JP2594030B2 - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JP2594030B2 JP2594030B2 JP60005380A JP538085A JP2594030B2 JP 2594030 B2 JP2594030 B2 JP 2594030B2 JP 60005380 A JP60005380 A JP 60005380A JP 538085 A JP538085 A JP 538085A JP 2594030 B2 JP2594030 B2 JP 2594030B2
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- JP
- Japan
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- magneto
- recording medium
- optical recording
- film
- magnetization
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁性膜を記録媒体とし、レーザー等の光ビ
ームを照射することにより情報の記録、再生、消去を行
う光磁気記録において特に光磁気記録媒体に関する。
ームを照射することにより情報の記録、再生、消去を行
う光磁気記録において特に光磁気記録媒体に関する。
従来、光磁気記録媒体に関して、膜面に垂直な方向に
磁化容易軸を有するものとしてはMnBiに代表される多結
晶材料、磁性ガーネット膜などの単結晶材料、そしてTb
Fe,GdFe,GdCo,GaTbFe,TbFeCoなどの非晶質材料が知られ
ている。これらの中で、非晶質合金薄膜は生産性、記録
感度、記録密度といった点から総合的に優れているた
め、現在実用に近いものとして研究されている。
磁化容易軸を有するものとしてはMnBiに代表される多結
晶材料、磁性ガーネット膜などの単結晶材料、そしてTb
Fe,GdFe,GdCo,GaTbFe,TbFeCoなどの非晶質材料が知られ
ている。これらの中で、非晶質合金薄膜は生産性、記録
感度、記録密度といった点から総合的に優れているた
め、現在実用に近いものとして研究されている。
公知の非晶質合金薄膜は、Gd,Tb,Dy等の重希土類元素
とFe,Co等の遷移金属元素を主成分とした合金薄膜で、
希土類と遷移金属の副格子磁化が等しくなり見かけの磁
化がゼロになる磁気補償点が温室付近にくるような組成
で利用される。
とFe,Co等の遷移金属元素を主成分とした合金薄膜で、
希土類と遷移金属の副格子磁化が等しくなり見かけの磁
化がゼロになる磁気補償点が温室付近にくるような組成
で利用される。
また、酸化物、窒化物からなる多重反射膜や、金属反
射膜、特性の異なる磁性膜等を積層することによる記録
媒体側の特性向上と、記録・再生方法の改善、記録・再
生装置の改良などにより、記録・再生特性は今や実用の
域に達している。
射膜、特性の異なる磁性膜等を積層することによる記録
媒体側の特性向上と、記録・再生方法の改善、記録・再
生装置の改良などにより、記録・再生特性は今や実用の
域に達している。
しかし、前述の従来の光磁気記録媒体は次のような欠
点を有している。
点を有している。
重希土類元素は、全希土類中の含有量が極めて少ない
ため、資源的に問題があるばかりでなく、重希土類の中
の特定の元素のみを大量に使用することは他の希土類元
素の需用がない限り、経済的に不都合で、従つてコスト
もたいへん高い。よって重希土類元素を主成分とする従
来の光磁気記録媒体は、コストおよび原料供給の面で制
約を受ける。
ため、資源的に問題があるばかりでなく、重希土類の中
の特定の元素のみを大量に使用することは他の希土類元
素の需用がない限り、経済的に不都合で、従つてコスト
もたいへん高い。よって重希土類元素を主成分とする従
来の光磁気記録媒体は、コストおよび原料供給の面で制
約を受ける。
非晶質合金薄膜は主にスパッタ法によつて作成されて
いる。本来ターゲットとしては、所望の組成の合金ター
ゲットを用いるが、Gd,Tb,Dyといった重希土類元素とF
e,Coなどの遷移金属元素を合金化すると非常に脆く、大
面積の合金ターゲットを作ることは困難であった。そこ
で、遷移金属ターゲットの上に希土類金属ペレットを配
置する方法、遷移金属と希土類金属の２つのターゲット
を用いて２元同時スパッタする方法、遷移金属と希土類
金属の単独材料でスポット状、板状に複合ターゲットを
構成する方法（特開昭51−63492）などが用いられてい
るが、膜の組成の一様性、生産性等に欠点を有してい
る。また、粉末冶金の手法を用いて合金ターゲットも作
られているが、ターゲット中に含まれる不純物ガスのた
めに良質の膜が得られないという欠点がある。
いる。本来ターゲットとしては、所望の組成の合金ター
ゲットを用いるが、Gd,Tb,Dyといった重希土類元素とF
