JPS605083A - 導電性セラミツクス焼結体及びその製造方法 - Google Patents

導電性セラミツクス焼結体及びその製造方法

Info

Publication number
JPS605083A
JPS605083A JP11147683A JP11147683A JPS605083A JP S605083 A JPS605083 A JP S605083A JP 11147683 A JP11147683 A JP 11147683A JP 11147683 A JP11147683 A JP 11147683A JP S605083 A JPS605083 A JP S605083A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic sintered
sintered body
chromium
layer
chromium nitride
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11147683A
Other languages
English (en)
Inventor
顕生 佐谷野
俊一郎 田中
池田 和男
西田 勝利
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP11147683A priority Critical patent/JPS605083A/ja
Publication of JPS605083A publication Critical patent/JPS605083A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] 本発明は導電性セラミックスd3よびその製造方法に関
する。
U発明の技術的背景とその問題点] 従来より、セラミックス焼結体を金属部材に接合させた
り、セラミックス焼結体どうしを接合させるために、セ
ラミックス焼結体表面に、モリブデン粉末とマンガン粉
末とを主成分とし有機バインダでペースト状にしたモリ
ブデン−マンガンペーストを塗イ1i L/、還元雰囲
気中で焼成して金属化することが行なわれている。
この15法はセラミックス焼結体がアルミナ等の酸化物
系セラミックス焼結体の場合は有効であるが、窒化ケイ
素等の非酸化物系セラミックス焼結体には適用が困難で
あるという欠点があった。
近年、窒化ケイ素や炭化ケイ素等の非酸化物系セラミッ
クス焼結体は耐摩耗性や高温特性に優れているところか
ら自動車部品やガスタービン部品として用途が拡大して
きてd5す、そのためにも非酸化物系セラミックス焼結
体に適用可能でしかもより密着性のよい金属化方法が望
まれている。
そのためセラミックス焼結体に直接クロムをめっきした
り、溶用することにより金属化づ−ることが行なわれて
いるが、セラミックス焼結体と金属化層どの密着が悪い
という欠点があっl’y 。
[発明の目的] 本発明はこのような点に対処してなされたもので、非酸
化物系セラミックス焼結体を含むほとんどずべてのセラ
ミックス焼結体に適用可能で、しかも下地のセラミック
スと密着性の良い導電性皮膜を有するセラミックス焼結
体およびその製造方法を提供することを目的とする。
[発明の概要コ づ′なりも本発明セラミックス焼結体は、表面に導電性
の良い窒化クロム層を有することを特徴とする。
この窒化クロム層(ま、酸化クロムを還元して得られる
ものが好ましくこの場合は最外表面は窒化クロムであり
内部にむ(プて酸化クロムが徐々に増加する層となる。
また、本発明セラミックス焼結体の製造方法は、セラミ
ックス焼結体に、クロム酸または酸素の存在下で加熱す
ることにより酸化するクロム化合物を被着し、酸素雰囲
気中で加熱して表面に酸化り日ム層を形成した後、窒素
を含む還元雰囲気で処理を施して表面に導電性窒化クロ
ム層を形成することを特徴とする。
本発明の適用可能なセラミックス焼結体としては、アル
ミナ等の酸化物系セラミックス焼結体、窒化ケイ素、炭
化ケイ素等の非酸化物系セラミックス焼結体があげられ
る。
本発明においてセラミックス焼結体へクロム酸またはク
ロム化合物を被着するには、クロム酸またはクロム化合
物に溶媒または分散媒を加えC液状にし、その中にセラ
ミックス焼結体を浸漬するか、あるいはこれをセラミッ
クス焼結体に塗布することにより行なわれる。なお前記
の液状物に酸化亜鉛等の金属酸化物を添加することによ
り、接合強度を一層増大させることができる。
上記のようにしてセラミックス焼結体に被着させたクロ
ム酸等を酸化するには、酸素含有雰囲気中で4. O0
〜790℃の温度で、1〜120分間加熱する。
このようにして形成された酸化クロム層を窒化クロムに
変化させるには、このセラミックス焼結体を窒素を含み
、かつ水素、−酸化炭素等の還元雰囲気中で1000〜
1500℃の温度で、1〜120分間加熱して5g元処
理を行なうことにJこりなされる。この時酸化クロム層
の窒化クロムへの変化は表面から行なわれるので、酸化
クロム層が厚さ方向に連続的に窒化クロム層に変化うる
ことになり、下地のセラミックス焼結体との密着性の良
い、すなわち接合強度の大きい窒化クロム層が形成され
る。従ってこのクロム層にニッケルめっきを施し、ろう
イ」りすることにより金属部材と接合させることができ
る。また金属化層の形成された異種のセラミックス焼結
体どうしを金属化層を介して接合させることにより異種
のセラミックス焼結体からなる接合体を得ることもでき
る。
[発明の実施例] 次に本発明の実施例について説明する。
実施例 比較的気孔の多い反応焼結3i 3N<焼結体を、酸化
亜鉛の添加されたクロム酸水溶液スラリー中に2〜3分
間浸漬しlc後、取り出して乾燥後約750℃C・10
分間加熱することにJ:り酸化クロム層を形成さゼた。
次いで窒素と水素の比が体積で1:1のフA−ミングガ
ス雰囲気中で1/1500Cで、60分間加熱して、表
面に導電性窒化クロムを形成させた。この導電性窒化ク
ロム層の電気伝導度を測定したところ1200Ω−1(
、B−1であった。
このようにして導電性窒化クロム層の形成されl〔セラ
ミックス焼結体にニッケルめっきを施こし、銀ろうを介
し−C鉄材と接合したところその接合強度は4 、5 
kg/ INイであった。
[発明の効果] 以上説明したように本発明方法によれば、窒化ケイ素等
の非酸化物系セラミックス焼結体であって表面に密着性
の良好な導電性窒化クロム層を形成したものを得ること
ができる。
代理人弁理士 須 山 佐 − 501−

