JPS59182276A - 窒化ケイ素焼結体 - Google Patents
窒化ケイ素焼結体Info
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- JPS59182276A JPS59182276A JP58053528A JP5352883A JPS59182276A JP S59182276 A JPS59182276 A JP S59182276A JP 58053528 A JP58053528 A JP 58053528A JP 5352883 A JP5352883 A JP 5352883A JP S59182276 A JPS59182276 A JP S59182276A
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- JP
- Japan
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- sintered body
- rare earth
- silicon nitride
- earth oxide
- nitride sintered
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/597—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon oxynitride, e.g. SIALONS
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- Ceramic Engineering (AREA)
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- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は窒化ケイ素焼結体に関するものである。
窒化ケイ素（Ｓ１３Ｎ４）焼結体は優れた耐熱性を有す
るだめに、エンジン部材、耐食部品、耐摩耗耐熱部等の
新しい用途が期待されている。
るだめに、エンジン部材、耐食部品、耐摩耗耐熱部等の
新しい用途が期待されている。
Ｓｉ３Ｎ４の焼結体を造るには、５１３Ｎ４単独では焼
結が進行しにくいため、焼結助剤を併用して緻密な焼結
体を得ている。この焼結助剤としては、ＭｇＯやＹ２Ｏ
３を始めとする酸化物、更にはＭｇＯ−Ａｌ２Ｏ３、Ｙ
２Ｏ５−Ａｔ）２０３などの複合物が使用されている。
結が進行しにくいため、焼結助剤を併用して緻密な焼結
体を得ている。この焼結助剤としては、ＭｇＯやＹ２Ｏ
３を始めとする酸化物、更にはＭｇＯ−Ａｌ２Ｏ３、Ｙ
２Ｏ５−Ａｔ）２０３などの複合物が使用されている。
こうした焼結助剤の併用によシ緻密化がなされ、高強度
でかつ靭性、熱衝撃性の優れたＳｉ３Ｎ４焼結体が開発
されている。
でかつ靭性、熱衝撃性の優れたＳｉ３Ｎ４焼結体が開発
されている。
また、焼結方法についてはホットプレス、高温静水圧プ
レス（ＨＩＰ ） 、雰囲気加圧焼結や汎用性の高い常
圧焼結などが知られている。しかしながら、従来の方法
では常圧焼結により緻密な５ｉ５Ｎ４焼結体を得ること
が困難であった。
レス（ＨＩＰ ） 、雰囲気加圧焼結や汎用性の高い常
圧焼結などが知られている。しかしながら、従来の方法
では常圧焼結により緻密な５ｉ５Ｎ４焼結体を得ること
が困難であった。
このようなことから、本出願人は既に下記に示す高強度
の８１３Ｎ４焼結体を開発し、提案している。
の８１３Ｎ４焼結体を開発し、提案している。
■ Ｓ ｉ 、Ｎ４粉末に希土類酸化物を添加して焼結
してなる５ｔ３Ｎ４焼結体。
