JPS61232217A - 誘電体磁器製造用の低温焼結性原料粉末の製造方法 - Google Patents
誘電体磁器製造用の低温焼結性原料粉末の製造方法Info
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- JPS61232217A JPS61232217A JP60073716A JP7371685A JPS61232217A JP S61232217 A JPS61232217 A JP S61232217A JP 60073716 A JP60073716 A JP 60073716A JP 7371685 A JP7371685 A JP 7371685A JP S61232217 A JPS61232217 A JP S61232217A
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- powder
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は誘電体磁器製造用の原料粉末の製造方法に係り
、さらに詳しくは、一般式:ABO3で表されるペロプ
スカイト型複合酸化物からなる誘電体磁器において、前
記一般式中のA(以下「Aサイト元素」と称す。)がp
bであり、B(以下「Bサイト元素」と称す。)がTi
+Zr+Mg+Ni、Zn+Mn+Nb、Ta等である
鉛含有ペロプロスカイト型複合酸化物たとえばチタン酸
鉛(以下rPTJと記す。)チタンジルコン酸鉛(以下
rPZTJと称す。)。
、さらに詳しくは、一般式:ABO3で表されるペロプ
スカイト型複合酸化物からなる誘電体磁器において、前
記一般式中のA(以下「Aサイト元素」と称す。)がp
bであり、B(以下「Bサイト元素」と称す。)がTi
+Zr+Mg+Ni、Zn+Mn+Nb、Ta等である
鉛含有ペロプロスカイト型複合酸化物たとえばチタン酸
鉛(以下rPTJと記す。)チタンジルコン酸鉛(以下
rPZTJと称す。)。
PTまたはPZTにさらに第2成分、第3成分を添加固
溶した複合酸化物などからなる誘電体磁器製造用に適し
た低温焼結性の原料粉末の製造方法に関する。
溶した複合酸化物などからなる誘電体磁器製造用に適し
た低温焼結性の原料粉末の製造方法に関する。
PT、PZTなどの誘電体磁器は、その緒特性を利用し
て高周波フィルター、音響機器用トランスジューサー、
超音波発生素子、圧電素子等の電子素子に広く採用され
ており、近年、高比誘電率系のコンデンサーにも採用さ
れ始めている。さらに、その特性のより有効な利用手段
として積層型素子への応用が注目されている。
て高周波フィルター、音響機器用トランスジューサー、
超音波発生素子、圧電素子等の電子素子に広く採用され
ており、近年、高比誘電率系のコンデンサーにも採用さ
れ始めている。さらに、その特性のより有効な利用手段
として積層型素子への応用が注目されている。
本発明の方法で製造される原料粉末は、低温焼結性に優
れるため従来の各種素子の製造に適用できるばかりでな
く、内部電極を有する積層型素子の製造用として期待で
きる。
れるため従来の各種素子の製造に適用できるばかりでな
く、内部電極を有する積層型素子の製造用として期待で
きる。
一般式:ABO=で表されるペロブスカイト型複合酸化
物の焼結体からなる誘電体磁器の組成およびその緒特性
について非常に多くの提案がある。
物の焼結体からなる誘電体磁器の組成およびその緒特性
について非常に多くの提案がある。
これらの誘電体磁器は、その前駆体であるAサイト元素
とBサイト元素の化学量論比のコントロールされた原料
粉末を加圧成形し、焼結することにより製造され、その
特性は原料粉末の特性により大きく左右される。そのた
め、原料粉末の製造方法にも数多くの提案があり、それ
らは下記の如く大別できる。
とBサイト元素の化学量論比のコントロールされた原料
粉末を加圧成形し、焼結することにより製造され、その
特性は原料粉末の特性により大きく左右される。そのた
め、原料粉末の製造方法にも数多くの提案があり、それ
らは下記の如く大別できる。
(1) 酸化物固相法
Aサイト元素およびBサイト元素の酸化物、炭酸塩等を
固相で混合し、仮焼して原料粉末とする方法(Cera
mics International vol+7
N11387−89(1981)参照〕 (2)共沈法 Aサイト元素およびBサイト元素の水可溶性塩のそれぞ
れを含有する混合水溶液のPHを調節して、それぞれの
水酸化物を共沈させ、該共沈水酸化物を仮焼して原料粉
末とする方法(MaterialResearch B
ull、vol、17101−104 (1982)参
照〕(3)有機金属法 Aサイト元素およびBサイト元素のアルコキシド類のそ
れぞれを含有する混合有機溶剤溶液を熱分解するかもし
くは、該溶液を加水分解して生成する沈澱物を仮焼して
原料粉末を製造する方法(Ceramic Bull、
