JPS5897844A - ダイ詰め換え装置 - Google Patents
ダイ詰め換え装置Info
- Publication number
- JPS5897844A JPS5897844A JP19572681A JP19572681A JPS5897844A JP S5897844 A JPS5897844 A JP S5897844A JP 19572681 A JP19572681 A JP 19572681A JP 19572681 A JP19572681 A JP 19572681A JP S5897844 A JPS5897844 A JP S5897844A
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- Japan
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- tray
- holder
- die
- wafer ring
- tray holder
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体装置の製造工程等において行われるダイ
詰め換え装置に関する。
詰め換え装置に関する。
一般に、ダイボンダーにおいては、ウェハーから良品ダ
イを識別し、ダイピックアップ装置により該ダイをピッ
クアップして直接基板等にボッディングすることが行わ
れている。しかしながら。
イを識別し、ダイピックアップ装置により該ダイをピッ
クアップして直接基板等にボッディングすることが行わ
れている。しかしながら。
この方法は良品ダイか識別されるまではボンディングが
行えないので、ダイボンダー自体の稼動率が悪い。
行えないので、ダイボンダー自体の稼動率が悪い。
そこで最近、ウェハーから良品ダイを識別して一旦トレ
ーに詰め換え、このトレーをダイボンダーにセットして
ボンディングを行うことが行われている。しかしながら
、前記良品ダイをトレーに詰め換える作業は手作業によ
るため、非常に作業性が悪い。
ーに詰め換え、このトレーをダイボンダーにセットして
ボンディングを行うことが行われている。しかしながら
、前記良品ダイをトレーに詰め換える作業は手作業によ
るため、非常に作業性が悪い。
本発明はかかる背景に立ってなされたもので、自動的に
ダイの詰め換えが行えるダイ詰め換え装置を提供するこ
とを目的とする。
ダイの詰め換えが行えるダイ詰め換え装置を提供するこ
とを目的とする。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第１図は本発明になるダイ詰め換え装置の一実施例を示
す全体斜視図、第２図は第１図の概略構成を示す説萌平
面図である。第１図及び第２図に示す本装置は大別して
、ウェハーリングホルダー駆動子段ｌＯと、トレーホル
ダー駆動手段３０と、ウェハーリングホルダー駆動手段
１０よりトレーホルダー駆動手段３０上のトレーに良品
ダイを詰めるダイピックアップ手段４０と、ウェハーリ
ングホルダー駆動手段１０にセットされたダイを識別す
るダイ識別装置５０と、ローダ側マガジンより空のトレ
ーをトレーホルダー駆動手段３０に供給すると共に良品
ダイか収納されたトレーをアノローダ側マガジンに収納
するトレー供給収納装置６０とよりなる。
す全体斜視図、第２図は第１図の概略構成を示す説萌平
面図である。第１図及び第２図に示す本装置は大別して
、ウェハーリングホルダー駆動子段ｌＯと、トレーホル
ダー駆動手段３０と、ウェハーリングホルダー駆動手段
１０よりトレーホルダー駆動手段３０上のトレーに良品
ダイを詰めるダイピックアップ手段４０と、ウェハーリ
ングホルダー駆動手段１０にセットされたダイを識別す
るダイ識別装置５０と、ローダ側マガジンより空のトレ
ーをトレーホルダー駆動手段３０に供給すると共に良品
ダイか収納されたトレーをアノローダ側マガジンに収納
するトレー供給収納装置６０とよりなる。
ウェハーリングホルダー駆動手段１０（第１図、第２図
、第３図参照） ウェハーリングホルダー１１はＸ方向駆動用モータ１２
によってＸ方向に駆動されるＸテーブル１３に固定され
ており、Ｘテーブル１３はＹ方向駆動用モータ１４によ
ってＹ方向に駆動されるＹテーブル１５に摺動自在に搭
載されている。即ち、Ｘテーブル１３とＹテーブル１５
６ごよってＸＹテーブルを構成しており、このＸＹテー
ブルは架台ｌ上に固定されたベース２上ＩこＸＹ方向に
摺動自在に攻付けられている。前記ウェハ−リングホル
ダー１１には、ウエノ１−リノグ１６を位置決め固定す
るために、２本のビン１７．１８と爪１９とが撤けられ
、爪１９はウェハーりング１６をビン１７．１８に押付
けるように図示しないばねで付勢されている。前記ウェ
