JPS63148447A - 光熱磁気記録媒体 - Google Patents
光熱磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS63148447A JPS63148447A JP29455186A JP29455186A JPS63148447A JP S63148447 A JPS63148447 A JP S63148447A JP 29455186 A JP29455186 A JP 29455186A JP 29455186 A JP29455186 A JP 29455186A JP S63148447 A JPS63148447 A JP S63148447A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- alloy film
- rare earth
- film
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 26
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 claims abstract description 17
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims description 3
- 229910001004 magnetic alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910000767 Tm alloy Inorganic materials 0.000 abstract 6
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 14
- 230000005374 Kerr effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002546 FeCo Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016629 MnBi Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000003353 gold alloy Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ｔＬ業上の利用分野）
本発明は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有して、磁
気カー効果等の磁気光学効果を利用して読み出すことの
出来る光熱磁気記録媒体に関するものであり、特に磁気
カー効果（カー回転角二〇ｋ）を向上させた光熱磁気記
録媒体に閃するものである。
気カー効果等の磁気光学効果を利用して読み出すことの
出来る光熱磁気記録媒体に関するものであり、特に磁気
カー効果（カー回転角二〇ｋ）を向上させた光熱磁気記
録媒体に閃するものである。
（従来の技術）
従来、光（熱）磁気記録媒体として、Ｍｎ１ｌｉ薄膜、
Ｅ ｎ Ｏ薄膜、さらに非品賀希土類遷移金與合金薄膜
としてＧｄＦｅ、ＴｂＦｅ、ＤｙＦｅ。
Ｅ ｎ Ｏ薄膜、さらに非品賀希土類遷移金與合金薄膜
としてＧｄＦｅ、ＴｂＦｅ、ＤｙＦｅ。
ＧｄＣｏ等の薄膜、さらにＧｄＴｂＦｅ、ＧｄＴｂＦｅ
ｃｏ等の多元系の薄膜等が提案されている。
ｃｏ等の多元系の薄膜等が提案されている。
（発明が解決しようとする問題点）
ＭｎＢｉに代表される多結晶性金属Ｒ膜は室温で数ＫＯ
ｅの大きな保磁力を有している点で磁気記録媒体として
は優れているが、キューリ一点が高い（ＭｎＢｉでＴｃ
＝３８０℃）ため書きコミに大きなエネルギーを必要と
する欠点がある。また多結晶体であるため化学要論的組
成の薄膜を作成する必要があり、薄膜の作成が技術的に
難しいという欠点をも存している。ＧｄＦｅ、ＧｄＣ。
ｅの大きな保磁力を有している点で磁気記録媒体として
は優れているが、キューリ一点が高い（ＭｎＢｉでＴｃ
＝３８０℃）ため書きコミに大きなエネルギーを必要と
する欠点がある。また多結晶体であるため化学要論的組
成の薄膜を作成する必要があり、薄膜の作成が技術的に
難しいという欠点をも存している。ＧｄＦｅ、ＧｄＣ。
等の磁気的補償点を利用して書きこみを行う非晶質金ｒ
ｙ４薄膜は非晶質であるため任意の基体上に作成可能で
あり、多少の不純物を加えることによっである程度の磁
気的補償温度を任意に制御できるなどの利点は存してい
るが、室温における保磁力が小さく （３００〜５００
０ｅ）、記録された情報が不安定であるという欠点を存
している。またＦｅＴｂなどのキューリ一点記録用光磁
気記録媒体は、保磁力が大きく（数ＫＯｅ）１μｍ径程
度の微小ピットを安定に得ることができるものの、カー
回転角が小さく光再生特性があまりよくない等の欠点を
存している。
ｙ４薄膜は非晶質であるため任意の基体上に作成可能で
あり、多少の不純物を加えることによっである程度の磁
気的補償温度を任意に制御できるなどの利点は存してい
るが、室温における保磁力が小さく （３００〜５００
０ｅ）、記録された情報が不安定であるという欠点を存
している。またＦｅＴｂなどのキューリ一点記録用光磁
