JPS6299937A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS6299937A JPS6299937A JP24092485A JP24092485A JPS6299937A JP S6299937 A JPS6299937 A JP S6299937A JP 24092485 A JP24092485 A JP 24092485A JP 24092485 A JP24092485 A JP 24092485A JP S6299937 A JPS6299937 A JP S6299937A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alloy
- recording medium
- casting
- rare earth
- transition metal
- Prior art date
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- Pending
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- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気カー効果などの磁気光学効果を用いて読
み出す光磁気記録媒体に関し、特に光磁気記録材料に関
する。
み出す光磁気記録媒体に関し、特に光磁気記録材料に関
する。
〔従来の技術〕、
従来、光磁気記録媒体としてはＭｎＢ１ 、 ＭｎＣｕ
Ｂ１＄ｎＣｕＢ１ボス、磁性ガーネット嘆等の単結晶薄
膜ＧｄＣｏ 、ＴｂＦｅ、ＤｙＦｅ 、ＧｄＴｂＦｅ
、ＴｂＦｅＣ。
Ｂ１＄ｎＣｕＢ１ボス、磁性ガーネット嘆等の単結晶薄
膜ＧｄＣｏ 、ＴｂＦｅ、ＤｙＦｅ 、ＧｄＴｂＦｅ
、ＴｂＦｅＣ。
等の非晶質希土類が知られている。これらの薄膜のうち
、大面積の膜が容易に得られる点や、記録感度、再生Ｃ
／ＩＮ等を総合的に評価した結果、非晶薄膜が最も優れ
ているものと考えられている。
、大面積の膜が容易に得られる点や、記録感度、再生Ｃ
／ＩＮ等を総合的に評価した結果、非晶薄膜が最も優れ
ているものと考えられている。
特にＴｂＦｅＣｏ、ＧｄＴｂＦｅ、Ｇｄ、ＴｂＦｅＣｏ
、ＴｂＤｙＦｅ０Ｏ等の非晶質薄膜及び、カー回転角向
上、耐候性向上等の目的で上記非晶薄膜に、Ｂｉ、Ｏｒ
等の機料元素全添加した非晶實専嘆全用いた光磁゛気記
録媒体は、書込み、再生＃性、耐候性等の点でほぼ満足
のいくもの力ＬＩ外られている。
、ＴｂＤｙＦｅ０Ｏ等の非晶質薄膜及び、カー回転角向
上、耐候性向上等の目的で上記非晶薄膜に、Ｂｉ、Ｏｒ
等の機料元素全添加した非晶實専嘆全用いた光磁゛気記
録媒体は、書込み、再生＃性、耐候性等の点でほぼ満足
のいくもの力ＬＩ外られている。
〔発明が解決しようとする問題点及び目的〕これらＴｂ
ＦｅＣｏ、ＧｄＴｂＦｓＣ！ｏ ｆはじめとする希土慎
−遷移金属薄膜は主としてスパッタ法で作成されるため
、これらの合金組成を有するス・くンタリングターゲッ
トを心安とする。合金ターゲットの製造方法には粉末冶
金の手ｑ：金用いた焼結法と、鋳造法とがある。
ＦｅＣｏ、ＧｄＴｂＦｓＣ！ｏ ｆはじめとする希土慎
−遷移金属薄膜は主としてスパッタ法で作成されるため
、これらの合金組成を有するス・くンタリングターゲッ
トを心安とする。合金ターゲットの製造方法には粉末冶
金の手ｑ：金用いた焼結法と、鋳造法とがある。
焼結法による合金ターゲットは、粉末化後、成型、焼１
桔という手順で作られるので、材料の酸化し易さもあっ
て、製品には２００１’ｌｐｐｍ以上の酸素が含まれて
しまい、薄膜中にも酸素が取り込まれ光磁気特性の低下
が問題となる。一方、希土類と鉄族元素の鋳造組織は、
多数の金属間化合物からなる肥大組織を示し、材料特有
のぜい性を有している、このため鋳造法による合金の酸
素濃度ｉ１００ｐｐｍ以下に抑えることができるにもか
かわらず、大面積の合金ターゲットを容易には作成でき
ないという問題点金有している。
桔という手順で作られるので、材料の酸化し易さもあっ
て、製品には２００１’ｌｐｐｍ以上の酸素が含まれて
しまい、薄膜中にも酸素が取り込まれ光磁気特性の低下
が問題となる。一方、希土類と鉄族元素の鋳造組織は、
多数の金属間化合物からなる肥大組織を示し、材料特有
のぜい性を有している、このため鋳造法による合金の酸
素濃度ｉ１００ｐｐｍ以下に抑えることができるにもか
かわらず、大面積の合金ターゲットを容易には作成でき
ないという問題点金有している。
そこで本発明の目的とするところは、鋳造法により大面
積の合金ターゲットを容易に作ることのでさる、光磁気
記録媒体組成を提供することにある。
積の合金ターゲットを容易に作ることのでさる、光磁気
記録媒体組成を提供することにある。
本発明の光磁気記録媒体は、膜面に垂直方向に磁化容易
軸を有する非晶質希土項−遷移金属合金薄膜に、Ｚｒを
添加したことを特徴とする。
軸を有する非晶質希土項−遷移金属合金薄膜に、Ｚｒを
添加したことを特徴とする。
本発明によれば、合金組成物を鋳造した際にＺｒが核生
