JPS582220A - 金属酸化物固溶体の製造方法 - Google Patents

金属酸化物固溶体の製造方法

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JPS582220A
JPS582220A JP56097551A JP9755181A JPS582220A JP S582220 A JPS582220 A JP S582220A JP 56097551 A JP56097551 A JP 56097551A JP 9755181 A JP9755181 A JP 9755181A JP S582220 A JPS582220 A JP S582220A
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JP
Japan
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metal oxide
alkoxide
manufacture
metallic oxide
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JP56097551A
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Inventor
Yoshiharu Ozaki
岩成順子
Junko Iwanari
尾崎義治
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Mitsubishi Mining and Cement Co Ltd
Mitsubishi Industries Cement Co Ltd
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Mitsubishi Mining and Cement Co Ltd
Mitsubishi Industries Cement Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、Ba 、 Brおよび〒1.Zr金属の酸化
物固溶体の製造方法に関する。%に、低温度の処理でこ
れらの金属酸化物固溶体管製造する方法に関する屯ので
ある。
コンデンサ用の高誘電率材料として、チタン酸バリウム Ba Ti OH はよく知られている。このバリウムが性質の近いストロ
ンチウムに代ったチタン酸ストロンチウムSr  Ti
  Ox あるいは、チタンが性質の近いジルコニウムに代つたジ
ルコン酸パIJ ラム Ba Zr Os についても、高誘電率材料として利用できる。これらの
チタン酸ストロンチウムまたはジルコン酸バリウムは、
単独で高誘電率材料としても使用されるが、チタン酸バ
リウムの添加剤として利用され、その誘電率特性、温度
特性その他の特性を制御する技術が広く知られている。
すなわち、BaTiO3,8rTi03. BaZrO
3,8rZr01の411の金属酸化物のうち2種以上
が、所定の割合で混合され固溶体を形成すると、その固
溶体の高誘電率材料としての特性を定めることができる
従来、主成分たる金属酸化物(例えばBa〒10s)に
、添加剤(例えば8rテ10s)を添加する方法は大別
して二つの方法が行われている。この二つの方法につい
て、BaTiO1に8rテiosを添加する場合に例を
とって説明する。
その嬉−の方法はBr00Hのようなりr塩とTlO2
の必賛普をBaテio、に添加して、仮焼成−粉砕−焼
成を行い反応させる方法である。
この方法では、8rO,TlO2およびBa Ti O
Hの反応が必ずし本全部かつ均一に進むとは限らず、製
造毎にキューリ一点あるいは比誘電率尋の特性のばらつ
きが見られていた。より確実に8rO。
Ti o=の反応を進ませ、特性を安定化させるためK
、高温度で長時間仮焼することも行われるが、工程上必
要とするエネルギー消費が大きいうえ、仮焼され友粉体
が硬くなって粉砕にも多大なエネルギーを要し、粉砕時
に粉砕装置から不純物が混入する等の不都合も生じやす
く、特性が低下してしまう。例えば、粉砕装置に一般に
用いられているステンレス材から10の混入し九Baテ
io、を用いてコンデンサを製造すると、材料特性が経
時変化し、を九、セラミック材料に一般的に含まれるム
txosが混入したB&テtoeは比誘電率が低下する
ことが知られている。
一方、81テio3を添加する第二の方法は、8r T
i Osのみを予め合成し、これを微粉砕し九俵4CB
a Ti Olに添加し焼成する方法である。この方法
は8rTiOiとBa Ti Osの反応をより確実に
