JPS60150248A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPS60150248A JPS60150248A JP461684A JP461684A JPS60150248A JP S60150248 A JPS60150248 A JP S60150248A JP 461684 A JP461684 A JP 461684A JP 461684 A JP461684 A JP 461684A JP S60150248 A JPS60150248 A JP S60150248A
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- JP
- Japan
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- film
- magnetic
- recording medium
- magneto
- magnetic film
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Compounds Of Iron (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は半導体レーザー光によって記録、再生するため
の光磁気記録媒体に関する。
の光磁気記録媒体に関する。
従来技術
近年、半導体レーザー光により磁気記録及び再生を行な
う光磁気記録媒体が高密度記録用として研究開発されて
いる。この種の光磁気記録媒体の最も基本的なものは石
英ガラスのような耐熱性の透明基板上にスパッタリング
、真空蒸着等の方法で基板面に対し垂直磁化可能な磁性
膜を設けたものである。と＼で磁性膜の材料・とじては
希土類金属と遷移金属との非晶質合金（例えばＴｂ−Ｐ
ａ合金）からなる磁性体が主として使われている。この
ような光磁気記録媒体への記録、再生は次のようにして
行なわれる。即ち記録は磁性膜のキュリ一温度又は補償
温度近傍における温度変化に対応した保磁力の急激な変
化特性を利用して２値信号で変調されたレーザー光を磁
性膜に照射加熱して磁化の向きを反転させることによシ
行なわれる。また再生はこうして反転記録された磁性膜
に偏光されたレーザー光を照射し、磁性膜の磁気光学効
果の差を利用して、磁化の向きに応じて偏光面を回転せ
しめ、表われる。
う光磁気記録媒体が高密度記録用として研究開発されて
いる。この種の光磁気記録媒体の最も基本的なものは石
英ガラスのような耐熱性の透明基板上にスパッタリング
、真空蒸着等の方法で基板面に対し垂直磁化可能な磁性
膜を設けたものである。と＼で磁性膜の材料・とじては
希土類金属と遷移金属との非晶質合金（例えばＴｂ−Ｐ
ａ合金）からなる磁性体が主として使われている。この
ような光磁気記録媒体への記録、再生は次のようにして
行なわれる。即ち記録は磁性膜のキュリ一温度又は補償
温度近傍における温度変化に対応した保磁力の急激な変
化特性を利用して２値信号で変調されたレーザー光を磁
性膜に照射加熱して磁化の向きを反転させることによシ
行なわれる。また再生はこうして反転記録された磁性膜
に偏光されたレーザー光を照射し、磁性膜の磁気光学効
果の差を利用して、磁化の向きに応じて偏光面を回転せ
しめ、表われる。
以上のようガ記録、再生方法においては更に反射光の透
過による偏光面の回転角の増大、即ちファラデー効果に
よって高い再生出力を得る目的で磁性膜上にスパッタリ
ング、゛真空蒸着等の方法でｆｉＪｌ、 Ｏｕ ＠、の
反射膜を設けた記録媒体を用いることも提案されている
。
過による偏光面の回転角の増大、即ちファラデー効果に
よって高い再生出力を得る目的で磁性膜上にスパッタリ
ング、゛真空蒸着等の方法でｆｉＪｌ、 Ｏｕ ＠、の
反射膜を設けた記録媒体を用いることも提案されている
。
前述のような非晶質合金磁性体を用いた光磁気記録媒体
はいずれも記録感度が高いため、半導体レーザー光によ
って高速度（周波数Ｉ Ｍｌ−１ｚ ＶＣおい７．−５
録、き、とい、１０点はあるが、非晶質合金磁性体、特
に遷移金属成分は酸化腐食を受け易いので、特に反射膜
を持たないものは経時と共に磁性膜の磁気光学特性が劣
化するという大きな欠点かある。これを防止するため、
