JPS6258148B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体装置等の製造工程に用いられる
ダイ詰め換え装置に関する。

近年、ダイボンダーの稼動率向上のため、ウエ
ハから良品ダイを識別して一旦トレーに詰め換
え、このトレーをダイボンダーにセツトしてボン
デイングを行うことが一般化している。このた
め、良品ダイをウエハからトレーに詰め換えるダ
イ詰め換え装置が用いられている。

従来のかかるダイ詰め換え装置では、トレーの
供給及び搬出を複数のトレーを上下に一定間隔を
もつて離間して収納することができる専用のトレ
ーマガジンをトレーローダ側及びトレーアンロー
ダ側にセツトして行うため、トレーローダ側では
マガジン内のトレーが全て無くなるとトレーが収
納されている新規のマガジンと交換しなければな
らない。またアンローダ側はマガジン内にトレー
が満杯になるとやはりマガジンを交換しなければ
ならないので、この時装置全体を停止しなければ
ならなく、生産効率が悪い。またマガジンからト
レーが搬出及びマガジンにトレーが供給される毎
にマガジンを間欠的に上昇及び下降させなければ
ならなく、構造が複雑となる。

またトレーローダ側から受け入れた空トレーを
ダイ詰め換え位置へ搬送及びダイ詰め換え位置か
らトレーアンローダ側への満杯トレーの搬送は、
多数の送り爪が等間隔に設けられた送りレバーを
カムによつて上下動及び前後動させてトレーを固
定のガイドレールに沿つて送る間欠移送方式をと
つているため次のような欠点がある。即ち、送り
爪がトレーに係合及び離脱してトレーを送るの
で、トレーに伝わる振動が大きく、トレーの位置
ずれが生じ易い。またガイドレールをトレーの寸
法に合せ、かつ緩みがないように取付け、またト
レーを板ばねではさまなければならないので、ト
レーの寸法誤差によりトレーがガイドレールにひ
つかかつて動かなくなる場合がある。更にトレー
の変更にあたつてはガイドレール、送り用カム及
び送り爪等の交換、再調整が必要となる。

本発明は上記従来技術の欠点を除去したダイ詰
め換え装置を提供することを目的とする。

以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第１図は本発明になるダイ詰め換え装置の一実施
例を示す概略構成平面図である。本装置は大別し
て、縦横複数に分割されたダイをピツクアツプ位
置に駆動するためのウエハリング駆動手段１０
と、良品ダイを収納するためトレーを所定の詰め
換え位置を含む範囲で縦横に移動させるためのト
レー移動手段３０と、ウエハリング駆動手段１０
よりトレー移動手段３０上のトレーに良品ダイを
詰めるダイピツクアツプ手段６０と、ウエハリン
グ駆動手段１０にセツトされたダイを識別する第
６図に示すダイ識別装置７０と、空のトレーをト
レー移動手段３０に供給するトレーローダ８０
と、良品のダイが収納されたトレーをトレー移動
手段３０上より収納するトレーアンローダ１２０
とにより構成されている。

ウエハリング駆動手段１０（第１図、第２図参
照） ウエハリングホルダ１１はＸ方向駆動用モータ
１２によつてＸ方向に駆動されるＸテーブル１３
に固定されており、Ｘテーブル１３はＹ方向駆動
用モータ１４によつてＹ方向に駆動されるＹテー
ブル１５に摺動自在に搭載されている。即ち、Ｘ
テーブル１３とＹテーブル１５によつてXYテー
ブルを構成している。前記ウエハリングホルダ１
１には、ウエハリング１６を位置決め固定するた
めに、２本のピン１７，１８と爪１９とが設けら
れ、爪１９はウエハリング１６をピン１７，１８
に押付けるように図示しないばねで付勢されてい
る。前記ウエハリング１６には縦横複数に等間隔
にウエハが分割されたダイ２０が粘着シート上に
貼付けられその粘着シートが取付けられている。

トレー移動手段３０（第１図、第３図、第４図参
照） 第５図に示すようにダイ２０を収納する凹部３
１ａが縦横等間隔に形成されたトレー３１は、ト
レー搬送コンベア３２上にトレーローダ８０より
移載される。

