JPS6369787A - 金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 - Google Patents
金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法Info
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- JPS6369787A JPS6369787A JP21685586A JP21685586A JPS6369787A JP S6369787 A JPS6369787 A JP S6369787A JP 21685586 A JP21685586 A JP 21685586A JP 21685586 A JP21685586 A JP 21685586A JP S6369787 A JPS6369787 A JP S6369787A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
マンガンの金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及
びその製造方法に関する。
びその製造方法に関する。
窒化アルミニウム（ＭＮ＞焼結体は熱伝導性が高く、機
械的強度も優れていることからＩＣ用絶縁基板をはじめ
多くの分野で注目されている。しかし、窒化アルミニウ
ム焼結体は金属２の濡れ性が悪く、電力用トランジスタ
をはじめ各種のＩＣ用基板等として用いるため表面に金
属層を積層しようとしても満足な接着強度が得られない
よいう欠点があった。そこで、各種の方法でＡρＮ焼結
体表面の金属化が試みられているが、まだ満足な方法は
提案されていない。
械的強度も優れていることからＩＣ用絶縁基板をはじめ
多くの分野で注目されている。しかし、窒化アルミニウ
ム焼結体は金属２の濡れ性が悪く、電力用トランジスタ
をはじめ各種のＩＣ用基板等として用いるため表面に金
属層を積層しようとしても満足な接着強度が得られない
よいう欠点があった。そこで、各種の方法でＡρＮ焼結
体表面の金属化が試みられているが、まだ満足な方法は
提案されていない。
他方、酸化アルミニウム（Ｍ ２０３）焼結体の金属化
技術として、モリブデン又はモリブデン−マンガンのペ
ーストを焼結体表面に塗布し、加湿水素又は加湿フォー
ミングガス中において１３００℃〜１７００℃の温度で
焼成するテレフンケン法が知られている。
技術として、モリブデン又はモリブデン−マンガンのペ
ーストを焼結体表面に塗布し、加湿水素又は加湿フォー
ミングガス中において１３００℃〜１７００℃の温度で
焼成するテレフンケン法が知られている。
焼結体中のガラス相が軟化する温度で焼成する点にあり
、この焼成によりＭＯ及びＩｎの表面が酸化されてＭｏ
又はＭｏ−Ｍｎペーストの焼結を促進するだけでなく、
これらの酸化物が焼結体のガラス相に溶は込んでガラス
の流動性を良くし、ガラス相は多孔質のＭＯ又はＭｏ−
Ｍｎ金属化層に移動する。更に、焼成により生成した酸
化物、特にＭｎＯは焼結体中のＭ２Ｏ３及びＳｉＯ２と
反応してＭｎ０−ＡｊＬＬ及びＭｎ０−８ｉ０２を、同
じ＜ＭｏＯはＭ２Ｏ，と反応してＭ２Ｏ３・３Ｍ００を
生成する。このようにして、Ｍ。
、この焼成によりＭＯ及びＩｎの表面が酸化されてＭｏ
又はＭｏ−Ｍｎペーストの焼結を促進するだけでなく、
これらの酸化物が焼結体のガラス相に溶は込んでガラス
の流動性を良くし、ガラス相は多孔質のＭＯ又はＭｏ−
Ｍｎ金属化層に移動する。更に、焼成により生成した酸
化物、特にＭｎＯは焼結体中のＭ２Ｏ３及びＳｉＯ２と
反応してＭｎ０−ＡｊＬＬ及びＭｎ０−８ｉ０２を、同