11h 4591 (1984)参照 〕(4)
組合せ方法 組合せ方法として、 Ti化合物とZr化合物の混合溶
液からTiとZrとを酸化物の型で共沈させ、該沈澱物
とpboを乾式混合し焼成して原料粉末とする方法が日
本化学会誌 磁5717−721(1976)に報告さ
れている。
固相で混合し、仮焼して原料粉末とする方法(Cera
mics International vol+7
N11387−89(1981)参照〕 (2)共沈法 Aサイト元素およびBサイト元素の水可溶性塩のそれぞ
れを含有する混合水溶液のPHを調節して、それぞれの
水酸化物を共沈させ、該共沈水酸化物を仮焼して原料粉
末とする方法(MaterialResearch B
ull、vol、17101−104 (1982)参
照〕(3)有機金属法 Aサイト元素およびBサイト元素のアルコキシド類のそ
れぞれを含有する混合有機溶剤溶液を熱分解するかもし
くは、該溶液を加水分解して生成する沈澱物を仮焼して
原料粉末を製造する方法(Ceramic Bull、
11h 4591 (1984)参照 〕(4)
組合せ方法 組合せ方法として、 Ti化合物とZr化合物の混合溶
液からTiとZrとを酸化物の型で共沈させ、該沈澱物
とpboを乾式混合し焼成して原料粉末とする方法が日
本化学会誌 磁5717−721(1976)に報告さ
れている。
Aサイト元素がpbである場合において、原料として、
酸化鉛(PbO)及び画工酸化鉛(PbsO*)双方の
鉛酸化物を使用し得ることが多くの提案に見られるが、
PbtO,を使用した具体例およびその効果について
は、いずれの文献にも記載されていない。
酸化鉛(PbO)及び画工酸化鉛(PbsO*)双方の
鉛酸化物を使用し得ることが多くの提案に見られるが、
PbtO,を使用した具体例およびその効果について
は、いずれの文献にも記載されていない。
酸化物固相法は種々の組成の原料粉末を安価に製造し得
る方法であり、工業的に広く採用されている方法である
が、得られる原料粉末は粒径が大きく、また1粒度分布
幅が広く、さらに粒子形状がバラバラであるため、磁器
製造時の成形性および焼結性が悪く高密度の磁器が得ら
れ難い。
る方法であり、工業的に広く採用されている方法である
が、得られる原料粉末は粒径が大きく、また1粒度分布
幅が広く、さらに粒子形状がバラバラであるため、磁器
製造時の成形性および焼結性が悪く高密度の磁器が得ら
れ難い。
共沈法は9粒子形状および粒径の揃った原料粉末を比較
的容易に製造し得る方法であり、工業的にも広く採用さ
れている。しかしながら、該方法においては、金属元素
の種類によってその水酸化物の溶解度積を異にするため
、化学量論的な組成のコントロールされた共沈水酸化物
を種々の組成について生成させることが困難である。し
たがって、製造可能な゛原料粉末の組成が限定される。
的容易に製造し得る方法であり、工業的にも広く採用さ
れている。しかしながら、該方法においては、金属元素
の種類によってその水酸化物の溶解度積を異にするため
、化学量論的な組成のコントロールされた共沈水酸化物
を種々の組成について生成させることが困難である。し
たがって、製造可能な゛原料粉末の組成が限定される。
有機金属法は9粒径が小さく1粒子形状の揃った。かつ
、化学量論的な組成のコントロールされた比較的高焼結
性の原料粉末を製造し得る方法であり、基準組成の磁器
を製造するために実験室等において広く採用されている
。しかしながら、原料の金属アルコキシドが極めて高価
であり、また。
、化学量論的な組成のコントロールされた比較的高焼結
性の原料粉末を製造し得る方法であり、基準組成の磁器
を製造するために実験室等において広く採用されている
。しかしながら、原料の金属アルコキシドが極めて高価
であり、また。
金属種によっては、有機溶剤可溶性のアルコキシドの合
成が不可能なものもあり、工業的に採用するには問題が
ある。
成が不可能なものもあり、工業的に採用するには問題が
ある。
組合せ方法は、前記方法のかかえる諸課題を補う方法で
あり、前記文献にも記載される如く、優れた特性を有す
る磁器が製造できる。
あり、前記文献にも記載される如く、優れた特性を有す
る磁器が製造できる。
以上に述べた如く、公知の技術はそれぞれ特徴を有して
いるが、これらの原料粉末を成形し焼結する際の焼結温
度が高く9組合せ方法においてもPZT系で1100℃
を要し、他の方法によるさらに複雑な組成の系において
は2通常1200℃以上を要する。焼結温度が高いこと
は、Aサイト元素がpbの場合、Bサイト元素の酸化物
に比較してPbOの蒸気圧が高いため、焼結時にpbと
Bサイト元素とである。したがって、目的とする緒特性
にバラツキのない誘電体磁器を製造することが困難であ
る。
いるが、これらの原料粉末を成形し焼結する際の焼結温
度が高く9組合せ方法においてもPZT系で1100℃
を要し、他の方法によるさらに複雑な組成の系において