e,Coなどの遷移金属元素を合金化すると非常に脆く、大
面積の合金ターゲットを作ることは困難であった。そこ
で、遷移金属ターゲットの上に希土類金属ペレットを配
置する方法、遷移金属と希土類金属の２つのターゲット
を用いて２元同時スパッタする方法、遷移金属と希土類
金属の単独材料でスポット状、板状に複合ターゲットを
構成する方法（特開昭51−63492）などが用いられてい
るが、膜の組成の一様性、生産性等に欠点を有してい
る。また、粉末冶金の手法を用いて合金ターゲットも作
られているが、ターゲット中に含まれる不純物ガスのた
めに良質の膜が得られないという欠点がある。
従来の非晶質光磁気記録媒体の磁気カー回転角（Kerr
Rotation Angle）は0.3度程度と小さく、さらに大き
なカー回転角を示す材料が求められている。
Rotation Angle）は0.3度程度と小さく、さらに大き
なカー回転角を示す材料が求められている。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、
その目的とするところは低コストで大量生産可能で、な
おかつ、カー回転角の大きな光磁気記録媒体を供するこ
とにある。
その目的とするところは低コストで大量生産可能で、な
おかつ、カー回転角の大きな光磁気記録媒体を供するこ
とにある。
本発明の光磁気記録媒体は、面内に垂直な方向に磁化
容易軸を有する磁性膜を用いた光磁気記録媒体におい
て、前記磁性膜の組成式が、Ndx（Fe１−βＭβ）1-xと
表され、Ｍは、Co、Niの１種であり、ｘ及びβの値が、 0.20＜ｘ＜0.40 ０＜β≦0.5 の範囲であり、且つ合金ターゲットを用いてスパッタリ
ング法により作成されたことを特徴とする。
容易軸を有する磁性膜を用いた光磁気記録媒体におい
て、前記磁性膜の組成式が、Ndx（Fe１−βＭβ）1-xと
表され、Ｍは、Co、Niの１種であり、ｘ及びβの値が、 0.20＜ｘ＜0.40 ０＜β≦0.5 の範囲であり、且つ合金ターゲットを用いてスパッタリ
ング法により作成されたことを特徴とする。
また、面内に垂直な方向に磁化容易軸を有する磁性膜
を用いた光磁気記録媒体において、前記磁性膜の組成式
が、（Nd１−αＲα）ｘ（Fe１−βＭβ）1-xと表さ
れ、Ｍは、Co、Niの１種であり、Ｒは、Pr、Sm、Ceの１
種であり、ｘ、α及びβの値が、 0.20＜ｘ＜0.40 ０＜α≦0.5 ０＜β≦0.5 の範囲であり、且つ合金ターゲットを用いてスパッタリ
ング法により作成されたことを特徴とする。
を用いた光磁気記録媒体において、前記磁性膜の組成式
が、（Nd１−αＲα）ｘ（Fe１−βＭβ）1-xと表さ
れ、Ｍは、Co、Niの１種であり、Ｒは、Pr、Sm、Ceの１
種であり、ｘ、α及びβの値が、 0.20＜ｘ＜0.40 ０＜α≦0.5 ０＜β≦0.5 の範囲であり、且つ合金ターゲットを用いてスパッタリ
ング法により作成されたことを特徴とする。
光磁気記録は膜面に垂直な磁区を記録単位とするため
に、媒体としてはいわゆる垂直磁化膜が必要であるが、
軽希土類元素と遷移金属元素との磁気的結合がフェロ磁
性であるゆえ磁化が大きく、一般にはこの組み合わせで
は垂直磁化膜が得られないとされてきた。我々が、スパ
ッタ法を用いてNdxFe1-x合金薄膜をガラス基板上に作成
したところ、基板温度を80℃から250℃に設定すること
によって、Ndが20〜40at％の範囲で垂直磁化膜が得られ
た。またその光磁気特性は、従来のGd,Tb,Dyを含む非晶
質合金薄膜に比較して同等以上の値が得られることがわ
かった。してみると、表１に示すようにNdはGd,Tb,Dyと
いうような重希土類元素に比べ圧倒的な資源の豊富さを
誇るので、Ndが重希土類元素が代わりに使用できるとい
うことは工業的にみて大変に意義の深いことである。さ
らに、NdFeの合金ターゲットが通常の鋳造と研磨によつ
て作成できることも確認できた。
に、媒体としてはいわゆる垂直磁化膜が必要であるが、
軽希土類元素と遷移金属元素との磁気的結合がフェロ磁
性であるゆえ磁化が大きく、一般にはこの組み合わせで
は垂直磁化膜が得られないとされてきた。我々が、スパ
ッタ法を用いてNdxFe1-x合金薄膜をガラス基板上に作成
したところ、基板温度を80℃から250℃に設定すること
によって、Ndが20〜40at％の範囲で垂直磁化膜が得られ
た。またその光磁気特性は、従来のGd,Tb,Dyを含む非晶
質合金薄膜に比較して同等以上の値が得られることがわ
かった。してみると、表１に示すようにNdはGd,Tb,Dyと
いうような重希土類元素に比べ圧倒的な資源の豊富さを
誇るので、Ndが重希土類元素が代わりに使用できるとい
うことは工業的にみて大変に意義の深いことである。さ
らに、NdFeの合金ターゲットが通常の鋳造と研磨によつ
て作成できることも確認できた。
本発明においては、該磁性薄膜を構成するFeの一部C
