JPS6090825A - チタン酸バリウムまたはチタン酸ストロンチウムの製造方法 - Google Patents

チタン酸バリウムまたはチタン酸ストロンチウムの製造方法

Info

Publication number
JPS6090825A
JPS6090825A JP58199173A JP19917383A JPS6090825A JP S6090825 A JPS6090825 A JP S6090825A JP 58199173 A JP58199173 A JP 58199173A JP 19917383 A JP19917383 A JP 19917383A JP S6090825 A JPS6090825 A JP S6090825A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
barium
strontium
hydroxide
titanate
powder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP58199173A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0239451B2 (ja
Inventor
Fumio Matsushita
文夫 松下
Hiroyasu Akashi
明石 景泰
Satoru Sekine
了 関根
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asahi Kasei Corp
Asahi Chemical Industry Co Ltd
Original Assignee
Asahi Chemical Industry Co Ltd
Asahi Kasei Kogyo KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Chemical Industry Co Ltd, Asahi Kasei Kogyo KK filed Critical Asahi Chemical Industry Co Ltd
Priority to JP58199173A priority Critical patent/JPS6090825A/ja
Priority to DE8484306926T priority patent/DE3469161D1/de
Priority to EP84306926A priority patent/EP0141551B1/en
Publication of JPS6090825A publication Critical patent/JPS6090825A/ja
Priority to US07/157,093 priority patent/US4898843A/en
Publication of JPH0239451B2 publication Critical patent/JPH0239451B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、微細で均一粒径を有するチタン酸バリウム粉
末またはチタン酸ストロンチウム粉末の合成法に関する
ものである。
近年、電子材料はますます小型化の傾向にある。
コンデンサもその類にたがわず、小製化、高容量化が望
まれておシ、これを実現するものとして、積層コンデン
サが注目金集めている。積層コンデンサに使われる誘電
材料は、主にチタン酸バリウムおよび/筐たはチタン酸
ストロンチウムを主成分とする焼結体であるが、かかる
セラミックコンデンサでは、コンデンサの電気絶縁性を
維持するため、電極間に焼結体を構成する粒子をできる
だけ数多く存在させることが好ましい。現在、積層コン
デンサの電極間距離は20〜100μ程度である。
したがって、これに使用される焼結体の粒子径は、少な
くとも10μ以下であることが必要であ郵、その粒子径
は小さけれは小さいほど好ましい。
現在績 層コンデンサでは、さらに電極間距離を小さく
して高容量化を促進する傾向にある。この要求全満足し
、さらに焼結体の均一性および信頼性を保証するため、
微細で粒径分布が均一で、できるだけ充填密度の上がり
易い形状(たとえば球状や板状等)をしたチタン酸バリ
ウム粉末または/およびチタン酸ストロンチ9ム粉末が
