JPS59203784A - 非酸化物系セラミックス焼結体のモリブデンシリサイド被膜の形成方法 - Google Patents
非酸化物系セラミックス焼結体のモリブデンシリサイド被膜の形成方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野1
本発明は非酸化物系セラミックス焼結体の導電性被膜の
形成方法に関する。
形成方法に関する。
[発明の技術的背景とその問題点]
従来より、セラミックス焼結体を金属部材に接合させる
ためにセラミックス焼結体の表面に導電性被膜を形成さ
せることが行われている。
ためにセラミックス焼結体の表面に導電性被膜を形成さ
せることが行われている。
この導電性被膜の形成方法としては、セラミックス焼結
体表面にモリブデン粉末とマンガン粉末とを主成分とす
るモリブデン−マンガンメタライズペーストを塗布し、
還元雰囲気中で焼成する方法が一般に行なわれており、
まれにセラミックス焼結体をモリブデン酸リチウム水溶
液中に浸漬し、還元雰囲気中で焼成する方法も行なわれ
ている。
体表面にモリブデン粉末とマンガン粉末とを主成分とす
るモリブデン−マンガンメタライズペーストを塗布し、
還元雰囲気中で焼成する方法が一般に行なわれており、
まれにセラミックス焼結体をモリブデン酸リチウム水溶
液中に浸漬し、還元雰囲気中で焼成する方法も行なわれ
ている。
これらの方法は、いずれもアルミナ等の酸化物系レラミ
ックス焼結体に適用され、成功を治めてぎているが、近
年、耐摩耗性や高温特性の良好なことで脚光を浴びてい
る窒化ケイ素等の非酸化物系セラミックス焼結体につい
ては検討の余地があり、例えば前者の方法では導電性被
膜の形成が困難であることから、これらの方法は非酸化
物系セラミックス焼結体には必ずしも適用できないこと
がわかっている。そのため例えば反応焼結法により得ら
れたポーラスな窒化ケイ素製セラミックス焼結体表面に
モリブデン酸アンモニウム塩を含浸させ、還元してモリ
ブデンからなる導電性被膜を形成させる方法も試みられ
ている。
ックス焼結体に適用され、成功を治めてぎているが、近
年、耐摩耗性や高温特性の良好なことで脚光を浴びてい
る窒化ケイ素等の非酸化物系セラミックス焼結体につい
ては検討の余地があり、例えば前者の方法では導電性被
膜の形成が困難であることから、これらの方法は非酸化
物系セラミックス焼結体には必ずしも適用できないこと
がわかっている。そのため例えば反応焼結法により得ら
れたポーラスな窒化ケイ素製セラミックス焼結体表面に
モリブデン酸アンモニウム塩を含浸させ、還元してモリ
ブデンからなる導電性被膜を形成させる方法も試みられ
ている。
しかしながら、この方法は導電性被膜が窒化ケイ素セラ
ミックスの熱膨張係数とほぼ等しい熱膨張係数を有する
モリブデンからなるので、セラミックス焼結体どうしを
接合させる場合は有効であるが、非酸化物系セラミック
ス焼結体を金属部材、特に鋼材と接合させる場合は十分
な接合強度が得られないという問題があった。
ミックスの熱膨張係数とほぼ等しい熱膨張係数を有する
モリブデンからなるので、セラミックス焼結体どうしを
接合させる場合は有効であるが、非酸化物系セラミック
ス焼結体を金属部材、特に鋼材と接合させる場合は十分
な接合強度が得られないという問題があった。
[発明の目的]
本発明者等はこのような点に対処して鋭意研究を進めた
結果、従来からアルミナ等の酸化物系のセラミックス焼
結体に適用されてきたモリブデン酸リチウム法が窒化ケ
イ素等の非酸化物系セラミックス焼結体に対しては特に
有効であることを見出した。
結果、従来からアルミナ等の酸化物系のセラミックス焼
結体に適用されてきたモリブデン酸リチウム法が窒化ケ
イ素等の非酸化物系セラミックス焼結体に対しては特に
有効であることを見出した。
すなわち、モリブデン酸リチウム法におけるリチウム等
の金属が窒化ケイ素セラミックス焼結体表面を荒らす結
果、反応および接合が強化され、有効であることを見出
した。
の金属が窒化ケイ素セラミックス焼結体表面を荒らす結
果、反応および接合が強化され、有効であることを見出
した。
本発明はこのような知見に基づいてなされたもので、金
属部材特に鋼材との接合を強力なものにするための、非
酸化物系セラミックス焼結体の導電性被膜の形成方法を
提供することを目的とする。
属部材特に鋼材との接合を強力なものにするための、非
酸化物系セラミックス焼結体の導電性被膜の形成方法を
提供することを目的とする。
[発明の概要]
すなわち本発明方法は、非酸化物系レラミックス焼結体
表面にモリブデン酸の金属塩を被着し、加熱してこの金
属塩を熔融後、還元雰囲気中で焼3− 成することを特徴とする。
表面にモリブデン酸の金属塩を被着し、加熱してこの金
属塩を熔融後、還元雰囲気中で焼3− 成することを特徴とする。
本発明に使用する非酸化物系セラミックス焼結体として
は、窒化ケイ素、炭化ケイ素、ザイアロン等があげられ
、特に常圧焼結、ホットプレス等により得られる緻密質
のものが使用できる。
は、窒化ケイ素、炭化ケイ素、ザイアロン等があげられ
、特に常圧焼結、ホットプレス等により得られる緻密質
のものが使用できる。
本発明に使用するモリブデン酸の金属塩としては、モリ
ブデン酸リチウム、モリブデン酸カリウム、モリブデン
酸カルシウム、モリブデン酸ナトリウム、モリブデン酸
鉛等があげられる。
ブデン酸リチウム、モリブデン酸カリウム、モリブデン
酸カルシウム、モリブデン酸ナトリウム、モリブデン酸
鉛等があげられる。
本発明において、非酸化物系セラミックス焼結体表面に
モリブデン酸の金属塩を被着するには、モリブデン酸金
属塩の水溶液をセラミックス焼結体表面に塗布あるいは
浸漬することにより行なうことができる。この後100
〜200℃に加熱して乾燥し、さらに空気中で700〜
850℃で5〜30分間加熱して金属塩を熔融し、水素
雰囲気あるいはホーミングガス等の還元雰囲気中で12
00〜1500℃に加熱して焼成することにより導電性
被膜を形成させる。
モリブデン酸の金属塩を被着するには、モリブデン酸金
属塩の水溶液をセラミックス焼結体表面に塗布あるいは
浸漬することにより行なうことができる。この後100