して特性を安定化する良めに有効な方法であるが、8r
 ’rt 05は一般に焼成温度が1000℃以上と高
く、温度をかなり高くしないと反応は十分進まない。
また、このようにして得た8rテ10sは粉砕しにくい
ため粒度が粗く、シかも粒度分布を制御することが困難
であった。さらに粉砕によシネ線動が混入することは前
記第一・の方法と同様である。
いずれにしても上記の従来の添加方法では材料特性の制
御が難しく、かつ高度な特性を再現性よく得るには問題
があり、エネルギーの消費も大きなものとなっている。
近年電子部品に対し、より小型で高度な特性が要求され
るようになり、従って、それに使用される原料粉体奄、
従来に増して組成の均一性、高MFIIL微粒子である
ことが必要になっている。また製造工程では、できる限
り少ないエネルギーで材料を製造することに対する要求
も強くなってきている。
このような観点から均一な組成をもち、高純度で黴粒の
金属酸化物固溶体を低温で製造する方法を実現すること
が強く望まれていた。
発明者らは、この新しい金属酸化物固溶体製造方法につ
いて研究を重ねてきた結果、均一かつ所望の組成を屯ち
、高純度で微粒の (B!L18r1−1 )(?iy  Zr1−y  
)Ox  ・ nllI20(但しS O≦x、y≦1
、 n≧0、以下間1)なる固溶体を極めて低い温度で
製造する方法を見出−すに至りた。
本発明の要旨とするところは、出発原料として、バリウ
ム、ストロンチウム、チタン、ジルコニウムのアルコキ
シドを用い、これらを低温で混合して反応させ、加水分
解することにより金属酸化物固溶体を得ることKある。
ことK「アルコキ、シト」とはアルコールの水素原子を
金属原子で置換し良化合物をいう。
この金属酸化物固溶体が、結晶質として得られるか、非
晶質として得られるかは、反応の条件および各アルコキ
シドの配合比により相違するが、いずれの形態で得られ
てもその利用には大差がなく非晶質固溶体は加熱により
容易に結晶質固溶体とすることができる。
この丸めの加熱は、500℃以上分解温度未満で行うこ
とが望ましいが、さらに低温度で、あるいは真空加熱ま
たは真空乾燥その他の方法によることもできる。またこ
の場合の雰囲気拡中性、酸化性もしくは還元性雰囲気で
行われる。
まえこの金属酸化物固溶体が、水和物として得られるか
無水物として得られるかは、反応の条件、主として加水
分解の条件により定まる。しかし、これがいずれの形態
で得られても利用には大差がなく、これも必要に応じて
加熱または乾燥することにより、無水物とすることがで
きる。
バリウム、ストロンチウム、チタン、ジルコニウムのア
ルコキシドは、少なくともその一つが液体である場合に
は、これらを直接混合し、あるいは反応させることもで
きるが、混合の便宜の丸めおよび反応を促進させるため
に、有機溶媒中で混合また拡反応させることが好ましい
。すなわち原料が固体である場合に、反応は表面から内
部へ進んでゆくが、生成物がその表面を覆うために反応
が遅くなることがあるため、これを防止するには溶媒を
用いることがよい。仁の丸めの溶媒としてはベンゼン、
アルコール、ヘキサン等が適当であるが、溶解度が高い
仁とがらベンゼンが最適である。
アルコキシドの混合または反応は、必要な全量をあらか
じめ溶媒に溶解させた後に行うこともよいが、混合ま九
紘反応を進行させながら、アルコキシドを溶媒に供給す
る方法により行うこともできる。
アルコキシドの反応温度はアルコキシドが分解する温度
以下で可能であるが、敗扱いの便利の丸めに、O℃〜1
50℃が好ましい。特に好ましい反応温度は40℃〜1
00 Uである。この反応温度が溶媒の沸点を越える場
合には、圧力容器中で反応させることができる。
加水分解の方法は、溶液中に水を追加することにより行
う仁とができるはか、加圧容器から吹出す水蒸気流に接
触させる方法により行う仁とができる。
加水分解の温度は加圧しない状態ては、取扱いの便利な
点から好ましくは0℃〜100C特に好ましく Fi2
5℃〜100 Uである。加圧して行う場合あるいは水
蒸気RK*触させる方法では、100℃〜400℃が適
当である。
生成された金属酸化物固溶体は結晶体として利用するこ
とができる。乾燥の温度あるいは合成条件等によって蝶
、無水の同溶体あるい祉無水の同溶体と水和物固溶体の
混合物となる。上述のようにこの固溶体を高誘電率誘電
材料として用する場合KF′i、その最終形態は無水の
固溶体であることが好普し−が、中間原料としての固溶
体生成時に水を含んでいても、さらに後の処理工程で加
熱する等罠より脱水され、無水の酸化物として利用する
こと本できる。
以下本発明をさらに詳しく紋明する。
本発明はバリウム、ストロンチウム、チタン、ジルコニ