必須のものとして切望されている。
従来よp工業的には、チタン酸バリウム粉末Pよびチタ
ン酸ストロンチウム粉末は固相反応法により製造されて
いる。固相反応法とは、炭酸バ見つムまたは炭酸ストロ
ンチウムと二酸化チタン毛混合し、各々1on(1c以
上の高温で反応させ、チタン酸バリウムまfcはチタン
酸ヌトロンチウノを合成する方法である。しかしながら
、この方浬は、高温で反応を行なうため、粉末製造時に
既に焼結が始ま)、粉体同志の固着および粒成長が住じ
、本質的に微細で均一粒径を有するチタン酸バリウム粉
末またはチタン酸ストロンチウムm末を得ることは困難
であるという欠点を有している。
一方、最近、シュウ酸洗、アルコキシド法、水酸化物法
等チタン酸バリウム粉末または/およびチタン酸ストロ
ンチウム粉末の新しめ合成法が提案されておシ、上記欠
点についてかな力の改善が見られる。例えば、P、に、
Gallagherらは”J、Am。
Ceram、Soc、、 46,359〜365 (1
963)″で、0.09μから0.73μまでの範囲で
様々な粒径を持つチタン酸バリウム粉末をシュウ酸洗で
合成したことを報告している。また、K、JMazdi
yasniらは” J、Am−Ceram、soe、、
 52 、525〜526(1969)”で、アルコキ
シド法にょシ粒径5゜X〜150Xの高純度チタン酸バ
リウムを合成し、たことを報告している。
しかし、シュウ酸洗け、シュウ酸塩i 60.0 c以
上で焼成してチタン酸塩全合成する方法であるため、固
相反応法に近いものになシ、粉体の凝集が生じ易い。ま
た、アルコキシド法は、原料が高価であシ、工業的には
問題がある。− 一方、水酸化物法は、未だ確立された技術ではないが、
製造プロセスが簡単で、また、原料も安価であり、得ら
れた粉は焼結性も高いという点で注目されている。例え
ば、久保らは”工業化学雑誌71巻1号(1968)”
において、含水率95重量%の含水酸化チタンと水酸化
バリウムを、バリウムとチタンの比が2〜3となるよう
機械的に混合し、100Cに加熱することによシ、反応
率i00チでチタン酸バリウムを得たことを報告してい
る。しかし、久保らの方法で得られたチタン酸バリウム
は、その形状が含水酸化チタンと非常によく似た角ばっ
た形をしており、また、細孔を有しているため比表面積
が40.2ゴ/lと大きく、凝集粒子が見られ、粒径分
布は不均一であった。
したがって、久保らの方法は、100’Cという低温で
収率よ〈チタン酸バリウムを合成できるという責れfc
特徴を有するものの、粒子形状、粒子の凝集性、粒径分
布等については依然不満足であった。
一方、松岡らは6高知大学水熱化学実験所報告Vol、
2.415(i97B)”において、酸化チタンと水酸
化バリウムをバリウムとチタンの元素の比が1.2とな
るように混合し、攪拌型オートクレーブ中、110C〜
370cでチタン酸バリウム全合成している。該研究で
は、比較的粒子の大きい酸化チタンを原料に使用したた
め、反応率’1100チにするには、高温高圧(300
?:、85気圧以上)を必要とし、生成したチタン酸バ
リクム粒子も粗いものであった。該研究で松岡らは、酸
化チタンと水酸化バリウムの混合の際に水を加えると、
反応率が低下することも指摘して込る。
このように、水酸化物法の研究では、未だ実用的に満足
できるチタン酸バリウムは得られておらず、また、その
研究では、反応率を上げるため、含水酸化チタンと水酸
化バリウムの混合時には、水を必要最小限に限定する傾
向にある。
ところが、本発明者らは、微細で均一な粒径を持つチタ
ン酸バリウム粉体またはチタン酸ストロンチウム粉末を
製造するため、水酸化物法について鋭意研究を重ねた結
果、含水酸化チタンと゛水酸化バリウムまたは水酸化ス
トロフチ9ムを、比較的大倉の水の存在下で混合しつつ
加熱反応させ、必要ならは反応生成物全適轟迎温度で仮
焼して反応全完結させることにより、微細かつ均−粒径
會有し〜球形状を有し、さらには比表面積が小さく#ミ
とんど凝集のない、新規な性状のチタン酸バリウム粉末
またはチタン酸ストロンチウム粉末が合成できること全
見出し、この知見に基づいて本発明をなすに至りた。
すなわち、本発明方法は、含水酸化チタンと水酸化バリ
ウムまたは水酸化ストロンチウムを、チタン換算で12