は2通常1200℃以上を要する。焼結温度が高いこと
は、Aサイト元素がpbの場合、Bサイト元素の酸化物
に比較してPbOの蒸気圧が高いため、焼結時にpbと
Bサイト元素とである。したがって、目的とする緒特性
にバラツキのない誘電体磁器を製造することが困難であ
る。
また、各種素子を製造する場合、電極材料として。
高価な耐熱性の特殊金属を使用することが要求される。
特に積層型素子においては内部電極コストが大きな問題
となっており、低温焼結性の原料粉末が要望されている
。
となっており、低温焼結性の原料粉末が要望されている
。
本発明は、鉛含有ペロブスカイト型複合酸化物からなる
誘電体磁器の製造に適した。特に、低温焼結性の原料粉
末の製造方法を提供することをその目的とする。
誘電体磁器の製造に適した。特に、低温焼結性の原料粉
末の製造方法を提供することをその目的とする。
本発明は、 Ti+Zr、Nb、Ta+Mg+Ni+Z
nおよびMnよりなる群から選ばれた1種または2種以
上を金属種とする酸化物もしくは熱分解性化合物または
それらの混合物を400〜1000℃の温度下で仮焼し
、得られた粉末と、四三酸化鉛(Pb304)とを混合
し。
nおよびMnよりなる群から選ばれた1種または2種以
上を金属種とする酸化物もしくは熱分解性化合物または
それらの混合物を400〜1000℃の温度下で仮焼し
、得られた粉末と、四三酸化鉛(Pb304)とを混合
し。
該混合物を400〜1000℃の温度下において仮焼す
ることを特徴とする鉛含有ペロブスカイト型複合酸化物
からなる誘電体磁器製造用の低温焼結性原料粉末の製造
方法である。
ることを特徴とする鉛含有ペロブスカイト型複合酸化物
からなる誘電体磁器製造用の低温焼結性原料粉末の製造
方法である。
本発明において、誘電体磁器は、下記一般式%式%)
で表されるペロブスカイト型複合酸化物において。
Aがpbであり、Bが下記一般式(II)MX (M’
+/s M″tzs) <l−x> =−= (II
)(ここに1Mは、 Tiおよび/またはZr。
+/s M″tzs) <l−x> =−= (II
)(ここに1Mは、 Tiおよび/またはZr。
M′は+ Mg+Ns+ZnおよびMnの群から選ばれ
た1種または2種以上 M”は、Nbおよび/またはTa、およびXは0〜1の
正数を表す。) で表される鉛含有ペロブスカイト型複合酸化物であり、
これらに各種金属酸化物を添加配合したものも含まれる
。
た1種または2種以上 M”は、Nbおよび/またはTa、およびXは0〜1の
正数を表す。) で表される鉛含有ペロブスカイト型複合酸化物であり、
これらに各種金属酸化物を添加配合したものも含まれる
。
具体的には、下記一般式(1)
%式%(1)
で表されるPT、下記一般式(2)
PbTim Zru−m)03 −=−−−−(2)
(ここに、Q<a<1である。) で表されるPZT、下記一般式(3) %式%(3) (ここにaは前記と同じ意味を表し、Q<x<1である
。) で表される第3成分を添加固溶したPZT(以下、この
系をrPZ−PT−PMNJと称す。)およびこれらの
混合物の固溶体、ならびに、これらに各種金属酸化物を
添加配合したものが挙げられる。 本発明の前記鉛含有
ペロブスカイト型複合酸化物からなる誘電体磁器製造用
の原料粉末の製造方法において、Aサイト元素のpb原
料としてPbz04を使用する。
(ここに、Q<a<1である。) で表されるPZT、下記一般式(3) %式%(3) (ここにaは前記と同じ意味を表し、Q<x<1である
。) で表される第3成分を添加固溶したPZT(以下、この
系をrPZ−PT−PMNJと称す。)およびこれらの
混合物の固溶体、ならびに、これらに各種金属酸化物を
添加配合したものが挙げられる。 本発明の前記鉛含有
ペロブスカイト型複合酸化物からなる誘電体磁器製造用
の原料粉末の製造方法において、Aサイト元素のpb原
料としてPbz04を使用する。
一方、Bサイト元素原料として、 Ti、Zr、Nb、
Ta。
Ta。
Mg、Ni+ZnまたはMnを金属種とする酸化物およ
び水酸化物、炭酸塩、カルボン酸等の仮焼により熱分解
し酸化物を生成する熱分解性化合物を使用する。
び水酸化物、炭酸塩、カルボン酸等の仮焼により熱分解
し酸化物を生成する熱分解性化合物を使用する。
また、Bサイト元素が複数からなる場合には当該金属、
を金属種とする溶媒可溶性化合物の溶液に沈澱剤を添加
して共沈させた沈澱物を使用することができる。共沈さ
せた沈澱物として、当該金属を金属種とする化合物の混
合水溶液または酸性水溶液に、アンモニア等のアルカリ
を沈澱剤として添加し沈澱させた共沈水酸化物および、
それらの混合水溶液にシュウ酸を沈澱剤として添加し沈
澱させた共沈シュウ酸塩等が挙げられ、Ti、Zr、N
bおよびTaについては共沈水酸化物が、 Mg、Ni
、ZnおよびMnについては共沈シュウ酸塩が好ましく
使用できる。
