JPS5942392A - 鉛含有複合金属酸化物前駆体組成物およびその製造方法 - Google Patents
鉛含有複合金属酸化物前駆体組成物およびその製造方法Info
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- JPS5942392A JPS5942392A JP15273982A JP15273982A JPS5942392A JP S5942392 A JPS5942392 A JP S5942392A JP 15273982 A JP15273982 A JP 15273982A JP 15273982 A JP15273982 A JP 15273982A JP S5942392 A JPS5942392 A JP S5942392A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は複合金属酸化物の製造(=係り、さら(=詳し
くは、鉛含有複合金属酸化物前駆体組成物およびその製
造方法眉二関する。
くは、鉛含有複合金属酸化物前駆体組成物およびその製
造方法眉二関する。
鉛含有複合金属酸化物、たとえば、チタン酸鉛。
ジルコン酸鉛、チタンジルコン酸鉛(以下[PZT J
という。)、ランタン含有チタンジルコン酸鉛(以下「
PLZT」という。)等は、その優れた誘電性、圧電性
、光透過性等からエレクトロニクス用素材として重要な
ものである。
という。)、ランタン含有チタンジルコン酸鉛(以下「
PLZT」という。)等は、その優れた誘電性、圧電性
、光透過性等からエレクトロニクス用素材として重要な
ものである。
従来、これらの鉛含有複合金属酸化物を製造する方法と
して、各々の金属成分の酸化物を出発原料とし、高温固
相反応(二より製造する固相法、および各々の金属成分
の硝酸塩の混合水溶液から、蒸発乾固、凍結乾燥、噴霧
熱分解等の方法により製造する溶液法とが知られている
。
して、各々の金属成分の酸化物を出発原料とし、高温固
相反応(二より製造する固相法、および各々の金属成分
の硝酸塩の混合水溶液から、蒸発乾固、凍結乾燥、噴霧
熱分解等の方法により製造する溶液法とが知られている
。
しかしながら、前記固相法(二より製造した鉛含有複合
金属酸化物は1粒径が数μ以上と粗く、かつ、粒径分布
が広くなり易く、混合粉砕、部分等の工程で不純物を巻
き込み易く、また、組成が目的とする金属原子比からず
れるといった欠点があり、高性能化、小型化を指向して
いるエレクトロニクス用、セラミック材料としての要求
を充たし得ない場合がある。前記固相法の欠点を補う方
法として溶液の化学的および/または物理的処理(=
5− より、鉛含有複合金属酸化物を製造する溶液法が提案さ
れ、一般的(=下記の特徴がある。
金属酸化物は1粒径が数μ以上と粗く、かつ、粒径分布
が広くなり易く、混合粉砕、部分等の工程で不純物を巻
き込み易く、また、組成が目的とする金属原子比からず
れるといった欠点があり、高性能化、小型化を指向して
いるエレクトロニクス用、セラミック材料としての要求
を充たし得ない場合がある。前記固相法の欠点を補う方
法として溶液の化学的および/または物理的処理(=
5− より、鉛含有複合金属酸化物を製造する溶液法が提案さ
れ、一般的(=下記の特徴がある。
(イ)粒径が1μ以下で、かつ、粒径分布の狭い鉛含有
複合金属酸化物が得られる。
複合金属酸化物が得られる。
(ロ)不純物の除去精製が容易であり高純度物が得られ
る。
る。
(ハ)添加物の均質添加が容易である。
しかしながら、鉛含有複合金属酸化物として比較的多く
研究されているPLZTを例に採ると、公知の溶液法(
−は種々の欠陥がある。
研究されているPLZTを例に採ると、公知の溶液法(
−は種々の欠陥がある。
テタパリ研究会資料XX −116−799(1971
)およびエレクトロニク・セラミックス旦(夏号)(1
978)65に記載の方法(二おいては、PLZTは。
)およびエレクトロニク・セラミックス旦(夏号)(1
978)65に記載の方法(二おいては、PLZTは。
オキシ蓚酸塩共沈物を得、該共沈物を乾燥後500℃の
温度で1時間仮焼成せしめることにより、粉末として得
られる。しかしながら、得られるPLZT粉末の粒径が
大きくなり易く、また、粉末としてしか得られない欠陥
がある。
温度で1時間仮焼成せしめることにより、粉末として得
られる。しかしながら、得られるPLZT粉末の粒径が
大きくなり易く、また、粉末としてしか得られない欠陥
がある。
Ceram、Bull、 53 (51421(19
74) lニー記載の方法においては、PLZTは硝
酸鉛、硝酸ランタン、6 − オキシ硝酸ジルコニウム、およびチタニウムイソプロポ
キシドを硝酸水溶液(二溶解させ均一な水溶液を得、こ
れを共沈、噴霧乾燥、凍結乾燥あるいは蒸発乾固し、そ
の後550〜950℃の温度(−16〜32時間仮焼成
せしめて粉末として得られる。該方法(二おいては、反
応の中間で生成する硝酸チタンが不安定なため、上記の
混合水溶液は貯蔵が困難であり、また該混合水溶液の後
処理工程でNOxガスや硝酸などが大量(二発生するた
め、装置の腐蝕が激しいばかりでなく、公害対策設備を
設けなければならない。
74) lニー記載の方法においては、PLZTは硝
酸鉛、硝酸ランタン、6 − オキシ硝酸ジルコニウム、およびチタニウムイソプロポ
キシドを硝酸水溶液(二溶解させ均一な水溶液を得、こ
れを共沈、噴霧乾燥、凍結乾燥あるいは蒸発乾固し、そ
の後550〜950℃の温度(−16〜32時間仮焼成
せしめて粉末として得られる。該方法(二おいては、反
応の中間で生成する硝酸チタンが不安定なため、上記の
混合水溶液は貯蔵が困難であり、また該混合水溶液の後
処理工程でNOxガスや硝酸などが大量(二発生するた
め、装置の腐蝕が激しいばかりでなく、公害対策設備を
設けなければならない。
Ferro −electrics 3 (19
72) 269 〜280+二記載の方法(=おいて
は、チタニウムブトキシドとジルコニウムブトキシドの
イソプロパツール溶液に、−酸化鉛を加え、ブレンダー