0〜10,000倍モルの水の伴在下で、混合しつつ6
0C以上110C未満の温度範囲で反応させることを特
徴とするチタン酸バリウムまたはチタン酸ストロンチウ
ムの製造方法である。
本発明の反応は、二酸化炭素の存在によシ著しく阻害さ
れる。したがって、反応を行なう際に二酸化炭素が存在
しないよう充分注意を払うことはもちろん、反応に供す
る含水酸化チタン、水酸化バリウムまたは/および水酸
化ストロンチウム、およびこれら全分散、希釈する水等
から、あらかじめ二酸化炭氷ヲ除去しておかなければな
らない。
本発明において、含水酸化チタンとしてはオルトチタン
酸、メタチタン酸、二酸化チタンのいずれか一種類以上
を用いるが、特にオルトチタン酸は、その反応性の高さ
から最も好ましい。これらは固体あるいはゲルの状態で
使用できる。このような含水酸化チタン、たとえはオル
トチタン酸は、チタンの塩化物、硫酸塩、シュウ酸塩等
をアルカリで処理することにより容易に得られるが、特
に塩化物は好ましい。また、メタチタン酸および二酸化
チタンは、オルトチタン酸を加熱していけばオルトチタ
ン酸の有する構造水が順次抜けていくため、順次容易に
得られる。
本発明で用いられる水酸化バリウムおよび水酸化ストロ
ンチウムは、いずれも一般に水を含む白色固体であるが
、これらはその−!ま用いても、よく、また、水に溶か
して用いてもよい。水酸化ノクリウムおよび水酸化スト
ロンチウムは、空気中の二酸化炭素と容易に反応して炭
酸塩をつくりやすい。
したがって、水酸化バリウムおよび水酸化ストロンチウ
ムは、反応に供する前に充分精製し、炭酸塩を除去する
とともに、精製後は二酸化炭素と触れないように取扱い
に注意しなければならない。
水酸化バリウムおよび水酸化ストロンチウムの精製法は
、公知の方法全便えば足りる。
本発明で比較的大量の水を存在させる効果は、含水酸化
チタンと水酸化バリウムまたは/および水酸化ストロン
チウムの反応が温和に進行するため、得られる粉末が、
結晶子が大きく、細孔がなく比表面積が小さく、はとん
ど凝集のないものとなること、および反応時の流動化が
可能となシ、粒子形状が球状で、粒径分布が均一な粉末
が得られることである。かかる本発明方法で得られるチ
タン酸バリウム粉末または/およびチタン酸ストロンチ
ウム粉末は、久保らの方法で得られるものと全く異なっ
ており、積層コンデンサ用原料として実用に供するに充
分満足できるものである。
この理由は、おそらく、久保らの方法では、含水酸化チ
タンと水酸化バリウムの機械的混合で含水酸化チタン中
に水酸化バリウムが分散し、加熱反応時に含水i化チタ
ン内で急速に脱水および反応が進行するため、結晶子が
小さく、細孔を有するチタン酸バリウムが生成し、その
結果、比表面積が大きくなり、増加した表面エネルギー
を減少させるため、凝集の生じ易い粉末となるのに対し
、本発明方法では、水が存在するため、水酸化バリウム
が水に溶解し、含水酸化チタン中への拡散が激しくなく
、加熱時の反応が温和に進行するため、結晶子が大きく
、比表面積が小さく、はとんど凝集のない粉末となるも
のと考えられる。
本発明において、水の存在下で混合を行なうことは、粒
子形状を球状とし、粒径分布を均一化する効果がある。
混合の方法は、攪拌、振動、回転、ボールミル処理等公
知の方法で足シる。本発明方法において、反応時間は反
応をできるだけ完結させるため30分以上が好ましいが
、特に限定されるものではなく、必要ならば反応生成物
を仮焼することにより、反応を完了させることができる
この際、仮焼温度は1000C以下が好ましく、これよ
り高い温度では焼結がはじまり、粉体同志の固着および
粒成長が生じ、本発明の特徴が活かせない。
本発明において、水の量は好ましくけチタン換算で12
0〜10,000倍モルであシ、さらに好ましくは20
0〜1000倍モルである。水の量が少なくなるにした
がい混合物の流動性は落ち、120倍モルより少なくな
れば、もはや流動性が保てなくなり、球状で均一粒径を
有する粉末を製造することが困難になるdかシでなく、
含水酸化チタンと水酸化バリウムまたは/訃よび水酸化
ストロンチウムの反応性が高まるため、結晶子が小さく
、細孔を有し、比表面積が大きく、シたがって、凝集性
の強い粉末が生成し始める。また、10.000倍モル
を超える#1ど多量に水を加えることは、反応系全体の