してなる５ｔ３Ｎ４焼結体。
■ ５１３Ｎ４粉末に希土類酸化物とＡｌ２Ｏ３を添加
して焼結してなるＳｉ３Ｎ４ｇ８結体。
して焼結してなるＳｉ３Ｎ４ｇ８結体。
■ 前記■、■においてＳｉ３Ｎ４の出発原料がα相６
５チ以上からなるものを用いて得られたＳｉ３Ｎ４焼結
体。
５チ以上からなるものを用いて得られたＳｉ３Ｎ４焼結
体。
■ ５ｉ３Ｎ４−Ｙ２Ｏ３−Ａ１２０３系をベースとし
、更に他の添加物からなるＳｉ３Ｎ４焼結体。
、更に他の添加物からなるＳｉ３Ｎ４焼結体。
上記５ｉ５Ｎ４焼結体のうち、■のα−８ｉ３Ｎ４に希
土類酸化物（特にＹ２Ｏ３）とＡｌ２Ｏ３を加えて焼結
したものは長柱状の結晶粒からなる微細組織で、優れた
高強度性を有する。
土類酸化物（特にＹ２Ｏ３）とＡｌ２Ｏ３を加えて焼結
したものは長柱状の結晶粒からなる微細組織で、優れた
高強度性を有する。
ところで、Ｓｉ３Ｎ４焼結体を機械材料として実用化す
るには、高い信頼性が要求され、実用応力をいかなる部
分に加えても十分に耐える微視的にも高強度であること
が必要である。しかしながら、現在のＳ ｉ ３Ｎ４焼
結体にはかかる特性を満足するものがなく、高信頼性、
高強度の５１３Ｎ４焼結体の出現が要望されている。
るには、高い信頼性が要求され、実用応力をいかなる部
分に加えても十分に耐える微視的にも高強度であること
が必要である。しかしながら、現在のＳ ｉ ３Ｎ４焼
結体にはかかる特性を満足するものがなく、高信頼性、
高強度の５１３Ｎ４焼結体の出現が要望されている。
本発明は上記要望を満足すべくなされたもので、高信頼
性、高強度の窒化ケイ素焼結体を提供しようとするもの
である。
性、高強度の窒化ケイ素焼結体を提供しようとするもの
である。
本発明者らはＳ ｉ ３Ｎ４焼結体の高強度化が組成に
大きく依存することに着目し、５ｉ６Ｎ４−希土類酸化
物（Ｙ２Ｏ３，Ｌａ２ｏ３等） −１！２０ｓ −Ａｔ
Ｎをベースとした焼結体が高強度化の点で優れた特性を
有することがわかった。しかしながら、とうした系の焼
結体について更に検討したところ、その構成相によって
機械的性質が大巾に変化することを究明した。即ち、Ｓ
ｉ３Ｎ４の結晶形にはα、βの２つの形が存在するが、
これに他の原子やイオンが固溶したα′、β′の結晶構
造のものが存在する。ａ’ −５ｔ３Ｎ４はａ −５ｔ
３Ｎ４にＹ。
大きく依存することに着目し、５ｉ６Ｎ４−希土類酸化
物（Ｙ２Ｏ３，Ｌａ２ｏ３等） −１！２０ｓ −Ａｔ
Ｎをベースとした焼結体が高強度化の点で優れた特性を
有することがわかった。しかしながら、とうした系の焼
結体について更に検討したところ、その構成相によって
機械的性質が大巾に変化することを究明した。即ち、Ｓ
ｉ３Ｎ４の結晶形にはα、βの２つの形が存在するが、
これに他の原子やイオンが固溶したα′、β′の結晶構
造のものが存在する。ａ’ −５ｔ３Ｎ４はａ −５ｔ
３Ｎ４にＹ。
Ｌａなどの希土類元素やＯが固溶したものが、β′−Ｓ
ｉ３Ｎ４はサイアロンとじて知られる”ものである。こ
のようにＳｉ３Ｎ４焼結体中には５１３Ｎ４相としてα
、α′、β、β′の４相が存在するため、これらの存在
形態によって機械的性質が大巾に変化した。
ｉ３Ｎ４はサイアロンとじて知られる”ものである。こ
のようにＳｉ３Ｎ４焼結体中には５１３Ｎ４相としてα
、α′、β、β′の４相が存在するため、これらの存在
形態によって機械的性質が大巾に変化した。
そこで、本発明者らは上記究明結果を踏えて鋭意研究を
重ねたところ、上述した系において構成相としてα’
−５ｔ３Ｎ４とβ−８１３Ｎ４からなシ、しかもα’
−５ｔ３Ｎ４の構成相中の比率が０．０５〜０．７の特
定の範囲にした組成、組織とすることによって、′ミク