で混合しながら酢酸ランタンの水溶液を滴下して加水分
解を行い、得られたスラリー状生成物を乾燥後、500
℃の温度で16時間仮焼成せしめること(二よりPLZ
T粉末を得る。該方法において得られるPLZT粉末は
粒径が大きくなり易く、また鉛源として、−酸化鉛の粉
末を使用しているため、原子レベルで見れば鉛の偏在が
避けられず、得られるPLZT粉末のエレクトロニクス
用素材としての特性が低下する。
72) 269 〜280+二記載の方法(=おいて
は、チタニウムブトキシドとジルコニウムブトキシドの
イソプロパツール溶液に、−酸化鉛を加え、ブレンダー
で混合しながら酢酸ランタンの水溶液を滴下して加水分
解を行い、得られたスラリー状生成物を乾燥後、500
℃の温度で16時間仮焼成せしめること(二よりPLZ
T粉末を得る。該方法において得られるPLZT粉末は
粒径が大きくなり易く、また鉛源として、−酸化鉛の粉
末を使用しているため、原子レベルで見れば鉛の偏在が
避けられず、得られるPLZT粉末のエレクトロニクス
用素材としての特性が低下する。
J、 Ame、 Ceram、Soc、 55 (1υ
541〜544(1972)璽−記載された方法におい
ては、鉛のイソアミロキシド、ランタンのイソプロポキ
シド、チタニウムイソプロポキシドおよびジルコニウム
ターシャリ−アミロキシドをインプロパツール(−溶解
せしめ、この混合アルコキシド溶液(:水を滴下して加
水分解を行い、得られた沈澱物を乾燥後、500℃の温
度で1時間仮焼成せしめること(二よりPLZT 粉末
を得る。該方法(:おいては、原料の鉛およびランタン
のアルコキシド類の製造が困難であり、その製造コスト
が高いばかりでなく、その製造上Naなどの他の金属イ
オンが不純物として混入することが避けられない。した
がって、得られるPLZTはエレクトロニクス用素材と
しての特性が低い。
541〜544(1972)璽−記載された方法におい
ては、鉛のイソアミロキシド、ランタンのイソプロポキ
シド、チタニウムイソプロポキシドおよびジルコニウム
ターシャリ−アミロキシドをインプロパツール(−溶解
せしめ、この混合アルコキシド溶液(:水を滴下して加
水分解を行い、得られた沈澱物を乾燥後、500℃の温
度で1時間仮焼成せしめること(二よりPLZT 粉末
を得る。該方法(:おいては、原料の鉛およびランタン
のアルコキシド類の製造が困難であり、その製造コスト
が高いばかりでなく、その製造上Naなどの他の金属イ
オンが不純物として混入することが避けられない。した
がって、得られるPLZTはエレクトロニクス用素材と
しての特性が低い。
本発明は、前述の公知の溶液注口よる鉛含有複合金属酸
化物の製造方法の欠点を改良し得る有機溶剤溶解性の鉛
含有複合金属酸化物前駆体組成物を提供することを目的
とする。
化物の製造方法の欠点を改良し得る有機溶剤溶解性の鉛
含有複合金属酸化物前駆体組成物を提供することを目的
とする。
本発明者等は、前記目的を達成すべく鋭意研究した結果
、チタニウムまたはジルコニウムのアルコキシド類とカ
ルボン酸鉛とを反応せしめて得られる反応組成物を加水
分解後焼結せしめるか、または直接熱分解せしめること
により化学的(二も物理的にも均質な、かつ電気特性(
=優れた鉛含有複合金属酸化物が得られることを見出し
本発明を完成した。
、チタニウムまたはジルコニウムのアルコキシド類とカ
ルボン酸鉛とを反応せしめて得られる反応組成物を加水
分解後焼結せしめるか、または直接熱分解せしめること
により化学的(二も物理的にも均質な、かつ電気特性(
=優れた鉛含有複合金属酸化物が得られることを見出し
本発明を完成した。
本発明は
組成式■
Pb (、−x)・LaXM(,4)・02・(on>
、−<ocoR′>2.、・、、Q)または組成式叩 ここ(二MはTiおよび/またはZr で表わされる鉛含有複合金属酸化物前駆体組成物である
。
、−<ocoR′>2.、・、、Q)または組成式叩 ここ(二MはTiおよび/またはZr で表わされる鉛含有複合金属酸化物前駆体組成物である
。
本発明の鉛含有複合金属酸化物前駆体組成物は、一般式
唾 M・(OR)4・・・・・・・・・面 (ここに、MおよびRは前記と同じ意味を表す。)で表
わされる有機チタニウム化合物類および/または有機ジ
ルコニウム化合物類と 一般式夏 pb・(OCOR′)2・・・・・曲(5)(ここ(二
、R′は前記と同じ意味を表す。)で表わされる有機鉛
化合物類とを、ランタン、マグネシウム、鉄、クロム、
亜鉛、マンガン、ニッケルもしくはカドミウムの有機酸
塩類および/またはニオブもしくはタンタルのアルコキ
シド類の 10− 存在下または非存在下(−反応させること(二より製造
する。
唾 M・(OR)4・・・・・・・・・面 (ここに、MおよびRは前記と同じ意味を表す。)で表
わされる有機チタニウム化合物類および/または有機ジ
ルコニウム化合物類と 一般式夏 pb・(OCOR′)2・・・・・曲(5)(ここ(二
、R′は前記と同じ意味を表す。)で表わされる有機鉛
化合物類とを、ランタン、マグネシウム、鉄、クロム、
亜鉛、マンガン、ニッケルもしくはカドミウムの有機酸
塩類および/またはニオブもしくはタンタルのアルコキ
シド類の 10− 存在下または非存在下(−反応させること(二より製造
する。
たとえば、上記反応をチタニウム、ジルコニウムおよび
鉛以外の金属化合物類の非存在下(二行えば、組成式凹 [: Pb−MO2・(OR)、、・(ocO’m)2
’) ・・・・・・・・・凹で表わされるチタン酸鉛
、ジルコン酸鉛またはチタンジルコン酸鉛(PZT)の
前駆体組成物が胃られ、有機酸ランタンの存在下に行え
ば、組成式(1)で表わされるランタン含有チタンジル
コン酸鉛(PLZ’I’)の前駆体組成物が得られ、ま
た、マグネシウム。
鉛以外の金属化合物類の非存在下(二行えば、組成式凹 [: Pb−MO2・(OR)、、・(ocO’m)2
’) ・・・・・・・・・凹で表わされるチタン酸鉛
、ジルコン酸鉛またはチタンジルコン酸鉛(PZT)の
前駆体組成物が胃られ、有機酸ランタンの存在下に行え
ば、組成式(1)で表わされるランタン含有チタンジル
