JPS58220441A - ダイ詰め換え装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体装置等の製造工程に用いられるダイ詰め
換え装置に関する。

近年、ダイボノダーの稼動率向上のため、ウェハから良
品ダイを識別して一旦トレーに詰め換え、このトレーを
ダイボンダーにセットしてボンブイノブを行うこと力伸
般化している。このため、良品ダイをウェハからトレー
に詰め換えるダイ詰め換え装置が用いられている。

従来のかかるダイ詰め換え装置では、トレーの供給及び
搬出を複数のトレーを上下に一定間隔をもって離間して
収納することができる専用のトレーマｉシンヲｌ−レー
ロータ側及びトレーアンローダ側にセットして行うため
、トレーローダ側ではマガジン内のトレーが全て無くな
るとトレーが収納されている新規のマガジンと交換しな
ければならない。またアンローダ側はマガジン内にトレ
ーが満杯になるとやはりマガジンを交換しなければなら
ないので、この時装置全体を停止しなければならなく、
生産効率が悪い。またマガジンからトレーが搬出及びマ
ガジンにトレーが供給される毎にマガジンを間欠的に上
昇及び下降させなければならなく、構造が複雑となる。

またトレーローダ側から受は入れた空トＶ−をダイ詰め
換え位置へ搬送及びダイ詰め換え位置からトレーアンロ
ーダ側への満杯トＶ−の搬送は、多数の送り爪が等間隔
に設けられた送りレバーをカムによって上下動及び前後
動させてトレーを固定のガイドレールに沿って送る間欠
移送方式をとっているため次のような欠点がある。即ち
、送り爪がトレーに保合及び離脱してトレーを送るので
、トレーに伝わる振動が大きく、トレーの位置ずれが生
じ易い。またガイドレールをトレーの寸法に□・１ 合せ、かつ緩みがないように取付け、またトレーを板ば
ねではさ才なければならないので、トレーの寸法誤差に
よりトレーがガイドレールにひっかかって動かなくなる
場合がある。更にトレーの変更にあたってはガイドレー
ル、送り用カム及び送り爪等の交換、再調整が必要とな
る。

本発明は上記従来技術の欠点を除去したダイ詰め換え装
置を提供することを目的とする。

以下、本発明を図示の実施例により説明する。

第１図は本発明になるダイ詰め換え装置の一実施例を示
す概略構成平面図である。本装置は大別して、縦横複数
に分割されたダイをピックアップ位置に駆動するための
ウェハリング駆動手段１ｏと、良品ダイを収納するため
トレーを所定の詰め換え位置を含む範囲で縦横に移動さ
せるためのトレー移動手段３０と、ウェハリング駆動手
段１ｏよりトレー移動手段３０上のトレーに良品ダイを
詰めるダイピックアップ手段６ｏと、ウェハリング駆動
手段１０にセットされたダイを識別する第６図に示すダ
イ識別装置７ｏと、空のトレーをトレー移動手段３０に
供給するトレーローダ８ｏと、良品のダイか収納された
トレーをトレー移動手段３゜上より収納するトレーγ７
０−ダ１２０とｌＣより構成されている。

ウェハリングホルダ１１はＸ方向駆動用モータ１２によ
ってＸ方向に駆動されるＸテーブル１３に固定されてお
り、Ｘテーブル１３はＹ方向駆動用モータ１４によって
Ｙ方向に駆動されるＹテーブル１５に摺動自在に搭載さ
れている。即ち、Ｘテーブル１３とＹテーブル１５によ
ってＸＹテーブルを構成している。前記ウェハリングホ
ルダ１１には、ウェハリング１６を位置決め固定するた
めに、２本のピン１７．１８と爪１９とが設けられ、爪
１９はウェハリング１６をピン１７．１８に押付けるよ
うに図示しないばねで付勢されている。