ハ−リング１６には縦横複数に等間隔に分割されたダイ
２０が貼付けられた粘着シートが取付けられている。
、第３図参照） ウェハーリングホルダー１１はＸ方向駆動用モータ１２
によってＸ方向に駆動されるＸテーブル１３に固定され
ており、Ｘテーブル１３はＹ方向駆動用モータ１４によ
ってＹ方向に駆動されるＹテーブル１５に摺動自在に搭
載されている。即ち、Ｘテーブル１３とＹテーブル１５
６ごよってＸＹテーブルを構成しており、このＸＹテー
ブルは架台ｌ上に固定されたベース２上ＩこＸＹ方向に
摺動自在に攻付けられている。前記ウェハ−リングホル
ダー１１には、ウエノ１−リノグ１６を位置決め固定す
るために、２本のビン１７．１８と爪１９とが撤けられ
、爪１９はウェハーりング１６をビン１７．１８に押付
けるように図示しないばねで付勢されている。前記ウェ
ハ−リング１６には縦横複数に等間隔に分割されたダイ
２０が貼付けられた粘着シートが取付けられている。
トレーホルダー駆動手段３０（第１図、第４図参照）
第５図に示すようにダイ２０を収納する凹部３１ａが縦
横等間隔に形成されたトレー３１は、トレーホルダー３
２の上部に位置決め載置される。トレーホルダー３２は
Ｙ方向駆動用モータ３３によってＹ方向に駆動されるＹ
テーブル３４に固定されており、Ｙテーブル３４はＸ方
向駆動用モータ３５によってＸ方向に駆動されるＸテー
ブル３６に摺動自在に搭載されている。即ち、Ｙテーブ
ル３４とＸテーブル３６によってＸＹテーブルを構成し
ており、このＸＹテーブルはベース２の下方にＸＹ方向
に摺動自在に取付けられている。また前記トレーホルダ
ー３２のＸ方向及びＹ方向の最大移動範囲を規制するリ
ミット検出板３７が図示しない手段でベース２上に揺動
自在に懸垂されており、このリミット検出板３７の動き
を検出する図示しないセンサーがＸＹ方向にそれぞれベ
ース２に取付けられている。
横等間隔に形成されたトレー３１は、トレーホルダー３
２の上部に位置決め載置される。トレーホルダー３２は
Ｙ方向駆動用モータ３３によってＹ方向に駆動されるＹ
テーブル３４に固定されており、Ｙテーブル３４はＸ方
向駆動用モータ３５によってＸ方向に駆動されるＸテー
ブル３６に摺動自在に搭載されている。即ち、Ｙテーブ
ル３４とＸテーブル３６によってＸＹテーブルを構成し
ており、このＸＹテーブルはベース２の下方にＸＹ方向
に摺動自在に取付けられている。また前記トレーホルダ
ー３２のＸ方向及びＹ方向の最大移動範囲を規制するリ
ミット検出板３７が図示しない手段でベース２上に揺動
自在に懸垂されており、このリミット検出板３７の動き
を検出する図示しないセンサーがＸＹ方向にそれぞれベ
ース２に取付けられている。
ダイピックアップ手段４０（第１図、第２図、第３図参
照） ダイ２０を吸着移送する移送コレット４１はコレットア
ーム４２の一端に固定されており、コレットアーム４２
の他端はベース２上に固定された支柱４３より水平に伸
びたアーム４４に上下動及び旋回可能に設けられた回転
軸４５１こ固定されている。回転軸４５の上下動及び旋
回は図示しない機構によって行われる。また前記ウェハ
ーリング１６の下方には前記ダイ２０を突き上げる突上
げ針４６が設けられ、この突上げ針４６はガイド４７に
沿って駆動手段４８で上下動させられる。
照） ダイ２０を吸着移送する移送コレット４１はコレットア
ーム４２の一端に固定されており、コレットアーム４２
の他端はベース２上に固定された支柱４３より水平に伸
びたアーム４４に上下動及び旋回可能に設けられた回転
軸４５１こ固定されている。回転軸４５の上下動及び旋
回は図示しない機構によって行われる。また前記ウェハ
ーリング１６の下方には前記ダイ２０を突き上げる突上
げ針４６が設けられ、この突上げ針４６はガイド４７に
沿って駆動手段４８で上下動させられる。
ダイ識別装置５０（第１図参照）
前記突上げ針４６（ガイド４７）の真上上方にはダイ２
０の良、不良を判定するための検出カメラ５１が配設さ
れており、この検出カメラ５１は前記アーム４４に固定
されている。
０の良、不良を判定するための検出カメラ５１が配設さ
れており、この検出カメラ５１は前記アーム４４に固定
されている。
トレー供給収納装置６０（第１図、第２図、第６図参照
） トレー供給収納装置６０゛はトレーホルダー駆動手段３
０に対してウェハーリングホルダー駆動手段１０側と反
対側に設けられており、左右にはローダ部６１、アンロ
ーダ部６２がそれぞれ設けられている。そしてローダ部
６１にはトレー３１を装填したマガジン６３をセットし
、アンローダ部６２には空のマガジン６４をセットする
。前記ローダ部６１及びアンローダ部６２にはそれぞれ
内側に前記トレーホルダー３２の幅より若干広い間隔を