成剤として働き、鋳造組織が微細化する。金属組織学で
知られるところのホール・ベンチの関係によれば、結晶
粒が微細であればあるほど、機械的強聞が得られるので
ある。
成剤として働き、鋳造組織が微細化する。金属組織学で
知られるところのホール・ベンチの関係によれば、結晶
粒が微細であればあるほど、機械的強聞が得られるので
ある。
以下に実施例を示して、本発明を史に詳細に説明する。
（実施例１）
低周波誘導加熱炉で所望の合金組成物全溶解し水冷鋳型
を用いて直値４インチ、厚さ４震の円板状の合金を＠遺
した。その後、平面研削盤を用いて厚さ３ｍの円板状に
加工し、無酸素鋼迩のバンキングプレートにインジウム
系低温はんだで接合した。第１表は本実施例で作成した
合金ターゲットの組成を示すものである。
を用いて直値４インチ、厚さ４震の円板状の合金を＠遺
した。その後、平面研削盤を用いて厚さ３ｍの円板状に
加工し、無酸素鋼迩のバンキングプレートにインジウム
系低温はんだで接合した。第１表は本実施例で作成した
合金ターゲットの組成を示すものである。
第１表
実施例１−１〜１−５はいずれも良好に合金ターゲッ＋
−’２得ることができた。一方、比較例として第２表の
ような組成で同様に鋳造を行ったところ、比較例１−１
は、鋳７！！！内で冷却中に、比較例１−２は平面加工
中に割れてしまった。
−’２得ることができた。一方、比較例として第２表の
ような組成で同様に鋳造を行ったところ、比較例１−１
は、鋳７！！！内で冷却中に、比較例１−２は平面加工
中に割れてしまった。
次に本実施例の合金ターゲラトラ用いて、初期真空ＩＩ
′７． ＯＸ １０−’ＴＯｒｒ以下、Ａｒガス圧５×
１０″″５Ｔｏｒｒ、 ＲＦ投入電力１５０ｗの条件で
、ガラス基板上に約１０００１の膜厚で成膜した。また
、Ｆｅターゲット上に、Ｎａ、Ｔ’ｂ、Ｃｏのペレット
を均一に配置し、比較例１−１と同じ組成の膜を同様に
作成した。第１図は、７８０ｎｍの波長のレーザー光で
測定したカー回転角を組成に対してプロットしたもので
ある。又第２図は、ギュリー温変を組成に対してプロッ
トしたものであるＯＺｒ添加量が増すに従いキュリ一温
度が下がり書き込み感度が上がることがわかる。一方力
−回転角は、３ａｔ％添加程度まではほとんど変化しな
いが、３ａｔｌを越えると一様に減少する。以上のこと
から、Ｚｒを１０ａｔ％以下添加することにより大面積
の合金ターゲットを鋳造法で得ることができる。添加量
ｆｔｓ ａ ｔ％以下、より好ましくは３ａｔ％以下に
することによって再生特性の低下なしに、記録感度全向
上させることができる。
′７． ＯＸ １０−’ＴＯｒｒ以下、Ａｒガス圧５×
１０″″５Ｔｏｒｒ、 ＲＦ投入電力１５０ｗの条件で
、ガラス基板上に約１０００１の膜厚で成膜した。また
、Ｆｅターゲット上に、Ｎａ、Ｔ’ｂ、Ｃｏのペレット
を均一に配置し、比較例１−１と同じ組成の膜を同様に
作成した。第１図は、７８０ｎｍの波長のレーザー光で
測定したカー回転角を組成に対してプロットしたもので
ある。又第２図は、ギュリー温変を組成に対してプロッ
トしたものであるＯＺｒ添加量が増すに従いキュリ一温
度が下がり書き込み感度が上がることがわかる。一方力
−回転角は、３ａｔ％添加程度まではほとんど変化しな
いが、３ａｔｌを越えると一様に減少する。以上のこと
から、Ｚｒを１０ａｔ％以下添加することにより大面積
の合金ターゲットを鋳造法で得ることができる。添加量
ｆｔｓ ａ ｔ％以下、より好ましくは３ａｔ％以下に
することによって再生特性の低下なしに、記録感度全向
上させることができる。
（実施例２）
実施例１と同様な方法で第５衣に示すような組成の合金
ターゲラトラ作成したところ、いずれも割れ、欠けのな
いものを作ることができた。
ターゲラトラ作成したところ、いずれも割れ、欠けのな
いものを作ることができた。
第３表
また比較例として第４衣の組成で合金ターゲットの鋳造
を試みたが、いずれも冷却中に４すれ、又はクランクが
はい−）７’（。
を試みたが、いずれも冷却中に４すれ、又はクランクが
はい−）７’（。
次に本実施例の合金ターゲットを用いて、実施例１と同
様の条件で成膜した。また、比較のために第４表の組成
の膜を、Ｆ′ｅターゲット上にペレットを配置して作成
した。第５表は、これらの薄膜のカー回転角とキュリー
温吃ヲ示したものである。
様の条件で成膜した。また、比較のために第４表の組成
の膜を、Ｆ′ｅターゲット上にペレットを配置して作成
した。第５表は、これらの薄膜のカー回転角とキュリー
温吃ヲ示したものである。
第５表
本実施例においても実施例１と同様にｚｒの３憾添加で
は、カー回転角を変化させることなくキュリ一点を下げ
ることができた。
は、カー回転角を変化させることなくキュリ一点を下げ
ることができた。
以上に述べたように本発明によれば、光磁気記録媒体に
おいて模面に垂直方向に磁化容易軸を有する非晶質希土
類−遷移金属合金薄膜にＺｒを添加することにより、記
録膜製造に不可欠なスパッタリング用合金ターゲットを
鋳造法で容易に作成することができる。また、キュリ一
点を、カー回転角の減少なしで低くすることができるの