前記ウェハリング１６には縦横複数に等間隔にウェハが
分割されたダイ２０が粘着シート上に貼付けられその粘
着シートが取付けられている。

第５図に示すようにダイ２０を収納する凹部３１ａが縦
横等間隔に形成されたトレー３１は、トレー搬送コンベ
ア３２上にトレーローダ８０より移載される。

トレー搬送コンベア３２は本体３３の両端部ｌこ２個１
対のプーリ３４．３５が回転自在に設けられており、前
記プーリ３４．３５にベルト３６．３７が掛けられてい
る。また前記本体３３疹こはモータ３Ｂが取付けられて
あり、このモータ３８の出力軸ｌこ駆動プ・−リ３９が
、前記プーリ３５の回転軸に従動プーリ４０がそれぞれ
固定され、両プーリ３９．４０にはベルト４１が掛けら
れている。

従って、モータ３８の回転により、ベルト４１を介して
プーリ３５が回転し、ベルト３６．３７がＸ方向に周回
運動を行い、ベルト３６．３７上におかれたトレー３１
が矢印Ａ方向イこ搬送される。

前記トレー搬送コンベア３２のベルト３６．３７上には
、トレー３１をダイ詰め換え位置に置くためのストッパ
ー４２と、ストッパー４２に対しトレー３１を押圧して
位置決めする位置決め爪４３とが設けられている。前記
ストッパー４２は本体３３に取付けられたストッパー駆
動用ソレノイド４４によって支軸４５を中心として矢印
Ｂ方向に駆動させられる。また前記位置決め爪４３は本
体３３に取付けられた爪駆動用ソレノイド４６によって
支軸４７を中心として矢印Ｃ方向に駆動される。前記ス
トッパー４２の近傍のＤ点及びプーリ３５側のＥ点には
それぞれ上下に投光器４８１，４９及びトレー検出用セ
ンサー５０．５１が図示しない手段で本体３３に取付け
られている。

前記トレー搬送コンベア３２の本体３３は支持台５２に
固定されており、支持台５２はＹ方向駆動用モータ５３
によってＹ方向に駆動されるＹテーブル５４に固定され
ている。Ｙテーブル５４はＸ方向駆動用モータ５５によ
ってＸ方向に駆動されるＸテーブル５６に摺動自在に搭
載されている。

即ち、Ｙテーブル５４とＸテーブル５６１こよってＸＹ
テーブルを構成している。また前記支持台５２のＸ方向
及びＹ方向の最大移動範囲を規制するリミット検出板５
７が図示しない手段で図示しないベース上に揺動自在に
懸垂λｎ″ｒｔｔす、このリミット検出板５７の動きを
検出する図示しないセンサーがＸＹ方向にそれぞれベー
ス上に取付けられている。

ダイピックアップ手段６０（第１図、第２図、第６図参
照） ダイ２０を吸着移送する移送コレット６１はコレットア
ーム６２の一内φこ固定されており、コレットアーム６
２の他端はベース（図示せず）上に固定された支柱６３
より水平に伸びたアーム６４に上下動及び旋回可能に設
けられた回転軸６５に固定されている。回転軸６５の上
下動及び旋回は図示しない機構によって行われる。また
前記ウェハリング１６の下方には前記ダイ２ｏを突き上
げる突上げ針６６が設けられ、この突上げ針６６はガイ
ド６７に沿って図示しない駆動手段で上下動させられる
。

ダイ識別装置７０（第６図参照） 前記突上げ針６６の真上上方にはダイ２ｏの良、不良を
判定するための検出カメラ７１が配設されており、この
検出力・夕：７７１は前記アーム６４に固定されている
。

トレーローダ８０（第１図、＠７図、第８図参照）底板
８１に固定された側板８２．８３の上面には中央に一定
幅の溝を形成するように上面板８４．８５が固定されて
いる。前記上面板８４．８５には空トレー３１を積み重
ねて収納する前方トレー収納部８６と後方トレー収納部
８７とからなる。トレー収納部８８が固定されている。