コン酸鉛(PLZ’I’)の前駆体組成物が得られ、ま
た、マグネシウム。
鉄、クロム、亜鉛、マンガン、ニッケルもしくはガドミ
ウムの有機酸塩類および/またはニオブもしくはタンタ
ルのアルコキシド類の存在下(二行えば、組成式■で表
わされる複合金属酸化物前駆体組成物が得られる。
ウムの有機酸塩類および/またはニオブもしくはタンタ
ルのアルコキシド類の存在下(二行えば、組成式■で表
わされる複合金属酸化物前駆体組成物が得られる。
〔[1
のRが同種または異種の1価の炭化水素基、好ましくは
、炭素数1〜8の異種または同種のアルキル基で表わさ
れる化合物類、たとえば、テトラメトキンチタニウム、
テトラエトキシチタニウム、テトライソプロポキシチタ
ニウム、テトラブトキシチタニウム、ジェトキシ−ジイ
ソプロポキンチタニウム、ジブトキシージエトキレチタ
ニウム、テトラキス(2−エチルヘキソキシ)チタニウ
ム等のチタニウムアルコキシド類、およびテトラメトキ
シジルコニウム、テトラエトキンジルコニウム、テトラ
イソプロポキンジルコニウム、テトラブトキシジルコニ
ウム、ジェトキシ−ジイソプロポキシジルコニウム、ジ
ェトキシ−ジブトキシジルコニウム、テトラキス(2−
エチルヘキソキン)ジルコニウム等のジルコニウムアル
コキシド類である。これらのアルコキシド類のうちテト
ライソプロポキシチタニウム、テトラブトキシチタニウ
ム、テトラキス(2−エチルヘキソキシ)チタニウム、
テトライソプロポキシジルコニウム、テトラブトキシジ
ルコニウムは、工業的に生産され入手し易いので原料と
して使用する上で特(=好ましい。本茅呻発明(=おい
て、有機チタニウム化合物類と有機ジルコニウム化合物
類の双方を同時(−使用する場合、それぞれ相異る置換
基の化合物を使用することが出来るが、反応で生成する
アルコール類やエステル類の回収を考慮すると、同一の
置炭化水素基、好ましくは、炭素数1〜8の異種または
同種のアルキル基で表わされるカルボン酸類、たとえば
、酢酸鉛、プロピオン酸鉛、酢酸鉛等であり、一方の原
料化合物として、チタニウムおよび/またはジルコニウ
ムのアルコキシド類を使用する場合、該アルコキシド類
が容易(−加水分解を受けるため、該有機鉛化合物は無
水物を使用するのが望ましい。
、炭素数1〜8の異種または同種のアルキル基で表わさ
れる化合物類、たとえば、テトラメトキンチタニウム、
テトラエトキシチタニウム、テトライソプロポキシチタ
ニウム、テトラブトキシチタニウム、ジェトキシ−ジイ
ソプロポキンチタニウム、ジブトキシージエトキレチタ
ニウム、テトラキス(2−エチルヘキソキシ)チタニウ
ム等のチタニウムアルコキシド類、およびテトラメトキ
シジルコニウム、テトラエトキンジルコニウム、テトラ
イソプロポキンジルコニウム、テトラブトキシジルコニ
ウム、ジェトキシ−ジイソプロポキシジルコニウム、ジ
ェトキシ−ジブトキシジルコニウム、テトラキス(2−
エチルヘキソキン)ジルコニウム等のジルコニウムアル
コキシド類である。これらのアルコキシド類のうちテト
ライソプロポキシチタニウム、テトラブトキシチタニウ
ム、テトラキス(2−エチルヘキソキシ)チタニウム、
テトライソプロポキシジルコニウム、テトラブトキシジ
ルコニウムは、工業的に生産され入手し易いので原料と
して使用する上で特(=好ましい。本茅呻発明(=おい
て、有機チタニウム化合物類と有機ジルコニウム化合物
類の双方を同時(−使用する場合、それぞれ相異る置換
基の化合物を使用することが出来るが、反応で生成する
アルコール類やエステル類の回収を考慮すると、同一の
置炭化水素基、好ましくは、炭素数1〜8の異種または
同種のアルキル基で表わされるカルボン酸類、たとえば
、酢酸鉛、プロピオン酸鉛、酢酸鉛等であり、一方の原
料化合物として、チタニウムおよび/またはジルコニウ
ムのアルコキシド類を使用する場合、該アルコキシド類
が容易(−加水分解を受けるため、該有機鉛化合物は無
水物を使用するのが望ましい。
本発明において、第3の原料として添加されるランタン
または組成式訪中(二おいてゾで表わされる金属類(二
は鉛と同様の有機酸塩類が用いられ、ゾで表わされる金
属類には、チタニウム、ジルコニウムと同様のアルコキ
シド類が用いられる。有 13− 機酸ランタンの添加量は通常、鉛化合物の25モル%以
下であり、Mで表わされる金属の有機酸塩は鉛化合物の
20モル%以下、Vで表わされる金属のアルコキシドは
鉛化合物の40モル%以下が通常添加される。これらの
第3金属類は所望の複合金属酸化物(一応じて適宜添加
される。
または組成式訪中(二おいてゾで表わされる金属類(二
は鉛と同様の有機酸塩類が用いられ、ゾで表わされる金
属類には、チタニウム、ジルコニウムと同様のアルコキ
シド類が用いられる。有 13− 機酸ランタンの添加量は通常、鉛化合物の25モル%以
下であり、Mで表わされる金属の有機酸塩は鉛化合物の
20モル%以下、Vで表わされる金属のアルコキシドは
鉛化合物の40モル%以下が通常添加される。これらの
第3金属類は所望の複合金属酸化物(一応じて適宜添加
される。
さら;:、本発明の鉛含有複合酸化物前駆体組成物を加
水分解後焼結せしめるか、直接熱分解せしめること(二
より得られる鉛含有複合金属酸化物の焼結体、薄膜体等
の電気特性、光学特性、焼結性等を変換し得るものであ
ればその他の金属化合物類、たとえばバリウム、ストロ
ンチウム等のアルカリ土類金属類、インジウム、アンチ
モン、タングステン、イツトリウム等の遷移金属類のア
ルコキシド類または有機酸塩類を添加して反応すること
もできる。反応は有機溶剤の存在下、もしくは非存在下
のいずれでも進行し得るが、好ましくは、100℃〜2
50℃の沸点を有する有機溶剤の存在下、さら(′−好
ましくは、反応(二より生成するアルコール類およびエ
ステル類よりも高沸点の有機溶剤の 14− 還流下、該生成アルコール類およびエステル類を留去せ
しめながら行うことにより1円滑(二進行する。
水分解後焼結せしめるか、直接熱分解せしめること(二
より得られる鉛含有複合金属酸化物の焼結体、薄膜体等
の電気特性、光学特性、焼結性等を変換し得るものであ
ればその他の金属化合物類、たとえばバリウム、ストロ
