JPS59141570U - プラズマエツチング装置 - Google Patents
プラズマエツチング装置Info
- Publication number
- JPS59141570U JPS59141570U JP3773183U JP3773183U JPS59141570U JP S59141570 U JPS59141570 U JP S59141570U JP 3773183 U JP3773183 U JP 3773183U JP 3773183 U JP3773183 U JP 3773183U JP S59141570 U JPS59141570 U JP S59141570U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction tube
- plasma etching
- high frequency
- electric field
- frequency electric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案エツチング装置の一実施例を示すブロック図
である。 １・・・・・・反応管、２・・・・・・反応ガス供給機
構、５゜６・・・・・・電極、８・・・・・・シリコン
被膜、９・・・・・・高周波発生手段、１２・・・・・
・シリコン基板。
である。 １・・・・・・反応管、２・・・・・・反応ガス供給機
構、５゜６・・・・・・電極、８・・・・・・シリコン
被膜、９・・・・・・高周波発生手段、１２・・・・・
・シリコン基板。
Claims (2)
- （１）反応管内にＣＦ、ガスを供給するとともにこの反
応管内に供給されたＣＦ、ガスに高周波電界を印加して
反応管内に配置された被エツチング物をエツチングする
プラズマエツチング装置において上記反応管にＣＦ、ガ
スを供給する反応ガス供給機構と、上記反応管内に高周
波電界を印加するように配された電極と、上記反応管内
の高周波電界印加部に設けられ、活性化されたＦに反応
する固形物質と、から成ることを特徴としたプラズマエ
ツング装置。 - （２）上記電極は反応管内に配設された平行平板型電極
であり、上記固形物質として電極表面にシリコン被膜を
設けた事を特徴とした実用新案登録請求の範囲第１項記
載のプラズマエツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3773183U JPS59141570U (ja) | 1983-03-15 | 1983-03-15 | プラズマエツチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3773183U JPS59141570U (ja) | 1983-03-15 | 1983-03-15 | プラズマエツチング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59141570U true JPS59141570U (ja) | 1984-09-21 |
Family
ID=30168419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3773183U Pending JPS59141570U (ja) | 1983-03-15 | 1983-03-15 | プラズマエツチング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59141570U (ja) |
-
1983
- 1983-03-15 JP JP3773183U patent/JPS59141570U/ja active Pending
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