気記録媒体は、保磁力が大きく（数ＫＯｅ）１μｍ径程
度の微小ピットを安定に得ることができるものの、カー
回転角が小さく光再生特性があまりよくない等の欠点を
存している。
（問題点を解決するための手段）
本発明はカー回転角が大きく、微小ピットが安定に得ら
れ、高いＳ／Ｎ比で、高密度、高安定性、高速読み書き
の可能な光熱磁気記録媒体を得ることを目的とするもの
である。
れ、高いＳ／Ｎ比で、高密度、高安定性、高速読み書き
の可能な光熱磁気記録媒体を得ることを目的とするもの
である。
すなわち本発明は、基板上に、膜面に対して垂直方向に
磁化容易軸を何する非晶質磁性合金Ｆｇ膜を設けてなる
光熱磁気記録媒体において、重希土類元素（以下ＨＲと
略称する）と遷移金属（以下ＴＭと略称する）とを主成
分とするＨＲ−ＴＭ非晶質合金薄膜および軽希土類元素
（以下ＬＲと略称する）と遷移金属とを主成分とするＬ
Ｒ−ＴＭ非晶質合金薄膜の二薄膜を少なくとも保有する
ことを特徴とする光熱磁気記録媒体である。
磁化容易軸を何する非晶質磁性合金Ｆｇ膜を設けてなる
光熱磁気記録媒体において、重希土類元素（以下ＨＲと
略称する）と遷移金属（以下ＴＭと略称する）とを主成
分とするＨＲ−ＴＭ非晶質合金薄膜および軽希土類元素
（以下ＬＲと略称する）と遷移金属とを主成分とするＬ
Ｒ−ＴＭ非晶質合金薄膜の二薄膜を少なくとも保有する
ことを特徴とする光熱磁気記録媒体である。
すなわち、本発明は、重希土類元素（ＨＲ）のＧｄ、Ｔ
ｂ、ｒ）ｆから選ばれたｉａまたは２！Ｉｔ以上と遷移
金ＩＩ （ＴＭ）のＦ ｅ ＋ Ｃｏ ＊ Ｎ ｓから
選ばれたｆＩｉｌまたは２Ｎとを主成分とするＨＲ−Ｔ
Ｍ非晶質合金薄膜を記録層として用い、軽希土類元素（
ＬＲ）のＰｒ、Ｃｅ、Ｎｄから選ばれた１種または２１
１以上と遷移金属（ＴＭ）のＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉのｆｉｌ
または２種以上とを主成分とするＬＲ−ＴＭ非晶質合金
薄膜を再生層として用いることを特徴とする光熱磁気！
２録媒体である。
ｂ、ｒ）ｆから選ばれたｉａまたは２！Ｉｔ以上と遷移
金ＩＩ （ＴＭ）のＦ ｅ ＋ Ｃｏ ＊ Ｎ ｓから
選ばれたｆＩｉｌまたは２Ｎとを主成分とするＨＲ−Ｔ
Ｍ非晶質合金薄膜を記録層として用い、軽希土類元素（
ＬＲ）のＰｒ、Ｃｅ、Ｎｄから選ばれた１種または２１
１以上と遷移金属（ＴＭ）のＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉのｆｉｌ
または２種以上とを主成分とするＬＲ−ＴＭ非晶質合金
薄膜を再生層として用いることを特徴とする光熱磁気！
２録媒体である。
すなわち、記録層として高保磁力を任しているＨＲ−Ｔ
Ｍ非晶質合金薄膜と再生層としてＬＲ−ＴＭ非晶質合金
薄膜とを基板上に設けてなることを基本構成とする光熱
磁気記録媒体であり、両層（両薄膜）の界面において交
換結合作用が働き、低保磁力の膜面に対して垂直な方向
に配向しにくいＬＲ−ＴＭ非晶質合金薄膜が磁気モーメ
ントを膜面に対して垂直に配向され、カー回転角も増大
する。記録層としてのＨＲ−ＴＭ非晶質合金薄膜（■）
は、本発明の目的を損なわない限りにおいて微量の他成
分を含んでもよい、！ｉＩ薄膜の厚さは３００〜２００
ＯＡが好ましい、再生層としてのＬＲ−ＴＭ非晶質合金
ｊｌｆｉ （Ｊ！ｌ）は本発明の目的と特徴を損なわな
い限りにおいて微量の他成分を含んでもよく、該ＰＪ膜
の厚さは１０〜ｔａｏ人が好ましく、より好ましくは１
５〜１５０人、特に好ましくは２０〜１２０Ａであり、
さらにＬＲとＴＭの比は１７９〜９ハであり好ましくは
２／８〜８／２でありさらに好ましくは４７６〜８７４
である。
Ｍ非晶質合金薄膜と再生層としてＬＲ−ＴＭ非晶質合金
薄膜とを基板上に設けてなることを基本構成とする光熱
磁気記録媒体であり、両層（両薄膜）の界面において交
換結合作用が働き、低保磁力の膜面に対して垂直な方向
に配向しにくいＬＲ−ＴＭ非晶質合金薄膜が磁気モーメ
ントを膜面に対して垂直に配向され、カー回転角も増大
する。記録層としてのＨＲ−ＴＭ非晶質合金薄膜（■）
は、本発明の目的を損なわない限りにおいて微量の他成
分を含んでもよい、！ｉＩ薄膜の厚さは３００〜２００
ＯＡが好ましい、再生層としてのＬＲ−ＴＭ非晶質合金
ｊｌｆｉ （Ｊ！ｌ）は本発明の目的と特徴を損なわな
い限りにおいて微量の他成分を含んでもよく、該ＰＪ膜
の厚さは１０〜ｔａｏ人が好ましく、より好ましくは１
５〜１５０人、特に好ましくは２０〜１２０Ａであり、
さらにＬＲとＴＭの比は１７９〜９ハであり好ましくは
２／８〜８／２でありさらに好ましくは４７６〜８７４
である。
本発明における基板としては、従来のガラス、プラスチ
ック（ＰＭＭＡ、ポリカーボネート等）が挙げられる。
ック（ＰＭＭＡ、ポリカーボネート等）が挙げられる。
本発明は、基板と！ｉｌｉ録層、再生層を基本構造とし
て保存するものであるが必要に応じて、保護膜、反射防
止膜、多重干渉エンハンス膜、透明導電膜等を設けても
よい。
て保存するものであるが必要に応じて、保護膜、反射防
止膜、多重干渉エンハンス膜、透明導電膜等を設けても
よい。
図−１には本発明の１実施例としてのＩｓ構成を示す０
図−２にはＨＲ−ＴＭ非晶質合金薄膜としてＴｂＦｅＣ