ンチウム等のアルカリ土類金属類、インジウム、アンチ
モン、タングステン、イツトリウム等の遷移金属類のア
ルコキシド類または有機酸塩類を添加して反応すること
もできる。反応は有機溶剤の存在下、もしくは非存在下
のいずれでも進行し得るが、好ましくは、100℃〜2
50℃の沸点を有する有機溶剤の存在下、さら(′−好
ましくは、反応(二より生成するアルコール類およびエ
ステル類よりも高沸点の有機溶剤の 14− 還流下、該生成アルコール類およびエステル類を留去せ
しめながら行うことにより1円滑(二進行する。
有機溶剤としては、トルエン、キシL/ン、ジエチルベ
ンゼン、テトラリン、デカリン等の非極性有M溶剤、お
よびブタノール、ヘキせノール、2−エチルヘキサノー
ル、酢酸ブチル、酢酸ヘギンル、酢酸2−エテルヘキン
ル等の極性有機溶剤のいずれをも使用することができる
。本反応は、実質的(=水の非存在下(二行うことが原
料の有機チタニウム化合物および/または有機ジルコニ
ウム化合物ならびに生成する船台有機金属化合物の加水
分解を防止する。Fで好ましい。本反応の反応条件は、
前記加水分解を避けるため乾燥した雰囲気下で行うこと
が好ましく、反応温度および反応時間は、原料の種類お
よび溶剤使用の有無ならび(二有機溶剤の種類および量
(二依存して変化させることができるが、一般的には、
50℃〜300℃、好ましくはioo℃〜250℃の温
度で0.5〜60時間、好ましくは1〜15時間、さら
(二好ましくは有機溶剤の還流する温度下(:1〜8時
間である。
ンゼン、テトラリン、デカリン等の非極性有M溶剤、お
よびブタノール、ヘキせノール、2−エチルヘキサノー
ル、酢酸ブチル、酢酸ヘギンル、酢酸2−エテルヘキン
ル等の極性有機溶剤のいずれをも使用することができる
。本反応は、実質的(=水の非存在下(二行うことが原
料の有機チタニウム化合物および/または有機ジルコニ
ウム化合物ならびに生成する船台有機金属化合物の加水
分解を防止する。Fで好ましい。本反応の反応条件は、
前記加水分解を避けるため乾燥した雰囲気下で行うこと
が好ましく、反応温度および反応時間は、原料の種類お
よび溶剤使用の有無ならび(二有機溶剤の種類および量
(二依存して変化させることができるが、一般的には、
50℃〜300℃、好ましくはioo℃〜250℃の温
度で0.5〜60時間、好ましくは1〜15時間、さら
(二好ましくは有機溶剤の還流する温度下(:1〜8時
間である。
本発明の鉛含有複合金属酸化物前駆体組成物は、原料の
種類、配合比、有機溶剤の種類、反応条件等(二より異
るが組成式(1) %式%) または組成式面 を構成ユニットとする構成ユニットの繰返し数が1ない
し50の単量体または多量体の混合物であると推定され
、通常の条件下(=おいては2〜12量体と推定される
。
種類、配合比、有機溶剤の種類、反応条件等(二より異
るが組成式(1) %式%) または組成式面 を構成ユニットとする構成ユニットの繰返し数が1ない
し50の単量体または多量体の混合物であると推定され
、通常の条件下(=おいては2〜12量体と推定される
。
本発明の鉛含有複合酸化物前駆体組成物は、その加水分
解生成物を乾燥後400℃以上の湿度下に酸素含有気流
中(=おいて、焼成せしめること(二より、または該組
成物を直接酸素含有気流中1=おいて400℃以上の温
度で熱分解せしめることにより、チタン酸鉛、ジルコン
酸鉛、PZT%PLZT等の複合金属酸化物の0.1〜
0.5’:’μの微細な結晶を容易(=生成する。
解生成物を乾燥後400℃以上の湿度下に酸素含有気流
中(=おいて、焼成せしめること(二より、または該組
成物を直接酸素含有気流中1=おいて400℃以上の温
度で熱分解せしめることにより、チタン酸鉛、ジルコン
酸鉛、PZT%PLZT等の複合金属酸化物の0.1〜
0.5’:’μの微細な結晶を容易(=生成する。
また、本発明の前駆体組成物の有機溶剤溶液な用いて、
ディッピング法、スプレー法、スピンナー法、ロールコ
ート法、超音波霧化法等(二より、ガラス等の耐熱性基
体上に鉛含有複合金属酸化物被膜を形成せしめることが
できる。さら(二有機溶剤の種類(二よっては、高濃度
の溶液とすることができるので次の化学的、物理的利用
手段の選択の自由度が大きい。また、置換基の種類(=
よっては多少の加水分解性を有する場合があるので空気
中、その他からの水分と接触しない条件下に貯蔵するこ
とが好ましい。
ディッピング法、スプレー法、スピンナー法、ロールコ
ート法、超音波霧化法等(二より、ガラス等の耐熱性基
体上に鉛含有複合金属酸化物被膜を形成せしめることが
できる。さら(二有機溶剤の種類(二よっては、高濃度
の溶液とすることができるので次の化学的、物理的利用
手段の選択の自由度が大きい。また、置換基の種類(=
よっては多少の加水分解性を有する場合があるので空気
中、その他からの水分と接触しない条件下に貯蔵するこ
とが好ましい。
本発明は、下記の特徴を有する。
(イ)比較的安価で入手し易い原料から簡単な方法で製
造でき、経済性が高い。
造でき、経済性が高い。
(ロ)有機溶剤可溶性であるため、ディッピング法、ス
プレー法、スピンナー法、超音波霧化法、ノズル吹出し
法等の手段と、加水分解、熱分解等の化学的手段との組
合せにより、微粉末状、薄膜状、繊維状その他所子する
形状のチタン酸鉛、ジルコン酸鉛、チタンジルコン酸鉛
(PZ’l’)、ランタン含有チタンジルコン酸鉛(P
LZT)等の 17− 鉛含有複合金属酸化物を容易に製造することができる。
プレー法、スピンナー法、超音波霧化法、ノズル吹出し
法等の手段と、加水分解、熱分解等の化学的手段との組
合せにより、微粉末状、薄膜状、繊維状その他所子する
形状のチタン酸鉛、ジルコン酸鉛、チタンジルコン酸鉛
(PZ’l’)、ランタン含有チタンジルコン酸鉛(P
LZT)等の 17− 鉛含有複合金属酸化物を容易に製造することができる。
(ハ)金属原子比は配合する原料の金属原子比と同一で
あり、かつ完全(−均一(二なっているため、□該組成
物または該化合物から得られる鉛含有複合金属酸化物中
の金属原子比も配合する原料の金属原子比と同一であり