じ＜ＭｏＯはＭ２Ｏ，と反応してＭ２Ｏ３・３Ｍ００を
生成する。このようにして、Ｍ。
又はＭｏ−Ｍｎの金属化層はＭ２Ｏ３焼結体と機械的及
び化学的結合により強固に接着され、その接着強度は約
４〜７ Ｋｇ／ ｍｍ２程度になる。
び化学的結合により強固に接着され、その接着強度は約
４〜７ Ｋｇ／ ｍｍ２程度になる。
かかるテレフンケン法によりＭＮ焼結体のメタライズを
試みても、■加湿雰囲気で焼成するのでＭＮ焼結体表面
が水蒸気により腐食され又は変質して脆いＭ２Ｏ３層が
生成すること、■ＭＮ焼結体中にはＭ２Ｏ３焼結体のよ
うに約１０００〜１５００℃の低温で軟化するガラス相
等が存在しないこと、■ＭＮとＭｏ、 Ｍｎ及びこれら
の酸化物とは反応性に乏しいこと等の理由により、得ら
れるＭＯ又はＭｏ−Ｍｎの金属化層は接着強度が小さく
気密性も極めて悪かつ金属化層の接着強度が小さいと製
造工程の熱サイクルで剥離しやすく、また金属化層の気
密性が悪いと強度が劣るだけでなく満足な封止性が得ら
れない等の問題がある。
試みても、■加湿雰囲気で焼成するのでＭＮ焼結体表面
が水蒸気により腐食され又は変質して脆いＭ２Ｏ３層が
生成すること、■ＭＮ焼結体中にはＭ２Ｏ３焼結体のよ
うに約１０００〜１５００℃の低温で軟化するガラス相
等が存在しないこと、■ＭＮとＭｏ、 Ｍｎ及びこれら
の酸化物とは反応性に乏しいこと等の理由により、得ら
れるＭＯ又はＭｏ−Ｍｎの金属化層は接着強度が小さく
気密性も極めて悪かつ金属化層の接着強度が小さいと製
造工程の熱サイクルで剥離しやすく、また金属化層の気
密性が悪いと強度が劣るだけでなく満足な封止性が得ら
れない等の問題がある。
本発明者等は、テレフンケン法をＭＮ焼結体の金属化に
応用するため、Ｍ’ｏ又はＭｏ−Ｍｎペースト中にガラ
ス又はＹ２Ｏ３、ＣａＯ等のＭＮ焼結体用助剤を添加し
て不活性雰囲気中で焼成する方法を試みたが、前記の接
着強度及び気密性の問題を解決する結果は得られなかっ
た。即ち、ガラスを用いる前者の方法では酸化されずに
残るＭＯ又はＭｎ及びＭＮとガラスとの濡れ性が悪いた
めに金属化層が強固に接着せず、後者の場合は約１６０
０℃以上の焼成温度でわずかに反応層が形成されたもの
の、助剤の融点が高く金属化層中の液相とならないため
に金層化層は極めて多孔質で接着強度も低かった。
応用するため、Ｍ’ｏ又はＭｏ−Ｍｎペースト中にガラ
ス又はＹ２Ｏ３、ＣａＯ等のＭＮ焼結体用助剤を添加し
て不活性雰囲気中で焼成する方法を試みたが、前記の接
着強度及び気密性の問題を解決する結果は得られなかっ
た。即ち、ガラスを用いる前者の方法では酸化されずに
残るＭＯ又はＭｎ及びＭＮとガラスとの濡れ性が悪いた
めに金属化層が強固に接着せず、後者の場合は約１６０
０℃以上の焼成温度でわずかに反応層が形成されたもの
の、助剤の融点が高く金属化層中の液相とならないため
に金層化層は極めて多孔質で接着強度も低かった。
ム焼結体の表面に強固に接着し且つ気密性の高いモリブ
デン又はモリブデン−マンガンの金属化面を有する窒化
アルミニウム焼結体及びその製造方法を提供することを
目的とする。
デン又はモリブデン−マンガンの金属化面を有する窒化
アルミニウム焼結体及びその製造方法を提供することを
目的とする。
本発明の金属化面を持つ窒化アルミニウム焼結体は、モ
リブデン又はモリブデン−マンガン合金中に酸化カルシ
ウム及び窒化アルミニウムを含有する金属化層を表面に
有することを特徴とするものである。
リブデン又はモリブデン−マンガン合金中に酸化カルシ
ウム及び窒化アルミニウムを含有する金属化層を表面に
有することを特徴とするものである。
かかる金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体は、酸
化カルシウム、硝酸カルシウム及び炭酸カルシウムの少
なくとも１種の粉末と、酸化アルミニウム粉末とを含有
するモリブデンペースト又はモリブデン−マンガンペー
ストを、窒化アルミニウム焼結体表面に塗布し、これを
不活性雰囲気中で焼成して焼結体表面に金属化層を形成
する方法により製造することができる。
化カルシウム、硝酸カルシウム及び炭酸カルシウムの少
なくとも１種の粉末と、酸化アルミニウム粉末とを含有
するモリブデンペースト又はモリブデン−マンガンペー
ストを、窒化アルミニウム焼結体表面に塗布し、これを
不活性雰囲気中で焼成して焼結体表面に金属化層を形成
する方法により製造することができる。
（Ｎｏ、）２が分解して生成したものを含む）はＭＮと
高い反応性を有すると考えられ、ＭＯ又はＭｏ−Ｍｎの
ペースト中のＭＮと１３６０℃以上と比較的低温で容易
に反応してこれらの化合物の液相を生成する。
高い反応性を有すると考えられ、ＭＯ又はＭｏ−Ｍｎの
ペースト中のＭＮと１３６０℃以上と比較的低温で容易
に反応してこれらの化合物の液相を生成する。
この液相はＭｏ及びＭｏ−Ｍｎとの高い化学的親和性と
を兼ね備えているため通常のテレフンケン法の加湿雰囲
気での焼成を採用する必要がなく、窒素等の不活性雰囲
気で充分に焼成でき、良好な金属化層が得られる。また
、この液相はＭＮ焼結体とも極めて高い濡れ性と反応性
とを兼ね備えているので、金属化層とＭＮ焼結体とが極
めて強固に接合する。更に、この液相は１３６０℃以上
の温度でＭｏ又はＭｏ−Ｍｎの粒界相中に浸透する。し
かも１３６０℃と比較的低温での焼成が可能であるので
焼成の際に反応層や助剤の分解ガスの発生が少なく、開
気孔酸カルシウムも焼成の際に分解して酸化カルシウム
となるので、全く同様の作用効果を奏するものである。
を兼ね備えているため通常のテレフンケン法の加湿雰囲
気での焼成を採用する必要がなく、窒素等の不活性雰囲
気で充分に焼成でき、良好な金属化層が得られる。また
、この液相はＭＮ焼結体とも極めて高い濡れ性と反応性
とを兼ね備えているので、金属化層とＭＮ焼結体とが極
めて強固に接合する。更に、この液相は１３６０℃以上
の温度でＭｏ又はＭｏ−Ｍｎの粒界相中に浸透する。し
かも１３６０℃と比較的低温での焼成が可能であるので
焼成の際に反応層や助剤の分解ガスの発生が少なく、開
気孔酸カルシウムも焼成の際に分解して酸化カルシウム
となるので、全く同様の作用効果を奏するものである。
かかるＣａＯ等の粉末とＭＮ粉末とをＭｏペースト又は
Ｍｏ−Ｍｎペーストに混合し、ＭＮ焼結体の表面に塗布
し、これを加熱してペースト中のバインダーを除去した
後、Ｎ２、Ａｒのような不活性雰囲気中で１３６０−１
７００℃で焼成すると、まずＣａＯとＭ２Ｏ３とが約１
３６０℃付近で反応し、その反応生成物が軟化若しくは
溶融して焼結を促進させると同時に、Ｍｏ又はＭｏ−Ｍ
ｎの金属化層の気孔中に侵入して金属化層の機械的結合
を高め且つ気密性を向上させる。
Ｍｏ−Ｍｎペーストに混合し、ＭＮ焼結体の表面に塗布
し、これを加熱してペースト中のバインダーを除去した
後、Ｎ２、Ａｒのような不活性雰囲気中で１３６０−１
７００℃で焼成すると、まずＣａＯとＭ２Ｏ３とが約１
３６０℃付近で反応し、その反応生成物が軟化若しくは
溶融して焼結を促進させると同時に、Ｍｏ又はＭｏ−Ｍ
ｎの金属化層の気孔中に侵入して金属化層の機械的結合
を高め且つ気密性を向上させる。
更に、上記反応生成物は焼結体表面のＡ１２Ｎと反応す
るだけでなく、粒界層に含まれる焼結助剤成分（希土類
又はＣａＯ等）と反応したり粒界層との間で物質移動を
生じさせたりして金属化層のＭＮ焼結体との接着を一層
強固なものにし且つ気密性を高める。
るだけでなく、粒界層に含まれる焼結助剤成分（希土類
又はＣａＯ等）と反応したり粒界層との間で物質移動を
生じさせたりして金属化層のＭＮ焼結体との接着を一層
強固なものにし且つ気密性を高める。
一例として、Ｍｏ ： ＭＪ３： ＣａＯの各粉末を重
量比で１０：０．６：２で混合したペーストを用いて、
微鏡写真を添付した。この写真からも、ＭＮ焼結体と金
属化層とが組織的な不整合性なく強固に密着しているこ
と及び金属化層に開気孔が認められないことが分る。尚
、金属化層上にニッケル等のメッキを施せば気密性を一
層高めることができる。
量比で１０：０．６：２で混合したペーストを用いて、
微鏡写真を添付した。この写真からも、ＭＮ焼結体と金
属化層とが組織的な不整合性なく強固に密着しているこ
と及び金属化層に開気孔が認められないことが分る。尚
、金属化層上にニッケル等のメッキを施せば気密性を一
層高めることができる。
酸化カルシウム、硝酸カルシウム又は炭酸カルシウムの
粉末、及び窒化アルミニウム粉末は、ＭＯ又はＭｏ−Ｍ
ｎペースト中の含有量がわずかであっても上記の作用効
果を奏するものであるが、一般的には前者がモリブデン
１００重量部に対して５〜３０重量部及び後者がモリブ
デン１００重量部に対して１〜２０重量部であることが
好ましい。また焼成温度は１４００℃〜１６００℃まで
が特に気密性という観点から、この条件が好ましい。
粉末、及び窒化アルミニウム粉末は、ＭＯ又はＭｏ−Ｍ
ｎペースト中の含有量がわずかであっても上記の作用効
果を奏するものであるが、一般的には前者がモリブデン
１００重量部に対して５〜３０重量部及び後者がモリブ
デン１００重量部に対して１〜２０重量部であることが
好ましい。また焼成温度は１４００℃〜１６００℃まで
が特に気密性という観点から、この条件が好ましい。
実施例Ｉ
Ｍｏ粉末及びＭｏ−Ｍｎ混合粉末に、第１表の割合でＣ
ａＯ粉末とＭＮ粉末とを添加し、バインダーと混練して
ペーストを作成した。得られた各ペーストをＭＮ焼結体
の表面に塗布し、大気中で４５０℃で１０分間加熱して
脱バインダー処理をした後、窒素雰囲気中において下表
に示す温度で１５〜６０分間焼成して金属化層を得た。
ａＯ粉末とＭＮ粉末とを添加し、バインダーと混練して
ペーストを作成した。得られた各ペーストをＭＮ焼結体
の表面に塗布し、大気中で４５０℃で１０分間加熱して
脱バインダー処理をした後、窒素雰囲気中において下表
に示す温度で１５〜６０分間焼成して金属化層を得た。
各サンプルの金属化層にニッケルメッキを施し、半田法
により引張強度を測定し、結果を第１表に合せて示した
。
により引張強度を測定し、結果を第１表に合せて示した
。
比較例として、上記と同様のペーストを用いて加湿水素
及び加湿フォーミングガス中で焼成したサンプルについ
ても上記と同様にして引張強度を測定し、第１表に示し
た。
及び加湿フォーミングガス中で焼成したサンプルについ
ても上記と同様にして引張強度を測定し、第１表に示し
た。
また、各サンプルの金属化層の気密性をＨｅディテクタ
ーで調べた結果、本発明のＣａＯとＭＮを含有する実施
例のサンプルはいずれも優れていたが、比較例のサンプ
ルはいずれも極めて気密性が悪かった。
ーで調べた結果、本発明のＣａＯとＭＮを含有する実施
例のサンプルはいずれも優れていたが、比較例のサンプ
ルはいずれも極めて気密性が悪かった。
Ｍｏペースト
１ ３ ２ １４１０〜１７１０ ４．
２〜６．２２’ ４ ３ １４２０〜１７
００ ５．１〜８．４３ ６ ３
１３９０〜１．ｎｏ ６．０〜７．９４
６ １２ １３９５〜１６６０ ７．４〜１０
．１５ ６ １８ １３９０〜１６８０
８．８〜１１．３６ １５３０ １３８０〜
１６５０ ８．１〜１０．１Ｍｏ −Ｍｎペースト １ ３ ２ １３９０〜１６６０
４．４〜６．１２ ４ ３ １３９５
〜１６７０ ５．０〜８．２３ ９ １５
１３８０〜１６８０ ５．６〜７．３４
９ １５ １３９０−１６ｆｌｉ５ ７．
２〜９．２５ ９ ２５ １３９５〜１
６７０ ８．０〜１ｏ、４６ １５ ３０
１３８０〜１６７０ ７．８〜９．４謂 す導 ジ 比較例 Ｍｏ−ペースト １ ３ ２ １３８０〜１７２０
１．０〜２．０２ ４ ３ １３８０
〜１７４０ １．２〜１．８３ ６ ６
１３９０〜１７１０ １．８〜２．０４
６ １２ １３８０〜１７２０ １．６〜
２．１５ ０ ０ １３９０〜１７１０
０．８〜１．１６ ０ ０ １３８
５〜１７００ ０．８〜１．ＩＭｏ−Ｍｎペースト １ ３ ２ １３７０〜１７１０
１．０〜１．７２ ４ ３ １３
７５〜１７１５ １．１〜２．１３ ６
１２ １３８０〜１６９０ １．３〜２．４
４ １５ ３０ １３８０〜１７０５
１．０〜１．６５ ０ ０ １
３９０〜１６５０ ０．５〜１．２（注）比較例のＭ
ｏペースト及びＭｏ−Ｍｎペーストの各Ｎα５は窒素中
で焼成し、他は全て加湿水素又は加湿フォーミングガス
中で焼成した。
２〜６．２２’ ４ ３ １４２０〜１７
００ ５．１〜８．４３ ６ ３
１３９０〜１．ｎｏ ６．０〜７．９４
６ １２ １３９５〜１６６０ ７．４〜１０
．１５ ６ １８ １３９０〜１６８０
８．８〜１１．３６ １５３０ １３８０〜
１６５０ ８．１〜１０．１Ｍｏ −Ｍｎペースト １ ３ ２ １３９０〜１６６０
４．４〜６．１２ ４ ３ １３９５
〜１６７０ ５．０〜８．２３ ９ １５
１３８０〜１６８０ ５．６〜７．３４
９ １５ １３９０−１６ｆｌｉ５ ７．
２〜９．２５ ９ ２５ １３９５〜１
６７０ ８．０〜１ｏ、４６ １５ ３０
１３８０〜１６７０ ７．８〜９．４謂 す導 ジ 比較例 Ｍｏ−ペースト １ ３ ２ １３８０〜１７２０
１．０〜２．０２ ４ ３ １３８０
〜１７４０ １．２〜１．８３ ６ ６
１３９０〜１７１０ １．８〜２．０４
６ １２ １３８０〜１７２０ １．６〜
２．１５ ０ ０ １３９０〜１７１０
０．８〜１．１６ ０ ０ １３８
５〜１７００ ０．８〜１．ＩＭｏ−Ｍｎペースト １ ３ ２ １３７０〜１７１０
１．０〜１．７２ ４ ３ １３
７５〜１７１５ １．１〜２．１３ ６
１２ １３８０〜１６９０ １．３〜２．４
４ １５ ３０ １３８０〜１７０５
１．０〜１．６５ ０ ０ １
３９０〜１６５０ ０．５〜１．２（注）比較例のＭ
ｏペースト及びＭｏ−Ｍｎペーストの各Ｎα５は窒素中
で焼成し、他は全て加湿水素又は加湿フォーミングガス
中で焼成した。
実施例２
ＣａＯの代わりにＣａＣＯ３又はＣａ （ＮＯ３） ２
を用いた以外は実施例１と同様にして、金属化面を有す
るＭＮ焼結体を製造した。
を用いた以外は実施例１と同様にして、金属化面を有す
るＭＮ焼結体を製造した。
得られた各サンプルについて引張強度を上記と同様に測
定して第２表に示した。
定して第２表に示した。
第２表
サンプル 含有量（ｗｔ％） 焼成温度 引張
強度Ｎ（Ｌ （ｔ： ）
（Ｋｇ／ｍｍ’）Ｎｏペースト ／ｖｉ！２０． ＣａＣ０ａ ７ ２ １０ １３９５〜１７１０ ５
．０〜６．８８ ６ ３０ １４００−
１６９０ ６．５〜１０．１９ ９ ３０
１３８０〜１６８０ ７．５〜１１．１笠辺、
Ｃａ （ＮＯ，） ２ １０ ２ ９ １３７０〜１６８０ ４
．２〜６．７１１ ６ ３１ １３９０〜
１６９５ ６．１〜９．７１２ １０ ３３
１３８５〜１６７０ ７．３〜１０．ＩＭｏ −
Ｉｎペースト Ａｊｌ！２０ｓ ＣａＣ０゜ ７ ３ ５．０ １３８５〜１６．９（１
４，２〜６．１８ ６ ２０ １４１０〜
１６９０ ６．６〜１０．１９ １０ ３０
１３９５〜１７００ ７．４〜１１．３（続 く
） Ｍ２０＋ Ｃａ（ＮＯｓ）＋ １０ ２ ９ １３７０〜１７１０
４．１〜５．５１１ ６ ３１
１３６５〜１６９５ ４．９〜６．８１２
１０ ３３ １３８０〜１７００ ７．８
〜１０．３実施例１と同様にして気密性を測定したとこ
ろ実施例２の各サンプルもいずれも気密性に優れていた
。
強度Ｎ（Ｌ （ｔ： ）
（Ｋｇ／ｍｍ’）Ｎｏペースト ／ｖｉ！２０． ＣａＣ０ａ ７ ２ １０ １３９５〜１７１０ ５
．０〜６．８８ ６ ３０ １４００−
１６９０ ６．５〜１０．１９ ９ ３０
１３８０〜１６８０ ７．５〜１１．１笠辺、
Ｃａ （ＮＯ，） ２ １０ ２ ９ １３７０〜１６８０ ４
．２〜６．７１１ ６ ３１ １３９０〜
１６９５ ６．１〜９．７１２ １０ ３３
１３８５〜１６７０ ７．３〜１０．ＩＭｏ −
Ｉｎペースト Ａｊｌ！２０ｓ ＣａＣ０゜ ７ ３ ５．０ １３８５〜１６．９（１
４，２〜６．１８ ６ ２０ １４１０〜
１６９０ ６．６〜１０．１９ １０ ３０
１３９５〜１７００ ７．４〜１１．３（続 く
） Ｍ２０＋ Ｃａ（ＮＯｓ）＋ １０ ２ ９ １３７０〜１７１０
４．１〜５．５１１ ６ ３１
１３６５〜１６９５ ４．９〜６．８１２
１０ ３３ １３８０〜１７００ ７．８
〜１０．３実施例１と同様にして気密性を測定したとこ
ろ実施例２の各サンプルもいずれも気密性に優れていた
。
マンガンのペースト中に酸化カルシウム、硝酸カルシウ
ム及び炭酸カルシウムの少なくとも１種の粉末と、酸化
アルミニウム粉末とを含有させることにより、窒化アル
ミニウム焼結体に塗布したペーストの焼成を不活性雰囲
気中で実施でき、しかも窒化アルミニウム焼結体と強固
に接着した気密性の高いモリブデン又はモリブデン−マ
ンガンの金属化面を得ることができる。
ム及び炭酸カルシウムの少なくとも１種の粉末と、酸化
アルミニウム粉末とを含有させることにより、窒化アル
ミニウム焼結体に塗布したペーストの焼成を不活性雰囲
気中で実施でき、しかも窒化アルミニウム焼結体と強固
に接着した気密性の高いモリブデン又はモリブデン−マ
ンガンの金属化面を得ることができる。
顕微鏡写真である。
Ｘ ３０００
ｆｉ
手続補正書
昭和６２年０２月７８日
特許庁長官 黒 １）明 雄 殿
１、事件の表示
昭和６１年 特許願 第２１６８５５号２、発明の名称
金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造
方法３、補正をする者 事件との関係 特 許 出 願 人任 所
大阪市東区北浜５丁目１５番地名 称（２１３）
住友電気工業株式会社社長 用上哲部 ４、代 理 人 住 所 大阪市此花区島屋１丁目１番３号住友
電気工業株式会社内 自発補正 と） 七−・、・色 、 ６、補正の対象 明細書中、発明の詳細な説明の欄。 ７、補正の内容 （１）明細書中、第５頁下から１行目、「酸化カルシウ
ム」をｒ窒化カルシウム」に訂正する。 （２）同書、第６頁１３行目、「ＡＩＮ」をｒＡｌｌ
ｏ、 Ｊに訂正する。 （３）同書、同頁１５行目、ｒＡＩＮＪをｒＡｌ２，０
３Ｊに訂正する。 （４）同書、第７頁１４行目、ｒＡＩＮ」をｒＡｌよ０
３」に訂正する。 （５）同書、第８頁下から３行目 「窒化アルミニウム」を「酸化アルミニウム」に訂正す
る。 （６）同書、第９頁１０行目、ｒＡＩＮＪをｒＡｌ、
０３ Ｊに訂正する。 （７）同書、同頁１２行目 「大気中で、４５０℃で１Ｏ分間加熱して」を削除する
。 （８）同書、第ｉｏ頁３行目、ｒＡＩＮＪをｒＡＩＬＯ
ＪＪに訂正する。 手続補正書 昭和６２年 ６月／θ日 特許庁長官 黒 １）明 雄 殿 １、事件の表示 昭和６１年 特許願 第２１６８５５号２、発明の名称 金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造
方法３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 性 所 大阪市東区北浜５丁目１５番地名
称（２＋３） 住友電気工業株式会社社長 用上哲
部 ４、代理人 住 所 大阪市此花区島屋１丁目１番３号住友
電気工業株式会社内 自発補正 ６、補正の対象 昭和６２年２月１３日付提出の手続補正書中、補正の内
容の欄７、補正の内容 （１）昭和６２年２月１３日付提出の手続補正書、第２
頁５行目を下記の通り訂正する。
方法３、補正をする者 事件との関係 特 許 出 願 人任 所
大阪市東区北浜５丁目１５番地名 称（２１３）
住友電気工業株式会社社長 用上哲部 ４、代 理 人 住 所 大阪市此花区島屋１丁目１番３号住友
電気工業株式会社内 自発補正 と） 七−・、・色 、 ６、補正の対象 明細書中、発明の詳細な説明の欄。 ７、補正の内容 （１）明細書中、第５頁下から１行目、「酸化カルシウ
ム」をｒ窒化カルシウム」に訂正する。 （２）同書、第６頁１３行目、「ＡＩＮ」をｒＡｌｌ
ｏ、 Ｊに訂正する。 （３）同書、同頁１５行目、ｒＡＩＮＪをｒＡｌ２，０
３Ｊに訂正する。 （４）同書、第７頁１４行目、ｒＡＩＮ」をｒＡｌよ０
３」に訂正する。 （５）同書、第８頁下から３行目 「窒化アルミニウム」を「酸化アルミニウム」に訂正す
る。 （６）同書、第９頁１０行目、ｒＡＩＮＪをｒＡｌ、
０３ Ｊに訂正する。 （７）同書、同頁１２行目 「大気中で、４５０℃で１Ｏ分間加熱して」を削除する
。 （８）同書、第ｉｏ頁３行目、ｒＡＩＮＪをｒＡＩＬＯ
ＪＪに訂正する。 手続補正書 昭和６２年 ６月／θ日 特許庁長官 黒 １）明 雄 殿 １、事件の表示 昭和６１年 特許願 第２１６８５５号２、発明の名称 金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造
方法３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 性 所 大阪市東区北浜５丁目１５番地名
称（２＋３） 住友電気工業株式会社社長 用上哲
部 ４、代理人 住 所 大阪市此花区島屋１丁目１番３号住友
電気工業株式会社内 自発補正 ６、補正の対象 昭和６２年２月１３日付提出の手続補正書中、補正の内
容の欄７、補正の内容 （１）昭和６２年２月１３日付提出の手続補正書、第２
頁５行目を下記の通り訂正する。
Claims (4)
- （１）酸化カルシウム、硝酸カルシウム及び炭酸カルシ
ウムの少なくとも１種の粉末と、酸化アルミニウム粉末
とを含有するモリブデンペースト又はモリブデン−マン
ガンペーストを、窒化アルミニウム焼結体表面に塗布し
、これを不活性雰囲気中で燃成して焼結体表面に金属化
層を形成することを特徴とする、金属化面を有する窒化
アルミニウム焼結体の製造方法。 - （２）上記酸化カルシウム、硝酸カルシウム及び炭酸カ
ルシウムの少なくとも１種の粉末の含有量が、モリブデ
ン１００重量部に対して５〜３０重量部であることを特
徴とする、特許請求の範囲第（１）項記載の金属化面を
有する窒化アルミニウム焼結体の製造方法。 - （３）上記酸化アルミニウム粉末の含有量が、モリブデ
ン１００重量部に対して１〜２０重量部であることを特
徴とする、特許請求の範囲第（１）項記載の金属化面を
有する窒化アルミニウム焼結体の製造方法。 - （４）モリブデン又はモリブデン−マンガン合金中に酸
化カルシウム及び酸化アルミニウムを含有する金属化層
を表面に有することを特徴とする、金属化面を有する窒
化アルミニウム焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21685586A JPH0688857B2 (ja) | 1986-09-12 | 1986-09-12 | 金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21685586A JPH0688857B2 (ja) | 1986-09-12 | 1986-09-12 | 金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6369787A true JPS6369787A (ja) | 1988-03-29 |
| JPH0688857B2 JPH0688857B2 (ja) | 1994-11-09 |
Family
ID=16694961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21685586A Expired - Lifetime JPH0688857B2 (ja) | 1986-09-12 | 1986-09-12 | 金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0688857B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63195183A (ja) * | 1987-02-06 | 1988-08-12 | 住友電気工業株式会社 | メタライズ面を有するＡｌＮ焼結体の製造方法 |
| JPS63303881A (ja) * | 1987-01-26 | 1988-12-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属化層が形成された窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 |
| JPH01249681A (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
-
1986
- 1986-09-12 JP JP21685586A patent/JPH0688857B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63303881A (ja) * | 1987-01-26 | 1988-12-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属化層が形成された窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 |
| JPS63195183A (ja) * | 1987-02-06 | 1988-08-12 | 住友電気工業株式会社 | メタライズ面を有するＡｌＮ焼結体の製造方法 |
| JPH0511069B2 (ja) * | 1987-02-06 | 1993-02-12 | Sumitomo Electric Industries | |
| JPH01249681A (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0688857B2 (ja) | 1994-11-09 |
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