JPS5942635A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

磁気記録媒体の製造方法

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Publication number
JPS5942635A
JPS5942635A JP15218082A JP15218082A JPS5942635A JP S5942635 A JPS5942635 A JP S5942635A JP 15218082 A JP15218082 A JP 15218082A JP 15218082 A JP15218082 A JP 15218082A JP S5942635 A JPS5942635 A JP S5942635A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
polyester
oligomer
magnetic recording
vapor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15218082A
Other languages
English (en)
Inventor
Koichi Shinohara
紘一 篠原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP15218082A priority Critical patent/JPS5942635A/ja
Publication of JPS5942635A publication Critical patent/JPS5942635A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/84Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
    • G11B5/85Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates

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  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、短波長記録に適する、面内、又は垂直磁気記
録用の磁気記録媒体の製造方法に関する。
従来例の構成とその問題点 近年、記録密度の飛躍的増大の可能性を秘めノζCoN
i系の蒸着テープ、CoCr系の垂直磁化膜を用いた磁
気記録媒体の開発が急速に進んでいる。
ところでこれらの磁気記録媒体は磁化膜の表面粗度が小
さくすなわち平滑であるために特に湿度雰囲気下での走
行においていわゆるテープ鳴きを生じ走行性に問題があ
った。
発明の目的 本発明は、表面粗度を大きくすることなく、走行性能の
改良されたテープを容易に得られるようにすることを目
的とする。
発明の構成 本発明は、ポリエステル基板上に、強磁性層の形成に先
立ち、ポリエステルオリゴマーを真空蒸着によシ、微結
晶として析出形成させるものである。
この方法の特長は、(1)  オリゴマーの密度の制御
性が優れている、(2)  オリゴマーの大きさ力均−
fあることで、その製法の特長は、ヘリカルスキャンの
磁気記録用の媒体として、結果的に、実用性能の優れた
媒体を提供するものである。
−〜 実施例の説明 〔実施例1〕 第1図は、本発明を実施するために用いた装置の要部概
要図を示す。。
図に示すように、回転支持体1.2に沿って送シ出し軸
3よシ巻き取シ軸4へ、ポリエステル基板5を移動する
。回転支持体1に沿っている時に、蒸発源6により、ポ
リエステルオリゴマーヲ蒸着する。次に回転支持体2に
沿った状態で、蒸発源了により強磁性層を形成する。8
は入射角制限用のマスクである。9は防着板、10は中
間ローラーである。これらの要素は轟然真空容器に収納
され、ガス導入等は必要に応じてなされるものであり、
真空容器内を分割するやり方も自由であり、強磁性層の
蒸着はイオンプレーティン久スパッタリングも含んでい
る。
第1.第2の回転支持体は、円筒状のキャンでも良いし
、エンドレス状の金属ベルトであっても良いし、2つの
回転支持体間の周速制御の方法も公知のいずれであって
も良い。
ポリエステルオリゴマーの蒸発源は、高々300℃であ
り、例えば水晶の容器を傍熱式で加熱制御することで充
分制御されるが、その方式については、特に制約はない
のは勿論である。
強磁性層用の蒸発源は、電子ビーム蒸発源が好ましいが
、これにこだわるものではない。又、合金系で、蒸気圧
の異なる場合、2源蒸発源によるのも当然である。
なお第1の回転支持体は直径3oCrn、奥行65cm
、第2の回転支持体は直径60cm、奥行65(7ff
である。第1の蒸発源を直下101の位置に配置し、第
2の蒸発源を第1図で示す距離Z、Yをそれぞれ26C
rn、181に選んで、磁気記録媒体を製造した。必要
に応じて非磁性層を配しても良いが、主として、非磁性
層を配さない構成について確認した。
ポリエステルオリゴマーについては、直線2量体。
3量体、環状3量体、単独、それらの混合についての組
み合わせで確認した。
オリゴマーの蒸着量は、水晶振動式のモニタで看視した
強磁性層は、Go、CoNiを選んで、2X10”TO
τrの酸素中で蒸着し、その時の最小入射角は43であ
った。
各試料の条件を下の表に示す。
インチ   インチ ターゲットサイズは、10   X26    である
この装置により、CoOx系の垂直磁化膜を形成した。
先ずオリゴマ一層を形成し、次に、パーマロイ層を0.
13μmの厚さに形成したのちCo82Cr14φの垂
直磁化膜を形成した・ ポリエステル基板については、厚さ8μm〜25μm表
面粗す60A〜25OAの範囲で選択し、CoOx厚み
はo、1μmから0.3μmの範囲を選んだ。
オリゴマーは環状三量体を30A、40A。
50Aの3水準について調べた。これらについて%イン
チのテープを製造し、(実施例1′11と同様の走行テ
ストおし、はぼ同様の走行性能の改良が確認できた。
他の磁性層についても同様であり、走行性能の改良によ
り、短波長域の出力も変化しないことが確認された。
発明の効果 本発明によるとテープ鳴きがなく走向性にすぐれた磁気
記録媒体を容易に得ることができ、その工業的価値は犬
である。
【図面の簡単な説明】
図は本発明を実施するのに用いた蒸着装置の要部概要を
示す図である。 18.・・・・回転支持体、2・・・・・・回転支持体
、5・・・・・・基板、6・・・・・・オリゴマー蒸発
源、了・・・・・・強磁性材蒸発源。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ポリエステル基板上に、あらかじめポリエステルオリゴ
    マーを蒸着した後、強磁性層を形成することを特徴とす
    る磁気記録媒体の製造方法。
JP15218082A 1982-08-31 1982-08-31 磁気記録媒体の製造方法 Pending JPS5942635A (ja)

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JP15218082A JPS5942635A (ja) 1982-08-31 1982-08-31 磁気記録媒体の製造方法

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JPS5942635A true JPS5942635A (ja) 1984-03-09

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ID=15534797

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0387904A2 (en) * 1989-03-17 1990-09-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method of producing thin film

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0387904A2 (en) * 1989-03-17 1990-09-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method of producing thin film

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