を金属種とする溶媒可溶性化合物の溶液に沈澱剤を添加
して共沈させた沈澱物を使用することができる。共沈さ
せた沈澱物として、当該金属を金属種とする化合物の混
合水溶液または酸性水溶液に、アンモニア等のアルカリ
を沈澱剤として添加し沈澱させた共沈水酸化物および、
それらの混合水溶液にシュウ酸を沈澱剤として添加し沈
澱させた共沈シュウ酸塩等が挙げられ、Ti、Zr、N
bおよびTaについては共沈水酸化物が、 Mg、Ni
、ZnおよびMnについては共沈シュウ酸塩が好ましく
使用できる。
本発明において、前記Bサイト元素原料の1種の単独ま
たは2種以上の混合物をあらかじめ400〜1100℃
の温度下において仮焼する。ついで、Aサイト元素原料
のpb、o、と、仮焼したBサイト元素原料の粉末とを
混合し、400〜1000℃の温度下において仮焼する
ことにより目的とする原料粉末を製造する。
たは2種以上の混合物をあらかじめ400〜1100℃
の温度下において仮焼する。ついで、Aサイト元素原料
のpb、o、と、仮焼したBサイト元素原料の粉末とを
混合し、400〜1000℃の温度下において仮焼する
ことにより目的とする原料粉末を製造する。
Bサイト元素原料の仮焼およびpb、o、と仮焼したB
サイト元素原料粉末との混合物の仮焼は、酸素含有ガス
雰囲気下1通常、大気中において行う。
サイト元素原料粉末との混合物の仮焼は、酸素含有ガス
雰囲気下1通常、大気中において行う。
Pb30.と仮焼したBサイト元素原料との混合は。
常法により行うことができるが、湿式ミルを使用し、湿
式混合を行うことにより、均一な混合および原料の微粉
砕を効率よく行うことができる。
式混合を行うことにより、均一な混合および原料の微粉
砕を効率よく行うことができる。
前記方法で製造した原料粉末を、結合剤の存在下もしく
は非存在下に常法により加圧成形した成形体を、 pb
oまたはpboとZrO□との混合物の存在下もしくは
非存布下、800〜1250℃、好ましくは900〜1
250℃の温度下において焼結することにより、高焼結
密度の誘電体磁器が得られる。
は非存在下に常法により加圧成形した成形体を、 pb
oまたはpboとZrO□との混合物の存在下もしくは
非存布下、800〜1250℃、好ましくは900〜1
250℃の温度下において焼結することにより、高焼結
密度の誘電体磁器が得られる。
本発明者等は、誘電体磁器製造用の原料粉末の低温焼結
性に関し鋭意研究した結果、Aサイト元素がpbの場合
、 pb原料としてPb1Oaを使用した原料粉末を用
い800〜1250℃の比較的低温域で焼結して製造し
た磁器が極めて高い焼結密度を有し。
性に関し鋭意研究した結果、Aサイト元素がpbの場合
、 pb原料としてPb1Oaを使用した原料粉末を用
い800〜1250℃の比較的低温域で焼結して製造し
た磁器が極めて高い焼結密度を有し。
高い比誘電率(ε)を示すことを見出し1本発明を完成
した。
した。
本発明の方法で製造した原料粉末を使用して製造した誘
電体磁器は、実施例に示す如<、pz−PT−PMN系
について、焼結温度が1150℃以下の低温域において
も、従来法で製造した原料粉末を使用し、 1250℃
以上の温度で焼結した磁器と同等もしくはそれ以上の焼
結密度を有し、高い比誘電率(ε)を示す。
電体磁器は、実施例に示す如<、pz−PT−PMN系
について、焼結温度が1150℃以下の低温域において
も、従来法で製造した原料粉末を使用し、 1250℃
以上の温度で焼結した磁器と同等もしくはそれ以上の焼
結密度を有し、高い比誘電率(ε)を示す。
本発明においし、Bサイト原料のあらかじめの仮焼によ
り、コロンバイト相などの結晶相が生成し、これらの結
晶相とPb30.との固相反応により、仮焼していない
Bサイト元素原料を用いた場合に生成するパイロクロア
相の生成が抑制されるため、良好なペロブスカイト相が
生成するものと推定される。
り、コロンバイト相などの結晶相が生成し、これらの結
晶相とPb30.との固相反応により、仮焼していない
Bサイト元素原料を用いた場合に生成するパイロクロア
相の生成が抑制されるため、良好なペロブスカイト相が
生成するものと推定される。
Pb30.は、コロンバイト相などの結晶相にあるBサ
イト元素原料との固相反応において、ペロブスカイト相
の生成に良好に作用するものと推定され、それらが相乗
的に作用し、原料粉末の低温焼結性が達成されるものと
推定される。
イト元素原料との固相反応において、ペロブスカイト相
の生成に良好に作用するものと推定され、それらが相乗
的に作用し、原料粉末の低温焼結性が達成されるものと
推定される。
Bサイト元素原料の仮焼温度は、コロンバイト相などの
結晶相を生成し得る温度であればよく。
結晶相を生成し得る温度であればよく。
Bサイト元素原料として使用する化合物の種類により異
るが、400〜1100℃、好ましくは500〜100
0℃である。