あけてトレーホルダー３２の上面と同じ高さのレベルで
ローダ側フィダ一部６５とアンローダ側フィダ一部６６
とが設けられている。またローダ側フィダ一部６５より
空のトレー３１をトレーホルダー３２上に送る際の送り
ミスを検出するために、トレーホルダー３２がローダ側
フィダ一部６５とアンローダ側フィダ一部６６間に位置
した場合におけるトレーホルダー３２とローダ側フィダ
一部６５との間隔部を検出するようｔこ投光器６７と受
光器６８とが斜めに設けられている。このように投受光
器６７．６８を斜めに配設することにより検出範囲が広
くとれる。第６図（ａｌはトレー３１が正しく移送され
ている状態、同図（ｂｌ（Ｃ）はトレー３１の送りミス
状態を示す。ここで、投受光器６７．６８を垂直に配設
すると、同図（Ｃ）に示すような送りミスは検出できな
いが、本実施例のように斜めに配設すると、トレー３１
の厚みにより検出できるようになり、同図（Ｃ）のよう
な送りミスも検出できる。なお、図示省略したがトレー
ホルダー３２とアノローダ側フィダ一部６６間にも投受
光器が配設されている。
） トレー供給収納装置６０゛はトレーホルダー駆動手段３
０に対してウェハーリングホルダー駆動手段１０側と反
対側に設けられており、左右にはローダ部６１、アンロ
ーダ部６２がそれぞれ設けられている。そしてローダ部
６１にはトレー３１を装填したマガジン６３をセットし
、アンローダ部６２には空のマガジン６４をセットする
。前記ローダ部６１及びアンローダ部６２にはそれぞれ
内側に前記トレーホルダー３２の幅より若干広い間隔を
あけてトレーホルダー３２の上面と同じ高さのレベルで
ローダ側フィダ一部６５とアンローダ側フィダ一部６６
とが設けられている。またローダ側フィダ一部６５より
空のトレー３１をトレーホルダー３２上に送る際の送り
ミスを検出するために、トレーホルダー３２がローダ側
フィダ一部６５とアンローダ側フィダ一部６６間に位置
した場合におけるトレーホルダー３２とローダ側フィダ
一部６５との間隔部を検出するようｔこ投光器６７と受
光器６８とが斜めに設けられている。このように投受光
器６７．６８を斜めに配設することにより検出範囲が広
くとれる。第６図（ａｌはトレー３１が正しく移送され
ている状態、同図（ｂｌ（Ｃ）はトレー３１の送りミス
状態を示す。ここで、投受光器６７．６８を垂直に配設
すると、同図（Ｃ）に示すような送りミスは検出できな
いが、本実施例のように斜めに配設すると、トレー３１
の厚みにより検出できるようになり、同図（Ｃ）のよう
な送りミスも検出できる。なお、図示省略したがトレー
ホルダー３２とアノローダ側フィダ一部６６間にも投受
光器が配設されている。
次にかから構成される装置の作用について説明する。ま
ず等間隔に分割されたダイ２０が貼付けられた粘着シー
トをウェハーリング１６に取付ける。そして、このウェ
ハーりング１６をウェハーリングホルダー１１に載置し
、爪１９でビン１７．１８に押付けて取付ける。そこで
、電源を入れて本装置を始動させると、トレーホルダー
駆動手段３０のＹ方向駆動用モータ３３が駆動し、トレ
ーホルダー３２はローダ側フィダ一部６５とアンローダ
側フィダ一部６６間に位置する。この状態でローダ部６
１のマガジン６３より空のトレー３１がローダ側フィダ
一部６５に送られ、ローダ側フィダ一部６５よりトレー
ホルダー３２にトレー３１が載置される。この時、第６
図（ｂ）（Ｃ）に示すように投受光器６７．６８．がト
レー３１の送りミスを検出すると、装置は停止する。第
６図（ａ）に示すように正常に送られると、トレーホル
ダー駆動手段３０のＹ方向駆動用モータ３３が前記と逆
方向に駆動してトレーホルダー３２は第１図に示り す冗の位置に位置する。
ず等間隔に分割されたダイ２０が貼付けられた粘着シー
トをウェハーリング１６に取付ける。そして、このウェ
ハーりング１６をウェハーリングホルダー１１に載置し
、爪１９でビン１７．１８に押付けて取付ける。そこで
、電源を入れて本装置を始動させると、トレーホルダー
駆動手段３０のＹ方向駆動用モータ３３が駆動し、トレ
ーホルダー３２はローダ側フィダ一部６５とアンローダ
側フィダ一部６６間に位置する。この状態でローダ部６
１のマガジン６３より空のトレー３１がローダ側フィダ
一部６５に送られ、ローダ側フィダ一部６５よりトレー
ホルダー３２にトレー３１が載置される。この時、第６
図（ｂ）（Ｃ）に示すように投受光器６７．６８．がト
レー３１の送りミスを検出すると、装置は停止する。第
６図（ａ）に示すように正常に送られると、トレーホル
ダー駆動手段３０のＹ方向駆動用モータ３３が前記と逆
方向に駆動してトレーホルダー３２は第１図に示り す冗の位置に位置する。