濃度を低下させ反応性を落とし、もはや実質的に反応を
行なうことが困難となるためである。
本発明において、反応の温度範囲1601:’以上11
0C未満とする理由は、反応温度が60CよQも低けれ
ば、含水酸化チタンと水酸化バリウムまたは/おより水
酸化ストロンチウムとの反応速度が極めて遅くなシ実用
的でないためであシ、反応温度が110C以上であれば
、水熱条件下での反応となシ、装置上コスト高となるば
かシでなく、生成する粒子が粒成長を起こし、微細かつ
均一粒径を有する粉末を製造することが困難となるため
である。
このようにして得られたチタン酸バリウムまたは/およ
びチタン酸ストロンチウムは、常法にしたがって、水洗
、濾過、乾燥後、場合によっては適当な温度で仮焼した
後、弱酸で洗浄し、水洗し、濾過し、乾燥される。
本発明の方法で得られるチタン酸バリウム粉末または/
およびチタン酸ストロンチウム粉末は粒径が小さく、粒
径分布が均一であるため、各種ドーピング剤との反応性
も高く、積層コンデンサ用原料のみでなく、各種コンデ
ンサ、PTC半導体等に使用する原料としても有効であ
る。
また、本発明方法で得られるチタン酸バリウム粉末マた
は/およびチタン酸ストロンチウム粉末は、従来のチタ
ン酸バリウムまたけ/およびチタン酸ストロンチウム粉
末に比べて、焼結温度が100C〜200C低いため、
エネルギーコストを低くできる#1か、積層コンデンサ
のように電極焼付全コンデンサの焼結と同時に行々う場
合に、電極コスト全大巾に低くすることが可能となる。
本発明の方法は、他の元素と共に、チタン酸ノ(リウム
″または/およびチタン酸ストロンチウムを合成するこ
とを阻害するものではない。
次に、実施例によって本発明をさらに詳細に説明する。
実施例1 含水率93チのゲル状オルトチタン酸1モルを水2tと
共に反応器中へ入れ、窒素ガスを吹き込んで反応話中全
窒素置換し、さらに窒素ガスを流しつつ24時間放置し
た。一方、水酸化バリウム(8水化物)650ft−1
000の水2tに溶解し、炭酸バリウムを除去するため
濾過し、濾過を空気に触れさせないよう窒素ガスの下で
充分注意を払いつつ、オルトチタン酸と水を入れて放置
しである反応器中へ入れた。この反応器中へ窒素ガスを
流しながら、さらに攪拌混合しつつ、オイルパスで10
0C,4時間加熱して反応を行なった。
反応終了後、約5分間放置し、上溌液を除去し、さらに
熱水4tt−加えて攪拌洗浄後濾過した。この洗浄、濾
過の操作を3回縁シ返し、合計12tの熱水で洗浄後、
空気中、100Cで20時間乾燥して白色粉末を得た。
この粉末を空気中、800Cで2時間焼成した後、1N
酢酸1tで洗浄し、濾過し、さらに純水で洗浄、濾過を
3回繰り返した。
このようにして得られた粉末について、走査型電子顕微
鏡観察およびX線回折解析を行なった結果、非常に分散
性の良い粒径0.1〜0.2μの均一球状粒子の立方晶
チタン酸バリウムで、さらにX線のピーク中からめた結
晶子径は約0.1μと極めて結晶性が高いものであった
。さらに比表面積を測定したところ、比表面積は7.5
Wt/fであ〕、これ全球状粒子と仮定して粒[−算出
した結果、約0.13μとなり、走査型電子顕微鏡観察
訃よびX線回折解析の結果と良い一致を示した。
実施例2 含水率95チのゲル状オルトチタン酸0.5モル上水2
tと共に反応器中へ入れた。この混合液中へ窒素ガスを
吹き込んで反応器中を窒素置換し、さらに窒素ガスを流
しつつ20時間放置した。水酸化バリウム(8水化物)
S54f′f:907:の水1tに溶解し、沸とう後、
炭酸ノ(リウムを除去するため濾過し、F波音空気に触
れさせないように窒素ガスの下で充分注意を払いつつ、
オルトチタン酸と水を入れて放置しである反応器中へ入
れた。
この反応器に窒素ガスを流しながら、さらに攪拌混合し
つつ、オイルバスで100c、4時間加熱して反応を行
なった。反応終了後、約5分間放置し、上澄液を除去し
、さらに熱水5tf加えて攪拌洗浄した後濾過した。こ
の洗浄、濾過の操作を3回操り返し、合計9tの熱水で
洗浄した後、1N酢酸0.5tで洗浄し、ν遇した後、
さらに純水で洗浄、濾過を3回縁シ返した後、空気中、
100Cで20時間乾燥した。このようにして得られた
チタン酸バリウム粉末について、走査型電子顕微鏡観察
およびX線回折解析を行なった結果、粒径0.1〜0.
