JPS59143053U - 絶縁ゲ−ト型電界効果トランジスタ - Google Patents
絶縁ゲ−ト型電界効果トランジスタInfo
- Publication number
- JPS59143053U JPS59143053U JP3701283U JP3701283U JPS59143053U JP S59143053 U JPS59143053 U JP S59143053U JP 3701283 U JP3701283 U JP 3701283U JP 3701283 U JP3701283 U JP 3701283U JP S59143053 U JPS59143053 U JP S59143053U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate
- field effect
- effect transistor
- insulated gate
- gate field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図はインバータの回路図、第2図は半導体基板上に
設けたインバータの接続状態を示す上面図、第3図は本
考案絶縁ゲート型電界効果トランジスタの断面図、第4
図乃至第7図は本考案トランジスタの製造方法を工程順
に示した断面図である。 10・・・基板、13・・・ソース領域、14・・・ド
レイン領域、16・・・ゲート酸化膜、17・・・ゲー
ト電極、18・・・接続体。
設けたインバータの接続状態を示す上面図、第3図は本
考案絶縁ゲート型電界効果トランジスタの断面図、第4
図乃至第7図は本考案トランジスタの製造方法を工程順
に示した断面図である。 10・・・基板、13・・・ソース領域、14・・・ド
レイン領域、16・・・ゲート酸化膜、17・・・ゲー
ト電極、18・・・接続体。
Claims (1)
- 一導電型半導体基板上層部に設けられたソース、ドレイ
ン領域と、この両領域間に介在しているゲート領域と、
このゲート領域上に形成されたゲート絶縁膜と、このゲ
ート酸化膜上に設けられたゲート電極と、このゲート電
極の側面と上記ソース、ドレイン領域の内の一方とを直
結する導電性の接続体と、から成る絶縁ゲート型電界効
果トランジスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3701283U JPS59143053U (ja) | 1983-03-14 | 1983-03-14 | 絶縁ゲ−ト型電界効果トランジスタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3701283U JPS59143053U (ja) | 1983-03-14 | 1983-03-14 | 絶縁ゲ−ト型電界効果トランジスタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59143053U true JPS59143053U (ja) | 1984-09-25 |
Family
ID=30167669
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3701283U Pending JPS59143053U (ja) | 1983-03-14 | 1983-03-14 | 絶縁ゲ−ト型電界効果トランジスタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59143053U (ja) |
-
1983
- 1983-03-14 JP JP3701283U patent/JPS59143053U/ja active Pending
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