次にコレットアーム４２がダイ２０の真上に旋回下降し
、また突上げ針４６が上昇し、移送コレット４１がダイ
２０を吸着する。続いてコレットアーム４２が上昇及び
旋回し、移送コレット４１に吸着されたダイ２ｏはトレ
ーボルダ−３２上のトレー３１の上方の所定位置に位置
する。続いて移送コレット４１が下降してトレー３１の
凹部３１ａにダイ２０を納める。そして、再び前記と逆
の動作によって移送コレット４１がウニへ゛−リングホ
ルダー１１とトレーホルダー３２間に位置する。
、また突上げ針４６が上昇し、移送コレット４１がダイ
２０を吸着する。続いてコレットアーム４２が上昇及び
旋回し、移送コレット４１に吸着されたダイ２ｏはトレ
ーボルダ−３２上のトレー３１の上方の所定位置に位置
する。続いて移送コレット４１が下降してトレー３１の
凹部３１ａにダイ２０を納める。そして、再び前記と逆
の動作によって移送コレット４１がウニへ゛−リングホ
ルダー１１とトレーホルダー３２間に位置する。
またこの間−こウェハーリングホルダー１１はＸ方向駆
動用モータ１２及びＹ方向駆動用モータ１４の少なくと
も一方によって駆動され、検出カメラ５Ｈこよって検出
された良品のダイ２ｏが突上げ針４６の真上に位置する
ように移動させられる。
動用モータ１２及びＹ方向駆動用モータ１４の少なくと
も一方によって駆動され、検出カメラ５Ｈこよって検出
された良品のダイ２ｏが突上げ針４６の真上に位置する
ように移動させられる。
また移送コレット４１がウェハーリングポルター１１の
上方より突上げ針４６の上方に移動する間にトレーホル
ダー３２はＹ方向駆動用モータ３３及びＸ駆動用モータ
３５の少なくとも一方が駆動してトレー３１の凹部３１
ａのピッチだけ移動して次の収納する凹部３１ａを所定
位［−こ位置させる。
上方より突上げ針４６の上方に移動する間にトレーホル
ダー３２はＹ方向駆動用モータ３３及びＸ駆動用モータ
３５の少なくとも一方が駆動してトレー３１の凹部３１
ａのピッチだけ移動して次の収納する凹部３１ａを所定
位［−こ位置させる。
この動作を繰返してトレー３１に良品ダイ２゜が満杯に
なると、Ｙ方向駆動用モータ３３が駆動し、トレーホル
ダー３２はローダ側フィダ一部６５とアンローダ側フィ
ダ一部６６間に位置する。そして、図示しない手段でト
レー３１はトレーホルダー３２よりアンローダ側フィダ
一部６６を通ってアンローダ部６２のマガジン６４に収
納される。
なると、Ｙ方向駆動用モータ３３が駆動し、トレーホル
ダー３２はローダ側フィダ一部６５とアンローダ側フィ
ダ一部６６間に位置する。そして、図示しない手段でト
レー３１はトレーホルダー３２よりアンローダ側フィダ
一部６６を通ってアンローダ部６２のマガジン６４に収
納される。
トレーホルダー３２より良品ダイ２０が収納されたトレ
ー３１がアンローダ側フブダ一部６６に送られると、前
記したように再びローダ部６１のマガジン６３より空の
トレー３１がトレーホルダー３２＃こ供給される。
ー３１がアンローダ側フブダ一部６６に送られると、前
記したように再びローダ部６１のマガジン６３より空の
トレー３１がトレーホルダー３２＃こ供給される。
このように、空のトレー３１の供給及び良品ダイ２０が
収納されたトレー３１の収納並びに良品ダイ２０を識別
してトレー３１に収納する一連の動作を全自動的に行う
ことができる。
収納されたトレー３１の収納並びに良品ダイ２０を識別
してトレー３１に収納する一連の動作を全自動的に行う
ことができる。
以上の説明から明らかな如く、本発明によれば、ダイ詰
め換えの一連の動作の自動化が図れ、生産性が著しく向
上する。
め換えの一連の動作の自動化が図れ、生産性が著しく向
上する。
嬉１図は本発明になるダイ詰め換え装置の一実施例を示
す全体斜視図、第２図は第１図の概略構成を示す説明平
面図、第３図はウェハーリングホルダー駆動手段の斜視
図、第４図はトレーホルダー駆動手段の斜視図、第５図
はトレーの拡大斜視図、第６図（ａ）（ｂｌ（Ｃ）はト
レー移送の検出を示す説明正面図である。 １０・・・ウェハーリングホルダー駆動手段、１６・・
・ウェハーリング、 ２０・・・ダイ、３０・・・
トレーホルダー駆動手段、 ３１・・・トレー、３２・
・・トレーホルダー、 ４０・・・ダイピックアッ
プ手段、 ５０・・・ダイ識別装置、 ６０・
・・トレー供給収納装置。 第１図 第２図 Ｘ 第４図 ３０ 第５図 第６図 （０） ら７ （ｂ） ８ （Ｃ）
す全体斜視図、第２図は第１図の概略構成を示す説明平
面図、第３図はウェハーリングホルダー駆動手段の斜視
図、第４図はトレーホルダー駆動手段の斜視図、第５図
はトレーの拡大斜視図、第６図（ａ）（ｂｌ（Ｃ）はト
レー移送の検出を示す説明正面図である。 １０・・・ウェハーリングホルダー駆動手段、１６・・
