JPH03181041A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPH03181041A
JPH03181041A JP32631590A JP32631590A JPH03181041A JP H03181041 A JPH03181041 A JP H03181041A JP 32631590 A JP32631590 A JP 32631590A JP 32631590 A JP32631590 A JP 32631590A JP H03181041 A JPH03181041 A JP H03181041A
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JP
Japan
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layer
magneto
recording medium
optical recording
refractive index
Prior art date
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Pending
Application number
JP32631590A
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English (en)
Inventor
Hajime Machida
元 町田
Motoharu Tanaka
元治 田中
Atsuyuki Watada
篤行 和多田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH03181041A publication Critical patent/JPH03181041A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は新規な層構成を有する光磁気記録媒体に関する
従来、光磁気メモリー材料の磁性膜としてアモルファス
磁性合金膜Gd−Co、 Gd−Fe、 Tb−Fe、
 Gd−Tb−Fe、 Dy−Tb−Feなどが用いら
れていたが、基板上にこれらの磁性合金膜を単味で設け
たものは磁気光学特性、カーまたはファラデー回転角が
不十分で再生時のS/Nが低かった。キュリー温度を上
げると例えばGd−Tt+−Feのようにカー回転角が
向上するものがあるが、いまだカー回転角は不十分であ
り、またキュリー温度が高いと記録時のレーザーパワー
が大きいという欠点がある。
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであって、磁性
薄層の他に記録レーザパワーを小さくしかつカー効果々
いしはファラデー効果を高めるような層を新たに設けた
層構成とすることにより小さなエネルギーで記録できか
つ再生時に大きなS/Nを得ることができる光磁気記録
媒体の開発に成功し、本発明の完成に至った。
本発明の目的は記録時のメモリー媒体面でのレーザパワ
ーが小さい光磁気記録媒体を提供することである。また
5本発明の別の目的は再生時のS/Nすなわちカーない
しファラデー回転角の大きい光磁気記録媒体を提供する
ことである。
本発明の光磁気記録媒体は、基板上に高屈折率層、遷移
金属−希土類金属合金の垂直磁化膜からなる磁性薄層お
よび酸化防止層を順次設けた構成を有するものである。
また、本発明の光磁気記録媒体は、基板上に遷移金属−
希土類金属合金の垂直磁化膜からなる磁性薄層、高屈折
率層、反射層および酸化防止層を順次設けた構成を有す
るものである。
本発明における磁性薄層としては前述の如き2元系ない
し3元系の希土類金属−遷移金属非晶質合金薄wX(垂
直磁化膜)を用いることができるが、より好ましい合金
材料としては垂直磁気異方性を有する以下の如き4元系
合金をあげることができる。
(Tbo、5DFo4)o、zz(Feo、gCoo、
2)6.7B   −(s)。
(Tb0.9BiO−1)O−17(FeO−71IC
O0,22)O−83−(b)、(Gdo、5DFo、
a)o;+5(Feo、5Coo、t)o、sz   
・=(c)、(Gdo−gsBio、ts)o、zs(
Feo−ssCoo−+z)o、yn−(d)、(Gd
o、yTbo、3)o−z4(Feo、5sCoo、o
s)o、ya  −(e)。
光磁気記録媒体の重要な課題は記録時には小さ17エネ
ルギーを要し、一方再生時には大きなS/Nが得られね
ばならない。記録時のエネルギーは磁性膜のキュリー温
度、膜厚、媒体の熱伝導率が大きな要因である。第1図
は膜厚と記録に必要なエネルギー(レーザ出力)との関
係を示すグラフである。この図から明らかなように、膜
厚200A(0,02μ−)まで膜厚とレーザ出力は直
線関係に膜厚の増大に比例する。膜厚200A(0,0
2μm)以下になるとレーザ出力が増大する。これはレ
ーザ光が透過してしまい熱が蓄積され?、<いためであ
る。したがって、本発明では磁性薄層の厚さを200−
100OAにするのが適当である。
以下1図面について本発明の光磁気記録媒体の構成を説