、かつ原子レベルで均一(二分布しているものが得られ
、エレクトロニクス用素材としての緒特性において、従
来の当該酸化物と比較し゛て格段(=優れた鉛含有複合
金属酸化物が製造できる。
あり、かつ完全(−均一(二なっているため、□該組成
物または該化合物から得られる鉛含有複合金属酸化物中
の金属原子比も配合する原料の金属原子比と同一であり
、かつ原子レベルで均一(二分布しているものが得られ
、エレクトロニクス用素材としての緒特性において、従
来の当該酸化物と比較し゛て格段(=優れた鉛含有複合
金属酸化物が製造できる。
に)加水分解および/または熱分解せしめることC二よ
り、極めて微細な、かつ、粒径分布の狭 ”い微粉末状
の鉛含有複合金属酸化物を製造することができる。
り、極めて微細な、かつ、粒径分布の狭 ”い微粉末状
の鉛含有複合金属酸化物を製造することができる。
(ホ))有機溶剤溶解性であるため、種々の化合物との
相溶性および均一混合性に優れ、ている。したがって、
焼結助剤や電気特性、光学特性向上のための添加剤等を
均質(=添加す′ることかでき生成する鉛含有複合金属
酸化物の特性を容易に 18− 向上せしめることができる。
相溶性および均一混合性に優れ、ている。したがって、
焼結助剤や電気特性、光学特性向上のための添加剤等を
均質(=添加す′ることかでき生成する鉛含有複合金属
酸化物の特性を容易に 18− 向上せしめることができる。
本発明は、鉛含有複合金属酸化物の製造(二使用し得る
鉛含有複合金属酸化物前駆体組成物ならび(−その製造
方法を提供するものであり、その産業的意義は極めて大
きい。
鉛含有複合金属酸化物前駆体組成物ならび(−その製造
方法を提供するものであり、その産業的意義は極めて大
きい。
本発明を実施例(二より詳細(″−説明する。ただし、
本発明は下記実施例(二より何らの限定を受けるもので
はない。
本発明は下記実施例(二より何らの限定を受けるもので
はない。
〔実施例1〕
鉛含有有機チタニウム化合物の製造
温度計、還流冷却器、攪拌機を備えた100mAtの四
つロア −) スコ(二、pb (o−cα:T(3)
216.3 gr (50mmn1)、Tt (0C4
H9)417.11r (50tnrnol )、デカ
リン301/rを仕込み、N2雰囲気下(二攪拌しなが
ら昇温した。反応温度約130℃からブタノール、ブチ
ルアセテートが留出し始め、反応液は当初のブタノール
4.41r (60mmol ) 、ブチルアセテート
8.01r (69tn mol )を留去′し、ツイ
テ溶剤ノテカリンを減圧で留去して淡黄色固体21.6
firを得た。
つロア −) スコ(二、pb (o−cα:T(3)
216.3 gr (50mmn1)、Tt (0C4
H9)417.11r (50tnrnol )、デカ
リン301/rを仕込み、N2雰囲気下(二攪拌しなが
ら昇温した。反応温度約130℃からブタノール、ブチ
ルアセテートが留出し始め、反応液は当初のブタノール
4.41r (60mmol ) 、ブチルアセテート
8.01r (69tn mol )を留去′し、ツイ
テ溶剤ノテカリンを減圧で留去して淡黄色固体21.6
firを得た。
この生成物は、IR分析(二よりアセチル基およびブチ
ル基がn認された。Pb、Tiの元素分析値、ブタノー
ル、ブチルアセテートの留出量より、生成物)Ml 成
ハPb −T 102 (0C4H9) (,4(0C
OC)(3) (16テアル1〔元素分析値〕 計算値 実測値 Pb 4B、3% 48.1% Ti 11.3% 11,1% 〔実施例2〕 11rデカリン159rからなる溶液を、常圧下220
℃に加熱し、デカリンの大部分を留去し、ついで1゜
Torr、100℃でデカリンを完全(二留去し、黄褐
色固体10.6.9rを得た。IR分析、Pb、’rl
(D元素分析、および留去したデカリン中のブタノール
、ブチルアセテートの分析結果より、生成物の組成はp
b・TiO2・(OC4H2)1.4・(OCOCH3
)。、6テアルコトヲ認メた。バラキシレン溶液の氷点
降下測定により分子量は6420であった。
ル基がn認された。Pb、Tiの元素分析値、ブタノー
ル、ブチルアセテートの留出量より、生成物)Ml 成
ハPb −T 102 (0C4H9) (,4(0C
OC)(3) (16テアル1〔元素分析値〕 計算値 実測値 Pb 4B、3% 48.1% Ti 11.3% 11,1% 〔実施例2〕 11rデカリン159rからなる溶液を、常圧下220
℃に加熱し、デカリンの大部分を留去し、ついで1゜
Torr、100℃でデカリンを完全(二留去し、黄褐
色固体10.6.9rを得た。IR分析、Pb、’rl
(D元素分析、および留去したデカリン中のブタノール
、ブチルアセテートの分析結果より、生成物の組成はp
b・TiO2・(OC4H2)1.4・(OCOCH3
)。、6テアルコトヲ認メた。バラキシレン溶液の氷点
降下測定により分子量は6420であった。
〔実施例3〕
Pb −Zr化合物の製造
原料トL ”’CPb (OCOC)T3)216.3
1/r、zr(QC4H,)419.2yr (共1
”:、 50m mol )を用いた他は実施例1と同
様口して反応を行い、組成式Pb−Zr02(OC4H
2) t4(0COCH3) 、6の複合金属酸化物前
駆体の均一透明なデカリン溶液を得、ついで溶剤のデカ
リンを減圧留去し、淡黄色固体23.69rを得た。I
R分析、pb・Z「の元素分析、および留去したブタノ
ール(5,2#r : 70mmol)、ブチルアセテ
ート(r、sgr: 67m mol )から、上記の
組成であることを認めた。P−キシレン溶液の氷点降下
測定による分子量は2073であった。
1/r、zr(QC4H,)419.2yr (共1
”:、 50m mol )を用いた他は実施例1と同
様口して反応を行い、組成式Pb−Zr02(OC4H
2) t4(0COCH3) 、6の複合金属酸化物前
駆体の均一透明なデカリン溶液を得、ついで溶剤のデカ
リンを減圧留去し、淡黄色固体23.69rを得た。I
R分析、pb・Z「の元素分析、および留去したブタノ