非晶質磁性膜上にＳｉｎ。
はいずれも記録感度が高いため、半導体レーザー光によ
って高速度（周波数Ｉ Ｍｌ−１ｚ ＶＣおい７．−５
録、き、とい、１０点はあるが、非晶質合金磁性体、特
に遷移金属成分は酸化腐食を受け易いので、特に反射膜
を持たないものは経時と共に磁性膜の磁気光学特性が劣
化するという大きな欠点かある。これを防止するため、
非晶質磁性膜上にＳｉｎ。
５ｔＯ２等の保護層を設ける（形成法は一般に磁性膜の
場合と同様、真空蒸着、スパッタリング等による）こと
本知られているが、磁性膜或いは保護層の形成時、真空
中に残存するＯ８、基板面に吸着された０２． Ｈ，Ｏ
等及び合金磁性体のターゲット中に含まれるＯ、 、
Ｈ，Ｏ等及び合金磁性体のターゲット中に含まれるｏ２
＋Ｈ，Ｏ等により経時と共に磁性膜が酸化腐食される上
、記録時の光及び熱により更にこの酸化腐食は促進され
る。また非輸品質磁性体は熱によって結晶化され易く、
そのために磁気光量特性の劣化を来たし易いという欠点
を有する。これらの欠点は磁性膜の材料＆Ｃ起因するも
のなので、反射膜を設けた記録媒体につ−いても同様な
ことが云える。またこの種の記録媒体においては反射膜
による再生出力の向上効果も不充分であった。
場合と同様、真空蒸着、スパッタリング等による）こと
本知られているが、磁性膜或いは保護層の形成時、真空
中に残存するＯ８、基板面に吸着された０２． Ｈ，Ｏ
等及び合金磁性体のターゲット中に含まれるＯ、 、
Ｈ，Ｏ等及び合金磁性体のターゲット中に含まれるｏ２
＋Ｈ，Ｏ等により経時と共に磁性膜が酸化腐食される上
、記録時の光及び熱により更にこの酸化腐食は促進され
る。また非輸品質磁性体は熱によって結晶化され易く、
そのために磁気光量特性の劣化を来たし易いという欠点
を有する。これらの欠点は磁性膜の材料＆Ｃ起因するも
のなので、反射膜を設けた記録媒体につ−いても同様な
ことが云える。またこの種の記録媒体においては反射膜
による再生出力の向上効果も不充分であった。
目 的
本発明の目的は非晶質合金磁性膜と同様、記録感度が高
いにも拘わらず、耐酸化腐食性及び耐熱性に優れ、従っ
て経時や熱による磁気光学特性の劣化が殆んどない光磁
気記録媒体を提供することである。
いにも拘わらず、耐酸化腐食性及び耐熱性に優れ、従っ
て経時や熱による磁気光学特性の劣化が殆んどない光磁
気記録媒体を提供することである。
構 成
本発明の光磁気記録媒体は透明基板上に、基板面に対し
垂直磁化可能な磁性膜と反射膜とを順次設けた光磁気記
録媒体において、前記磁性膜を一般式 ％式％ ） で示される金属酸化物磁性体で構成すると共に、磁性膜
と反射膜との間に更に高屈折率無機透明誘電材料からな
る透明誘電層を設けたパ ことを特徴とするものであり
０ ゛ 光磁気記録媒体に用いられる磁性体又は磁゛・性膜
には半導体レーザー光によって記録、再生可能な磁気光
学特性（適正なキュリ一温度、・□ 保磁力等）を備え
ていなければならないが、ｒ′・・特に高い記録感度を
得るためにキュリ一温度□”Ｔｃが低いこと及び記録し
たメモリーを安定に＝ ５− 維持するために保磁力Ｈｃが適度に高いことが必要であ
る。一般にこのＴｃ及びＨｅの適正範囲はＴｃについて
は１００〜３５０℃、ＨｃＫついては３００〜６０００
エルステツドと考えられる。
垂直磁化可能な磁性膜と反射膜とを順次設けた光磁気記
録媒体において、前記磁性膜を一般式 ％式％ ） で示される金属酸化物磁性体で構成すると共に、磁性膜
と反射膜との間に更に高屈折率無機透明誘電材料からな
る透明誘電層を設けたパ ことを特徴とするものであり
０ ゛ 光磁気記録媒体に用いられる磁性体又は磁゛・性膜
には半導体レーザー光によって記録、再生可能な磁気光
学特性（適正なキュリ一温度、・□ 保磁力等）を備え
ていなければならないが、ｒ′・・特に高い記録感度を
得るためにキュリ一温度□”Ｔｃが低いこと及び記録し
たメモリーを安定に＝ ５− 維持するために保磁力Ｈｃが適度に高いことが必要であ
る。一般にこのＴｃ及びＨｅの適正範囲はＴｃについて
は１００〜３５０℃、ＨｃＫついては３００〜６０００
エルステツドと考えられる。
一方、従来よ如磁気ノ々プル材料として六方晶型及びス
ピネル型の金−酸化物磁性体が研究されている。このう