ロ的にも極めて高強度の５１３Ｎ４焼結体を見い出した
。
重ねたところ、上述した系において構成相としてα’
−５ｔ３Ｎ４とβ−８１３Ｎ４からなシ、しかもα’
−５ｔ３Ｎ４の構成相中の比率が０．０５〜０．７の特
定の範囲にした組成、組織とすることによって、′ミク
ロ的にも極めて高強度の５１３Ｎ４焼結体を見い出した
。
また、上述した系において構成相としてα′−５ｔ５Ｎ
４とβ−８ｉ５Ｎ４とＳｔ−希土類元素〜Ａ７−０−Ｎ
系の相からなシ、しかもα−８ｉ３Ｎ４の構成相中の比
率が０７以主にした組成、組織にすることによって、′
ミクロ的にも極めて高強度の５１３Ｎ４焼結体を見い出
した。
４とβ−８ｉ５Ｎ４とＳｔ−希土類元素〜Ａ７−０−Ｎ
系の相からなシ、しかもα−８ｉ３Ｎ４の構成相中の比
率が０７以主にした組成、組織にすることによって、′
ミクロ的にも極めて高強度の５１３Ｎ４焼結体を見い出
した。
即ち、本願第１の発明は５ｉ３Ｎ４−希土類酸化物−Ａ
７２０３− ＡｔＮの系であって、構成相がα−８ｉ３
Ｎ４とβ−８ｉ３Ｎ４からなり、かつ該構成相中のα’
−５ｔ３Ｎ４の比率が０．０５〜０．７の範囲にある
ことを特徴とするものである。こうしたＳｉ３Ｎ４焼結
体のＸｉ回折の一例を示すと、第１図の如くなる。
７２０３− ＡｔＮの系であって、構成相がα−８ｉ３
Ｎ４とβ−８ｉ３Ｎ４からなり、かつ該構成相中のα’
−５ｔ３Ｎ４の比率が０．０５〜０．７の範囲にある
ことを特徴とするものである。こうしたＳｉ３Ｎ４焼結
体のＸｉ回折の一例を示すと、第１図の如くなる。
上記α’ Ｓ Ｉ ｓＮ４は既に述べた如＜ α’−
Ｓ １３Ｎ４にＹ・Ｌａ ＋Ｃｅなどの希土類元素や０
が固溶しているものである。こうしたα’ −５ｊ３Ｎ
４の構成相中の比率を上記範囲に限定した理由はα’−
３ｉＮ４ が０．０５未満及び０．７を越えると、十分な強度向上
を達成できないからである。
Ｓ １３Ｎ４にＹ・Ｌａ ＋Ｃｅなどの希土類元素や０
が固溶しているものである。こうしたα’ −５ｊ３Ｎ
４の構成相中の比率を上記範囲に限定した理由はα’−
３ｉＮ４ が０．０５未満及び０．７を越えると、十分な強度向上
を達成できないからである。
上記β−８ｉ ３Ｎ４はＸ線回折Ｃｕ−にαにおいて２
θ＝６０°ノヒークが０．１°以下の範囲にあるもので
ある。
θ＝６０°ノヒークが０．１°以下の範囲にあるもので
ある。
上記（ｔ″−８ｉＮｔβ−８ｉ３Ｎ４）結晶構造ｕｓ４
長柱状結晶粒からなることが望ましく、その粒径につい
ては長柱状粒の長手方向粒径で４０１１ｍ以下であるこ
とが望ましく、好ましくは２０１１ｍ以下がよい。この
場合アス被りト比（第２図のａ／ｂ ）が重要であシ、
その比が少なくとも２を越えるのが良い。
ては長柱状粒の長手方向粒径で４０１１ｍ以下であるこ
とが望ましく、好ましくは２０１１ｍ以下がよい。この
場合アス被りト比（第２図のａ／ｂ ）が重要であシ、
その比が少なくとも２を越えるのが良い。
一ヒ記系中の希土類酸化物の割合は常圧焼結法によシ５
１３Ｎ４焼結体を得る場合、３〜１０重量％の範囲にす
ることが望ましい。この理由は３重量擾未満にすると結
晶粒の長柱状が不完全になシ易く緻密比も進みに＜＜、
かといって１０重量％を越えると、窒化ケイ素本来の特
性がそこなわれてしまうからである。但し、ポットプレ
スやＨＩＰ等の外圧を加えて焼結する方法を採用する場
合には、緻密化の問題は回避できるので、希土類酸化物
の下限を２重量係にしてもよい。
１３Ｎ４焼結体を得る場合、３〜１０重量％の範囲にす
ることが望ましい。この理由は３重量擾未満にすると結
晶粒の長柱状が不完全になシ易く緻密比も進みに＜＜、
かといって１０重量％を越えると、窒化ケイ素本来の特
性がそこなわれてしまうからである。但し、ポットプレ