ール(5,2#r : 70mmol)、ブチルアセテ
ート(r、sgr: 67m mol )から、上記の
組成であることを認めた。P−キシレン溶液の氷点降下
測定による分子量は2073であった。
計算値 実測値
Pb 44.3% 44.0%
21−
Zr 19.5 % 19.3 %
〔実施例4〕 PL) −Zr −Ti 組成物の製造原料としてP
b(OCOCH5)213.0JiJr (40m m
ol )、Tj(OC4H9)46.8 ir (2o
m mol )、Zr (0C4Hq ) 47.71
r (20m mol )を使用シタ以外+:41実施
例1と同様(二処理し、平均組成がPb−T1終I15
・zrljIIL5・02・(OC4H2)1.4・(
OCOCH3)。、6 の淡黄色固体17.6 fir
を。
〔実施例4〕 PL) −Zr −Ti 組成物の製造原料としてP
b(OCOCH5)213.0JiJr (40m m
ol )、Tj(OC4H9)46.8 ir (2o
m mol )、Zr (0C4Hq ) 47.71
r (20m mol )を使用シタ以外+:41実施
例1と同様(二処理し、平均組成がPb−T1終I15
・zrljIIL5・02・(OC4H2)1.4・(
OCOCH3)。、6 の淡黄色固体17.6 fir
を。
得た。JR分析、Pb、Ti1Zrの元素分析、および
ブタノール、ブチルアセテートの留出量より・、前記平
均組成であることを認めた。分子量は3767であった
。
ブタノール、ブチルアセテートの留出量より・、前記平
均組成であることを認めた。分子量は3767であった
。
計算値 実測値
Pb 47.7% 47.0%
Ti 5.5% 5.4%
Zr 10.5% 10.4%
〔実施例5〕
Pb −La −Zr −Ti組成物の製造温度計、還
流冷却器、攪拌機付きの200frII!四つ= 22
− ロフラスコC二、原料として、pb・(OCOCH5)
229.911r (92m mol ) 、 La
(OCOCH5)32.FM’r (8m mol )
、’r+ (OC4H9) 411.7 fir (3
4,3f7!rno l ) 、およびZr (oc4
H9)424.4gr (63,7m mol)を仕込
み、溶剤とシテデカ9ン501/rを加え、以下実施例
1と同様(二処理し、淡黄色固体44.’H1rを得た
。■分析、元素分(OCOCH,)I15の平均組成で
あることを認めた。平均分子量は1011であった。
流冷却器、攪拌機付きの200frII!四つ= 22
− ロフラスコC二、原料として、pb・(OCOCH5)
229.911r (92m mol ) 、 La
(OCOCH5)32.FM’r (8m mol )
、’r+ (OC4H9) 411.7 fir (3
4,3f7!rno l ) 、およびZr (oc4
H9)424.4gr (63,7m mol)を仕込
み、溶剤とシテデカ9ン501/rを加え、以下実施例
1と同様(二処理し、淡黄色固体44.’H1rを得た
。■分析、元素分(OCOCH,)I15の平均組成で
あることを認めた。平均分子量は1011であった。
計算値 実測値
Pb 42.6% 42.2%
La 2.5% 2.4%
Ti 3.7% 3.6%
Zr 13.0% 12.8%
〔実施例6〕
Pb −Zr −Ti −Mg −Nb 組成物の製
造Pb(OCOCH5)216.3p (50mmol
)、Zr(OC4H9)42.61 (6,8m m
ol )、Ti(QC4H7)46.2jl (18,
3mmol)、Mg(OCOCH5)21.2.9 (
8,3tttmO1) Nb(QC4H,)57.6F
/ (16,7m mol )をP−キシレン3011
と共に温度計、還流冷却器、攪拌機を備えた100fi
J四つロフラスコ(−仕込み、N2雰囲気下(二攪拌し
ながら昇温した。反応温度130℃からブタノール、ブ
チルアセテートが留出し始め、反応液は当初の白濁した
状態から黄褐色の均一透明液(−変化した。以下実施例
1と同様(=処理し、淡黄色固体21.8.9を得た。
造Pb(OCOCH5)216.3p (50mmol
)、Zr(OC4H9)42.61 (6,8m m
ol )、Ti(QC4H7)46.2jl (18,
3mmol)、Mg(OCOCH5)21.2.9 (
8,3tttmO1) Nb(QC4H,)57.6F
/ (16,7m mol )をP−キシレン3011
と共に温度計、還流冷却器、攪拌機を備えた100fi
J四つロフラスコ(−仕込み、N2雰囲気下(二攪拌し
ながら昇温した。反応温度130℃からブタノール、ブ
チルアセテートが留出し始め、反応液は当初の白濁した
状態から黄褐色の均一透明液(−変化した。以下実施例
1と同様(=処理し、淡黄色固体21.8.9を得た。
IR分析、元素分析ブタノールおよびブチルアセテート
の留出量より、Pb−ZrIIL、35・Tia565
1Mg(1167”NbQ、55B・02・(OC4H
9) 1.5・(OCOCH3)CL5の平均組成であ
ることを望めた。平均分子量は910であった。
の留出量より、Pb−ZrIIL、35・Tia565
1Mg(1167”NbQ、55B・02・(OC4H
9) 1.5・(OCOCH3)CL5の平均組成であ
ることを望めた。平均分子量は910であった。
計算値 実測値
Pb 46.8% 46.5%
Zr 2.8% 2.9%
T i 3.9% 4.0%Mg 0
.9% 0.8% 実施例6で得、た組成物5gをP−キシレン100g(
=溶解させ90〜95℃(二加熱保持しながら、水o、
sIiをマイクロシリンジより2)(rかけて激しく攪
拌しながら滴下した。生成した沈澱をr別した後、減圧
下140℃で乾燥し、ついで500℃I Hr加熱処理
を行い、PbZr0.− PbTi O3−Pb (M
Q Nb 4 )OJI溶体粉末3,6gを得た(収率
99%)。尚、r液中1=は金属成分は含まれていなか
った。
.9% 0.8% 実施例6で得、た組成物5gをP−キシレン100g(
=溶解させ90〜95℃(二加熱保持しながら、水o、
sIiをマイクロシリンジより2)(rかけて激しく攪
拌しながら滴下した。生成した沈澱をr別した後、減圧