ちスピネル型のものでは例えば、Ｏｏスピネル型鉄酸化
物（ＯｏＦｅ２０４）が知られている。本発明者らはこ
の種の磁性体がそれ自体、酸化物であるため、酸化劣化
の恐れかガいことに注目した。しかしこれらはキュリ一
温度Ｔｃが４５６℃以上と高いため、前述のように半導
体レーザー光による記録は困難であり、そのままでは光
磁気記録媒体用材料として適用できない。そこで本発明
者らは０ｏＦｅ２０４のＦｅ原子の一部を他の金属原子
で置換することを思い付き、他の金属原子としてＭ金属
を用いたところ、Ｔｃが低下することを見出した。本発
明者らはこのよりなＭ金属の置換効果に着目し、且つ光
磁気記録媒体用 ６ − の磁性体又は磁性膜に要求されるＴｃ及びＨｅの前記適
正範囲を考慮して更にこれらＭ金属の置換割合について
も検討した結果、光磁気記録媒体用材料として満足し得
る前記一般式の金属酸化物磁性体を見出した。
ピネル型の金−酸化物磁性体が研究されている。このう
ちスピネル型のものでは例えば、Ｏｏスピネル型鉄酸化
物（ＯｏＦｅ２０４）が知られている。本発明者らはこ
の種の磁性体がそれ自体、酸化物であるため、酸化劣化
の恐れかガいことに注目した。しかしこれらはキュリ一
温度Ｔｃが４５６℃以上と高いため、前述のように半導
体レーザー光による記録は困難であり、そのままでは光
磁気記録媒体用材料として適用できない。そこで本発明
者らは０ｏＦｅ２０４のＦｅ原子の一部を他の金属原子
で置換することを思い付き、他の金属原子としてＭ金属
を用いたところ、Ｔｃが低下することを見出した。本発
明者らはこのよりなＭ金属の置換効果に着目し、且つ光
磁気記録媒体用 ６ − の磁性体又は磁性膜に要求されるＴｃ及びＨｅの前記適
正範囲を考慮して更にこれらＭ金属の置換割合について
も検討した結果、光磁気記録媒体用材料として満足し得
る前記一般式の金属酸化物磁性体を見出した。
Ｗにまた本発明者らは従来の反射膜を有する光磁気記録
媒体における再生出力のいっそうの向上を計る目的でフ
ァラデー効果のある材料を用いることに着目し、前記材
料として８１０、 ＴＩＯ，等の高屈折率無機透明誘電
材料を用い、且つこれらを透明誘電層として反射膜と磁
性膜との間に積層したところ、前記目的が達成できるこ
とを見出した。
媒体における再生出力のいっそうの向上を計る目的でフ
ァラデー効果のある材料を用いることに着目し、前記材
料として８１０、 ＴＩＯ，等の高屈折率無機透明誘電
材料を用い、且つこれらを透明誘電層として反射膜と磁
性膜との間に積層したところ、前記目的が達成できるこ
とを見出した。
本発明は以上のような知見に基づいて達成されたもので
ある。
ある。
本発明の光磁気記録媒体の基本構成は第１図に示す通シ
である。図中、１は透明基板、２は磁性膜、３は透明誘
電層、４は反射膜である。この記録媒体には記録、再生
時のレーザー光をガイドするために第２図に示すように
反射膜４と誘電層３との間にガイドドラック１−５を設
けることができる。また以上の記録媒体には反射膜４０
表面を採掘するために第３〜４図に示すように反射膜４
土に更に保護層６を設けることができる。
である。図中、１は透明基板、２は磁性膜、３は透明誘
電層、４は反射膜である。この記録媒体には記録、再生
時のレーザー光をガイドするために第２図に示すように
反射膜４と誘電層３との間にガイドドラック１−５を設
けることができる。また以上の記録媒体には反射膜４０
表面を採掘するために第３〜４図に示すように反射膜４
土に更に保護層６を設けることができる。
本発明の磁性膜は前記一般式の金網酸化物磁性体を主体
として構成される。こ＼で使用される金属酸化物磁性体
の具体例としては下記のものが挙げられる。
として構成される。こ＼で使用される金属酸化物磁性体
の具体例としては下記のものが挙げられる。
Ｃｏ Ｏｒ０４ Ｆ ｅｌ−２ｏ４ １ ０ｏＭｎｌ＋
６ Ｆｅ１．００４＋ ０ｏＯｒ６４５Ｆａｌ、ＢＯ４
゜ＯｏＯｒ１４Ｆｅｇ１ｇ０４ 、ＯｏＭｎ６，７ＨＦ
Ｊ４ＨＯ４、０ｏＡＡｏ、６Ｆｅ１．２０４゜０ｏｕｌ
、６Ｆｅ１．６０４． ０ｏＺｎｏ、フｖＦｅ＋、ｔａ
ｏ４ ＊ ０ｏＺｎ！、６Ｆｅ１，６０４ １０ｏＴｉ
（１，１Ｆａ１４０４．０ｏ８ｎ４４Ｆａｏ４０４＋
０ｏＯｕｌ、ｏＦｅｌ、ｏ０４＊０ｏＲｈ０，６ Ｆｅ
６．１０４． ０ｏＯｒ（１，ＢＩＩｒｅｌ、１１＋ｏ