o,Niのうち１種類以上で置換した場合、その置換が遷移
金属全体の50at％以下であるならば、垂直磁化膜が得ら
れる他、保磁力、キュリー温度、磁化カー効果等の物性
値を必要に応じて変えることができる。同様なことは、
Ndを他の軽希土類元素であるCe,Pr,Smで置換しその置換
量が50at％以下の場合、およびFeとNdに対して上記の置
換を行った場合にも同様な効果が得られる。
o,Niのうち１種類以上で置換した場合、その置換が遷移
金属全体の50at％以下であるならば、垂直磁化膜が得ら
れる他、保磁力、キュリー温度、磁化カー効果等の物性
値を必要に応じて変えることができる。同様なことは、
Ndを他の軽希土類元素であるCe,Pr,Smで置換しその置換
量が50at％以下の場合、およびFeとNdに対して上記の置
換を行った場合にも同様な効果が得られる。
〔実施例〕 以下、本発明の詳細な説明を実施例に基づき行う。
実施例 １ 一般式Nd0.3（Fe１−βＭβ）0.7で表した時、β＝0.
2,0.3,0.4,0.5,0.6の組成を有する合金ターゲットを作
成した。ここでＭはCoまたはNiである。この合金ターゲ
ットを用いRFスパッタ法でガラス基板上に磁性薄膜を作
成した。Nd0.3（Fe0.4Co0.6）0.7の試料を除いて垂直磁
化膜が得られた。第１図、第２図および第３図は、各々
本実施例において得られたNd0.3（Fe１−βＭβ）0.7膜
のθk,Hc,キュリー温度TcとFeの置換量の関係である。C
oによる置換でθk,Hcともに改善が見られる。またNiに
よる置換ではθｋがやや大きくなるが、β＞0.5ではTc
が実用範囲からはずれてしまう。
2,0.3,0.4,0.5,0.6の組成を有する合金ターゲットを作
成した。ここでＭはCoまたはNiである。この合金ターゲ
ットを用いRFスパッタ法でガラス基板上に磁性薄膜を作
成した。Nd0.3（Fe0.4Co0.6）0.7の試料を除いて垂直磁
化膜が得られた。第１図、第２図および第３図は、各々
本実施例において得られたNd0.3（Fe１−βＭβ）0.7膜
のθk,Hc,キュリー温度TcとFeの置換量の関係である。C
oによる置換でθk,Hcともに改善が見られる。またNiに
よる置換ではθｋがやや大きくなるが、β＞0.5ではTc
が実用範囲からはずれてしまう。
実施例 ２ 第２表に示す組成の薄膜を同じ組成の合金ターゲット
を用いてスパッタ法にて作成した。第３表には、各試料
のカー回転角および保磁力を示す。
を用いてスパッタ法にて作成した。第３表には、各試料
のカー回転角および保磁力を示す。
表３からも明らかなように、軽希土類と遷移金属でNd
とFeを置換することによりNdFe二元素の薄膜に比べて、
そのカー効果と磁気特性が改善される。さらに従来より
知られているTbFe,GdFeと比較しても優れた特性を得る
ことができる。
とFeを置換することによりNdFe二元素の薄膜に比べて、
そのカー効果と磁気特性が改善される。さらに従来より
知られているTbFe,GdFeと比較しても優れた特性を得る
ことができる。
〔発明の効果〕 以上述べたように本発明によれば、光磁気記録媒体を
構成する記録層をNdとFeを主成分とする強磁性薄膜にす
ることにより、カー回転角が大きく量産性に優れた光磁
気記録媒体を低コストで供給できるという効果を有す
る。
構成する記録層をNdとFeを主成分とする強磁性薄膜にす
ることにより、カー回転角が大きく量産性に優れた光磁
気記録媒体を低コストで供給できるという効果を有す
る。
第１図はNd0.3（Fe１−βＭβ）0.7薄膜のカー回転角と
組成の関係を示す図。 第２図はNd0.3（Fe１−βＭβ）0.7薄膜の保磁力と組成
の関係を示す図。 第３図はNd0.3（Fe１−βＭβ）0.7薄膜のキュリー点と
組成の関係を示す図。
組成の関係を示す図。 第２図はNd0.3（Fe１−βＭβ）0.7薄膜の保磁力と組成
の関係を示す図。 第３図はNd0.3（Fe１−βＭβ）0.7薄膜のキュリー点と
組成の関係を示す図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 舩田 伸 諏訪市大和３丁目３番５号 株式会社諏 訪精工舎内 (72)発明者 杉本 守 諏訪市大和３丁目３番５号 株式会社諏 訪精工舎内 (72)発明者 青木 明 諏訪市大和３丁目３番５号 株式会社諏 訪精工舎内 (72)発明者 根橋 聡 諏訪市大和３丁目３番５号 株式会社諏 訪精工舎内
Claims (2)
- 【請求項１】面内に垂直な方向に磁化容易軸を有する磁
性膜を用いた光磁気記録媒体において、 前記磁性膜の組成式が、Ndx（Fe１−βＭβ）1-xと表さ
れ、Ｍは、Co、Niの１種であり、ｘ及びβの値が、 0.20＜ｘ＜0.40 ０＜β≦0.5 の範囲であり、且つ合金ターゲットを用いてスパッタリ
ング法により作成されたことを特徴とする光磁気記録媒
体。 - 【請求項２】面内に垂直な方向に磁化容易軸を有する磁