ｏを用い（該膜厚さ１５００人）、ＬＲ−ＴＭ非晶質合
金薄膜を用いて積層したときのＬＲ−７Ｍ膜厚とカー回
転角の関係を示した。
図−２にはＨＲ−ＴＭ非晶質合金薄膜としてＴｂＦｅＣ
ｏを用い（該膜厚さ１５００人）、ＬＲ−ＴＭ非晶質合
金薄膜を用いて積層したときのＬＲ−７Ｍ膜厚とカー回
転角の関係を示した。
図−２におけるＰ ｒ／Ｆ ｅの比は４８１５２であり
、Ｃｅ／Ｆｅの比は５４／４Ｂである。
、Ｃｅ／Ｆｅの比は５４／４Ｂである。
（実施例）
〔実施例−１〕
５．０Ｘ１０−’）−ル以下に排気したチャンバー内に
Ａｒガスを流入し、Ａｒガス圧を５ミリトールに設定す
る。チャンバー内の２枚の複合ターゲット、すなわちＴ
ｂＦｅＣｏとＦｃＰｒにＲＦ（またはＤＣ）の電力、２
００Ｗを投入してスパッタリングを開始する、ブリスパ
ッタを先ず行い、清浄、洗浄等の必要な前処理を施した
基板上に先ずＴｂＦｅＣｏを１５０ＯＡ厚さに製膜して
直後にＦｅＰｒのターゲット上に基板を移動さしてＦｅ
Ｐｒの５ＯＡ厚さに製膜を行い、十分冷却を行ってとり
出した。同様にＴｂＦｅＣｏを１ｓｏｏ人厚さに製模し
ＦｅＰｒの製膜をしないものを作成した。前者の２層の
非晶質合金薄膜からなるものは、後者の単層のものに（
らべて、カー回転角は約１．５倍となり、他Ｏ特性値は
差異が殆どなかった。なおこのときのＦｅとＰｒの比は
６．５／３．５であった。
Ａｒガスを流入し、Ａｒガス圧を５ミリトールに設定す
る。チャンバー内の２枚の複合ターゲット、すなわちＴ
ｂＦｅＣｏとＦｃＰｒにＲＦ（またはＤＣ）の電力、２
００Ｗを投入してスパッタリングを開始する、ブリスパ
ッタを先ず行い、清浄、洗浄等の必要な前処理を施した
基板上に先ずＴｂＦｅＣｏを１５０ＯＡ厚さに製膜して
直後にＦｅＰｒのターゲット上に基板を移動さしてＦｅ
Ｐｒの５ＯＡ厚さに製膜を行い、十分冷却を行ってとり
出した。同様にＴｂＦｅＣｏを１ｓｏｏ人厚さに製模し
ＦｅＰｒの製膜をしないものを作成した。前者の２層の
非晶質合金薄膜からなるものは、後者の単層のものに（
らべて、カー回転角は約１．５倍となり、他Ｏ特性値は
差異が殆どなかった。なおこのときのＦｅとＰｒの比は
６．５／３．５であった。
〔実施例−２〕
ＦｅＰｒのかわりにＮｄＦｅＣｏを使用した以外は実施
例−１と同様に実施した。ＮｄＦｃＣ。
例−１と同様に実施した。ＮｄＦｃＣ。
の膜厚は６０Ａであった。カー回転角は、ｊｌｉＷＴｂ
ＦｅＣｏのものにくらべて約１．３倍となり、他の特性
値は殆ど差がなかった。
ＦｅＣｏのものにくらべて約１．３倍となり、他の特性
値は殆ど差がなかった。
（発明の効果）
本発明の光熱磁気記録媒体としての磁性層に、記録層と
してＨＲ−ＴＭ非晶質性合金ＦＪ膜を、再生層としてＬ
Ｒ−ＴＭ非晶質合金薄紛を積属して使用する構造を基
本とする光熱磁気記録媒体は、カー回転角が大きく、微
小ビットが安定に得られ、ＡｉＳ／Ｎ比、高密度、高安
定性、高速読み書きの可能な、経済的にもバランスのと
れたものである。
してＨＲ−ＴＭ非晶質性合金ＦＪ膜を、再生層としてＬ
Ｒ−ＴＭ非晶質合金薄紛を積属して使用する構造を基
本とする光熱磁気記録媒体は、カー回転角が大きく、微
小ビットが安定に得られ、ＡｉＳ／Ｎ比、高密度、高安
定性、高速読み書きの可能な、経済的にもバランスのと
れたものである。
図−１は本発明のｌ！構成の１例を示すものである。
図−２は記録層としてＴｂＦｅＣｏを用いて、該層上に
ＬＲ−ＴＭＩ！を設けたときのＬＲ−７Ｍ膜厚とカー回
転角の関係を示すものである。
ＬＲ−ＴＭＩ！を設けたときのＬＲ−７Ｍ膜厚とカー回
転角の関係を示すものである。
Claims (2)
- （１）基板上に、膜面に対して垂直方向に磁化容易軸を
有する非晶質磁性合金薄膜を設けてなる光熱磁気記録媒
体において、重希土類元素（以下ＨＲと略称する）と遷
移金属（以下ＴＭと略称する）とを主成分とするＨＲ−
ＴＭ非晶質合金薄膜および軽希土類元素（以下ＬＲと略
称する）と遷移金属とを主成分とするＬＲ−ＴＭ非晶質
合金薄膜の二薄膜を少なくとも保有することを特徴とす
る光熱磁気記録媒体。 - （２）ＬＲ−ＴＭ非晶質合金薄膜の膜厚が１０〜１９０
Åであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
光熱磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29455186A JPS63148447A (ja) | 1986-12-10 | 1986-12-10 | 光熱磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29455186A JPS63148447A (ja) | 1986-12-10 | 1986-12-10 | 光熱磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63148447A true JPS63148447A (ja) | 1988-06-21 |
Family
ID=17809254