2μ鉤−球状粒子の立方晶チタン酸バリウムで、さらに
X#のビーク巾からめた結晶子径は約0.1μと極めて
結晶性が高いものであった。
また、比表面積は8ゴ/2であり、これを球状粒子と仮
定して粒径を算出した結果、約0.12μとなシ、走査
型電子顕微鏡観察およびX@回折解析の結果と良い一致
を示した。
この粉末を800Cで仮焼した後、成形圧1ton/d
でプレス成形し、1200Cで1時間焼成した結果、相
対密度93チと、焼成温度が低いに本かかわらず、高い
焼結密度が得られた。また、焼結体を構成する粒子は約
0.5μと極めて小さく、かつ均一な粒子径を有してい
た。
実施例3 含水率95チのゲル状オルトチタン酸0.5モルを水2
tと共に反応器中へ入れ、窒素ガス全欧き込みつつ、約
15時間放置した。その後、水酸化ストロンチウム27
0ff90Cの水1tに溶解し、実施例2と同様の手順
で反応器中へ入れ、100Cに加熱し、10時間反応を
行ない、熱水、酢酸、純水で順次洗浄し、空気中、10
0cで乾燥し、チタン酸ストロンチウム粉末金得た。か
かるチタン酸ストロンチウム粉末は、分散性が良く、粒
径0.1〜0.2μの均一球状粒子であった。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 含水酸化チタンと水酸化バリウムまたは水酸化ストロン
    チウムを、チタン換算で120〜10.000倍モルの
    水の存在下で、60C以上110C未満の温度範囲で反
    応させることを特徴とするチタン酸バリウムまたはチタ
    ン酸ストロンチウムの製造方法。。
JP58199173A 1983-10-12 1983-10-26 チタン酸バリウムまたはチタン酸ストロンチウムの製造方法 Granted JPS6090825A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58199173A JPS6090825A (ja) 1983-10-26 1983-10-26 チタン酸バリウムまたはチタン酸ストロンチウムの製造方法
DE8484306926T DE3469161D1 (en) 1983-10-12 1984-10-10 Titanate powder and process for producing the same
EP84306926A EP0141551B1 (en) 1983-10-12 1984-10-10 Titanate powder and process for producing the same
US07/157,093 US4898843A (en) 1983-10-12 1988-02-09 Titanate powder and process for producing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58199173A JPS6090825A (ja) 1983-10-26 1983-10-26 チタン酸バリウムまたはチタン酸ストロンチウムの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6090825A true JPS6090825A (ja) 1985-05-22
JPH0239451B2 JPH0239451B2 (ja) 1990-09-05

Family

ID=16403363

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58199173A Granted JPS6090825A (ja) 1983-10-12 1983-10-26 チタン酸バリウムまたはチタン酸ストロンチウムの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6090825A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6374915A (ja) * 1986-07-14 1988-04-05 キヤボツト コ−ポレ−シヨン ペロブスカイトベース生成物の製法
KR100383480B1 (ko) * 1996-11-04 2003-07-10 주식회사 엘지화학 입자크기가 조절된 티탄산바륨의 제조방법
KR100428496B1 (ko) * 2001-07-13 2004-04-28 한국에너지기술연구원 티탄산바륨의 제조방법
JP2006027971A (ja) * 2004-07-20 2006-02-02 Tdk Corp チタン酸バリウム粉末の製造方法及びその粉末並びにそれを用いた積層セラミック電子部品
JP2009502725A (ja) * 2005-08-04 2009-01-29 ハンファ ケミカル コーポレーション チタン酸バリウムの製造方法