４，０ｏＯｒ１．６Ｆａ１．６０４゜ＯｏＭｎ６．４
Ｆｅ１．６０４ 、ＯｏＭｎＯ，ｇＦｅｌ 、１０４
、 ０ｏＯｒｏ、ａ Ｂｉ ｏ、ｔＦｅｌ、ｏ ０４゜
ＯｏＭｎ６．６Ｂ＋６，２Ｆｅ１，２０４，０ｏｕｏ、
ａＢｉ６．Ｉ Ｆｅ１，１０４＠ ０ｏＯｒ６４Ｖ６．
ＩＦｅ、、、Ｏ，、ＯｏＭｎＯ，、ＳｍＯ，Ｉ Ｆｅ、
４０．、ＯｏＭｎｏ、、Ｖ（、、、Ｂｌｏ、Ｆｅ、。
６ Ｆｅ１．００４＋ ０ｏＯｒ６４５Ｆａｌ、ＢＯ４
゜ＯｏＯｒ１４Ｆｅｇ１ｇ０４ 、ＯｏＭｎ６，７ＨＦ
Ｊ４ＨＯ４、０ｏＡＡｏ、６Ｆｅ１．２０４゜０ｏｕｌ
、６Ｆｅ１．６０４． ０ｏＺｎｏ、フｖＦｅ＋、ｔａ
ｏ４ ＊ ０ｏＺｎ！、６Ｆｅ１，６０４ １０ｏＴｉ
（１，１Ｆａ１４０４．０ｏ８ｎ４４Ｆａｏ４０４＋
０ｏＯｕｌ、ｏＦｅｌ、ｏ０４＊０ｏＲｈ０，６ Ｆｅ
６．１０４． ０ｏＯｒ（１，ＢＩＩｒｅｌ、１１＋ｏ
４，０ｏＯｒ１．６Ｆａ１．６０４゜ＯｏＭｎ６．４
Ｆｅ１．６０４ 、ＯｏＭｎＯ，ｇＦｅｌ 、１０４
、 ０ｏＯｒｏ、ａ Ｂｉ ｏ、ｔＦｅｌ、ｏ ０４゜
ＯｏＭｎ６．６Ｂ＋６，２Ｆｅ１，２０４，０ｏｕｏ、
ａＢｉ６．Ｉ Ｆｅ１，１０４＠ ０ｏＯｒ６４Ｖ６．
ＩＦｅ、、、Ｏ，、ＯｏＭｎＯ，、ＳｍＯ，Ｉ Ｆｅ、
４０．、ＯｏＭｎｏ、、Ｖ（、、、Ｂｌｏ、Ｆｅ、。
４
なおこれらの金属酸化物磁性体はＦｅ１０３１そルと０
０＊Ｏｍ ０．５モルとＭｔＯ，０，５モルとを混合粉
砕し、これを適尚な形状の金型に入れて成型後、１２０
０〜１４００℃の温度で焼結することにより作られる。
０＊Ｏｍ ０．５モルとＭｔＯ，０，５モルとを混合粉
砕し、これを適尚な形状の金型に入れて成型後、１２０
０〜１４００℃の温度で焼結することにより作られる。
またこうして得られる金属酸化物磁性体にはファラデー
回転角を更に増大して磁気光学特性を改善するためにＬ
ａ。
回転角を更に増大して磁気光学特性を改善するためにＬ
ａ。
ｙｂ、ｎｙ 等の金属を添加することができる。
以上のような金属酸化物磁性体を用いて磁性膜を形成す
るには、基板の種類にもよるが、一般に透明基板上にこ
の磁性体をターゲットとして基板温度５００〜６００℃
でスパッタリング、真空蒸着、イオンブレーティング等
の方法で膜厚０１〜１０μｍ程度に付着させればよい。
るには、基板の種類にもよるが、一般に透明基板上にこ
の磁性体をターゲットとして基板温度５００〜６００℃
でスパッタリング、真空蒸着、イオンブレーティング等
の方法で膜厚０１〜１０μｍ程度に付着させればよい。
場合によっては磁性膜の形成は基板温度５００℃未満で
行なうこともできる。但しこの場合は磁性膜形成後、こ
れに５００〜７００℃の熱処理を、場合によ）磁界を印
加しながら、行なって垂直磁化させる必要がある。ここ
で基板の材料としては一般ガラス、石英ガラス：ＧＧＧ
；サファイヤ；リチウムタンタレート；結晶化透明ガラ
ス；パイレックスガラス； ９− 表面を酸化処理し又は処理しかい単結晶シリ＝ｙ ｙ
： 、ＩＶＩ、０３． Ａｔ、Ｏ，−ＭｇＯ，ＭｇＯ奉
Ｌｉ１ｉ’、 Ｙ２Ｏ，拳Ｌ（Ｆ。
行なうこともできる。但しこの場合は磁性膜形成後、こ
れに５００〜７００℃の熱処理を、場合によ）磁界を印
加しながら、行なって垂直磁化させる必要がある。ここ
で基板の材料としては一般ガラス、石英ガラス：ＧＧＧ
；サファイヤ；リチウムタンタレート；結晶化透明ガラ
ス；パイレックスガラス； ９− 表面を酸化処理し又は処理しかい単結晶シリ＝ｙ ｙ
： 、ＩＶＩ、０３． Ａｔ、Ｏ，−ＭｇＯ，ＭｇＯ奉
Ｌｉ１ｉ’、 Ｙ２Ｏ，拳Ｌ（Ｆ。
ＢｅＯ、ＺｒＯ２・Ｙ２ Ｏ３、Ｔｈ０１ ・ＯａＯ等
の透明セラミック材；無機シリコン材（例えば東芝シリ
コン社製トスガード、住人化学社製スミセラムＰ）等の
無機材料或いはアクリル樹脂、ポリカーゼネート樹脂、
ぼりエステル樹脂、ポリアミド、ポリイミド、シリコン
樹脂等の樹脂が使用できる。
の透明セラミック材；無機シリコン材（例えば東芝シリ
コン社製トスガード、住人化学社製スミセラムＰ）等の
無機材料或いはアクリル樹脂、ポリカーゼネート樹脂、
ぼりエステル樹脂、ポリアミド、ポリイミド、シリコン
樹脂等の樹脂が使用できる。
本発明の透明誘電層は高屈折率（好ましくは１．７以上
）の無機透明誘電材料によって構成される。こ＼で無機
