、onmに変化させた。C「膜の成膜にはCr
ターゲットを用いた。到達真空度は3X10−71or
r以下とし、スパッタガスにArを用い、ガス圧7 x
10−3 Torrとした。投入電力は300Wであ
る。
mからi、onmに変化させた。C「膜の成膜にはCr
ターゲットを用いた。到達真空度は3X10−71or
r以下とし、スパッタガスにArを用い、ガス圧7 x
10−3 Torrとした。投入電力は300Wであ
る。
第1図は、以上のようにして作製した試料の部分断面図
である。図中、1aおよび1bは同一組成のTbFeC
o非晶質合金膜であり、1aの膜厚は40 nm、1b
の膜厚は38 rimである。2は中間層Cr(層厚d
は0.2層m≦d≦1.Onm )、3はガラス基板で
ある。
である。図中、1aおよび1bは同一組成のTbFeC
o非晶質合金膜であり、1aの膜厚は40 nm、1b
の膜厚は38 rimである。2は中間層Cr(層厚d
は0.2層m≦d≦1.Onm )、3はガラス基板で
ある。
第2図は、試料の中間層C「の層厚dによる飽和磁化の
変化を示す。中間層Crの層厚dが0.3〜0.9層m
の範囲で、飽和磁化の低下がみられることがわかる。
変化を示す。中間層Crの層厚dが0.3〜0.9層m
の範囲で、飽和磁化の低下がみられることがわかる。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明の光磁気記録媒体は、飽和
磁化の低下がみられ、従来の光磁気記録媒体よりも磁界
変調オーバーライドに適するという効果を有する。
磁化の低下がみられ、従来の光磁気記録媒体よりも磁界
変調オーバーライドに適するという効果を有する。
第1図は本発明の一実施例の断面図、第2図は本発明の
光磁気記録媒体における中間層C「の層厚dによる飽和
磁化の変化を示す図である。 1a、1b・・・TbFeCo非晶質合金膜2・・・中
間層Cr 3・・・ガラス基板
光磁気記録媒体における中間層C「の層厚dによる飽和
磁化の変化を示す図である。 1a、1b・・・TbFeCo非晶質合金膜2・・・中
間層Cr 3・・・ガラス基板
Claims (3)
- (1)膜面に垂直な方向に磁気容易軸を有するM^1−
Fe−Co(但し、M^1はNd、Pr、TbおよびD
yのうちの少なくとも1種類を示す)で表される組成の
非晶質合金記録膜が中間層としてのクロム(Cr)層を
挟んで各1層ずつ形成されてなり、2層の前記非晶質合
金記録膜は、それぞれの磁化が異なるようにその組成お
よび/または層厚が制御されてなることを特徴とする光
磁気記録媒体。 - (2)膜面に垂直な方向に磁気容易軸を有するM^1−
Fe−Co−M^2(但し、M^1はNd、Pr、Tを
およびDyのうちの少なくとも1種類を示し、M^2は
Ti、Pt、Cr、Ta、Al、Inのうちの少なくと
も1種類を示す)で表される組成の非晶質合金記録膜が
中間層としてのクロム(Cr)層を挟んで各1層ずつ形
成されてなり、2層の前記非晶質合金記録膜は、それぞ
れの磁化が異なるようにその組成および/または層厚が
制御されてなることを特徴とする光磁気記録媒体。 - (3)クロム(Cr)層の層厚が、0.3〜0.9nm
の範囲である請求項(1)または(2)に記載の光磁気
記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21870489A JPH0384755A (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21870489A JPH0384755A (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0384755A true JPH0384755A (ja) | 1991-04-10 |
Family
ID=16724113
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21870489A Pending JPH0384755A (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0384755A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100387331B1 (ko) * | 2001-03-07 | 2003-06-18 | 안호성 | 이지 사이펀 파우치 |
JP2007030890A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Fuji Seal International Inc | スパウト付包装体及びスパウト付包装袋 |
-
1989
- 1989-08-28 JP JP21870489A patent/JPH0384755A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100387331B1 (ko) * | 2001-03-07 | 2003-06-18 | 안호성 | 이지 사이펀 파우치 |
JP2007030890A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Fuji Seal International Inc | スパウト付包装体及びスパウト付包装袋 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5976688A (en) | Magneto-optical recording medium and method of manufacturing the same | |
JPH0690976B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JPS6227459B2 (ja) | ||
JPS6115308A (ja) | 光磁気記録材料 | |
JPS6134744A (ja) | 磁気光学記録媒体 | |
JP2000163817A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JPH0384755A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JPS63107008A (ja) | 高カ−回転角を有する薄膜及びその製造方法 | |
JP3150401B2 (ja) | 垂直磁化膜及び磁気記録媒体 | |
JPS61246946A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
US5529854A (en) | Magneto-optic recording systems | |
JP2526906B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JPS63211141A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JP2680586B2 (ja) | 光磁気記憶媒体 | |
JPH0470705B2 (ja) | ||
JPS62172547A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JPS61243977A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JPH0430166B2 (ja) | ||
JP3381960B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JPS6243847A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JPS62172549A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JPH06150409A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JPH05314561A (ja) | 光磁気記録膜 | |
Ishida et al. | High magnetic field sensitivity of TbFeCo layer and Pt/Co multilayers with an ultra-thin RE-rich RE-TM layer | |
JPS60101702A (ja) | 光磁気記録媒体の記録方法 |