トレー搬送コンベア３２は本体３３の両端部に
２個１対のプーリ３４，３５が回転自在に設けら
れており、前記プーリ３４，３５にベルト３６，
３７が掛けられている。また前記本体３３にはモ
ータ３８が取付けられており、このモータ３８の
出力軸に駆動プーリ３９が、前記プーリ３５の回
転軸に従動プーリ４０がそれぞれ固定され、両プ
ーリ３９，４０にはベルト４１が掛けられてい
る。従つて、モータ３８の回転により、ベルト４
１を介してプーリ３５が回転し、ベルト３６，３
７がＸ方向に周回運動を行い、ベルト３６，３７
上におかれたトレー３１が矢印Ａ方向に搬送され
る。

前記トレー搬送コンベア３２のベルト３６，３
７上には、トレー３１をダイ詰め換え位置に置く
ためのストツパー４２と、ストツパー４２に対し
トレー３１を押圧して位置決めする位置決め爪４
３とが設けられている。前記ストツパー４２は本
体３３に取付けられたストツパー駆動用ソレノイ
ド４４によつて支軸４５を中心として矢印Ｂ方向
に駆動させられる。また前記位置決め爪４３は本
体３３に取付けられた爪駆動用ソレノイド４６に
よつて支軸４７を中心として矢印Ｃ方向に駆動さ
れる。前記ストツパー４２の近傍のＤ点及びプー
リ３５側のＥ点にはそれぞれ上下に投光器４８，
４９及びトレー検出用センサー５０，５１が図示
しない手段で本体３３に取付けられている。

前記トレー搬送コンベア３２の本体３３は支持
台５２に固定されており、支持台５２はＹ方向駆
動用モータ５３によつてＹ方向に駆動されるＹテ
ーブル５４に固定されている。Ｙテーブル５４は
Ｘ方向駆動用モータ５５によつてＸ方向に駆動さ
れるＸテーブル５６に摺動自在に搭載されてい
る。即ち、Ｙテーブル５４とＸテーブル５６によ
つてXYテーブルを構成している。また前記支持
台５２のＸ方向及びＹ方向の最大移動範囲を規制
するリミツト検出板５７が図示しない手段で図示
しないベース上に揺動自在に懸垂されており、こ
のリミツト検出板５７の動きを検出する図示しな
いセンサーがXY方向にそれぞれベース上に取付
けられている。

ダイピツクアツプ手段６０（第１図、第２図、第
６図参照） ダイ２０を吸着移送する移送コレツト６１はコ
レツトアーム６２の一端に固定されており、コレ
ツトアーム６２の他端はベース（図示せず）上に
固定された支柱６３より水平に伸びたアーム６４
に上下動及び旋回可能に設けられた回転軸６５に
固定されている。回転軸６５の上下動及び旋回は
図示しない機構によつて行われる。また前記ウエ
ハリング１６の下方には前記ダイ２０を突き上げ
る突上げ針６６が設けられ、この突上げ針６６は
ガイド６７に沿つて図示しない駆動手段で上下動
させられる。

ダイ識別装置７０（第６図参照） 前記突上げ針６６の真上上方にはダイ２０の
良、不良を判定するための検出カメラ７１が配設
されており、この検出カメラ７１は前記アーム６
４に固定されている。

トレーローダ８０（第１図、第７図、第８図参
照） 底板８１に固定された側板８２，８３の上面に
は中央に一定幅の溝を形成するように上面板８
４，８５が固定されている。前記上面板８４，８
５には空トレー３１を積み重ねて収納する前方ト
レー収納部８６と後方トレー収納部８７とからな
るトレー収納部８８が固定されている。トレー収
納部８８は積み重ねられた上下の空トレー３１が
その凹凸によつて互いに係合しないように、前後
に傾斜案内面８６ａ，８７ａが形成され、これに
よりトレー３１を階段のように少しづつずらしな
がら積み重ね収納できるようになつている。また
前方トレー収納部８６は第８図から明らかなよう
に、左右側板８６Ａ，８６Ｂとからなり、これら
側板８６Ａ，８６Ｂは連結棒８６Ｃで一定間隔を
保つて連結され、ボルト８６Ｄで一体に固定され
ている。また後方トレー収納部８７も同様に構成
されている。また上面板８４，８５とトレー収納
部８８との間には最下位の１枚のトレー３１だけ
を前方に送る送出案内路８６ｂ及びトレー３１を
送る送り爪８９の移動のための逃げ案内路８７ｂ
とが形成されている。