〜200℃に加熱して乾燥し、さらに空気中で700〜
850℃で5〜30分間加熱して金属塩を熔融し、水素
雰囲気あるいはホーミングガス等の還元雰囲気中で12
00〜1500℃に加熱して焼成することにより導電性
被膜を形成させる。
なお本発明においで、モリブデン酸金属塩を空4−
気中で加熱して熔融させる理由は、レラミックス焼結体
との密着性を強化し濡れ竹を改善することによる。
との密着性を強化し濡れ竹を改善することによる。
このような方法により形成された導電性被膜は、例えば
モリブデン酸金属塩と窒化ケイ素とが反応して形成され
たもので、窒化ケイ素と金属との中間の熱膨張係数を有
するモリブデンシリサイドから主に形成されているので
、接合強度の大きいセラミックス焼結体と金属部材との
接合体を得ることができる。
モリブデン酸金属塩と窒化ケイ素とが反応して形成され
たもので、窒化ケイ素と金属との中間の熱膨張係数を有
するモリブデンシリサイドから主に形成されているので
、接合強度の大きいセラミックス焼結体と金属部材との
接合体を得ることができる。
[発明の実施例]
次に本発明の実施例について説明する。
窒化ケイ素製セラミックス焼結体の表面に13重産気の
モリブデン酸すヂウム水溶液を塗布し、150℃で乾燥
した後、空気中で800℃、10分間加熱してモリブデ
ン酸リチウムを熔融1ノ、次いで窒素:水素−1:1の
ホーミングガス中で1400℃で60分間加熱して焼成
した。
モリブデン酸すヂウム水溶液を塗布し、150℃で乾燥
した後、空気中で800℃、10分間加熱してモリブデ
ン酸リチウムを熔融1ノ、次いで窒素:水素−1:1の
ホーミングガス中で1400℃で60分間加熱して焼成
した。
1r1−られた導電性被膜は、モリブデンシリサイド(
Mo 53 i 3 ) テあツtc。
Mo 53 i 3 ) テあツtc。
このJこうにして導電性被膜を形成させた後、ニッケル
めっぎを施し、銀ろうを介して鋼材と接合したところ、
接合強度は2.3kg/m(であった。
めっぎを施し、銀ろうを介して鋼材と接合したところ、
接合強度は2.3kg/m(であった。
[発明の効果1
以上説明したように本発明方法によれば、非酸化物系セ
ラミックス焼結体、特に窒化ケイ素系セラミックス焼結
体に対してリチウムが攻撃して接合を強化し、また形成
された導電性被膜は主にセラミックス焼結体と金属との
中間の熱膨張係数を有するモリブデンシリサイドからな
るので、接合時および接合後の界面での剥離やクラック
を抑えることができる。
ラミックス焼結体、特に窒化ケイ素系セラミックス焼結
体に対してリチウムが攻撃して接合を強化し、また形成
された導電性被膜は主にセラミックス焼結体と金属との
中間の熱膨張係数を有するモリブデンシリサイドからな
るので、接合時および接合後の界面での剥離やクラック
を抑えることができる。
代即人弁理士 須 山 佐 −
= 7−
Claims (5)
- (1)非酸化物系セラミックス焼結体表面にモリブデン
酸の金属塩を被着し、加熱してこの金属塩を熔融後、還
元雰囲気中で焼成することを特徴とする非酸化物系セラ
ミックス焼結体の導電性被膜の形成方法。 - (2)非酸化物系セラミックス焼結体は窒化ケイ素系セ
ラミックス焼結体である特許請求の範囲第1項記載の非
酸化物系セラミックス焼結体の導電性被膜の形成方法。 - (3)モリブデン酸の金属塩はモリブデン酸リチウムで
ある特許請求の範囲第1項または第2項記載の非酸化物
系セラミックス焼結体の導電性被膜の形成方法。 - (4)熔融は空気中で700〜850℃の温度で加熱す
ることにより行なわれる特許請求の範囲第1項ないし第
3項のいずれか1項記載の非酸化物系セラミックス焼結
体の導電性被膜の形成方法。 - (5)導電性被膜はモリブデンシリサイドからなる特許
請求の範囲第1項ないし第4項のいずれか1項記載の非
酸化物系セラミックス焼結体の導電性被膜の形成方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58076000A JPS59203784A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 非酸化物系セラミックス焼結体のモリブデンシリサイド被膜の形成方法 |
US06/603,452 US4614689A (en) | 1983-04-28 | 1984-04-24 | Non-oxide-series-sintered ceramic body and method for forming conducting film on the surface of non-oxide-series-sintered ceramic body |
EP84104768A EP0124836B1 (en) | 1983-04-28 | 1984-04-27 | Non-oxide-series-sintered ceramic body and method for forming conductive film on the surface of non-oxide-series-sintered ceramic body |
DE8484104768T DE3479029D1 (en) | 1983-04-28 | 1984-04-27 | Non-oxide-series-sintered ceramic body and method for forming conductive film on the surface of non-oxide-series-sintered ceramic body |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58076000A JPS59203784A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 非酸化物系セラミックス焼結体のモリブデンシリサイド被膜の形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59203784A true JPS59203784A (ja) | 1984-11-17 |