下140℃で乾燥し、ついで500℃I Hr加熱処理
を行い、PbZr0.− PbTi O3−Pb (M
Q Nb 4 )OJI溶体粉末3,6gを得た(収率
99%)。尚、r液中1=は金属成分は含まれていなか
った。
該固溶体粉末は、X線回折の結果、立方晶(a=4.0
37)であり、sm観察(二よりo、iμの粒径の微粒
子とその凝集体であることが認められた。
37)であり、sm観察(二よりo、iμの粒径の微粒
子とその凝集体であることが認められた。
P T、Z Tの製造(加水分解)
、実施例5で得た組成物2.5grをキシレン609r
)二溶解させ90〜95℃の温度に加熱保持し、水18
0■をマイクロシリンジで2Hrかけて、激しく攪拌し
ながら滴下した。生成した沈澱を派別した後減圧下、1
40℃で乾燥し、ついで400℃の温度でIHr加熱処
理を行いPLZT粉末1.8IIを得た。
)二溶解させ90〜95℃の温度に加熱保持し、水18
0■をマイクロシリンジで2Hrかけて、激しく攪拌し
ながら滴下した。生成した沈澱を派別した後減圧下、1
40℃で乾燥し、ついで400℃の温度でIHr加熱処
理を行いPLZT粉末1.8IIを得た。
= 25−
(収率99%)尚、r別したr液中(二は金属成分は含
まれていなかった。
まれていなかった。
PLZT粉末はX線回折の結果立方晶(a=4.095
)であり、8EM観察(二より、O11μの微粒子と
その凝集体であることが認められた。
)であり、8EM観察(二より、O11μの微粒子と
その凝集体であることが認められた。
ゴ
〔応用例!〕
PLZTの製造(熱分解)
実施例5で得た組成物6.8Nrを空気流通下、630
℃の温度−t’ 2.5 Hr仮焼し、PLZT粉末4
.8 Firを得た。X線回折の結果立方晶(a =
4.095)であり、SEM観察の結果0.2〜0.4
μの微粒子が凝集した1〜2μの凝集体であった。
℃の温度−t’ 2.5 Hr仮焼し、PLZT粉末4
.8 Firを得た。X線回折の結果立方晶(a =
4.095)であり、SEM観察の結果0.2〜0.4
μの微粒子が凝集した1〜2μの凝集体であった。
PLZT薄膜の製造
実施例5で得た組成物6.91rをブタノール951r
C二溶解させ、PLZT換算で5wt%の溶液を調整し
た。この溶液を二N2雰囲気下30X50s+gd==
3su*の石英ガラスを浸漬し、約1分後3cIVmi
nの一定速度で溶液より引上げ、N2下で充分溶剤を蒸
発させた後、空気中で100℃、lHr乾燥し、ついで
電気 26− 炉で900℃、3Hr焼結せしめ透明なPLZTの薄膜
を得た。
C二溶解させ、PLZT換算で5wt%の溶液を調整し
た。この溶液を二N2雰囲気下30X50s+gd==
3su*の石英ガラスを浸漬し、約1分後3cIVmi
nの一定速度で溶液より引上げ、N2下で充分溶剤を蒸
発させた後、空気中で100℃、lHr乾燥し、ついで
電気 26− 炉で900℃、3Hr焼結せしめ透明なPLZTの薄膜
を得た。
特許出願人 日本曹達株式会社
代 理 人 伊 藤 晴 之〃
横 山 吉 美 27−
横 山 吉 美 27−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、組成式(1) %式%() または、組成式叩 ここに、MはT1および/またはZr を示す。 で表わされる鉛含有複合金属酸化物前駆体組成物。 2R・およびR′が炭素数1ないし8のアルキル基であ
る特許請求の範囲第1項記載の鉛含有複合金属酸化物前
駆体組成物。 3、一般式唾 M・(OR)4.、、、、、、、、IIIIlで表わさ
れる有機チタニウム化合物類および/または有機ジルコ
ニウム化合物類と、 一般式卸 pb・(oconj) 2・・・・・・・・・(資)(
ここにR′は異種または同種の1価の炭化水素基を示す
。) で表わされる有機鉛化合物類とをランタン、マグネシウ
ム、鉄、クロム亜鉛、マンガン、ニッケルもしくはカド
ミウムの有機酸塩類および/またはニオブもしくはタン
タルのアルコヤiyト類の存在下または非存在下に反応
させることを特徴とする 組成式α〕 Pb(1x) ・Lax−M(18)・02−(OR)
、−(OCOR’)2−Q)または組成式叩 ここに、MはTiおよびまたはZr へイは Mg 、 Co 、 Fe 、
Cr 、 Zn 、Mn 、 Niを示す。 で表わされる鉛含有複合金属酸化物前駆体組成物の製造
方法。 4、一般式咄で表わされる有機チタニウム化合物類がテ
トライソプロポキシチタニウム、テトラブトキシチタニ
ウム、および/またはテトラキス(2−エテルヘキソキ
シ)チタニウムである特許請求の範囲第3項記載の鉛含
有複合金属酸化物前駆体組成物の製造方法。 5、一般式叫で表わされる有機ジルコニウム化合物類が
テトライソプロポキンジルコニウムおよび/またはテト
ラブトキンジルコニウムである特許請求の範囲第3項記
載の鉛含有複合金属酸化物前駆体組成物の製造方法。 & 請求の範囲第3項の記載(=おいて、反応を有機溶
剤の存在下に50ないし3oo℃の温度で行う特許請求
の範囲第3項記載の鉛含有複合金属酸化物前駆体組成物
の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15273982A JPS5942392A (ja) | 1982-09-03 | 1982-09-03 | 鉛含有複合金属酸化物前駆体組成物およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15273982A JPS5942392A (ja) | 1982-09-03 | 1982-09-03 | 鉛含有複合金属酸化物前駆体組成物およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5942392A true JPS5942392A (ja) | 1984-03-08 |
JPS6338358B2 JPS6338358B2 (ja) | 1988-07-29 |
Family
ID=15547095