ウムのアルコキシドを出発原料とする。
本発明の出発原料であるアルコキシドは、メタノール、
エタノール、グロパノール、フタノールなどによるアル
コキシドが工業的に入手また製造が容易であるので好ま
しい。使用するアルコールの種類はアルコキシドを生成
する際の反応性に大きく関係するが、生成されたアルコ
キシドを本発明の出発原料として用いる場合には、アル
コキシド中のアルキル基の種類は本質的に重畳ではない
アルコキシドあるいはそれらの有機溶媒溶液を、目的と
する組成に混合し反応させた後に1脱炭酸した蒸留水を
徐々に添加して加水分解を行うと白色粉末の沈殿が生成
する。辷れをP遇により分離すると (B&! 8r1−x ) (〒iy Zr+ −y 
)05−nH20なる固溶体が得られる。
この製造工程において生成する固溶体の結晶状態はその
組成によプ異なる。すなわち (Ba Br )〒ioj[お込ては任意のBaと8r
の原子比で加水分解生成物は結晶質酸化物とを夛、また
( Ba 8r )ZrOHffcおいては、いずれ(
D Baと8rの原子比でも加水分解生成物は非晶質で
ある。固溶体組成がBIB (rx zr ) as 
Kお(A テtf Zr 、!:(Zr + ?i )
 トOIA子比$26 s以下>ヨヒ90 %以上の時
、結晶質酸化物の加水分解生成物が得られ、8r(Ti
Zr)05iCおいてはZrと(Zr+Ti)との原子
比が70 %以下の時、加水分解生成物は結晶質酸化物
である。Ba(Ti Zr )03.8r(テ1Zr)
03については、いずれの場合も上記のZrの範囲外で
は、その加水分解生成物は非晶質となる。(Ba 8r
 )Zr03 、  Ba (Ti Zr )01 。
Eir(テ1Zr)Oxの各組成で得られる非晶質加水
分解生成物は、いずれもSOO℃以上に加熱すること(
より結晶体となる。
得られた固溶体の粒子は電子顕微鏡観察によると[11
μi以下の粒子径の微粒子である。
この方法により得られた固溶体は結晶体を得るための加
熱処理温度が極めて低いために凝集塊をほぐすことは容
易である。また化学分析により、得られ丸酸化物粒子は
純度が999−以上であることが確認された。以上のよ
うK Ea Sr Ti Zrのアルコキシドを混合し
、加水分解して金属酸化物の固溶体を得る本発明の方法
によれば高純度で微粒の固溶体が容易に得られる。特に
低温反応の工程によりなる固溶体が得られるので、その
工業的価値は大きい。
また、本発明の方法によれば均一な溶液の反応により固
溶体が製造されるので、その製品は成分が均一であって
、電気部品材料としてこれを利用する場合に有利である
次に本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが、
本発明はその要旨を以下の実施例に限定するものではな
い。
〔合成例〕
アルコキシドの合成: 高純度Ba金属20 gを脱水したイソプロパノーk 
45 gと共にベンゼy 200 art中に入れ、4
0℃で還流しながら反応させる。H2を発生しながら約
3時間でB亀金属は溶解し、Baイソプpボキシトノヘ
ンゼン溶液が得られる。
Zr Ot434 gをsagのイソプはパノールとと
もに200 mlのベンゼンに溶解し、この溶液に乾燥
NHsガスを通じる。ガス導入後直ちK NH401の
白色沈殿が生成し、およそ1時間でMHIガスが反応容
器から排出されるようKなり、アルコキシド化の反応が
終了したことがわかる。生成したNH40j!を一過に
より分離してZrイソプロポキシドのベンゼン溶[を侍
る、 高純g 8r金属12.8gを脱水したイソプロパノ−
&45gを共ニヘンゼy 200 lIt中に入れ、6
0℃でJl流しながら反応させる。H2t−発生しなか
らBr金属が溶解し、8rイングロボキシドのベンゼン
溶液が得られる。
なおT1イソプロポキシドは市販されているのでこれを
利用できる。
〔実施例1〕 B1イソ1Dボキシド322g、Tiイソプロポキシド
21gX Zrイソプロポキシド2xasg、tなわち
原子比が Ba : Ti : Zr=1:α5:α5となるよう
に500 mlのベンゼン溶液中で混合し、60℃にお
いて1時間以上反応させる。ついで60℃で還流したま
ま脱炭酸した蒸留水15mAを少量ずつ滴下すると白色
の沈殿が生成する。この沈殿t−濾過により分離し喪後
、空気中において120℃で10時間加熱する。上記と
全く同様にして原子比が Ba:?i:Zr=1:1:O〜1:0:1となるよう
に12種のBa(〒17.Zr1−ア)o!  なる固
溶体を合成し、得られ九扮体についてI11回折により
その結晶性を調べ友。また固溶体の生成状態を確認する