るが、400〜1100℃、好ましくは500〜100
0℃である。
Pb5Oaと、仮焼したBサイト元素原料との混合物の
仮焼温度は、Bサイト元素の構成成分により異なるが4
00〜1000℃、好ましくは500〜900℃である
。
仮焼温度は、Bサイト元素の構成成分により異なるが4
00〜1000℃、好ましくは500〜900℃である
。
鉛含有ペロブスカイト型複合酸化物からなる誘電体磁器
は、PT、PZT等で代表されるが、実用的な多(の誘
電体磁器は、Bサイト元素が複数であるPT、PZ (
ジルコン酸鉛)、PZT等にさらに第2成分、第3成分
を添加固溶した組成を有する。これら複数のBサイト元
素からなるBサイト元素原料は、当該金属の酸化物、熱
分解性化合物等を混合して使用してもよいが、当該金属
の溶媒可溶性化合物の均一な混合溶液に沈澱剤を添加し
て共沈させた沈澱物を用いてもよい。特に。
は、PT、PZT等で代表されるが、実用的な多(の誘
電体磁器は、Bサイト元素が複数であるPT、PZ (
ジルコン酸鉛)、PZT等にさらに第2成分、第3成分
を添加固溶した組成を有する。これら複数のBサイト元
素からなるBサイト元素原料は、当該金属の酸化物、熱
分解性化合物等を混合して使用してもよいが、当該金属
の溶媒可溶性化合物の均一な混合溶液に沈澱剤を添加し
て共沈させた沈澱物を用いてもよい。特に。
Bサイト元素の組成上の均一性から、共沈させた沈澱物
が好ましく使用される。
が好ましく使用される。
本発明を、実施例によりさらに詳細に説明する。
ただし2本発明の範囲は、下記実施例により何等限定さ
れるものではない。
れるものではない。
以下の実施例において、各原料の使用量は、純分量を示
す。
す。
実施例1 rPZ−PT−PMN系原料粉末の製造」
(試料1)
攪拌機および滴下器を備えた11フラスコに。
Mg(OCOCHz) z ’ 4HtO; 35.7
0g、水;300m1およびアセトン;100m1を加
えて溶解し均一な溶液を調製した。この溶液に無水シュ
ウ酸;16.3gを水: 75m1およびアセトン;2
5m1に溶解した溶液を室温下30間で滴下した後、室
温下に1時間攪拌を継続し反応を熟成した。反応により
生成したMgシュウ酸塩を濾取し、100℃の温度に5
時間保持して乾燥した。
0g、水;300m1およびアセトン;100m1を加
えて溶解し均一な溶液を調製した。この溶液に無水シュ
ウ酸;16.3gを水: 75m1およびアセトン;2
5m1に溶解した溶液を室温下30間で滴下した後、室
温下に1時間攪拌を継続し反応を熟成した。反応により
生成したMgシュウ酸塩を濾取し、100℃の温度に5
時間保持して乾燥した。
乾燥粉末中のMg含量を9強熱灰化試料の蛍光X線分析
により分析した結果、Mg;15.89 wt%であっ
た。
により分析した結果、Mg;15.89 wt%であっ
た。
別に、 TiCl4;41.5gとZr0Ch ・68
zO;23.2gとを冷水; 130gに溶解した溶液
と、 NbzOs;26−6gを20%フッ酸水溶液:
350gに溶解した溶液とを混合し、メタノールH1
00mlを加えて均一溶液を作成した。
zO;23.2gとを冷水; 130gに溶解した溶液
と、 NbzOs;26−6gを20%フッ酸水溶液:
350gに溶解した溶液とを混合し、メタノールH1
00mlを加えて均一溶液を作成した。
この溶液を2000m1のテフロン製フラスコに入れ。
25%アンモニア水; 380gとメタノール;180
m1との混合溶液を、室温下に30分間で滴下した。生
成した沈澱(共沈水酸化物)をポリプロピレン製ヌッチ
ェを用いて吸引濾過し、濾過ケーキを再度テフロン製フ
ラスコに戻し、水: 300m lを加えて1時間攪拌
し、ケーキに付着したアンモニウム塩を溶解し、ケーキ
を洗浄した。この懸濁液を前記ヌッチェを用いて吸引濾
過し、再度ケーキを濾取した。
m1との混合溶液を、室温下に30分間で滴下した。生
成した沈澱(共沈水酸化物)をポリプロピレン製ヌッチ
ェを用いて吸引濾過し、濾過ケーキを再度テフロン製フ
ラスコに戻し、水: 300m lを加えて1時間攪拌
し、ケーキに付着したアンモニウム塩を溶解し、ケーキ
を洗浄した。この懸濁液を前記ヌッチェを用いて吸引濾
過し、再度ケーキを濾取した。
ケーキの洗浄操作をさらに2回繰返し、最終の濾過ケー
キを100℃の温度に5時間保持して乾燥した。乾燥粉
末中のTi、ZrおよびNb含量を強熱灰化試料の蛍光
X線分析により分析した結果、TiH15,66&4t
%、Zr:11,03−%およびNb;27.73wt
%であった。
キを100℃の温度に5時間保持して乾燥した。乾燥粉
末中のTi、ZrおよびNb含量を強熱灰化試料の蛍光
X線分析により分析した結果、TiH15,66&4t
%、Zr:11,03−%およびNb;27.73wt
%であった。
先に得たMgシュウ酸塩の乾燥粉末;12.8gと、T
i、ZrおよびNbの共沈水酸化物の乾燥粉末:55.