JP2012507457A (ja) * 2008-11-04 2012-03-29 サチトレベン ピグメンツ オーワイ チタン酸塩を調製する方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5939726A (ja) * 1982-08-25 1984-03-05 Sony Corp チタン酸バリウム微粒子の製造方法
JPS5945928A (ja) * 1982-09-08 1984-03-15 Sony Corp チタン酸ストロンチウム微粒子の製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5939726A (ja) * 1982-08-25 1984-03-05 Sony Corp チタン酸バリウム微粒子の製造方法
JPS5945928A (ja) * 1982-09-08 1984-03-15 Sony Corp チタン酸ストロンチウム微粒子の製造方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6374915A (ja) * 1986-07-14 1988-04-05 キヤボツト コ−ポレ−シヨン ペロブスカイトベース生成物の製法
KR100383480B1 (ko) * 1996-11-04 2003-07-10 주식회사 엘지화학 입자크기가 조절된 티탄산바륨의 제조방법
KR100428496B1 (ko) * 2001-07-13 2004-04-28 한국에너지기술연구원 티탄산바륨의 제조방법
JP2006027971A (ja) * 2004-07-20 2006-02-02 Tdk Corp チタン酸バリウム粉末の製造方法及びその粉末並びにそれを用いた積層セラミック電子部品
JP2009502725A (ja) * 2005-08-04 2009-01-29 ハンファ ケミカル コーポレーション チタン酸バリウムの製造方法
JP2012507457A (ja) * 2008-11-04 2012-03-29 サチトレベン ピグメンツ オーワイ チタン酸塩を調製する方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0239451B2 (ja) 1990-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5900223A (en) Process for the synthesis of crystalline powders of perovskite compounds
US4898843A (en) Titanate powder and process for producing the same
JPH01167228A (ja) 粉末状チタン酸バリウムの製造方法
US8431109B2 (en) Process for production of composition
US8715614B2 (en) High-gravity reactive precipitation process for the preparation of barium titanate powders
JP3314944B2 (ja) 易焼結性チタン酸バリウム微細粒子粉末およびその製法
JPH1179746A (ja) ペロブスカイト型複合酸化物及びその製造方法
JP3319807B2 (ja) ペロブスカイト型化合物微細粒子粉末およびその製造法
JPS6090825A (ja) チタン酸バリウムまたはチタン酸ストロンチウムの製造方法
JPH0353255B2 (ja)
JPH0246531B2 (ja)
JP4073018B2 (ja) チタン酸バリウム焼結体用原料粉末
JPS61146713A (ja) チタン酸バリウムの製造方法
KR100562520B1 (ko) 이산화티탄졸을 이용한 티탄산바륨 입자의 제조방법
JPH0573695B2 (ja)
JPH08119745A (ja) セラミック粉体の製造方法
KR100395218B1 (ko) BaTiO3계 분말 제조 방법
JPH0873219A (ja) セラミック粉体の製造方法
WO2001010781A1 (en) METHOD FOR MANUFACTURING BaTiO3 BASED POWDERS
KR20060102928A (ko) 티탄산바륨 분말의 제조방법
JPH06135720A (ja) 針状チタン酸バリウム粉末の製造方法
JPH0572330B2 (ja)
JP2716197B2 (ja) チタン酸バリウム粉末の製造方法
JPH0471848B2 (ja)
JPS61186221A (ja) 鉛含有酸化物微粉末の製法