JPS5942635A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS5942635A JPS5942635A JP15218082A JP15218082A JPS5942635A JP S5942635 A JPS5942635 A JP S5942635A JP 15218082 A JP15218082 A JP 15218082A JP 15218082 A JP15218082 A JP 15218082A JP S5942635 A JPS5942635 A JP S5942635A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- polyester
- oligomer
- magnetic recording
- vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、短波長記録に適する、面内、又は垂直磁気記
録用の磁気記録媒体の製造方法に関する。
録用の磁気記録媒体の製造方法に関する。
従来例の構成とその問題点
近年、記録密度の飛躍的増大の可能性を秘めノζＣｏＮ
ｉ系の蒸着テープ、ＣｏＣｒ系の垂直磁化膜を用いた磁
気記録媒体の開発が急速に進んでいる。
ｉ系の蒸着テープ、ＣｏＣｒ系の垂直磁化膜を用いた磁
気記録媒体の開発が急速に進んでいる。
ところでこれらの磁気記録媒体は磁化膜の表面粗度が小
さくすなわち平滑であるために特に湿度雰囲気下での走
行においていわゆるテープ鳴きを生じ走行性に問題があ
った。
さくすなわち平滑であるために特に湿度雰囲気下での走
行においていわゆるテープ鳴きを生じ走行性に問題があ
った。
発明の目的
本発明は、表面粗度を大きくすることなく、走行性能の
改良されたテープを容易に得られるようにすることを目
的とする。
改良されたテープを容易に得られるようにすることを目
的とする。
発明の構成
本発明は、ポリエステル基板上に、強磁性層の形成に先
立ち、ポリエステルオリゴマーを真空蒸着によシ、微結
晶として析出形成させるものである。
立ち、ポリエステルオリゴマーを真空蒸着によシ、微結
晶として析出形成させるものである。
この方法の特長は、（１） オリゴマーの密度の制御
性が優れている、（２） オリゴマーの大きさ力均−
ｆあることで、その製法の特長は、ヘリカルスキャンの
磁気記録用の媒体として、結果的に、実用性能の優れた
媒体を提供するものである。
性が優れている、（２） オリゴマーの大きさ力均−
ｆあることで、その製法の特長は、ヘリカルスキャンの
磁気記録用の媒体として、結果的に、実用性能の優れた
媒体を提供するものである。
−〜
実施例の説明
〔実施例１〕
第１図は、本発明を実施するために用いた装置の要部概
要図を示す。。
要図を示す。。
図に示すように、回転支持体１．２に沿って送シ出し軸
３よシ巻き取シ軸４へ、ポリエステル基板５を移動する
。回転支持体１に沿っている時に、蒸発源６により、ポ
リエステルオリゴマーヲ蒸着する。次に回転支持体２に
沿った状態で、蒸発源了により強磁性層を形成する。８
は入射角制限用のマスクである。９は防着板、１０は中
間ローラーである。これらの要素は轟然真空容器に収納
され、ガス導入等は必要に応じてなされるものであり、
真空容器内を分割するやり方も自由であり、強磁性層の
蒸着はイオンプレーティン久スパッタリングも含んでい
る。
３よシ巻き取シ軸４へ、ポリエステル基板５を移動する
。回転支持体１に沿っている時に、蒸発源６により、ポ
リエステルオリゴマーヲ蒸着する。次に回転支持体２に
沿った状態で、蒸発源了により強磁性層を形成する。８
は入射角制限用のマスクである。９は防着板、１０は中
間ローラーである。これらの要素は轟然真空容器に収納
され、ガス導入等は必要に応じてなされるものであり、
真空容器内を分割するやり方も自由であり、強磁性層の
蒸着はイオンプレーティン久スパッタリングも含んでい
る。
第１．第２の回転支持体は、円筒状のキャンでも良いし
、エンドレス状の金属ベルトであっても良いし、２つの
回転支持体間の周速制御の方法も公知のいずれであって
も良い。
、エンドレス状の金属ベルトであっても良いし、２つの
回転支持体間の周速制御の方法も公知のいずれであって
も良い。
ポリエステルオリゴマーの蒸発源は、高々３００℃であ
り、例えば水晶の容器を傍熱式で加熱制御することで充
分制御されるが、その方式については、特に制約はない
のは勿論である。
り、例えば水晶の容器を傍熱式で加熱制御することで充
分制御されるが、その方式については、特に制約はない
のは勿論である。
強磁性層用の蒸発源は、電子ビーム蒸発源が好ましいが
、これにこだわるものではない。又、合金系で、蒸気圧
の異なる場合、２源蒸発源によるのも当然である。
、これにこだわるものではない。又、合金系で、蒸気圧
の異なる場合、２源蒸発源によるのも当然である。
なお第１の回転支持体は直径３ｏＣｒｎ、奥行６５ｃｍ
、第２の回転支持体は直径６０ｃｍ、奥行６５（７ｆｆ
である。第１の蒸発源を直下１０１の位置に配置し、第
２の蒸発源を第１図で示す距離Ｚ、Ｙをそれぞれ２６Ｃ
ｒｎ、１８１に選んで、磁気記録媒体を製造した。必要
に応じて非磁性層を配しても良いが、主として、非磁性
層を配さない構成について確認した。
、第２の回転支持体は直径６０ｃｍ、奥行６５（７ｆｆ
である。第１の蒸発源を直下１０１の位置に配置し、第
２の蒸発源を第１図で示す距離Ｚ、Ｙをそれぞれ２６Ｃ
ｒｎ、１８１に選んで、磁気記録媒体を製造した。必要
に応じて非磁性層を配しても良いが、主として、非磁性
層を配さない構成について確認した。
ポリエステルオリゴマーについては、直線２量体。
３量体、環状３量体、単独、それらの混合についての組
み合わせで確認した。
み合わせで確認した。
オリゴマーの蒸着量は、水晶振動式のモニタで看視した
。
。
強磁性層は、Ｇｏ、ＣｏＮｉを選んで、２Ｘ１０”ＴＯ
τｒの酸素中で蒸着し、その時の最小入射角は４３であ
った。
τｒの酸素中で蒸着し、その時の最小入射角は４３であ
った。
各試料の条件を下の表に示す。
インチ インチ
ターゲットサイズは、１０ Ｘ２６ である
。
。
この装置により、ＣｏＯｘ系の垂直磁化膜を形成した。
先ずオリゴマ一層を形成し、次に、パーマロイ層を０．
１３μｍの厚さに形成したのちＣｏ８２Ｃｒ１４φの垂
直磁化膜を形成した・ ポリエステル基板については、厚さ８μｍ〜２５μｍ表
面粗す６０Ａ〜２５ＯＡの範囲で選択し、ＣｏＯｘ厚み
はｏ、１μｍから０．３μｍの範囲を選んだ。