トレー収納部８８は積み重ねられた上下の空トレー３１
がその凹凸によって互いに係合しないように、前後に傾
斜案内面８６ａ、８７ａが形成され、これによりトレー
３１を階段のように少しづつずらしながら積み重ね収納
できるようになっている。また前方トレー収納部８６は
第８図から明らかなように、左右側板８６Ａ、８６Ｂと
からなり、これら側板８６Ａ、８６Ｂは連結棒８６Ｃで
一定間隔を保って連結され、ボルト８６Ｄで一体に固定
されている。また後方トレー収納部８７も同様に構成さ
れている。また上面板８４．８５とトレー収納部８８と
の間には最下位の１枚のトレー３１だけを前方に送る送
出案内路８６ｂ及びトレー３１を送る送り爪８９の移動
のための逃げ案内路８７ｂとが形成されている。

前記送り爪８９の下部は前記上面板８４．８５間の溝よ
り下方に伸びている。また上面板８４．８５の下面ｆこ
はガイドレール９ｏ、９１が固定されている。そして、
前記送り爪８９に固定された軸９２の両側に回転自在に
設けられたローラ９３．９４が前記ガイドレール９ｏ、
９１上に載置されてい６゜従って、送り爪８９はガイド
レール９ｏ、９１に案内されて前後方向に移動すること
ができる。また送り爪８９の下端側には軸受９５．９６
を介して軸９７が回転自在（こ支承されている。前記底
板８１にはブロック９８が固定されており、このブロッ
ク９８に軸受９９．１ｏｏを介して軸１０１が回転自在
に支承されている。軸１０１には送りアーム１０２の下
端が固定されている。送りアーム１０２の上端には溝１
０２ａが形成され、この溝１０２ａに前記軸９７が挿入
されている。

また底板８１には支持板１０３が固定されて怠り、この
支持板１ｏ３にモータ、１ｏ４が固定されている。モー
タ１０４の出力軸には円板１０５が固定されており、こ
の円板１０５に固定された軸１０６にローラー０７が回
転自在に支承されている。このローラー０７は前記送り
アーム１０２に対応し、送りアーム１０２はばね１０８
で付勢されて前記ローラー０７に押圧されている。前記
円板１０５に対応して円板１０５の１回転を検出する光
電スイッチ１０９が配設され、この光電スイッチ１０９
は支持板１１０を介して支持板１０３に固定されている
。

トレーアンローダ１２０（第１図参照）トレーアンロー
ダ１２０は、トレー搬送コンベア３２の搬送方向と直交
するトレーテーブル１２１と、このトレーテーブル１２
１と一定距離離れて配設されたブツシャ１２２とからな
る。またトレーテーブル１２１には垂直に穴１２１ａが
形成され、この穴１２１ａの上下に検出器（図示せず）
が配設されている。　　１・１゜ （：。

次にかから構成される装置の動作について説明する。ま
ず、第１図の状態でウェハが分割された複数のダイ２０
が取付けられたウェハリング１６（第２図参照）をウェ
ハリング駆動手段１゜のウェハリングホルダ１１に取付
ける。またトレー搬送コンベア３２上に空トレー３１を
１個載置しておく。またトレーローダ７ｏのトレー収納
部８８（第７図参照）に空トレー３１を入れて右く。

この状態で電源を入れると、図示しないコンピュータに
予め設定されたプログラムデータに従って作動する。

まず、トレー移動手段３０のＸＹテーブル５４．５６（
第３図参照）が駆動してトレー搬送コンベア′３２は、
第９図に示すようにトレーロータ８０から空トレー３１
を供給できる位置に移動する。