JPS6365635B2 JPS6365635B2 (ja) | 1988-12-16 |
Family
ID=13592530
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58076000A Granted JPS59203784A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 非酸化物系セラミックス焼結体のモリブデンシリサイド被膜の形成方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4614689A (ja) |
EP (1) | EP0124836B1 (ja) |
JP (1) | JPS59203784A (ja) |
DE (1) | DE3479029D1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5178647A (en) * | 1983-07-29 | 1993-01-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Wear-resistant member |
JPS61159701A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-19 | 株式会社東芝 | サ−マルヘツドおよびその製造方法 |
JPS61172754A (ja) * | 1985-01-26 | 1986-08-04 | Kyocera Corp | サ−マルヘツド |
US4703884A (en) * | 1985-05-20 | 1987-11-03 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Steel bonded dense silicon nitride compositions and method for their fabrication |
US4704338A (en) * | 1985-05-20 | 1987-11-03 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Steel bonded dense silicon nitride compositions and method for their fabrication |
JPS6265991A (ja) * | 1985-09-13 | 1987-03-25 | 株式会社東芝 | 高熱伝導性セラミツクス基板 |
DE3630066C1 (de) * | 1986-09-04 | 1988-02-04 | Heraeus Gmbh W C | Verfahren zur Herstellung von gesinterten metallisierten Aluminiumnitrid-Keramikkoerpern |
DE3785750T2 (de) * | 1987-02-28 | 1993-09-02 | Taiyo Yuden Kk | Elektrische widerstaende, elektrische widerstandspaste und herstellungsverfahren. |
BE1001563A3 (fr) * | 1988-04-12 | 1989-12-05 | Inst Nat Interuniversitaire De | Composites ceramique-ceramique, utiles pour applications electriques. |
DE4202804A1 (de) * | 1992-01-31 | 1993-08-05 | Man Technologie Gmbh | Verfahren zur herstellung von faserverbund-keramikgegenstaenden |
US5300322A (en) * | 1992-03-10 | 1994-04-05 | Martin Marietta Energy Systems, Inc. | Molybdenum enhanced low-temperature deposition of crystalline silicon nitride |
US5626943A (en) * | 1994-06-02 | 1997-05-06 | The Carborundum Company | Ultra-smooth ceramic substrates and magnetic data storage media prepared therefrom |
US20080131724A1 (en) * | 2006-12-05 | 2008-06-05 | Henry Shiu-Hung Chu | Ceramic armor, methods of joining a carbide with a metal-comprising piece, and methods of metallizing carbide-comprising surfaces |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5849677A (ja) * | 1981-08-28 | 1983-03-23 | 京セラ株式会社 | 窯化珪素焼結体の金属化方法 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE865721C (de) * | 1945-03-20 | 1953-02-05 | Deutsche Edelstahlwerke Ag | Poroese Koerper ohne oder mit Ausfuellung der Poren durch ein Metall |
US2780561A (en) * | 1952-08-01 | 1957-02-05 | Eitel Mccullough Inc | Method of making metalized ceramic structures for vacuum tube envelopes |