明する。
第2図(A)は本発明の光磁気記録媒体の層構成例を示
す模式図であって、基板1上に高屈折率層3、磁性薄層
2および酸化防止層4を順次設けたものである。第2図
(B)は別の層構成例を示す模式図であって、基板1上
に磁性薄層2、高屈折率層3、反射層5および酸化防止
層6を順次設けたものである。
磁性薄層2は単層であっても積層であっても良い。
基板としては、ガラス、プラスチックなどを用いること
ができる。
高屈折率層は例えばFe2O3、TlO2、CeO2,
5b203、WOs、Sin、 Bi□03、CdOな
どの屈折率が2.0以上の物をスパッリング法によって
付着させる。
酸化防止層としてはMgO1^Q203、SiO□、T
lO2、およびThe2の酸化物が用いられ、膜厚は+
oooA以上である。
第3図(B)では基板上に磁性薄層が膜200−50O
Aの膜厚で付着しており、再生時のレーザー光が透過可
能な物である。
反射層としては金属薄膜Cu、^g、 Cr、^Q、R
h、^UおよびNiなどが用いられる。反射層に金属薄
膜を用いる場合はその上に酸化防止層が必要である。
次に、本発明の光磁気記録媒体の製造例を具体的に説明
する。
厚さImmのガラス基板上に最初に磁性層をアルゴンガ
ス圧3X 10””Torr、放電々力300W、模作
製速度20A八eeの条件で作製する。スパッタリング
は3つのターゲットを用いて基板回転で行い例えばGd
 Tk Fe Co磁性層のターゲット上の配置はFe
ターゲット上にGd、 TIl、 Coのチップが磁性
層に対応する面積比で配置される。1つのターゲットは
高屈折率層例えばSiOであり、もう1つのターゲット
は酸化防止層例えばMgOがそれぞれ配置される。
各々の積層膜は同一真空中でターゲット上のシャッター
が開閉されて順次膜が積層され光磁気記録媒体が作製さ
れるものである。
上述したようにして作製された本発明の光磁気記録媒体
の構成例を以下の表1に記載する。磁性薄層の欄におい
て、(a)、(b)、(c)、(d)および(e)はそ
れぞれ先に例示した合金組成に対応する。表1に示した
本発明の光磁気記録媒体について、レーザ(波長800
1101および媒体面での強度ImW)を用いて測定し
たカー回転角(Ok)及びファラデー回転角θ、と記録
周波数2M bH/sにおける記録レーザパワーを以下
の表2に示す。
表   1 A、光磁気記録媒体の構成〔第2図(A)〕然科料 竪
法薄屡 A−1(s)膜厚800A A−2(k)  #  100OA A−3(c)  n  600A A−4(d) II  500A ^−5(e) n  1i50A 高屈折率層 SiO膜厚 1000A Ce02 n  3000A Ti02 n  2000A SiOn  2500A SiOn  500A 酵倶隆垂星 Fe2O33000A wo33000A A Q 2033000A ^Q 2035000A MIO5000A B、光磁気記録媒体の↑8成〔第2図(6)〕磁性薄層
  高屈折率層  区N[酸化防止層(a)膜厚200
A TiO2膜厚3000A Ag5000A Ti0
z3000人(b) II  200ASiOn  5
00AAu  II  TaN300OA(c) # 
 200ASiOII 2000ACu  ’l  C
e023000ACd) r+  250ACe02n
 l00OAAI2  〃CrN3000A(e)  
〆t  200ASiOn 2500ACu  n  
5i025000A表    2 カー効果(試料へに対して) によるO−よびファラデー 効果(試料Bに対して)によ るOF 」〕±0− 0.58 0.52 0.62 0.64 0.74 0.68 0.60 0.74 0.72 0.88 表−2から本発明による光磁気記録媒体は十分々大きさ
のカー回転角ないしファラデー回転角を示し、記録時の
レーザパワーも小さくできることがわかる。
なお、本発明による光磁気記録媒体は光変調方式と磁界
変調方式のいずれにも適用でき、また重ね書きタイプの
記録方式にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図は磁性薄層の膜厚と記録エネルギーとの関係を示
すグラフであり、第2図(^)および(B)は光磁気記
録媒体の層構成を示す模式図である。 l・・・基板、2 ・・磁性薄層、3・・・高屈折率層
、4.6・・酸化防止層、5・・・反射層。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基板上に高屈折率層、遷移金属−希土類金属合金
    の垂直磁化膜からなる磁性薄層および酸化防止層を順次
    設けた構成を有する光磁気記録媒体。
  2. (2)基板上に遷移金属−希土類金属合金の垂直磁化膜
    からなる磁性薄層、高屈折率層、反射層および酸化防止
    層を順次設けた構成を有する光磁気記録媒体。
JP32631590A 1990-11-28 1990-11-28 光磁気記録媒体 Pending JPH03181041A (ja)

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