またこの間に位置決め爪４３が矢印Ｃ方向に作動して開
状態となる。トン−搬送コンベア３２がトレーローダ８
０に隣接した位置に位置すると、第７図、第８図に示す
トレーローダ８ｏのモータ１０４が回転し、円板１０５
が光電スイッチ１０９の検出信号を利用して１回転する
。これにより、ローラ１０７が旋回して送りアーム１０
２が揺動し、送り爪８９によって最下位の空トレー３１
を前方に送り出し、トレー３１はトレー搬送コンベア３
２のベルト３６．３７（第４図参照）に移載される。

次にトレー移動手段３０のＸＹテーブル５４．５６が移
動してトレー搬送コンベア３２を第１０図に示すように
ダイ詰め換え位置に移動させ１．トレー３１の凹部３１
ａの１つを所定の詰め換え位置に位置決めする。またこ
の動作に併行してトレー搬送コンベア３２のモータ３８
が回転し、ヘルド４１を介してプーリ３５を回転させる
。これによりベルト３６．３７が入方向に起動してトレ
ー３１を移送する。そして、先行のトＬ／−３１が投光
器４８をさえぎるとセンサー５０が働き、この信号によ
ってソレノイド４６がＯＦＦとなり、位置決め爪４３が
矢印Ｃと逆方向に移動して先行する１−レ−３１をスト
ッパ４２に押圧して位置決めする。

仁の状態より良品のダイ２０をトレー３１に詰め換えが
行われる。即ち、ダイ２０をウエノ）リング駆動手段１
０のＸＹテーブル１３．１５の移動によって順次ピック
アップ位置に位置決めしながらダイ識別装置７０のカメ
ラ７１によって識別された良品のダイ２０をピックアッ
プ手段６０のコレット６１によってトレー３１の凹部３
１ａに詰め換え、トレー３１はトレー移動手段３０のＸ
Ｙテーブル５４．５６の移動によって順次凹部３１ａを
所定の詰め換え位置に位置決めしていく。

このようにして１つのトレー３１に良品ダイ２０が満杯
になると、ソレノイド４４が作動してストッパー４２が
矢印Ｂ方向に移動して退勤し、モータ３８が起動してベ
ルト３６．３７が移動する。

これにより満杯トレー３１を入方向に移送する。

そして、再びストッパー４２を動作させ、位置決め爪４
３も退勤させる。この動作と併行してトレー移動手段３
０のＸＹテーブル５４．５６を移動させてトレー搬送コ
ンベア３２を再びトレーローダ８０に接する位置に移動
させる。そして、前述したように次のトレー３１がトレ
ーローダ８０よりトレー搬送コンベア３２上に移載され
る。

以上の動作を繰り返しながら、やがてトレー搬送コンベ
ア３２上に満杯トレー３１かたまり、先行の満杯トレー
３１が投光器４９をさえぎると、センサー５１の信号に
よってトレー移動手段３０のＸＹテーブル５４．５６が
移動し、第１１図に示すようにトレー搬送コンベア３２
はトレーテーブル１２１に接する位置に移動する。そし
て、ブツシャ１２２が動作して初めのトレー３１をトレ
ー搬送コンベア３２からトレーテーブル１２１に移載す
る。次にベルト３６．３７が移動ルて次のトレー３１を
投光器４９の下に送る。そして再びブツシャ１２２が動
作して２個目のトレー３１をトレーテーブル１２１に移
載する。このようにしてトレー搬送コンベア３２上の満
杯トレー３１が全てトレーテーブル１２１上薔ζ移載さ
れると、トレー搬送コンベア３２は再びトレーローダ８
０に接する位置に移動させられる。

こうして、この一連の動作を繰返すことによりダイの詰
め換え装置の動作が一部していく。　　　′このように
、トレー３１の補給はトレーローダ８０のトレー収納部
８８に随時トレー３１を積み重ねて投入すればよい。ま
たトレー３１の搬出もトレーテーブル１２１上のトレー
３１も取り出すだけでよい。この場合、トレーテーブル
１２１上にトレー３１が満杯にな？た時は穴１２１ａが
トレー３１でふさがれ、これにより穴１２１ａの上下に
セットした検出器で検出されて満杯表示されるので、穴
１２１ａ上のトレー３１を取り除けばよい。このトレー
テーブル１２１上の検出器は特に設けなくてもよい。こ
のため、装置全体を停止せずに効率良くトレー３１の補
給、取り出しを行うことができる。