・ウェハーリング、 ２０・・・ダイ、３０・・・
トレーホルダー駆動手段、 ３１・・・トレー、３２・
・・トレーホルダー、 ４０・・・ダイピックアッ
プ手段、 ５０・・・ダイ識別装置、 ６０・
・・トレー供給収納装置。 第１図 第２図 Ｘ 第４図 ３０ 第５図 第６図 （０） ら７ （ｂ） ８ （Ｃ）
Claims (1)
- 等間隔に分割された複数のダイか取付けられたウェハー
リングを保持してＸＹ方向に駆動するウェハーリングホ
ルダー駆動手段と、前記ウェハーリング上のダイを識別
するダイ識別装置と、上面にトレーが載置されるトレー
ホルダーをＸＹ方向に駆動するトレーホルダー、駆動手
段と、前記ダイ識別装置により識別された良品ダイを前
記ウェハーリング上より前記トレーホルダー上のトレー
に移譲して収納するダイピックアップ手段と、前記トレ
ーホルダー上に空のトレーを供給及び良品ダイか収納さ
れたトレーを前記トレーホルダー上より排出するトレー
供給収納装置とからなるダイ詰め換え装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19572681A JPS5897844A (ja) | 1981-12-07 | 1981-12-07 | ダイ詰め換え装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19572681A JPS5897844A (ja) | 1981-12-07 | 1981-12-07 | ダイ詰め換え装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5897844A true JPS5897844A (ja) | 1983-06-10 |
| JPS6262053B2 JPS6262053B2 (ja) | 1987-12-24 |
Family
ID=16345935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19572681A Granted JPS5897844A (ja) | 1981-12-07 | 1981-12-07 | ダイ詰め換え装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5897844A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59211239A (ja) * | 1983-05-17 | 1984-11-30 | Nec Corp | 半導体ペレツト配列機 |
| JPH0817889A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-19 | Lg Semicon Co Ltd | チップ自動ローディング装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5036553A (ja) * | 1973-08-03 | 1975-04-05 | ||
| JPS55125641A (en) * | 1979-03-22 | 1980-09-27 | Nec Corp | Automatic chip selection apparatus |
-
1981
- 1981-12-07 JP JP19572681A patent/JPS5897844A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5036553A (ja) * | 1973-08-03 | 1975-04-05 | ||
| JPS55125641A (en) * | 1979-03-22 | 1980-09-27 | Nec Corp | Automatic chip selection apparatus |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59211239A (ja) * | 1983-05-17 | 1984-11-30 | Nec Corp | 半導体ペレツト配列機 |
| JPH0817889A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-19 | Lg Semicon Co Ltd | チップ自動ローディング装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6262053B2 (ja) | 1987-12-24 |
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