ためx11回折のデータより結晶の(111)面の面間
隔1h1fを求めTi / Zr比に対する変化を図示
した。
X線回折の結果、非晶質であった生成物は加熱して結晶
体とし友後に面間隔d111を橢定した。加熱は水差熱
分析から求めた結晶化温度以上である600℃で20時
間行った。また加水分解により結晶質として得られた粉
末についても同様に加熱処理を行い面間隔d111を求
めた。これらの結果t−まとめて第1表および第1図に
示す。
第1表に示すよう1lcZrとTi +Zrとの原子比
が20%以下および!ロー以上の時、加水分解生成物は
結晶性であるが、それ以外の組成では非晶質でめった。
第    1    表 600℃で20時間仮焼した試料は全て結晶質となり第
1図に示すように、そのa11%値#iTi / Zr
比の替化と共に連続的Km化している。第1図て×印は
仮焼前、○印線仮焼後を示す。
すなわち加水分解生成物が結晶質、非晶質いずれの形態
で得られても均一1にハ(!1アzr 1−7 ) O
iなる固溶体が低温の加水分解で生成することには違い
がなく、また非晶質固溶体は600℃という比較的低温
の加熱処理により結晶化することがわかる。
またいずれの場合にも得られた粉体は白色粉体であった
。電子顕微鏡によ少その粒子径を測定したところ101
〜α05霞の黴細な粒子であった。
さらに化学分析を行つ九結果いずれのTi / Zr比
の組成の試料も純度?!?−以上であった。
〔実施例2〕 8rイソプロポキシドをBog、Tiイソプロポキシド
を211.Zrイソプロポキシドit 24 g fな
わち原子比が Br:〒i:Zr=ドα5 : (15となるようKと
り500 vatのベンゼン溶液中で混合し60℃にお
いて1時間以上反応させる。ついで60℃で還流したま
ま脱炭酸した蒸留水15mtを少量ずつ滴下すると白色
の沈殿が生成する。この沈殿を濾過により分離した後、
空気中において120℃で10時間加熱した。
上記と全く同様にして原子比で 8r:Ti:Zr=1:1:(1〜1:O:1となるよ
うに121gIの日r(’riy  zrl−y)os
  なる固溶体を合成し得られた粉体についてX線回折
によりその結晶性を調べた。また固溶体の生成状態をa
認するためX線回折のデータより結晶の格子定数aを求
めTi / Zr比に対する変化を図示した。
X@回折の結果非晶質であった加水分解生成物(Zr/
(Ti +Zr )が70%以上)は加熱して結晶体を
得た。この結晶体を−べたところ斜方晶(オルンロンビ
ック)であった。加熱は600℃テ20時間行った。結
果を第2表および第2図に示す。
斜方晶の部分については同表および同図には示されてい
ない。
IF5表 第2表に示すようfcZrと〒i+Zrの原子比が70
−以下のとき、加水分解生成物は結晶性であるが、それ
以外の組成では非晶質である。
600℃で20時間仮焼し九試料は全て結晶質となり、
第2図に示すように、そのd111値はTL/Zr比の
変化とともに連続的に変化している。すなわち、本方法
によれば加水分解生成物が結晶質、非晶質いずれの形態
で得られても、均一な8r (Ti y  Zr 1−
7 ) Oxなる固溶体が低温で生成することには違い
がなく、また非晶質固溶体は600℃という比較的低温
の加熱処理により、結晶化することがわかる。
また得られた粉体を電子顕微鏡によりその粒子径を測定
し九ところα01〜α05μmの微細な粒子であった。
さらに化学分析を行った結果、いずれのテ1Zzr比の
組成の試料も純[9tt%以上で6つ友。
〔実施例5〕 Zrイソグロボキシド48 gに対して、Baインプロ
ポキシドを11 g、  19 gX30 g、  5
4 g、この各々に対して8rインプロポキシドを21
g、15g、4g、5gすなわち原子比で Ba : 8r : Zr =α5 : (L7 : 
1Ba  :  8r  :  Zr ==  α5 
 :  (L5  :  IBa  :  Sr  :
  Zr −α8  :  a2  :  IBa  
:  8r  :  Zr =  α?  :  (L
l  :  1なる4種の試料を秤量し、これらをそれ
ぞれ500m1 Oヘンイン溶液中で混合し、60℃に
おいて1時間以上反応させる。ついで60℃で還流した
まま脱炭酸し友蒸留水15膳Aを少量ずつ滴下すると白
色の沈殿が生成する。この沈殿をそれぞれ一過により分
離した後に、空気中において120 Uで10時間加熱
乾燥した。
得られ九生成物はXMIn折の結果、結晶質の(Baz
 8r1  z ) Zr0Bなる固溶体であった。結
晶体はいずれも正方晶であった。
〔実施例4〕 Baイソプロポキシドを1a6g、8rイソグロボキシ