透明誘電材料としては８１０２ 、８ｉ０． ＴＩＯ２
，ＴＩＯ，ＯｅＯ＊ 、 ＨｆＯ２、Ｂｅｄ。
）の無機透明誘電材料によって構成される。こ＼で無機
透明誘電材料としては８１０２ 、８ｉ０． ＴＩＯ２
，ＴＩＯ，ＯｅＯ＊ 、 ＨｆＯ２、Ｂｅｄ。
Ｔｈｅ、 、 ５Ｉ３Ｎ、等が挙げられる。透明誘電層
の形成法は磁性膜の場合と同じく、磁性膜上に前記材料
をスパッタリング、真空蒸着、イオンブレーティング等
の方法で膜厚０．０４〜０５μ常程度に付着させればよ
い。こうして形成される透明誘電層は前述のようにファ
ラデー回転角を増大させて再生出力を向上する作用１０
− を有するが、その他、金属材料に比べて熱伝導率の低い
無機透明誘電材料からなるため、第１図及び第３図の配
録材料で反射膜を金属材料で形成した場合は磁性膜〜反
射膜間の断熱効果を高め、これによ如記録時のレーザー
パワーを低減できるという作用も有している。
の形成法は磁性膜の場合と同じく、磁性膜上に前記材料
をスパッタリング、真空蒸着、イオンブレーティング等
の方法で膜厚０．０４〜０５μ常程度に付着させればよ
い。こうして形成される透明誘電層は前述のようにファ
ラデー回転角を増大させて再生出力を向上する作用１０
− を有するが、その他、金属材料に比べて熱伝導率の低い
無機透明誘電材料からなるため、第１図及び第３図の配
録材料で反射膜を金属材料で形成した場合は磁性膜〜反
射膜間の断熱効果を高め、これによ如記録時のレーザー
パワーを低減できるという作用も有している。
反射膜は従来と同様、Ｏｕ、 Ａｊ、 Ａｇ、 Ａｕ、
Ｎｌ。
Ｎｌ。
Ｐｔ、 ＴｅＯｘ、 Ｔｅａ、 ５ｅＡｓ、 ＴｅＡａ
、 ＴＩＮ、 ＴａＮ、 ＯｒＮ、 ’／アニン染料、
フタロシアニン染料等で構成される。反射膜の形成法も
従来と全く同様、前記材料をスパッタリング、真空蒸着
、イオンシレーティング等の方法で誘電層又はガイドト
ラック層或いは保護層上に膜厚０．０２〜０．５μ毒程
度に付着させればよい。こうして得られる反射膜は、磁
性膜を透過したレーザー光を反射し、再び磁性膜を透過
することによるファラデー効果を増大させ、これによシ
誘電層と同様、再生出力を向上させる作用を有している
。
、 ＴＩＮ、 ＴａＮ、 ＯｒＮ、 ’／アニン染料、
フタロシアニン染料等で構成される。反射膜の形成法も
従来と全く同様、前記材料をスパッタリング、真空蒸着
、イオンシレーティング等の方法で誘電層又はガイドト
ラック層或いは保護層上に膜厚０．０２〜０．５μ毒程
度に付着させればよい。こうして得られる反射膜は、磁
性膜を透過したレーザー光を反射し、再び磁性膜を透過
することによるファラデー効果を増大させ、これによシ
誘電層と同様、再生出力を向上させる作用を有している
。
ガイドトラック層は一般に第２図のような記録媒体の場
合は紫外線硬化性樹脂旨で、また第４図のような記録媒
体の場合はエポキシ樹脂、ポリウレタン、ポリアミド等
の接着性樹脂で構成される。形成法は第４図のような記
録媒体の場合は透明誘電層上に紫外線硬化性樹脂を塗布
した後、ガイド溝を有する金型を圧着しながら、紫外線
を照射して前記樹脂を硬化させればよい。また第５図の
ような記録媒体の場合は予め保護層（但しガイドトラッ
クの溝に対応する凸起を有するもの）上に設けられた反
射膜を接着性樹脂を用いて誘電層面と接着すればよい。
合は紫外線硬化性樹脂旨で、また第４図のような記録媒
体の場合はエポキシ樹脂、ポリウレタン、ポリアミド等
の接着性樹脂で構成される。形成法は第４図のような記
録媒体の場合は透明誘電層上に紫外線硬化性樹脂を塗布
した後、ガイド溝を有する金型を圧着しながら、紫外線
を照射して前記樹脂を硬化させればよい。また第５図の
ような記録媒体の場合は予め保護層（但しガイドトラッ
クの溝に対応する凸起を有するもの）上に設けられた反
射膜を接着性樹脂を用いて誘電層面と接着すればよい。
こうして得られるガイドトラック層は記録、再生時のレ
ーザー光をガイドする作用を有している。
ーザー光をガイドする作用を有している。
保護層は従来と同様、８１０． Ｓｉｎ、、 ＴＩＮ、
ＳＩＮ。
ＳＩＮ。
ＴａＮ、アクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリカーｌ
ネート樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、？リアミド樹
脂、エポキシ樹脂等で構成される。形成法は一般に第３
図のような記録媒体の場合は樹脂については塗布法で、
その他の材料についてはスパッタリング、真空蒸着、イ
オンブレーティング等の方法で反射膜上に膜厚０．１〜
１ｏｐｍ程度に付着させればよい。また第４図のような
記録媒体の場合は樹脂については射出成型、押出成型、
フォトエツチング等の方法で、その他の材料については
機械加工、研摩加工等の方法でガイドトラック溝に対応
する形状に加工すればよい。
ネート樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、？リアミド樹
脂、エポキシ樹脂等で構成される。形成法は一般に第３
図のような記録媒体の場合は樹脂については塗布法で、
その他の材料についてはスパッタリング、真空蒸着、イ
オンブレーティング等の方法で反射膜上に膜厚０．１〜
１ｏｐｍ程度に付着させればよい。また第４図のような
記録媒体の場合は樹脂については射出成型、押出成型、
フォトエツチング等の方法で、その他の材料については
機械加工、研摩加工等の方法でガイドトラック溝に対応
する形状に加工すればよい。
なお保護層は反射膜を保護する目的で設けられる。
以上のようにして得られる本発明の光磁気記録媒体によ
る記録、再生法は従来と同様、基板側から変調又は偏向
されたレーザー光を照射して行なわれる。
る記録、再生法は従来と同様、基板側から変調又は偏向
されたレーザー光を照射して行なわれる。
効 果
本発明の光磁気記録媒体は磁性膜に酸化劣化の恐れがな
く、しかも光磁気記録媒体用材料として適正なキュリ一
温度及び保磁力を有するＯｏスピネル型金金属酸化物使
用すると同時に、磁性膜と反射膜との間に高屈折率の無
１３− 機透明誘電材料から々る透明誘電層を設けたので、従来
のような経時による磁気光学特性の劣化が起こらず、し
かも記録感度も高く、従って半導体レーザー光によって
高速度で高密度記録ができる上、ファラデー効果の向上
により従来の反射膜を有する記録媒体よりも再生出力が
高く、また場合によっては誘電層の断熱効果によシ記録
時のレーザー・々ワーを低減できる等の特長を有してい
る。
く、しかも光磁気記録媒体用材料として適正なキュリ一
温度及び保磁力を有するＯｏスピネル型金金属酸化物使
用すると同時に、磁性膜と反射膜との間に高屈折率の無
１３− 機透明誘電材料から々る透明誘電層を設けたので、従来
のような経時による磁気光学特性の劣化が起こらず、し
かも記録感度も高く、従って半導体レーザー光によって
高速度で高密度記録ができる上、ファラデー効果の向上
により従来の反射膜を有する記録媒体よりも再生出力が
高く、また場合によっては誘電層の断熱効果によシ記録
時のレーザー・々ワーを低減できる等の特長を有してい
る。
以下に本発明の実施例を示す。
実施例１〜１４
ｓｔｏｔ処理（スパッタリングにより被着）シた石英ガ
ラス板上に対向ターゲットスパッタリング法によって表
−１の金属酸化物磁性体を膜厚０３μｍ゛になるまで被
着せしめて磁性膜を形成し、その上に同じ方法でＳ ｌ
ｏｘを膜厚０．１ｐｍになるまで被着せしめて透明誘電
層を形成し、更にその上に同じ方法でＭを膜厚０．１ｐ
ｍになるまで被着せしめて反射膜を形成し、光磁気記録
媒体を作成した。 ゛ ′ １４− 骨ｔＡ−−−−− 表−１ 比較例１ 金属酸化物磁性体として０ｏＦｅ２０４を用いた他は実
施例１〜１４と同じ方法で光磁気記録媒体を作成１−た
。
ラス板上に対向ターゲットスパッタリング法によって表
−１の金属酸化物磁性体を膜厚０３μｍ゛になるまで被
着せしめて磁性膜を形成し、その上に同じ方法でＳ ｌ
ｏｘを膜厚０．１ｐｍになるまで被着せしめて透明誘電
層を形成し、更にその上に同じ方法でＭを膜厚０．１ｐ
ｍになるまで被着せしめて反射膜を形成し、光磁気記録
媒体を作成した。 ゛ ′ １４− 骨ｔＡ−−−−− 表−１ 比較例１ 金属酸化物磁性体として０ｏＦｅ２０４を用いた他は実
施例１〜１４と同じ方法で光磁気記録媒体を作成１−た
。
比較例２
透明誘電層を設けｋかった他は実施例１と同じ方法で光
磁気記録媒体を作成した。
磁気記録媒体を作成した。
次に以上の各記録媒体に５００エルステツドの磁界を印