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)表面に酸化クロムを含む窒化クロム層を形成して
    なる導電性セラミックス焼結体。
  2. (2)窒化クロム層は、酸化クロムを還元して得られた
    ものである特許請求の範囲第1項記載の導電性セラミッ
    クス焼結体。
  3. (3)窒化クロム層は、最外表面が窒化クロムであり、
    かつ内部に向けて酸化クロムが徐々に増加する層である
    特許請求の範囲第1項記載の導電性セラミックス焼結体
  4. (4)セラミックス焼結体に、クロム酸または酸素の存
    在下で加熱することにより酸化するクロム化合物を被着
    し、酸素雰囲気中で加熱して表面に酸化クロム層を形成
    した後、窒素を含む還元雰囲気で加熱処理を施して表面
    に導電性窒化クロム層を形成することを特徴とする導電
    性セラミックス焼結体の製造方法。
JP11147683A 1983-06-21 1983-06-21 導電性セラミツクス焼結体及びその製造方法 Pending JPS605083A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11147683A JPS605083A (ja) 1983-06-21 1983-06-21 導電性セラミツクス焼結体及びその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11147683A JPS605083A (ja) 1983-06-21 1983-06-21 導電性セラミツクス焼結体及びその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS605083A true JPS605083A (ja) 1985-01-11

Family

ID=14562218

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11147683A Pending JPS605083A (ja) 1983-06-21 1983-06-21 導電性セラミツクス焼結体及びその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS605083A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61247662A (ja) * 1985-04-23 1986-11-04 日本化学工業株式会社 導電性セラミックスの製造方法
JPS63100088A (ja) * 1986-09-25 1988-05-02 リリワイト・ソシエテ・アノニム 固体電解質伝導体及びその製造方法
JP2010510153A (ja) * 2006-11-18 2010-04-02 ベントレー モーターズ リミテッド セラミックツールの改善及びセラミックツールに関する改善

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61247662A (ja) * 1985-04-23 1986-11-04 日本化学工業株式会社 導電性セラミックスの製造方法
JPH0561227B2 (ja) * 1985-04-23 1993-09-03 Nippon Chemical Ind
JPS63100088A (ja) * 1986-09-25 1988-05-02 リリワイト・ソシエテ・アノニム 固体電解質伝導体及びその製造方法
JPH0647509B2 (ja) * 1986-09-25 1994-06-22 リリワイト・ソシエテ・アノニム 固体電解質伝導体及びその製造方法
JP2010510153A (ja) * 2006-11-18 2010-04-02 ベントレー モーターズ リミテッド セラミックツールの改善及びセラミックツールに関する改善

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS59182283A (ja) 導電性セラミツクス焼結体の製造方法
JPS59203784A (ja) 非酸化物系セラミックス焼結体のモリブデンシリサイド被膜の形成方法
US4820562A (en) Metallizing composition for sintered ceramic article
JPS605083A (ja) 導電性セラミツクス焼結体及びその製造方法
JPS6077177A (ja) セラミツクス接合体
JPS5830194A (ja) セラミック多層配線基板の製造法
JPS6021888A (ja) セラミツクスのメタライズ法
JPS60145980A (ja) 金属被膜を有するセラミツクス焼結体およびその製造方法
JPS59137379A (ja) 複合焼結セラミクスと金属との接着方法
JPS59156981A (ja) セラミツクスのメタライズ方法
JPS6236091A (ja) セラミツクスのメタライズ法
JPS60131885A (ja) 金属化表面を有するセラミツクス焼結体の製造方法
JPS6077185A (ja) セラミツクス焼結体およびその製造方法
JPS5948778B2 (ja) セラミックス−金属複合体の製造方法
JPS59203780A (ja) 非酸化物系セラミックス焼結体と金属部材との接合方法
JPS6270284A (ja) メタライズド炭化珪素系セラミツクス体とその製造方法
JPS6111912B2 (ja)
JPS62246890A (ja) 非酸化物系セラミツクのメタライズ層
JPS61174185A (ja) 炭化物系セラミツク体の金属化方法
JPS59207887A (ja) セラミツクスのメタライズ法
JPS6317279A (ja) 金属化面を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法
JPH0218371A (ja) AlN体のタングステンメタライズ構造
JPS632877A (ja) セラミックスのメタライズ方法
JPS6054914B2 (ja) 窒化珪素質セラミック体の金属化用組成物及び金属化方法
JPS59203778A (ja) 熱膨張係数の異なるセラミツクス焼結体どうしあるいはセラミツクス焼結体と金属部材との接合方法