DE1060517B (de) * | 1957-11-22 | 1959-07-02 | Siemens Planiawerke Ag | Elektrisch hochbelastbare Kohle- oder Graphitelektrode |
US2993814A (en) * | 1958-05-24 | 1961-07-25 | Foerderung Forschung Gmbh | Heating conductor and method of making the same |
US3215555A (en) * | 1962-03-29 | 1965-11-02 | Rca Corp | Methods and materials for metallizing ceramic or glass bodies |
GB1006417A (en) * | 1964-04-14 | 1965-09-29 | Standard Telephones Cables Ltd | Ceramic-metal seals |
FR1595169A (ja) * | 1967-12-20 | 1970-06-08 | ||
US3713865A (en) * | 1968-07-05 | 1973-01-30 | Ducommun Inc | Composite product and method of making same |
US3620799A (en) * | 1968-12-26 | 1971-11-16 | Rca Corp | Method for metallizing a ceramic body |
US3801363A (en) * | 1970-02-16 | 1974-04-02 | Coors Porcelain Co | Method for metalizing ceramic |
CH571268A5 (ja) * | 1970-07-24 | 1975-12-31 | Siemens Ag | |
DE2456435C2 (de) * | 1974-11-29 | 1983-12-29 | Volkswagenwerk Ag, 3180 Wolfsburg | Verfahren zur Herstellung eines einstückigen Werkstücks, das in einem ersten Bereich aus einem nichtoxidischen keramischen Werkstoff besteht und bei dem ein zweiter Bereich zur Ausbildung einer Löt- oder Schweißverbindung mit einem Metallteil geeignet ist |
US4092459A (en) * | 1975-01-13 | 1978-05-30 | Graham Magnetics Incorporated | Powder products |
US4252862A (en) * | 1977-06-10 | 1981-02-24 | Nobuo Nishida | Externally ornamental golden colored part |
CH640885A5 (de) * | 1978-07-21 | 1984-01-31 | Suisse Horlogerie Rech Lab | Mit einem harten ueberzug versehene maschinenelemente. |
US4293619A (en) * | 1979-06-11 | 1981-10-06 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Silicon-nitride and metal composite |
JPS57106586A (en) * | 1980-12-24 | 1982-07-02 | Ngk Spark Plug Co | Silicon nitride ceramic with inorganic electroconductive material surface and manufacture |
JPS59182283A (ja) * | 1983-03-29 | 1984-10-17 | 株式会社東芝 | 導電性セラミツクス焼結体の製造方法 |
-
1983
- 1983-04-28 JP JP58076000A patent/JPS59203784A/ja active Granted
-
1984
- 1984-04-24 US US06/603,452 patent/US4614689A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-04-27 DE DE8484104768T patent/DE3479029D1/de not_active Expired
- 1984-04-27 EP EP84104768A patent/EP0124836B1/en not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5849677A (ja) * | 1981-08-28 | 1983-03-23 | 京セラ株式会社 | 窯化珪素焼結体の金属化方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3479029D1 (en) | 1989-08-24 |
JPS6365635B2 (ja) | 1988-12-16 |
EP0124836A2 (en) | 1984-11-14 |
EP0124836A3 (en) | 1986-07-23 |
US4614689A (en) | 1986-09-30 |
EP0124836B1 (en) | 1989-07-19 |
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