加しながら、出力２０？ｌＬＷの半導体レーザー光を一
定の再生出力が得られるように記録媒体表面の光強度を
表−３のように変化させ、周波数ＩＭＨｚのパルスで一
定時間（秒）照射して記録を行ガつだ。
加しながら、出力２０？ｌＬＷの半導体レーザー光を一
定の再生出力が得られるように記録媒体表面の光強度を
表−３のように変化させ、周波数ＩＭＨｚのパルスで一
定時間（秒）照射して記録を行ガつだ。
（以下余白）
１５−
表−２
１７−
１６−
表−２の記載から判るように反射膜に金属材料を用いた
ので、本発明品は比較品（比較例２）に比べてレーザー
・ぞワーを低減できる。
ので、本発明品は比較品（比較例２）に比べてレーザー
・ぞワーを低減できる。
第１〜４図は夫々、本発明の光磁気記録媒体の構成図で
あふ。 １・・・透明基板 ２・・・磁性膜 ３・・・透明誘電層 ４・・・反射膜 ５・・・ガイドトラック層 ６・・・保護層１８− 消ｌ 閃 弔２図 箔３１り 市４■ 手続補正書 昭和５９年３月１日 特許庁長官 若杉和夫 殿 ■、事件の表示 昭和５９年 特 許 願第４６１６号 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 （６７４）株式会社 リ コ − 代表者 浜 １） 広 ４、代 理 人 ５、補正の対象 明細書の「特許請求の範囲」及び「発明の詳ム 補正の
内容 （１）％許請求の範囲を別紙の如く訂正する。 （２）明細書第３頁第１４行「遷移」を「希土類」に訂
正する。 （３） 同第３頁第１５行「反射」を「保護」に訂正す
る。 （４）同第４頁第１２行「反射」を「保護」に訂正する
。 （５）同第４頁第１４行「反射膜」を「反射法」に訂正
する。 （６）同第５頁第７行「Ｏｏ Ｍｘ Ｆ ｅ＠ −ＸＯ
４Ｊを［０ｏＭｘＦ・、、ｍ ｘＯ，Ｊに訂正する。 易 （７）同第５貰第１０行「０．４≦Ｘ≦１．４」の後に
「、ｍｉｊ、Ｍのイオン価数」を加入する。 （８）同第９頁第１０行［５００Ｊを「４ｏｏ」に訂正
する。 （９） 同第９頁第１４行１”’５００ ＣＪを「４０
０Ｃ」に訂正する。 αＱ 同第９頁第１５行「５００」を「４００」に訂正
する。 α１） 同第１０頁第６〜８行「或いはアクリル樹脂、
・・・（中略）・・・シリコン樹脂等の樹脂」を削除す
る。 ２ 添付書類の目録 （１） 別 紙 １通 別 紙 特許請求の範囲 １、 透明基板上に、基板面に対し垂直磁化可能な磁性
膜と反射膜とを順次設けた光磁気記録媒体において、前
記磁性膜を一般式 ％式％ ≦１．４．ｍはＭのイオン価数） で示される金属酸化物磁性体で構成すると共に、磁性膜
と反射膜との間に更に高屈折率無機透明！電材料からな
る透明誘電層を設けたことを特徴とする光磁気記録媒体
。
あふ。 １・・・透明基板 ２・・・磁性膜 ３・・・透明誘電層 ４・・・反射膜 ５・・・ガイドトラック層 ６・・・保護層１８− 消ｌ 閃 弔２図 箔３１り 市４■ 手続補正書 昭和５９年３月１日 特許庁長官 若杉和夫 殿 ■、事件の表示 昭和５９年 特 許 願第４６１６号 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 （６７４）株式会社 リ コ − 代表者 浜 １） 広 ４、代 理 人 ５、補正の対象 明細書の「特許請求の範囲」及び「発明の詳ム 補正の
内容 （１）％許請求の範囲を別紙の如く訂正する。 （２）明細書第３頁第１４行「遷移」を「希土類」に訂
正する。 （３） 同第３頁第１５行「反射」を「保護」に訂正す
る。 （４）同第４頁第１２行「反射」を「保護」に訂正する
。 （５）同第４頁第１４行「反射膜」を「反射法」に訂正
する。 （６）同第５頁第７行「Ｏｏ Ｍｘ Ｆ ｅ＠ −ＸＯ
４Ｊを［０ｏＭｘＦ・、、ｍ ｘＯ，Ｊに訂正する。 易 （７）同第５貰第１０行「０．４≦Ｘ≦１．４」の後に
「、ｍｉｊ、Ｍのイオン価数」を加入する。 （８）同第９頁第１０行［５００Ｊを「４ｏｏ」に訂正
する。 （９） 同第９頁第１４行１”’５００ ＣＪを「４０
０Ｃ」に訂正する。 αＱ 同第９頁第１５行「５００」を「４００」に訂正
する。 α１） 同第１０頁第６〜８行「或いはアクリル樹脂、
・・・（中略）・・・シリコン樹脂等の樹脂」を削除す