スやＨＩＰ等の外圧を加えて焼結する方法を採用する場
合には、緻密化の問題は回避できるので、希土類酸化物
の下限を２重量係にしてもよい。
本願第２の発明は５ｉ５Ｎ４−希土類酸化物−Ａ４２０
３−、 Ａ／Ｎの系であって、構成相がα′−８ｉ３Ｎ
、、ｘ とβ−８ｒ ３Ｎ４と５ｔ−ｆｆ、土類元素
−Ａ７−０− Ｎ系の相がらなり、かつ該構成相中のα
−８ｉ５Ｎ４の比率が０７以下の範囲にあることを特徴
とするものである。こうしたＳｔ Ｎ４ 焼結体のＸ線回折の一例を示すと、牽３図の如くなる。
３−、 Ａ／Ｎの系であって、構成相がα′−８ｉ３Ｎ
、、ｘ とβ−８ｒ ３Ｎ４と５ｔ−ｆｆ、土類元素
−Ａ７−０− Ｎ系の相がらなり、かつ該構成相中のα
−８ｉ５Ｎ４の比率が０７以下の範囲にあることを特徴
とするものである。こうしたＳｔ Ｎ４ 焼結体のＸ線回折の一例を示すと、牽３図の如くなる。
上記α’−８］３Ｎ４の構成相中の比率を限定した理由
はα’ Ｓ １３Ｎ４が０７を越えると、十分な強度
向上を達成できないからである。
はα’ Ｓ １３Ｎ４が０７を越えると、十分な強度
向上を達成できないからである。
上記Ｓｉ−希土類元素−Ａｌ−０−Ｎ系（以下、Ｘと称
す）の相を具体的に例示すると、 Ｊ （Ｙ４Ｓ１２０７Ｎ２ ） ＋ Ｈ（ＹｇＳｉ６０
２１Ｎ３） ＋Ｋ （ＹＳ ｒ ０２ Ｎ ）の相等が
ある。
す）の相を具体的に例示すると、 Ｊ （Ｙ４Ｓ１２０７Ｎ２ ） ＋ Ｈ（ＹｇＳｉ６０
２１Ｎ３） ＋Ｋ （ＹＳ ｒ ０２ Ｎ ）の相等が
ある。
上記α’ ５ｉ３Ｎ４ｔβ−３１３Ｎ４ ｔの結晶構
造は細長柱状であることが望ましく、その粒径について
は長柱状粒として長手方向の径で４０μｍ以下、好まし
くは２０μｍ以下であるのがよい。
造は細長柱状であることが望ましく、その粒径について
は長柱状粒として長手方向の径で４０μｍ以下、好まし
くは２０μｍ以下であるのがよい。
なお、本発明においては必要に応じて５ｉ３Ｎ４−希土
類酸化物−Ａ７２０３− Ａ７！Ｎの系にＴｔ０２ ｙ
ＭｇＯ、ＺｒＯ２の少なくとも１種添加してもよい。
類酸化物−Ａ７２０３− Ａ７！Ｎの系にＴｔ０２ ｙ
ＭｇＯ、ＺｒＯ２の少なくとも１種添加してもよい。
次に、本発明の５１３Ｎ４焼結体の製造方法について説
明する。
明する。
まず、５ｉ３Ｎ４−希土類酸化物−Ａ１２０３− Ａ／
Ｎを出発原料としてこれを成形する。この原料中の５１
３Ｎ４粉末としてはα−８ｉ３Ｎ４粉末が６５％以上含
有するものを用いる。次いで、前記成形体を非酸化性雰
囲気（例えばＮ２雰囲気”等）で１７００〜１８００℃
にて焼成して５ｉ５Ｎ４脱結体を造る。この製造工程に
おいてα−８ｉ３Ｎ４粉末の含有場や焼成条件等を変え
ることにより本願第１の発明の焼結体、本）頭第２の発
明の焼結体を得ることができる。
Ｎを出発原料としてこれを成形する。この原料中の５１
３Ｎ４粉末としてはα−８ｉ３Ｎ４粉末が６５％以上含
有するものを用いる。次いで、前記成形体を非酸化性雰
囲気（例えばＮ２雰囲気”等）で１７００〜１８００℃
にて焼成して５ｉ５Ｎ４脱結体を造る。この製造工程に
おいてα−８ｉ３Ｎ４粉末の含有場や焼成条件等を変え
ることにより本願第１の発明の焼結体、本）頭第２の発
明の焼結体を得ることができる。
以下、本発明の詳細な説明する。
実施例１〜１５
原料として平均粒径１．２μｍで９２チのα−８ｉ５Ｎ
４を含有する５１３Ｎ４粉末、平均粒径０．７μｍの高
純度Ｙ２Ｏ３粉末、平均粒径０．３μｍの高純度Ａｌ２
Ｏ３粉末、及び平均粒径１．２μｍの高純度Ａ７Ｎ粉末
を用い成形し、常圧焼結を行なって５ｉ３Ｎ４−Ｙ Ｏ
−Ａ／２０３− ＡｌＮの系で下記表に示す構成３ 相の組織を有する１５種の５１３Ｎ４焼結体を得た。
