JPS6011289A - 金属化セラミツクス焼結体およびその製造方法 - Google Patents
金属化セラミツクス焼結体およびその製造方法Info
- Publication number
- JPS6011289A JPS6011289A JP11387383A JP11387383A JPS6011289A JP S6011289 A JPS6011289 A JP S6011289A JP 11387383 A JP11387383 A JP 11387383A JP 11387383 A JP11387383 A JP 11387383A JP S6011289 A JPS6011289 A JP S6011289A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic sintered
- sintered body
- oxide
- molybdenum oxide
- metallized
- Prior art date
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- Ceramic Products (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野]
本発明は窒化ケイ素等の金属化の困難な非酸化物系セラ
ミックス焼結体にも適用可能な金属化セラミックス焼結
体およびその製造方法に関する。
ミックス焼結体にも適用可能な金属化セラミックス焼結
体およびその製造方法に関する。
[発明の技術的背景とその問題点]
従来より、セラミックス焼結体を金属部材に接合させる
ために、セラミックス焼結体表面に、モリブデン粉末と
マンガン粉末とを主成分とし有機バインダでペースト状
にしたモリブデン−マンガンペーストを塗布し、還元雰
囲気中で焼成して金属化させることが行なわれている。
ために、セラミックス焼結体表面に、モリブデン粉末と
マンガン粉末とを主成分とし有機バインダでペースト状
にしたモリブデン−マンガンペーストを塗布し、還元雰
囲気中で焼成して金属化させることが行なわれている。
この方法はセラミックス焼結体がアルミナ等の酸化物系
セラミックス焼結体の場合は有効であるが、窒化ケイ素
等の非酸化物系セラミックス焼結体の場合は金属化が困
難であるという欠点があった。
セラミックス焼結体の場合は有効であるが、窒化ケイ素
等の非酸化物系セラミックス焼結体の場合は金属化が困
難であるという欠点があった。
[発明の目的]
本発明はこのような点に対拠してなされたもので金属化
が困難とされている非酸化物系セラミックス焼結体にも
適用可能な金属化セラミックス焼結体およびその製造方
法を提供することを目的とする。
が困難とされている非酸化物系セラミックス焼結体にも
適用可能な金属化セラミックス焼結体およびその製造方
法を提供することを目的とする。
[発明の概要]
すなわち本発明の金属化セラミックス焼結体は、セラミ
ックス焼結体の表面に金属モリブデン膜を形成したこと
を特徴とする。金属モリブデン膜は、酸化モリブデンを
還元して得られたものが良く、この場合本発明焼結体を
得る方法は、酸化モリブデンの入った密閉容器内にセラ
ミックス焼結体を入れ、加熱により酸化モリブデンを昇
華させるとともに昇華した酸化モリブデンでセラミック
ス焼結体表面を被覆し、次いでこの酸化モリブデン被覆
を還元することを特徴とする。
ックス焼結体の表面に金属モリブデン膜を形成したこと
を特徴とする。金属モリブデン膜は、酸化モリブデンを
還元して得られたものが良く、この場合本発明焼結体を
得る方法は、酸化モリブデンの入った密閉容器内にセラ
ミックス焼結体を入れ、加熱により酸化モリブデンを昇
華させるとともに昇華した酸化モリブデンでセラミック
ス焼結体表面を被覆し、次いでこの酸化モリブデン被覆
を還元することを特徴とする。
本発明の対象となるセラミックス焼結体としては、アル
ミナ、フォルステライト等の酸化物系セラミックス焼結
体並びに窒化ケイ素、疾化ケイ素、サイアロン等の非酸
化物系セラミ−ツクス焼結体があげられる。
ミナ、フォルステライト等の酸化物系セラミックス焼結
体並びに窒化ケイ素、疾化ケイ素、サイアロン等の非酸
化物系セラミ−ツクス焼結体があげられる。
本発明において、酸化モリブデンは約600℃より昇華
しはじめ、約795℃に達すると溶融してセラミックス
焼結体表面を濡らすので、加熱条件は600〜800℃
で1〜30分間好ましくは5〜10分間程度が適してい
る。
しはじめ、約795℃に達すると溶融してセラミックス
焼結体表面を濡らすので、加熱条件は600〜800℃
で1〜30分間好ましくは5〜10分間程度が適してい
る。
またセラミックス焼結体表面に被覆された酸化モリブデ
ンを還元してモリブデンの金属膜とするには、水素等の
還元雰囲気中で、アルミナの場合は約1350〜150
0℃で5〜60分間好ましくは10〜40分間、フォル
ステライトの場合は約1250〜1400℃で5〜60
分間好ましくは10〜40分間、窒化ケイ素等の非酸化
物系セラミックス焼結体の場合は1350〜1450℃
で10〜100分間好ましくは30〜60分間加熱する
ことにより行なう。
ンを還元してモリブデンの金属膜とするには、水素等の
還元雰囲気中で、アルミナの場合は約1350〜150
0℃で5〜60分間好ましくは10〜40分間、フォル
ステライトの場合は約1250〜1400℃で5〜60
分間好ましくは10〜40分間、窒化ケイ素等の非酸化
物系セラミックス焼結体の場合は1350〜1450℃
で10〜100分間好ましくは30〜60分間加熱する
ことにより行なう。
このようにして金属化したセラミックス焼結体は、金属
部材あるいは仙のセラミックス焼結体と接合して強固な
接合体を製造することができる。
部材あるいは仙のセラミックス焼結体と接合して強固な
接合体を製造することができる。
[発明の実施例]
次に本発明の実施例について説明する。
実施例
図面に示すような石英ガラス製の容器1の底部に酸化モ