る。 ２ 添付書類の目録 （１） 別 紙 １通 別 紙 特許請求の範囲 １、 透明基板上に、基板面に対し垂直磁化可能な磁性
膜と反射膜とを順次設けた光磁気記録媒体において、前
記磁性膜を一般式 ％式％ ≦１．４．ｍはＭのイオン価数） で示される金属酸化物磁性体で構成すると共に、磁性膜
と反射膜との間に更に高屈折率無機透明！電材料からな
る透明誘電層を設けたことを特徴とする光磁気記録媒体
。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、透明基板上に、基板面に対し垂直磁化可能な磁性膜
と反射膜とを順次設けた光磁気記録媒体において、前記
磁性膜を一般式 ％式％ ） で示される金属酸化物磁性体で構成すると共に、磁性膜
と反射膜との間に更に高屈折率無機透明誘電材料からな
る透明前電層を設けたことを特徴とする光磁気記録媒体
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP461684A JPS60150248A (ja) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP461684A JPS60150248A (ja) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60150248A true JPS60150248A (ja) | 1985-08-07 |
Family
ID=11588987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP461684A Pending JPS60150248A (ja) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60150248A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60204691A (ja) * | 1984-03-28 | 1985-10-16 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Ｃｏフエライト垂直磁化膜の製造方法 |
| JPH01140444A (ja) * | 1987-11-26 | 1989-06-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光磁気記録用薄膜の製造方法 |
| JPH02165447A (ja) * | 1988-12-16 | 1990-06-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光磁気記録媒体およびその製造方法 |
| JPH02166647A (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光磁気記録媒体およびその製造方法 |
-
1984
- 1984-01-13 JP JP461684A patent/JPS60150248A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60204691A (ja) * | 1984-03-28 | 1985-10-16 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Ｃｏフエライト垂直磁化膜の製造方法 |
| JPH01140444A (ja) * | 1987-11-26 | 1989-06-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光磁気記録用薄膜の製造方法 |
| JPH02165447A (ja) * | 1988-12-16 | 1990-06-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光磁気記録媒体およびその製造方法 |
| JPH02166647A (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光磁気記録媒体およびその製造方法 |
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