8gとを。
i、ZrおよびNbの共沈水酸化物の乾燥粉末:55.
8gとを。
ボールミルに仕込みアセトン溶媒中で24時間混合M砕
した後、アセトンを留去して乾燥し、Bサイト元素原料
の混合粉末を得た。ついで、この混合粉末を800℃の
温度に2時間保持して仮焼した。
した後、アセトンを留去して乾燥し、Bサイト元素原料
の混合粉末を得た。ついで、この混合粉末を800℃の
温度に2時間保持して仮焼した。
前記で得た仮焼粉末;3B、72gおよびpb304;
91.41gをボールミルに仕込み、アセトン溶媒中で
24時間混合粉砕した後、アセトン留去し乾燥した。こ
の乾燥粉末を800℃の温度に2時間保持して仮焼し、
下記組成の原料粉末; 128gを得た。
91.41gをボールミルに仕込み、アセトン溶媒中で
24時間混合粉砕した後、アセトン留去し乾燥した。こ
の乾燥粉末を800℃の温度に2時間保持して仮焼し、
下記組成の原料粉末; 128gを得た。
0、135PbZrOs−0,365PbTiOs−0
,5Pb (Mg t 1Jbz/+) 03(試料2
) 試料1と同一の条件で製造したMgシュウ酸塩の乾燥粉
末;10.2g、TtO*;11.66g、Zr0z:
6.65gおよびNbzOs;17.72gをボールミ
ルを用いて試料1と同一の条件で湿式混合粉砕した後、
溶媒を留去し、乾燥したBサイト元素原料の混合粉末を
得た。この混合粉末を800℃×2時間の条件で仮焼し
、仮焼粉末を得た。
,5Pb (Mg t 1Jbz/+) 03(試料2
) 試料1と同一の条件で製造したMgシュウ酸塩の乾燥粉
末;10.2g、TtO*;11.66g、Zr0z:
6.65gおよびNbzOs;17.72gをボールミ
ルを用いて試料1と同一の条件で湿式混合粉砕した後、
溶媒を留去し、乾燥したBサイト元素原料の混合粉末を
得た。この混合粉末を800℃×2時間の条件で仮焼し
、仮焼粉末を得た。
得られた仮焼粉末;3B、91gおよびPb、Q4:9
1L41gをボールミルに仕込み、以下試料1と同一の
条件で処理し、試料1と同一の組成の原料粉末;128
gを得た。
1L41gをボールミルに仕込み、以下試料1と同一の
条件で処理し、試料1と同一の組成の原料粉末;128
gを得た。
(試料3)
MgO;2.69g、Ti0z;11.66g、Zr0
z;6.65gおよびNb3O゜;17.72gを、ボ
ールミルを用い試料lと同様に湿式混合粉砕し、乾燥し
た後、800℃×2時間の条件で仮焼し、Bサイト元素
原料の仮焼粉末を得た。
z;6.65gおよびNb3O゜;17.72gを、ボ
ールミルを用い試料lと同様に湿式混合粉砕し、乾燥し
た後、800℃×2時間の条件で仮焼し、Bサイト元素
原料の仮焼粉末を得た。
仮焼粉末;38.70gおよびpbiOn;91.41
gをボールミルに仕込み、以下試料1と同一の条件で処
理し。
gをボールミルに仕込み、以下試料1と同一の条件で処
理し。
試料1と同一の組成の原料粉末;12ggを得た。
(比較試料1):Bサイト元素原料の仮焼をしない場合
MgO;、2.69g、 Ti0z ; 11.66g
、 Zr0z ;6.65g、 NbzOs ;17゜
72gおよびPbJ4;91.41gを、ボールミルに
仕込み、アセトン溶媒中で24時間混合粉砕した後、溶
媒を留去し乾燥した。この乾燥粉末を、800℃×2時
間の条件で仮焼し、試料1と同一の組成の原料粉末:1
26gを得た。
、 Zr0z ;6.65g、 NbzOs ;17゜
72gおよびPbJ4;91.41gを、ボールミルに
仕込み、アセトン溶媒中で24時間混合粉砕した後、溶
媒を留去し乾燥した。この乾燥粉末を、800℃×2時
間の条件で仮焼し、試料1と同一の組成の原料粉末:1
26gを得た。
(比較試料2):Aサイト元素原料がpboの場合試料
3と同一の条件で製造したBサイト元素原料の仮焼粉末
;29gおよびPbO;66.96gをボールミルに仕
込み、以下試料1と同一の条件で処理し、試料1と同一
の組成の原料粉末:98gを得た。
3と同一の条件で製造したBサイト元素原料の仮焼粉末
;29gおよびPbO;66.96gをボールミルに仕
込み、以下試料1と同一の条件で処理し、試料1と同一
の組成の原料粉末:98gを得た。
(評価試験)
(A)原料粉末の特性
実施例1で得た各原料粉末の粒度分布を、遠心沈降式粒
度分布測定機(島津製作所製・5A−CP型)を用いて
測定した。
度分布測定機(島津製作所製・5A−CP型)を用いて
測定した。
(A−1)平均粒径;D、。
累積重量百分率が50%を示す粒径iDs。を平均粒径
として第1表中に示す。
として第1表中に示す。
(A−2)粒度分布i D90/ DIG累積重量百分
率が90%を示す粒径iD9゜を。
率が90%を示す粒径iD9゜を。
累積重量百分率が10%を示す粒径:Dl。で除した値
iD、。/ D Ioを9粒度分布として第1表中に示
す。
iD、。/ D Ioを9粒度分布として第1表中に示
す。
(B)誘電体磁器の特性