リブデン(MO03)2を3g入れた。
リブデン(MO03)2を3g入れた。
次に窒化ケイ素からなるセラミックス焼結体3を酸化モ
リブデンと直接接しないように格子4の上に間隔をおい
て配置して載せた後、器5をしてマツフル炉で容器全体
を750℃で10分間加熱した。加熱により酸化モリブ
デンは昇華し、容器内を満たしてセラミックス焼結体表
面を被覆した。
リブデンと直接接しないように格子4の上に間隔をおい
て配置して載せた後、器5をしてマツフル炉で容器全体
を750℃で10分間加熱した。加熱により酸化モリブ
デンは昇華し、容器内を満たしてセラミックス焼結体表
面を被覆した。
その後放冷して、容器から酸化モリブデンの被覆された
セラミックス焼結体を取り出し、水素雰囲気中で140
0℃、30分間加熱して還元し、セラミックス焼結体表
面を金属化した。
セラミックス焼結体を取り出し、水素雰囲気中で140
0℃、30分間加熱して還元し、セラミックス焼結体表
面を金属化した。
このようにして表面を金属化したセラミックス焼結体に
ニッケルめっきを施こし、ろう材をはさんで金属部材と
接合したところ、強固な接合体が得られた。
ニッケルめっきを施こし、ろう材をはさんで金属部材と
接合したところ、強固な接合体が得られた。
[発明の効果]
以上の実施例からも明らかなように、本発明によれば、
従来から金属化が困難とされていた窒化−ケイ素等の非
酸化物系セラミックス焼結体にも金属化が可能となるの
で金属部材と接合して、エンジン部品やガスタービン部
品等のセラミックス−金属複合部品を製造することがで
き、また仙のセラミックス焼結体との接合も可能になる
。
従来から金属化が困難とされていた窒化−ケイ素等の非
酸化物系セラミックス焼結体にも金属化が可能となるの
で金属部材と接合して、エンジン部品やガスタービン部
品等のセラミックス−金属複合部品を製造することがで
き、また仙のセラミックス焼結体との接合も可能になる
。
図面は本発明方法に使用する装置の概略を示す断面図で
ある。 1・・・・・・・・・・・・容 器 2・・・・・・・・・・・・酸化モリブデン3・・・・
・・・・・・・・セラミックス焼結体代理人弁理士 須
山 佐 −
ある。 1・・・・・・・・・・・・容 器 2・・・・・・・・・・・・酸化モリブデン3・・・・
・・・・・・・・セラミックス焼結体代理人弁理士 須
山 佐 −
Claims (5)
- (1)セラミックス焼結体の表面に金属モリブデン膜を
形成したことを特徴とする金属化セラミックス焼結体。 - (2)金属モリブデン膜は、酸化モリブデンを還元して
得られたものである特許請求の範囲第1項記載の金属化
セラミックス焼結体。 - (3)酸化モリブデンの入った密閉容器内にセラミック
ス焼結体を入れ、加熱により酸化モリブデンを昇華させ
るとともに昇華した酸化モリブデンでセラミックス焼結
体表面を被覆し、次いでこの酸化モリブデン被覆を還元
することを特徴とする金属化セラミックス焼結体の製造
方法。 - (4)セラミックス焼結体は非酸化物系セラミックス焼
結体である特許請求の範囲第3項記載の金属化セラミッ
クス焼結体の製造方法。 - (5)非酸化物系セラミックス焼結体は窒化ケイ素系セ
ラミックス焼結体である特許請求の範囲第4項記載の金
属化セラミックス焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11387383A JPS6011289A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 金属化セラミツクス焼結体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11387383A JPS6011289A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 金属化セラミツクス焼結体およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6011289A true JPS6011289A (ja) | 1985-01-21 |
JPH0476951B2 JPH0476951B2 (ja) | 1992-12-07 |
Family
ID=14623249
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11387383A Granted JPS6011289A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 金属化セラミツクス焼結体およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6011289A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5551777A (en) * | 1978-10-07 | 1980-04-15 | Ngk Spark Plug Co | Silicon nitride sintered body with metallized surface and its manufacture |
-
1983
- 1983-06-24 JP JP11387383A patent/JPS6011289A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5551777A (en) * | 1978-10-07 | 1980-04-15 | Ngk Spark Plug Co | Silicon nitride sintered body with metallized surface and its manufacture |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0476951B2 (ja) | 1992-12-07 |
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