４を含有する５１３Ｎ４粉末、平均粒径０．７μｍの高
純度Ｙ２Ｏ３粉末、平均粒径０．３μｍの高純度Ａｌ２
Ｏ３粉末、及び平均粒径１．２μｍの高純度Ａ７Ｎ粉末
を用い成形し、常圧焼結を行なって５ｉ３Ｎ４−Ｙ Ｏ
−Ａ／２０３− ＡｌＮの系で下記表に示す構成３ 相の組織を有する１５種の５１３Ｎ４焼結体を得た。
得られた各焼結体を切シ出して３ｘ３ｘ３０ｍのテスト
♂−スとし、これらをス・ぐ７２０喘の強度試験によ９
３点曲げ強さを測定した。その結果を同表中に併記した
。なお、表中には本発明のＳｉ３Ｎ４焼結体とは構成相
が異なったり、α−８ｉ５Ｎ４の比率がはずれる５ｉ５
Ｎ４焼結体を比較例１〜５として併記した。
♂−スとし、これらをス・ぐ７２０喘の強度試験によ９
３点曲げ強さを測定した。その結果を同表中に併記した
。なお、表中には本発明のＳｉ３Ｎ４焼結体とは構成相
が異なったり、α−８ｉ５Ｎ４の比率がはずれる５ｉ５
Ｎ４焼結体を比較例１〜５として併記した。
上表から明らかな如く、本発明の５１３Ｎ４焼結体は常
温及び熱間での曲げ強度が極めて高いことがわかる。こ
れに対し、本発明の５１５Ｎ４焼結体と構成相で同じで
あってもα’ −５ｔ３Ｎ４の比率が本発明の範囲から
はずれたＳ ｔ ３Ｎ４焼結体（比較例１，２．５）は
十分な曲げ強度の向上化を達成できず、特に熱間曲げ強
度の向上化が難しい。
温及び熱間での曲げ強度が極めて高いことがわかる。こ
れに対し、本発明の５１５Ｎ４焼結体と構成相で同じで
あってもα’ −５ｔ３Ｎ４の比率が本発明の範囲から
はずれたＳ ｔ ３Ｎ４焼結体（比較例１，２．５）は
十分な曲げ強度の向上化を達成できず、特に熱間曲げ強
度の向上化が難しい。
また、本発明の５１３Ｎ４焼結体の構成相とは異なる５
ｉ５Ｎ４焼結体（比較例３，４）ではよシ十分な曲げ強
度の向上化が難しい。
ｉ５Ｎ４焼結体（比較例３，４）ではよシ十分な曲げ強
度の向上化が難しい。
なお、上記実施例では常圧焼結法によシ得られたＳｉ３
Ｎ４焼結体について説明したが、ホットプレスやＨＩＰ
で製造すれば実施例に比べてより微密で曲げ強度の高い
Ｓｉ３Ｎ４焼結体を得ることができる。
Ｎ４焼結体について説明したが、ホットプレスやＨＩＰ
で製造すれば実施例に比べてより微密で曲げ強度の高い
Ｓｉ３Ｎ４焼結体を得ることができる。
以上詳述した如く、本発明によればミクロ的にも高強度
で高信頼性の璧化ケイ累焼結体を提供できる。
で高信頼性の璧化ケイ累焼結体を提供できる。
第１図は本願第１の発明のＳ ｔ ３Ｎ４焼結体のＸ線
回折を示す図、第２図は結晶粒の粒径を説明するだめの
図、第３図は本願第２の発明のＳｉ３Ｎ４焼結体のＸ線
回折を示す図である。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 同性 角度 第２図
回折を示す図、第２図は結晶粒の粒径を説明するだめの
図、第３図は本願第２の発明のＳｉ３Ｎ４焼結体のＸ線
回折を示す図である。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 同性 角度 第２図
Claims (8)
- （１）Ｓｉ３Ｎ４−希土類酸化物−Ａ７２０３− ＡＡ
ＩＮの系であって、構成相がα’−８ｔ３Ｎ４とβ−８
ｉ ５Ｎ４からなシ、かつ該構成相中のα’−５ｔ３Ｎ
４の比率が０．０５〜０．７の範囲にあることを特徴と
する窒化ケイ素焼結体。 - （２）Ｓ１３Ｎ４−希土類酸化物−Ａ７２０３− Ａｌ
Ｎ系の中にＴｉＯ２＋ ＭｇＯ及びＺ ｒＯ２のうちの
少なくとも１種を含むことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の窒化ケイ素焼結体。 - （３）希土類酸化物の量が３〜１０重量％の範囲である