実施例1で得た各原料粉末を使用して誘電体磁器を製造
した。
した。
原料粉末;3gを直径20mmの金型に入れ、 2To
n/dの圧力で加圧成形し、成形体を得た。この成形体
を、マグネシアルツボに入れて蓋をし、さらに大きなア
ルミナルツボに入れて蓋をし、焼成炉中において焼結し
誘電体磁器を得た。
n/dの圧力で加圧成形し、成形体を得た。この成形体
を、マグネシアルツボに入れて蓋をし、さらに大きなア
ルミナルツボに入れて蓋をし、焼成炉中において焼結し
誘電体磁器を得た。
各試料について、マグネシアルツボ中に雰囲気調整用の
pbo敷粉を同封し、 toso℃、 1150℃およ
び1250℃の3水準の温度で焼結した。
pbo敷粉を同封し、 toso℃、 1150℃およ
び1250℃の3水準の温度で焼結した。
電気特性測定用の電極として、得られた誘電体磁器の両
面にAgペーストを焼付けた。
面にAgペーストを焼付けた。
(B−1)成形体密度
加圧成形体の寸法密度を測定した。測定結果を第1表中
に示す。
に示す。
(B−2)焼結密度
誘電体磁器の焼結密度を水中置換法により測定した。特
定結果を第1表中に示す。
定結果を第1表中に示す。
(B−3)誘電特性;8およびtan δLCZメータ
ー(横河ヒユーレットパンカード製−4276A) t
−使用し、201℃・1KHzの条件で比誘電率;εお
よび誘電正接; tan δを測定した。測定結果を第
1表中に示す。
ー(横河ヒユーレットパンカード製−4276A) t
−使用し、201℃・1KHzの条件で比誘電率;εお
よび誘電正接; tan δを測定した。測定結果を第
1表中に示す。
(B−4)圧電係数;Kp
100℃のシリコンオイル中で、 40KV/■の直流
電界を30分間印加し、24時間放置した後8日本電子
材料工業会標準規格: EMA S −6001に基づ
いて共振反共振周波数を測定し、その測定値からKpを
算出した。Kpの値を第1表に示す。
電界を30分間印加し、24時間放置した後8日本電子
材料工業会標準規格: EMA S −6001に基づ
いて共振反共振周波数を測定し、その測定値からKpを
算出した。Kpの値を第1表に示す。
本発明の方法で製造した原料粉末は、低温焼結性が極め
て優れている。
て優れている。
前記実施例の結果をまとめた第1表から明らかな如く、
従来法で製造した原料粉末(比較試料)の加圧成形体は
、 、 1150℃以下の焼結温度では。
従来法で製造した原料粉末(比較試料)の加圧成形体は
、 、 1150℃以下の焼結温度では。
吸水性のある誘電体磁器として実用的でない焼結体しか
得られず、実用的な誘電体磁器は、焼結を1250℃の
高温度で行わなければ製造できない。
得られず、実用的な誘電体磁器は、焼結を1250℃の
高温度で行わなければ製造できない。
本発明の方法で製造した原料粉末の加圧成形体は、 1
050℃の焼結温度で、従来法による原料粉末の加圧成
形体の1250℃の焼結体と同等またはそれ以上の焼結
密度を有する焼結体が得られ、焼結温度を上昇させるこ
とにより、さらに焼結密度の高い焼結体が得られる。実
施例においては、PZ−PT−PMN系のみを例示した
が、その他の組成の系においても同様の結果が得られる
ことを確認している。また、これらの焼結体は、いずれ
も誘電体磁器として充分に実用的な誘電体特性を示す。
050℃の焼結温度で、従来法による原料粉末の加圧成
形体の1250℃の焼結体と同等またはそれ以上の焼結
密度を有する焼結体が得られ、焼結温度を上昇させるこ
とにより、さらに焼結密度の高い焼結体が得られる。実
施例においては、PZ−PT−PMN系のみを例示した
が、その他の組成の系においても同様の結果が得られる
ことを確認している。また、これらの焼結体は、いずれ
も誘電体磁器として充分に実用的な誘電体特性を示す。
各種誘電体素子、特に積層型素子の製造に際し本発明の
方法で製造した原料粉末を使用することにより、電極材
料の選択の範囲が拡がり、それらを安価に製造すること
が−できる。
方法で製造した原料粉末を使用することにより、電極材
料の選択の範囲が拡がり、それらを安価に製造すること
が−できる。
本発明は、鉛含有ペロブスカイト型複合酸化物からなる
誘電体磁器製造用の低温焼結性原料粉末の製造方法およ
びその結果として安価な誘電体素子を提供するものであ
り、その産業的意義は極めて大である。
誘電体磁器製造用の低温焼結性原料粉末の製造方法およ
びその結果として安価な誘電体素子を提供するものであ
り、その産業的意義は極めて大である。
特許出願人 科学技術庁無機材質研究所(430)日
本曹達株式会社
本曹達株式会社
Claims (3)
- (1)Ti、Zr、Nb、Ta、Mg、Ni、Znおよ
びMnよりなる群から選ばれた1種または2種以上を金
属種とする酸化物もしくは熱分解性化合物またはそれら
の混合物を400〜1100℃の温度下において仮焼し
、得られた粉末と四三酸化鉛(Pb_3O_4)とを混