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15273982A Granted JPS5942392A (ja) | 1982-09-03 | 1982-09-03 | 鉛含有複合金属酸化物前駆体組成物およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5942392A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6183581U (ja) * | 1984-11-08 | 1986-06-02 | ||
JPS61168528A (ja) * | 1985-01-23 | 1986-07-30 | Shokubai Kasei Kogyo Kk | 酸化チタンからなる真球状微粒子粉末 |
JPS61150773U (ja) * | 1985-03-12 | 1986-09-18 | ||
JPS62125770U (ja) * | 1986-01-31 | 1987-08-10 | ||
JPS62222817A (ja) * | 1986-03-26 | 1987-09-30 | Sony Corp | カセツトケ−スの製造方法 |
JPH02115417U (ja) * | 1989-03-02 | 1990-09-14 | ||
WO1994010084A1 (en) * | 1992-10-23 | 1994-05-11 | Symetrix Corporation | Precursors and processes for making metal oxides |
US5559260A (en) * | 1991-12-13 | 1996-09-24 | Symetrix Corporation | Precursors and processes for making metal oxides |
US5572052A (en) * | 1992-07-24 | 1996-11-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Electronic device using zirconate titanate and barium titanate ferroelectrics in insulating layer |
CN114230420A (zh) * | 2021-12-10 | 2022-03-25 | 宜宾北方川安化工有限公司 | 一种铅盐及含铅有机物的乳化工艺 |
-
1982
- 1982-09-03 JP JP15273982A patent/JPS5942392A/ja active Granted
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6183581U (ja) * | 1984-11-08 | 1986-06-02 | ||
JPH059343Y2 (ja) * | 1984-11-08 | 1993-03-08 | ||
JPH0425208B2 (ja) * | 1985-01-23 | 1992-04-30 | Catalysts & Chem Ind Co | |
JPS61168528A (ja) * | 1985-01-23 | 1986-07-30 | Shokubai Kasei Kogyo Kk | 酸化チタンからなる真球状微粒子粉末 |
JPS61150773U (ja) * | 1985-03-12 | 1986-09-18 | ||
JPH0516134Y2 (ja) * | 1985-03-12 | 1993-04-27 | ||
JPS62125770U (ja) * | 1986-01-31 | 1987-08-10 | ||
JPS62222817A (ja) * | 1986-03-26 | 1987-09-30 | Sony Corp | カセツトケ−スの製造方法 |
JPH02115417U (ja) * | 1989-03-02 | 1990-09-14 | ||
US5514822A (en) * | 1991-12-13 | 1996-05-07 | Symetrix Corporation | Precursors and processes for making metal oxides |
US5559260A (en) * | 1991-12-13 | 1996-09-24 | Symetrix Corporation | Precursors and processes for making metal oxides |
US5654456A (en) * | 1991-12-13 | 1997-08-05 | Symetrix Corporation | Precursors and processes for making metal oxides |
US5572052A (en) * | 1992-07-24 | 1996-11-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Electronic device using zirconate titanate and barium titanate ferroelectrics in insulating layer |
WO1994010084A1 (en) * | 1992-10-23 | 1994-05-11 | Symetrix Corporation | Precursors and processes for making metal oxides |
CN114230420A (zh) * | 2021-12-10 | 2022-03-25 | 宜宾北方川安化工有限公司 | 一种铅盐及含铅有机物的乳化工艺 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6338358B2 (ja) | 1988-07-29 |
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