１３μｍの厚さに形成したのちＣｏ８２Ｃｒ１４φの垂
直磁化膜を形成した・ ポリエステル基板については、厚さ８μｍ〜２５μｍ表
面粗す６０Ａ〜２５ＯＡの範囲で選択し、ＣｏＯｘ厚み
はｏ、１μｍから０．３μｍの範囲を選んだ。
オリゴマーは環状三量体を３０Ａ、４０Ａ。
５０Ａの３水準について調べた。これらについて％イン
チのテープを製造し、（実施例１′１１と同様の走行テ
ストおし、はぼ同様の走行性能の改良が確認できた。
チのテープを製造し、（実施例１′１１と同様の走行テ
ストおし、はぼ同様の走行性能の改良が確認できた。
他の磁性層についても同様であり、走行性能の改良によ
り、短波長域の出力も変化しないことが確認された。
り、短波長域の出力も変化しないことが確認された。
発明の効果
本発明によるとテープ鳴きがなく走向性にすぐれた磁気
記録媒体を容易に得ることができ、その工業的価値は犬
である。
記録媒体を容易に得ることができ、その工業的価値は犬
である。
図は本発明を実施するのに用いた蒸着装置の要部概要を
示す図である。 １８．・・・・回転支持体、２・・・・・・回転支持体
、５・・・・・・基板、６・・・・・・オリゴマー蒸発
源、了・・・・・・強磁性材蒸発源。
示す図である。 １８．・・・・回転支持体、２・・・・・・回転支持体
、５・・・・・・基板、６・・・・・・オリゴマー蒸発
源、了・・・・・・強磁性材蒸発源。
Claims (1)
- ポリエステル基板上に、あらかじめポリエステルオリゴ
マーを蒸着した後、強磁性層を形成することを特徴とす
る磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15218082A JPS5942635A (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15218082A JPS5942635A (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5942635A true JPS5942635A (ja) | 1984-03-09 |
Family
ID=15534797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15218082A Pending JPS5942635A (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5942635A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0387904A2 (en) * | 1989-03-17 | 1990-09-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of producing thin film |
-
1982
- 1982-08-31 JP JP15218082A patent/JPS5942635A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0387904A2 (en) * | 1989-03-17 | 1990-09-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of producing thin film |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5942635A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS5814325A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS6014408B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS5812133A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2650300B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS5814327A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS5850628A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0334614B2 (ja) | ||
| JPH0121534B2 (ja) | ||
| JPS5994241A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS6018912A (ja) | 真空蒸着による薄膜形成方法 | |
| JPH0334620B2 (ja) | ||
| JPS60214426A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2785272B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH06333225A (ja) | 薄膜磁気記録媒体 | |
| JP2794662B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS6174142A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS5916143A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS6031013B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0334615B2 (ja) | ||
| JPS5916144A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS5814326A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS618737A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS58125236A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS58102336A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 |