合し、該混合物を400〜1000℃の温度下において
仮焼することを特徴とする鉛含有ペロブスカイト型複合
酸化物からなる誘電体磁器製造用の低温焼結性原料粉末
の製造方法 - (2)Ti、Zr、Nb、Ta、Mg、Ni、Znまた
はMnを金属種とする熱分解性化合物が該金属の水酸化
物、炭酸塩またはカルボン酸塩である特許請求の範囲第
(1)項記載の製造方法 - (3)Ti、Zr、Nb、Ta、Mg、Ni、Znおよ
びMnよりなる群から選ばれた2種以上を金属種とする
熱分解性化合物が、共沈水酸化物または共沈シュウ酸塩
である特許請求の範囲第(1)項記載の製造方法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60073716A JPS61232217A (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | 誘電体磁器製造用の低温焼結性原料粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60073716A JPS61232217A (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | 誘電体磁器製造用の低温焼結性原料粉末の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61232217A true JPS61232217A (ja) | 1986-10-16 |
Family
ID=13526221
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60073716A Pending JPS61232217A (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | 誘電体磁器製造用の低温焼結性原料粉末の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61232217A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2659960A1 (fr) * | 1990-03-26 | 1991-09-27 | Murata Manufacturing Co | Composants en porcelaine a frittage a basse temperature. |
WO2004005194A1 (ja) * | 2002-07-09 | 2004-01-15 | Daihatsu Motor Co., Ltd. | ペロブスカイト型複合酸化物の製造方法 |
US7205257B2 (en) | 2002-07-09 | 2007-04-17 | Daihatsu Motor Co., Ltd. | Catalyst for clarifying exhaust gas |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5727974A (en) * | 1980-07-24 | 1982-02-15 | Murata Manufacturing Co | Dielectric ceramic composition |
JPS59195575A (ja) * | 1983-04-21 | 1984-11-06 | 株式会社村田製作所 | セラミツク原料粉末の製造方法 |
JPS61186219A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-08-19 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | 鉛含有微粉末の製造法 |
-
1985
- 1985-04-08 JP JP60073716A patent/JPS61232217A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US7381394B2 (en) | 2002-07-09 | 2008-06-03 | Daihatsu Motor Co., Ltd. | Method for producing perovskite-type composite oxide |
CN100393629C (zh) * | 2002-07-09 | 2008-06-11 | 大发工业株式会社 | 钙钛矿型复合氧化物的制造方法 |
US7622418B2 (en) | 2002-07-09 | 2009-11-24 | Daihatsu Motor Company, Ltd. | Method for producing exhaust gas purifying catalyst |
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