性膜を用いた光磁気記録媒体において、 前記磁性膜の組成式が、（Nd１−αＲα）ｘ（Fe１−β
Ｍβ）1-xと表され、Ｍは、Co、Niの１種であり、Ｒ
は、Pr、Sm、Ceの１種であり、ｘ、α及びβの値が、 0.20＜ｘ＜0.40 ０＜α≦0.5 ０＜β≦0.5 の範囲であり、且つ合金ターゲットを用いてスパッタリ
ング法により作成されたことを特徴とする光磁気記録媒
体。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60005380A JP2594030B2 (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | 光磁気記録媒体 |
| US07/193,020 US5100741A (en) | 1984-09-12 | 1988-05-12 | Magneto-optic recording systems |
| US08/231,866 US5529854A (en) | 1984-09-12 | 1994-04-25 | Magneto-optic recording systems |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60005380A JP2594030B2 (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | 光磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61165846A JPS61165846A (ja) | 1986-07-26 |
| JP2594030B2 true JP2594030B2 (ja) | 1997-03-26 |
Family
ID=11609557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60005380A Expired - Lifetime JP2594030B2 (ja) | 1984-09-12 | 1985-01-16 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2594030B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0324854B1 (en) * | 1986-08-22 | 1993-11-03 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Optomagnetic recording medium and process for its manufacture |
| JPS63168859A (ja) * | 1987-01-06 | 1988-07-12 | Daicel Chem Ind Ltd | 光磁気記録媒体 |
| CA1333820C (en) * | 1988-09-13 | 1995-01-03 | Masahiko Sekiya | Magneto-optical recording medium |
| CA2017284C (en) * | 1989-07-04 | 1995-10-03 | Kazutomi Suzuki | Optical recording medium |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60128606A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-09 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS60173810A (ja) * | 1984-02-20 | 1985-09-07 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
-
1985
- 1985-01-16 JP JP60005380A patent/JP2594030B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60128606A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-09 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS60173810A (ja) * | 1984-02-20 | 1985-09-07 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61165846A (ja) | 1986-07-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |