JPS6345194A - 金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 - Google Patents
金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法Info
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- JPS6345194A JPS6345194A JP61190893A JP19089386A JPS6345194A JP S6345194 A JPS6345194 A JP S6345194A JP 61190893 A JP61190893 A JP 61190893A JP 19089386 A JP19089386 A JP 19089386A JP S6345194 A JPS6345194 A JP S6345194A
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- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 title claims description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 18
- ZCCIPPOKBCJFDN-UHFFFAOYSA-N calcium nitrate Chemical compound [Ca+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O ZCCIPPOKBCJFDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 claims description 16
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 13
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 11
- PCEXQRKSUSSDFT-UHFFFAOYSA-N [Mn].[Mo] Chemical compound [Mn].[Mo] PCEXQRKSUSSDFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 9
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 claims description 9
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910000914 Mn alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 235000010216 calcium carbonate Nutrition 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 5
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 5
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229910017309 Mo—Mn Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012752 auxiliary agent Substances 0.000 description 2
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 2
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 240000004808 Saccharomyces cerevisiae Species 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、表面にモリブデン又はモリブデン−マンガン
の金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製
造方法に関する。
の金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製
造方法に関する。
窒化アルミニウム（ＡＱＮ）焼結体は熱伝導性が高く、
機械的強度も優れていることからＩＣ用絶縁基板をはじ
め多くの分野で注目されている。しかし、窒化アルミニ
ウム焼結体は金属との濡れ性が悪く、電力用トランジス
タをはじめ各種のＩＣ用基板等として用いるため表面に
金属層を積層しようとしても満足々接着強度が得られな
いという欠点があった。そこで、各種の方法でＡｅＮ焼
結体表面の金属化が試みられているが、まだ満足な方法
は提案されていない。
機械的強度も優れていることからＩＣ用絶縁基板をはじ
め多くの分野で注目されている。しかし、窒化アルミニ
ウム焼結体は金属との濡れ性が悪く、電力用トランジス
タをはじめ各種のＩＣ用基板等として用いるため表面に
金属層を積層しようとしても満足々接着強度が得られな
いという欠点があった。そこで、各種の方法でＡｅＮ焼
結体表面の金属化が試みられているが、まだ満足な方法
は提案されていない。
他方、酸化アルミニウム（ＡＩ！２０３ ） ’Ｐ結体
の金属化技術として、モリブデン又はモリブデン−マン
ガンのペーストを焼結体表面に塗布し、加湿水素又は加
湿フォーミングガス中において１３００Ｃ〜１７００Ｃ
の温度で焼成するテレフンケン法が知られている。
の金属化技術として、モリブデン又はモリブデン−マン
ガンのペーストを焼結体表面に塗布し、加湿水素又は加
湿フォーミングガス中において１３００Ｃ〜１７００Ｃ
の温度で焼成するテレフンケン法が知られている。
この方法の特徴は加湿雰囲気中にお（・てＡｅ２０３焼
結体中のガラス相が軟化する温度で焼成する点にあり、
この焼成によりＭｏ及びＭｎの表面が酸化されて〜１０
又はＭｏ−Ｍｎｄ−ストの焼結を促進するだけでなく、
これらの酸化物が焼結体のガラス相に溶は込んでガラス
の流動性を良くし、ガラス相は多孔質のＭｏ又はＭｏ−
Ｍｎ金属化層に移動する。
結体中のガラス相が軟化する温度で焼成する点にあり、
この焼成によりＭｏ及びＭｎの表面が酸化されて〜１０
又はＭｏ−Ｍｎｄ−ストの焼結を促進するだけでなく、
これらの酸化物が焼結体のガラス相に溶は込んでガラス
の流動性を良くし、ガラス相は多孔質のＭｏ又はＭｏ−
Ｍｎ金属化層に移動する。
更に、焼成により生成した酸化物、特にＭｎＯは焼結体
中）ＡＱ２０３及びＳ ｉ ０２と反応してＭｎ０−Ａ
９２０３及びＭｎＯ＠５ｉ０２を、同じ＜ ＭｏＯはＡ
ｇ２Ｏ３と反応してＡｔ！ ２０３・３λ１００を生成
する。このようにして、Ｓｌｏ又はｈｌｏ−λ１ｎの金
属化層はＡｅ２０３焼結体と機械的及び化学的結合によ
り強固に接着され、その接着強度は約・１〜７す／−程
度になる。
中）ＡＱ２０３及びＳ ｉ ０２と反応してＭｎ０−Ａ
９２０３及びＭｎＯ＠５ｉ０２を、同じ＜ ＭｏＯはＡ
ｇ２Ｏ３と反応してＡｔ！ ２０３・３λ１００を生成
する。このようにして、Ｓｌｏ又はｈｌｏ−λ１ｎの金
属化層はＡｅ２０３焼結体と機械的及び化学的結合によ
り強固に接着され、その接着強度は約・１〜７す／−程
度になる。
かかるテレフンケン法によりＡＱＮ焼結体のメタライズ
を試みても、■加湿雰囲気で焼成するのでＡ［Ｎ焼結体
表面が水蒸気により腐食され又は変質して脆いＡ２２０
３層が生成すること、■ＡＣＮ焼結体中にはＡＱ ２０
３焼結体のように約１０００〜１５００Ｃの低温で軟化
するガラス相等が存在しないこと、■Ａｔ’ＮとＭｏ
、 Ｍｎ及びこれらの酸化物とは反応性に乏しいこと等
の理由により、得られる〜ｆＯ又はＭｏ−Ｍｎの金属化
層は接着強度が小さく気密性も極めて悪かった。
を試みても、■加湿雰囲気で焼成するのでＡ［Ｎ焼結体
表面が水蒸気により腐食され又は変質して脆いＡ２２０
３層が生成すること、■ＡＣＮ焼結体中にはＡＱ ２０
３焼結体のように約１０００〜１５００Ｃの低温で軟化
するガラス相等が存在しないこと、■Ａｔ’ＮとＭｏ
、 Ｍｎ及びこれらの酸化物とは反応性に乏しいこと等
の理由により、得られる〜ｆＯ又はＭｏ−Ｍｎの金属化
層は接着強度が小さく気密性も極めて悪かった。
ＡＱＮ焼結体をＩＣ用基板等として用いる場合、金属化
層の接着強度が小さいと製造工程の熱サイクルで剥離し
やすく、また金属化層の気密性が悪いと強度が劣るだけ
でなく満足な封止性が得られない等の問題がある。
層の接着強度が小さいと製造工程の熱サイクルで剥離し
やすく、また金属化層の気密性が悪いと強度が劣るだけ
でなく満足な封止性が得られない等の問題がある。
本発明者等は、テレフンケン法を１９Ｎ焼結体の金属化
に応用するため、Ｍｏ又はＭＯ−Ｍｎ＜−スト中にガラ
ス又はＹ２Ｏ３、ＣａＯ等の、ＩＮ焼結体用助剤を添加
して不活性雰囲気中で焼成する方法を試みたが、前記の
接着強度及び気密性の問題を解決する結果は得られなか
った。即ち、ガラスを用いる前者の方法では酸化されず
ば残４Ｍｏ又はＭｎ及び、ＩＮとガラスとの濡れ性が悪
いために金属化層が強固に接着せず、後者の場合は約１
６００ｃ以上の焼成温度でわずかに反応層が形成された
ものの、助剤の融点が高く金属化層中で液相とならない
ために金属化層は極めて多孔質で接着強度も低かった。
に応用するため、Ｍｏ又はＭＯ−Ｍｎ＜−スト中にガラ
ス又はＹ２Ｏ３、ＣａＯ等の、ＩＮ焼結体用助剤を添加
して不活性雰囲気中で焼成する方法を試みたが、前記の
接着強度及び気密性の問題を解決する結果は得られなか
った。即ち、ガラスを用いる前者の方法では酸化されず
ば残４Ｍｏ又はＭｎ及び、ＩＮとガラスとの濡れ性が悪
いために金属化層が強固に接着せず、後者の場合は約１
６００ｃ以上の焼成温度でわずかに反応層が形成された
ものの、助剤の融点が高く金属化層中で液相とならない
ために金属化層は極めて多孔質で接着強度も低かった。
本発明は、上記の事情に鑑み、窒化アルミニウム焼結体
の表面に強固に接着し且つ気密性の高いモリブデン又は
モリブデン−マンガンの金属化面を有する窒化アルミニ
ウム焼結体及びその製造方法を提供することを目的とす
る。
の表面に強固に接着し且つ気密性の高いモリブデン又は
モリブデン−マンガンの金属化面を有する窒化アルミニ
ウム焼結体及びその製造方法を提供することを目的とす
る。
本発明の金属化面を持つ窒化アルミニウム焼結体は、モ
リブデン又はモリブデン−マンガン合金中に酸化カルシ
ウム及び窒化アルミニウムを含有する金属化層を表面に
有することを特徴とするものである。
リブデン又はモリブデン−マンガン合金中に酸化カルシ
ウム及び窒化アルミニウムを含有する金属化層を表面に
有することを特徴とするものである。
かかる金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体は、酸
化カルシウム、硝酸カルシウム及び炭酸カルシウムの少
なくとも１種の粉末と、窒化アルミニウム粉末とを含有
するモリブデンに一スト又はモリブデン−マンガンに一
ストを、窒化アルミニウム焼結体表面に塗布し、これを
不活性雰囲気中で焼成して焼結体表面に金属化層を形成
する方法により製造することができる。
化カルシウム、硝酸カルシウム及び炭酸カルシウムの少
なくとも１種の粉末と、窒化アルミニウム粉末とを含有
するモリブデンに一スト又はモリブデン−マンガンに一
ストを、窒化アルミニウム焼結体表面に塗布し、これを
不活性雰囲気中で焼成して焼結体表面に金属化層を形成
する方法により製造することができる。
酸化カルシウムＣａＯ（焼成によりＣａＣＯ３又はＣａ
（Ｎ ０３ ） ２が分解して生成したものを含む）は
ＡＱＮと高い反応性を有すると考えられ、Ｍｏ又はλ・
Ｉｏ −Ｍｎの被−スト中のＡＱＮと１５００ｔ：’以
上で容易に反応してこれらの化合物の液相を生成する。
（Ｎ ０３ ） ２が分解して生成したものを含む）は
ＡＱＮと高い反応性を有すると考えられ、Ｍｏ又はλ・
Ｉｏ −Ｍｎの被−スト中のＡＱＮと１５００ｔ：’以
上で容易に反応してこれらの化合物の液相を生成する。
この液相はＭｏ及びＭ ｏ −Ｍ ｎとの高い化学的親
和性とを兼ね備えているため、通常のテレフンケン法の
加１雰囲気での焼成を採用する必要がなく、窒素等の不
活性雰囲気で充分に焼成でき、良好な金属化層が得られ
る。まだ、この液相はＡ ｔ’ Ｎ焼結体とも極めて高
い濡れ性と反応性とを兼ね備えているので、金属化層と
ＡｅＮ暁結焼給体極めて強固に接合する。更に、この液
相は１４５０Ｃ以上の温度でＭ。
和性とを兼ね備えているため、通常のテレフンケン法の
加１雰囲気での焼成を採用する必要がなく、窒素等の不
活性雰囲気で充分に焼成でき、良好な金属化層が得られ
る。まだ、この液相はＡ ｔ’ Ｎ焼結体とも極めて高
い濡れ性と反応性とを兼ね備えているので、金属化層と
ＡｅＮ暁結焼給体極めて強固に接合する。更に、この液
相は１４５０Ｃ以上の温度でＭ。
又はＮｌｏ−Ｍｎの粒界相中に浸透するので、開気孔が
存在せず長孔な気密性の金属化層が得られる。
存在せず長孔な気密性の金属化層が得られる。
酸１ヒカルシウム以外の、硝酸カルシウム及び炭酸カル
シウムも焼成の際に分解して酸化カルシウムとなるので
、全く同様の作用効果を奏するものである。
シウムも焼成の際に分解して酸化カルシウムとなるので
、全く同様の作用効果を奏するものである。
かかるＣａＯ等の粉末とＡ Ｑ Ｎ粉末とをＭｏ ＜
−スト又はＭｏ−Ｎ１ｎ−２−ストに混合し、ＡＱＮ焼
結体の表面に塗布し、これを加熱してペースト中の・々
インダーを除去した後、Ｎ２，４〜ｒのような不活性雰
囲気中で１５００〜１８００Ｃで焼成すると、まずＣａ
ＯとＡｉ！Ｎとが反応し、その反応生成物が軟化若しく
は溶融して焼結を促進させると同時に、ＭＯ又はＭ。
−スト又はＭｏ−Ｎ１ｎ−２−ストに混合し、ＡＱＮ焼
結体の表面に塗布し、これを加熱してペースト中の・々
インダーを除去した後、Ｎ２，４〜ｒのような不活性雰
囲気中で１５００〜１８００Ｃで焼成すると、まずＣａ
ＯとＡｉ！Ｎとが反応し、その反応生成物が軟化若しく
は溶融して焼結を促進させると同時に、ＭＯ又はＭ。
−Ｍ ｎの金属化層の気孔中に浸入して金属化層の機械
的結合を高め且つ気密性を向上させる。更に、上記反応
生成物は・焼結体表面のＡＩ！Ｎと反応するだけでなく
、粒界層に含まれる焼結助剤成分（希土類又はＣａＯ等
）と反応したり粒界層との間で物・質移動を生じさせた
りして金属化層のＡ Ｉ’ Ｎ ｐ給体との接着を一層
強固なものにし且つ気密性を高める。
的結合を高め且つ気密性を向上させる。更に、上記反応
生成物は・焼結体表面のＡＩ！Ｎと反応するだけでなく
、粒界層に含まれる焼結助剤成分（希土類又はＣａＯ等
）と反応したり粒界層との間で物・質移動を生じさせた
りして金属化層のＡ Ｉ’ Ｎ ｐ給体との接着を一層
強固なものにし且つ気密性を高める。
−例として、Ｍｏ ：Ａｇ！Ｎ ： ＣａＯの各粉末を
重量比で１０：１：１で混合した被−ストを用いて、窒
素中１６５０１：’で３０分の焼成条件で形成したλＩ
ｏ金属化層を有するＡ ｅ Ｎ焼結体の５０００倍の走
査型電子顕微鏡写真を添付した。この写真からも、ＡＱ
Ｎ焼結体と金属化層とが組織的な不整合性なく強固に
密着していること、及び金属化層に開気孔が認められな
いことが分る。尚、金属化層上にニッケル等のメツキを
施せば気密性を一層高めることができる。
重量比で１０：１：１で混合した被−ストを用いて、窒
素中１６５０１：’で３０分の焼成条件で形成したλＩ
ｏ金属化層を有するＡ ｅ Ｎ焼結体の５０００倍の走
査型電子顕微鏡写真を添付した。この写真からも、ＡＱ
Ｎ焼結体と金属化層とが組織的な不整合性なく強固に
密着していること、及び金属化層に開気孔が認められな
いことが分る。尚、金属化層上にニッケル等のメツキを
施せば気密性を一層高めることができる。
酸化カルシウム、硝酸力ルノウム又は炭酸カルシウムの
粉末、及び窒化アルミニウム粉末は、Ｍ。
粉末、及び窒化アルミニウム粉末は、Ｍ。
又はＭｏ−ＭｎＲ−スト中の含有量がわずかであっても
上記の作用効果を奏するものであるが、一般的には前者
がモリブデン１００重量部に対して３〜１５重量部及び
後者がモリブデン１００重量部に対して４〜２０重量部
であることが好ましい。
上記の作用効果を奏するものであるが、一般的には前者
がモリブデン１００重量部に対して３〜１５重量部及び
後者がモリブデン１００重量部に対して４〜２０重量部
であることが好ましい。
本発明を以下の実施例により詳しく説明する。
実施例Ｉ
Ｍｏ粉末及びＮｈｏ−Ｍｎ混合粉末に、第１表の割合で
ＣａＯ粉末とＡＱＮ粉末とを添加し、・々インダーと混
練してイーストを作成した。得られた各４−ストをｌＮ
ｉ結体結体面に塗布し、大気中で４５０Ｃで１０分間加
熱して脱・々イングー処理をした後、窒素雰囲気中にお
いて下表に示す温度で１５〜６０分間焼成して金属化層
を得た。各サンプルの金属化層てニッケルメッキを施し
、半田法により引張強度を測定し、結果を第１表に合わ
せて示した。
ＣａＯ粉末とＡＱＮ粉末とを添加し、・々インダーと混
練してイーストを作成した。得られた各４−ストをｌＮ
ｉ結体結体面に塗布し、大気中で４５０Ｃで１０分間加
熱して脱・々イングー処理をした後、窒素雰囲気中にお
いて下表に示す温度で１５〜６０分間焼成して金属化層
を得た。各サンプルの金属化層てニッケルメッキを施し
、半田法により引張強度を測定し、結果を第１表に合わ
せて示した。
比較例として、上記と同様のＲ−ストを用いて加湿水素
及び加湿フォーミングガス中で焼成したサンプルについ
ても上記と同様にして引張強度を測定し、第１表に示し
た。
及び加湿フォーミングガス中で焼成したサンプルについ
ても上記と同様にして引張強度を測定し、第１表に示し
た。
また、各サンプルの金属化層の気密性をＨｅディテクタ
ーで調べだ結果、本発明のＣａＯとＡＱＮを含有する実
施例のサンプルはいずれも優れていたが、比較例のサン
プルはいずれも極めて気密性が悪かった。
ーで調べだ結果、本発明のＣａＯとＡＱＮを含有する実
施例のサンプルはいずれも優れていたが、比較例のサン
プルはいずれも極めて気密性が悪かった。
第１表
サンプル 含有量（ｗｔ％） 焼成温度 引張強度１
３ ２ １：１）１０〜１７６
０ ５．５〜９６２ ４ ３
１５００〜１７８０ ６．２〜１０４３
１０ ８ １４９５〜１７８０ ７．４
〜１１．１４ １０ １０ １４８
０〜１７８０ ７．０〜１０．１５ １０
１５ １４８０〜１７７０ ６．３〜１０
１６ １５ １７ １４８０〜１７
７０ ６．０〜９７Ｍｏ−Ｍｎベースト １ ２ １ １５０５〜１７６
０ ５．０〜９．４２ ４ ３
１４９０〜１７７０ ５．４〜９８３
９ ８ １４６５〜１７７０ ５．６
〜１０．１４ ９ １０ １４６
０〜１７７０ ５．９〜９．７５ ９
１２ １４６０〜１７６０ ５．８〜９２
６ １６ １９ １４５５〜１７５
５ ５．１〜８８、比ｆｆ ｆｉｔ Ｎｉｏ ｄ−スト １ ３ ２ １５１０〜１７６０ １．
１〜２．１２ ４ ３ １５００〜１７
８０ １．３〜１９３ １０ ８ １４９
５〜１７８０ １．９〜２．１４ １０ １５
１４８０〜１７５０ １．７〜２．２５
０ ０ １４２０〜１８００ ０．５〜１．２６
０ ０ １４００〜１８００ ０．７
〜１．９１ ２ １ １５００〜１７４
０ １．２〜１．９２ ４ ３ １４９
０〜１７６０ １、Ｏ−２，０３９８１４５０〜１７５
０ １．４〜２．３４ １６ １９ １４５
５〜１７８０ １゜１〜１．７５ ０ ０
１３９０〜１８１０ ０．４〜１．３６
０ ０ １３７５〜１８００ ０．６〜１４（副
比較例のＮｉｏ ｄ−スト及びＭ ｏ−へ１０ｄ−スト
の各、趨５は窒素中で焼成し、他は全て加湿水素又はカ
ロ湿フォーミングガス中で焼成した。
３ ２ １：１）１０〜１７６
０ ５．５〜９６２ ４ ３
１５００〜１７８０ ６．２〜１０４３
１０ ８ １４９５〜１７８０ ７．４
〜１１．１４ １０ １０ １４８
０〜１７８０ ７．０〜１０．１５ １０
１５ １４８０〜１７７０ ６．３〜１０
１６ １５ １７ １４８０〜１７
７０ ６．０〜９７Ｍｏ−Ｍｎベースト １ ２ １ １５０５〜１７６
０ ５．０〜９．４２ ４ ３
１４９０〜１７７０ ５．４〜９８３
９ ８ １４６５〜１７７０ ５．６
〜１０．１４ ９ １０ １４６
０〜１７７０ ５．９〜９．７５ ９
１２ １４６０〜１７６０ ５．８〜９２
６ １６ １９ １４５５〜１７５
５ ５．１〜８８、比ｆｆ ｆｉｔ Ｎｉｏ ｄ−スト １ ３ ２ １５１０〜１７６０ １．
１〜２．１２ ４ ３ １５００〜１７
８０ １．３〜１９３ １０ ８ １４９
５〜１７８０ １．９〜２．１４ １０ １５
１４８０〜１７５０ １．７〜２．２５
０ ０ １４２０〜１８００ ０．５〜１．２６
０ ０ １４００〜１８００ ０．７
〜１．９１ ２ １ １５００〜１７４
０ １．２〜１．９２ ４ ３ １４９
０〜１７６０ １、Ｏ−２，０３９８１４５０〜１７５
０ １．４〜２．３４ １６ １９ １４５
５〜１７８０ １゜１〜１．７５ ０ ０
１３９０〜１８１０ ０．４〜１．３６
０ ０ １３７５〜１８００ ０．６〜１４（副
比較例のＮｉｏ ｄ−スト及びＭ ｏ−へ１０ｄ−スト
の各、趨５は窒素中で焼成し、他は全て加湿水素又はカ
ロ湿フォーミングガス中で焼成した。
実施例２
Ｃａ００代りにＣａＣＯ３又はＣａ （ＮＯ３） ２を
用Ｌ−た以外は実施例１と同様にして、金属化面を有す
るＡＱＮ焼結体を製造した。
用Ｌ−た以外は実施例１と同様にして、金属化面を有す
るＡＱＮ焼結体を製造した。
得られた各サンプルについて引張強度を上記と同様に測
定して第２表に示した。
定して第２表に示した。
第２表
ＮＩＯ’−スト
ＡＱＮ ＣａＣＯ３
７３５，１１５００〜１７６０６．１〜９２８ １０
１７ １４９０〜１７５０７．５〜１１３９ １５
２５．５ １４８０〜１７５０５．３〜８２ＡＲＮ
Ｃａ（ＮＯ３）２ １０ ３ ９ １４８０〜１７４０６．４〜８２
１１ ６ １８ １４９０〜１７．＞０６．５〜７
９１２ １０ ４０ １４８０〜１７２０５．５〜
７７７ ３ ５．０ １４５０〜１７８０５．８〜
９１８ １０ １６．５ １４５０〜１７７０６．
０〜１０２９ １５ ２５．０ １４４０〜１７６
０５．７〜８．８ＡＱＮ Ｃａ（ＮＯ３）２ １０ ３ ９ １４４５〜１７４
０ ５．４〜８．８１１ ６ １８
１４４０〜１７５０ ６．３〜９．９１２ １
０ ４０ １４３０〜１７４０ ５．４〜８
．０実施例１と同様にして気密性を測定したところ実施
例２の各サンプルもいずれも気密性に優れていた。
１７ １４９０〜１７５０７．５〜１１３９ １５
２５．５ １４８０〜１７５０５．３〜８２ＡＲＮ
Ｃａ（ＮＯ３）２ １０ ３ ９ １４８０〜１７４０６．４〜８２
１１ ６ １８ １４９０〜１７．＞０６．５〜７
９１２ １０ ４０ １４８０〜１７２０５．５〜
７７７ ３ ５．０ １４５０〜１７８０５．８〜
９１８ １０ １６．５ １４５０〜１７７０６．
０〜１０２９ １５ ２５．０ １４４０〜１７６
０５．７〜８．８ＡＱＮ Ｃａ（ＮＯ３）２ １０ ３ ９ １４４５〜１７４
０ ５．４〜８．８１１ ６ １８
１４４０〜１７５０ ６．３〜９．９１２ １
０ ４０ １４３０〜１７４０ ５．４〜８
．０実施例１と同様にして気密性を測定したところ実施
例２の各サンプルもいずれも気密性に優れていた。
本発明によれば、モリブデン又はモリブデン−マンガン
の−２−スト中に酸化カルシウム、硝酸カルシウム及び
炭酸カル７ウムの少なくとも１種の粉末と、窒化アルミ
ニウム粉末とを含有させることにより、窒化アルミニウ
ム焼結体に塗布したペーストの焼成を不活性雰囲気中で
実施でき、しかも窒化アルミニウム′焼結体と強固に接
着した気密性の高いモリブデン又はモリブデン−マンガ
ンの金属化面を得ることができる。
の−２−スト中に酸化カルシウム、硝酸カルシウム及び
炭酸カル７ウムの少なくとも１種の粉末と、窒化アルミ
ニウム粉末とを含有させることにより、窒化アルミニウ
ム焼結体に塗布したペーストの焼成を不活性雰囲気中で
実施でき、しかも窒化アルミニウム′焼結体と強固に接
着した気密性の高いモリブデン又はモリブデン−マンガ
ンの金属化面を得ることができる。
図面は本発明の表面にＭＯ金属化層を有するＡｆｆＮ焼
結体の一例の断面の金属組織を示す走査型電子顕微鏡写
真である。 ！ ゛・ Ｉ （ど−′
結体の一例の断面の金属組織を示す走査型電子顕微鏡写
真である。 ！ ゛・ Ｉ （ど−′
Claims (4)
- （１）酸化カルシウム、硝酸カルシウム及び炭酸カルシ
ウムの少なくとも１種の粉末と、窒化アルミニウム粉末
とを含有するモリブデンペースト又はモリブデン−マン
ガンペーストを、窒化アルミニウム焼結体表面に塗布し
、これを不活性雰囲気中で焼成して焼結体表面に金属化
層を形成することを特徴とする、金属化面を有する窒化
アルミニウム焼結体の製造方法。 - （２）上記酸化カルシウム、硝酸カルシウム及び炭酸カ
ルシウムの少なくとも１種の粉末の含有量が、モリブデ
ン１００重量部に対して３〜１５重量部であることを特
徴とする、特許請求の範囲第（１）項記載の金属化面を
有する窒化アルミニウム焼結体の製造方法。 - （３）上記窒化アルミニウム粉末の含有量が、モリブデ
ン１００重量部に対して４〜２０重量部であることを特
徴とする、特許請求の範囲第（１）項記載の金属化面を
有する窒化アルミニウム焼結体の製造方法。 - （４）モリブデン又はモリブデン−マンガン合金中に酸
化カルシウム及び窒化アルミニウムを含有する金属化層
を表面に有することを特徴とする、金属化面を有する窒
化アルミニウム焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61190893A JPS6345194A (ja) | 1986-08-13 | 1986-08-13 | 金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61190893A JPS6345194A (ja) | 1986-08-13 | 1986-08-13 | 金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6345194A true JPS6345194A (ja) | 1988-02-26 |
Family
ID=16265484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61190893A Pending JPS6345194A (ja) | 1986-08-13 | 1986-08-13 | 金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6345194A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63195183A (ja) * | 1987-02-06 | 1988-08-12 | 住友電気工業株式会社 | メタライズ面を有するＡｌＮ焼結体の製造方法 |
| JPS63303881A (ja) * | 1987-01-26 | 1988-12-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属化層が形成された窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 |
| JPH01249681A (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
-
1986
- 1986-08-13 JP JP61190893A patent/JPS6345194A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63303881A (ja) * | 1987-01-26 | 1988-12-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属化層が形成された窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 |
| JPS63195183A (ja) * | 1987-02-06 | 1988-08-12 | 住友電気工業株式会社 | メタライズ面を有するＡｌＮ焼結体の製造方法 |
| JPH0511069B2 (ja) * | 1987-02-06 | 1993-02-12 | Sumitomo Electric Industries | |
| JPH01249681A (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
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