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載
の窒化ケイ素焼結体。 - （４）希土類酸化物としてＹ２Ｏ３を用い゛ることを特
徴とする特許請求の範囲第１項乃至第３項いずれか記載
の窒化ケイ素焼結体。 - （５）Ｓ１３Ｎ４−希土類酸化物−Ａ／２０３− ＡＩ
Ｎの糸であって、構成相がα′−Ｓｉ、Ｎ４とβ−８ｉ
３Ｎ４とＳｔ−希土類元素−ＡＪ −０−Ｎ系の相か
らなシ、かつ該構成相中のα’ −５ｔ３Ｎ４の比率が
Ｑ、 ７以下の範囲にあることを特徴とする窒化ケイ素
焼結体。 - （６）Ｓ１３Ｎ４−希土類酸化物−ＡＪ２０３− ＡＪ
Ｎ系の中にＴｉＯ２，ＭｇＯ及びＺ ｒＯ２のうちの少
なくとも１種を含むことを特徴とする特許請求の範囲第
５項記載の窒化ケイ素焼結体。 - （７）希土類酸化物の量が３〜１０重量％の範囲である
ことを特徴とする特許請求の範囲第５項又は第６項記載
の窒化ケイ素焼結体。 - （８）希土類酸化物としてＹ２Ｏ３を用いることを特徴
とする特許請求の範囲第５項乃至第７項いずれか記載の
窒化ケイ素焼結体。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58053528A JPS59182276A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 窒化ケイ素焼結体 |
| EP19840302052 EP0124989B1 (en) | 1983-03-31 | 1984-03-27 | Silicon-nitride-sintered body |
| DE8484302052T DE3464891D1 (en) | 1983-03-31 | 1984-03-27 | Silicon-nitride-sintered body |
| CA000451007A CA1217506A (en) | 1983-03-31 | 1984-03-30 | Silicon-nitride-sintered body |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58053528A JPS59182276A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 窒化ケイ素焼結体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59182276A true JPS59182276A (ja) | 1984-10-17 |
| JPS638071B2 JPS638071B2 (ja) | 1988-02-19 |
Family
ID=12945304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58053528A Granted JPS59182276A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 窒化ケイ素焼結体 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0124989B1 (ja) |
| JP (1) | JPS59182276A (ja) |
| CA (1) | CA1217506A (ja) |
| DE (1) | DE3464891D1 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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