で、よシ記録感度に優れた光磁気記録媒体を得ることが
できる。
おいて模面に垂直方向に磁化容易軸を有する非晶質希土
類−遷移金属合金薄膜にＺｒを添加することにより、記
録膜製造に不可欠なスパッタリング用合金ターゲットを
鋳造法で容易に作成することができる。また、キュリ一
点を、カー回転角の減少なしで低くすることができるの
で、よシ記録感度に優れた光磁気記録媒体を得ることが
できる。
第１図は、（Ｔｂα２ＱＮｄＬ１ｊＱＦｅ（Ｌ４ＱＣＯ
Ｑ！５０しｏｎ−ｘＺｒＸに関して、Ｘとカー回転角の
関係図。 第２図は、（Ｔｂα２ｏＮｄα１０ＦｅｌＬ４０００１
１３０ ） ｔｏｏ−ｘＺｒｃ に関して、Ｘとギュリ
ー温吐の関係図。 以 上
Ｑ！５０しｏｎ−ｘＺｒＸに関して、Ｘとカー回転角の
関係図。 第２図は、（Ｔｂα２ｏＮｄα１０ＦｅｌＬ４０００１
１３０ ） ｔｏｏ−ｘＺｒｃ に関して、Ｘとギュリ
ー温吐の関係図。 以 上
Claims (2)
- （１）膜面に垂直方向に磁化容易軸を有する非晶質希土
類−遷移金属合金薄膜に、Ｚｒを添加した事を特徴とす
る光磁気記録媒体。 - （２）前記希土類が、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙのうちいずれか
一種以上の元素を含むことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24092485A JPS6299937A (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24092485A JPS6299937A (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6299937A true JPS6299937A (ja) | 1987-05-09 |
Family
ID=17066672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24092485A Pending JPS6299937A (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6299937A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5119879A (en) * | 1989-05-15 | 1992-06-09 | Kawasaki Jukigyo Kabushiki Kaisha | Edger with tubular main frame |
| US5156217A (en) * | 1989-05-15 | 1992-10-20 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Edger with improved rear wheel adjustment |
| US5199502A (en) * | 1989-05-15 | 1993-04-06 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Edger with improved rotary blade driving device |
-
1985
- 1985-10-28 JP JP24092485A patent/JPS6299937A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5119879A (en) * | 1989-05-15 | 1992-06-09 | Kawasaki Jukigyo Kabushiki Kaisha | Edger with tubular main frame |
| US5156217A (en) * | 1989-05-15 | 1992-10-20 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Edger with improved rear wheel adjustment |
| US5165485A (en) * | 1989-05-15 | 1992-11-24 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Edger with improved blade cover assembly |
| US5199502A (en) * | 1989-05-15 | 1993-04-06 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Edger with improved rotary blade driving device |
| US5437334A (en) * | 1989-05-15 | 1995-08-01 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Edger |
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