ドを15gX Tiイングロボキシドt42gsすなわ
ち原子比が1 Ba  :  8r  :  テ1=(15:  (L
5  :  1となるように500 mlのベンゼン中
で混合し、60℃において1時間以上反応させる。つい
で、60℃で還流したまま脱炭酸し九蒸留水15mtを
少量ずつ滴下すると白色の沈殿が生成する。この沈殿を
濾過により分離した稜空気中において120℃C1D時
間加熱乾燥した。
上記と全く同様にして、原子比で Ba  :  8r  :  T1=  0  :  
1  :  1 〜1  :  O:  1となるよう
に、別の12種の(Bax8rJ−x)Tto。
なる固溶体を合成し得られた粉体について!線p折によ
りその結晶性を調べ友。また固溶体の生d状1mを確認
するためX線回−のデータより結晶C(111)面の6
口1を求めBa / 8r比に対する変イ)を図示し友
結果を第3表および第5図に示す。
第5表に示すように加水分解生成物はすべてqBIL 
/ 8r比の組成において結晶質で、第5図にlすよう
に、そのd111値#1BIL / Br比の変化と共
ト連続的に変化していることがわかる。
すなわち本方法では加水分解により均一な結晶質(Ba
z 8r1’−x )テiolなる固溶体が得られる。
第   3   表 また得られた粉体を電子顕微鏡によりその粒子径を測定
したところ[LO1〜a05μmの微細な粒子であつ友
。さらに化学分析を行った結果いずれのTt/zr比の
組成の試料も純t??、?−以上であった。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明実施例により得られた Ba (Ti Zr ) OB固溶体のテi/(Ti+
Zr)とd*1t(&)の関係を示す図。 第2図線本発明実施例により得られた 8r(Tier)05固溶体のT1/ (Ti + Z
r )と格子定数亀との関係を示す図。 第5図祉李発嬰実轡例により得られた ( Ba日r)TiOs固溶体のBa / (Ba −
1−fir、 )とatn(*)の関係を示す図。  
 −、。 児 1 図 0 10 20 30 40 50 60 70 80
 90 100SrTIO3mol ・ム      
       SrZrO3應 2 図 月 3 回 手続補正書 昭和r−1年2月3日 特許庁長官島1)春樹 殿 l 事件の表示 昭和56年特 許 願第97551号 2、発明の名称 金属酸化物固溶体の製造方法3、 補
正をする者 事件との関係 特許出願人 氏 名銘称)三菱鉱業セメント株式会社代表者 小 林
 久 明 4、代理人 6、 補正により増加する発明の数 な しく1)  
明細書第9頁最終行目 「入手を九製造」を「入手また紘製造」と補正する。 (2)  明細書第10頁第17行台 「おいては、」を「お−ても、」 と補正する。 (3)  明細書第10頁第18行目 「非晶質」を「結晶質」 と補正する。 (4)  明細書第11頁第7行■ j (Ba Br )ZnOsJを削除する。 (5)明細書第17頁第14行目 r 70−以上」をr yO@を越えるもの」と補正す
る。 (6)  図面第2図を添付図面と差換える。 (縦軸の表示のIIIeを釘止するもの)t 添付書類 図 面(第2図)1通

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)  バリウムアルコキシドおよびまたはストロン
    チウムアルコキシドと、チタンアルコキシドおよびまた
    はジルコニウムアルコキシドとを混合する第一の工程と
    、この工程で得られる生成物を加水分解して (Ba18r1〜K )(〒1yZr1  y )05
     ・n[20なる金属酸化物固溶体を得る第二の工程と
    を含む金属酸化物固溶体の製造方法。但し 0≦x+7≦1、 n≧0 である。
  2. (2)  第一の工程に、混合された複数のアルコキシ
    ドを相互に反応させる工程を含む特許請求の範囲第(1
    )項記載の金属酸化物固溶体の製造方法。
  3. (3)第一の工程で、アルコキシドを有機溶媒に溶解さ
    れ良状態で混合する特許請求の範囲第(1)項または第
    (2)項記載の金属酸化物固溶体の製造方法。
  4. (4)第一の工程の反応源□度が40℃〜100℃であ
    る特許請求の範囲第(2)項記載の金属酸化物固溶体の
    製造方法。
  5. (5)第二の工程により得られえ生成物を加熱する工程
    を含む特許請求の範囲第(1)項ないし第(4)項のい
    ずれかに記載の金属酸化物固溶体の製造方法。
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