またトレー３１の搬送はトレー搬送コンベア３２により
行うので、トレー３１に振動を与えることなく搬送する
ことができると共に、ダイ２０の詰め換えに当ってはト
レー３１をトレー搬送コンベア３２上でストッパ４２及
び位置決め爪４３からなる位置決め手段で位置決めする
ことができる。

またトレー３１の外形寸法に変更が生じても単にストッ
パ４２又は位置決め爪４３の少なくとも一方の取付は位
置を調整するのみで容易に対処できる。

以上の説明から明らかな如く、本発明によれば、空のト
レーの補給及、ぴダイを収納したトレーの取り出しを装
置全体を停止せずに効率良く行うことができる。またト
レーの搬送をコンベアで行うので、トレーに振動を与え
ることなく搬送することができると共に、トレーの変更
に対しても、Ｗ易に対処できる。またダイの詰め換えに
あたってトＶ−をコンベア上で位置決めすることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になるダイ詰め換え装置の一実施例を示
す概略構成平面図、第２図はウニ／％ＩＪング駆動手段
及びダイピックアップ手段の一部を示す斜視図、第３図
、第４図はトレー移動手段を示し、第３図は斜視図、第
４図（ａ）は一部切欠いて示す要部正面図、第４図（ｂ
）は第４図１ａ）の平面図、第５図はトレーの拡大斜視
図、第６図はダイピックアップ手段の一部及びダイ識別
装置の斜視図、第７図、第８図はトレーローダを示し、
第７図は正面断面図、第８図は側面断面図、第９図、第
１０図、第１１図は装置の動作説明図である。 １０・・・ウェハリング駆動手段、　　　１６・・・ウ
エノ１リング、　　　２０・・・ダイ、　　　３０・・
・トレー移動手段、　　　　３２・・・トレー搬送コン
ベア、４２・・・ストッパー、　　４３・・・位置決め
爪、５４・・・Ｙテーブル、　　　５６・・・Ｘテーブ
ル、　　　６０・・・ダイピックアップ手段、　　　７
０・・・ダイ識別装置、　　　８０・・・トレーローダ
、　　　８８・・・トン−収納部、　　　８９・・・送
り爪、　　　１２０・・・トレーアンローダ、　　　１
２１・・・トレーテーブル、１２２・・・ブツシャ。 第８図 第９図 第１０図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 縦横番こ配列された多数のダイか設けられたウェハリン
   グを保持して縦横に移動するウエノ）リング駆動手段と
   、前記ウェハリング上のダイの良否を識別するダイ識別
   装置と、この識別されたウェハリング上の良品グイを１
   個づつピックアップして所定のダイ詰め換え位置に移送
   するダイピックアップ手段と、前記ダイ詰め換え位置を
   含む範囲で縦横に移動するＸＹテーブル上に搭載された
   トレ　□−搬送コンベアを有するトレー移動手段と、前
   記トレー搬送コンベアに進退自在に設けられトレー搬送
   コンベア上のトレーを位置決めするトレー位置決め手段
   と、空トレーを直接積み上げ最下位の空トレーを順に１
   枚づつ押し出し前記トレー搬送コンベア上に空トレーを
   供給するトレーローダと、前記トレー搬送コンベア上の
   満杯トレーを移載して平面的に複数収容するトレーアン
   ０−ダとを備え、前記トレー搬送コンベアは、前記トレ
   ーローダに接する位置、前記ダイ詰め換え位置及び前記
   トレーアン０−ダに接する位置ζこそれぞれ移動するこ
   とを特徴とするダイ詰め換え装置。