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29455186A Pending JPS63148447A (ja) | 1986-12-10 | 1986-12-10 | 光熱磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63148447A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01237945A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-22 | Canon Inc | 光磁気記録媒体 |
| US6324127B1 (en) | 1996-01-18 | 2001-11-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Magneto-optical recording layer having double-layer structure and magneto-optical disk adopting the same |
-
1986
- 1986-12-10 JP JP29455186A patent/JPS63148447A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01237945A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-22 | Canon Inc | 光磁気記録媒体 |
| US6324127B1 (en) | 1996-01-18 | 2001-11-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Magneto-optical recording layer having double-layer structure and magneto-optical disk adopting the same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4753853A (en) | Double-layered magnetooptical recording medium | |
| GB2071696A (en) | Magneto-optical Recording Medium | |
| JPS5984358A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| US5204193A (en) | Recording magnetooptical recording medium | |
| US5112701A (en) | Magneto-optic recording media and process for producing the same | |
| JPS59178641A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| US5663935A (en) | Magneto-optical recording medium having two magnetic layers of exchange-coupled at ferromagnetic phase | |
| US4992336A (en) | Magneto-optical recording medium | |
| US5100741A (en) | Magneto-optic recording systems | |
| JPH0395745A (ja) | 光磁気記録方法及び記録装置 | |
| JPS63148447A (ja) | 光熱磁気記録媒体 | |
| Greidanus et al. | Magneto‐Optical Recording and Data Storage Materials | |
| JPS61246946A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| US5768218A (en) | Magneto-optical recording medium having a plurality of magnetic layers | |
| JPH0550400B2 (ja) | ||
| US5529854A (en) | Magneto-optic recording systems | |
| JPH0782672B2 (ja) | 磁性薄膜記録媒体 | |
| JPH0343697B2 (ja) | ||
| JPH03296202A (ja) | 磁性膜 | |
| JPH0619859B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2829321B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2876062B2 (ja) | 磁性膜 | |
| JPS60101702A (ja) | 光磁気記録媒体の記録方法 | |
| JPS61243977A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2002123986A (ja) | 光磁気記録媒体およびその再生方法 |