前記送り爪８９の下部は前記上面板８４，８５
間の溝より下方に伸びている。また上面板８４，
８５の下面にはガイドレール９０，９１が固定さ
れている。そして、前記送り爪８９に固定された
軸９２の両側に回転自在に設けられたローラ９
３，９４が前記ガイドレール９０，９１上に載置
されている。従つて、送り爪８９はガイドレール
９０，９１に案内されて前後方向に移動すること
ができる。また送り爪８９の下端側には軸受９
５，９６を介して軸９７が回転自在に支承されて
いる。前記底板８１にはブロツク９８が固定され
ており、このブロツク９８に軸受９９，１００を
介して軸１０１が回転自在に支承されている。軸
１０１には送りアーム１０２の下端が固定されて
いる。送りアーム１０２の上端には溝１０２ａが
形成され、この溝１０２ａに前記軸９７が挿入さ
れている。

また底板８１には支持板１０３が固定されてお
り、この支持板１０３にモータ１０４が固定され
ている。モータ１０４の出力軸には円板１０５が
固定されており、この円板１０５に固定された軸
１０６にローラ１０７が回転自在に支承されてい
る。このローラ１０７は前記送りアーム１０２に
対応し、送りアーム１０２はばね１０８で付勢さ
れて前記ローラ１０７に押圧されている。前記円
板１０５に対応して円板１０５の１回転を検出す
る光電スイツチ１０９が配設され、この光電スイ
ツチ１０９は支持板１１０を介して支持板１０３
に固定されている。

トレーアンローダ１２０（第１図参照） トレーアンローダ１２０は、トレー搬送コンベ
ア３２の搬送方向と直交するトレーテーブル１２
１と、このトレーテーブル１２１と一定距離離れ
て配設されたプツシヤ１２２とからなる。またト
レーテーブル１２１には垂直に穴１２１ａが形成
され、この穴１２１ａの上下に検出器（図示せ
ず）が配設されている。

次にかかる構成よりなる本装置の動作について
説明する。まず、第１図の状態でウエハが分割さ
れた複数のダイ２０が取付けられたウエハリング
１６（第２図参照）をウエハリング駆動手段１０
のウエハリングホルダ１１に取付ける。またトレ
ー搬送コンベア３２上に空トレー３１を１個載置
しておく。またトレーローダ７０のトレー収納部
８８（第７図参照）に空トレー３１を入れてお
く。この状態で電源を入れると、図示しないコン
ピユータに予め設定されたプログラムデータに従
つて作動する。

まず、トレー移動手段３０のXYテーブル５
４，５６（第３図参照）が駆動してトレー搬送コ
ンベア３２は、第９図に示すようにトレーローダ
８０から空トレー３１を供給できる位置に移動す
る。またこの間に位置決め爪４３が矢印Ｃ方向に
作動して開状態となる。トレー搬送コンベア３２
がトレーローダ８０に隣接した位置に位置する
と、第７図、第８図に示すトレーローダ８０のモ
ータ１０４が回転し、円板１０５が光電スイツチ
１０９の検出信号を利用して１回転する。これに
より、ローラ１０７が旋回して送りアーム１０２
が揺動し、送り爪８９によつて最下位の空トレー
３１を前方に送り出し、トレー３１はトレー搬送
コンベア３２のベルト３６，３７（第４図参照）
に移載される。

次にトレー移動手段３０のXYテーブル５４，
５６が移動してトレー搬送コンベア３２を第１０
図に示すようにダイ詰め換え位置に移動させ、ト
レー３１の凹部３１ａの１つを所定の詰め換え位
置に位置決めする。またこの動作に併行してトレ
ー搬送コンベア３２のモータ３８が回転し、ベル
ト４１を介してプーリ３５を回転させる。これに
よりベルト３６，３７がＡ方向に起動してトレー
３１を移送する。そして、先行のトレー３１が投
光器４８をさえぎるとセンサー５０が働き、この
信号によつてソレノイド４６がOFFとなり、位
置決め爪４３が矢印Ｃと逆方向に移動して先行す
るトレー３１をストツパ４２に押圧して位置決め
する。

この状態より良品のダイ２０をトレー３１に詰
め換えが行われる。即ち、ダイ２０をウエハリン
グ駆動手段１０のXYテーブル１３，１５の移動
によつて順次ピツクアツプ位置に位置決めしなが
らダイ識別装置７０のカメラ７１によつて識別さ
れた良品のダイ２０をピツクアツプ手段６０のコ
レツト６１によつてトレー３１の凹部３１ａに詰
め換え、トレー３１はトレー移動手段３０のXY
テーブル５４，５６の移動によつて順次凹部３１
ａを所定の詰め換え位置に位置決めしていく。

このようにして１つのトレー３１に良品ダイ２
０が満杯になると、ソレノイド４４が作動してス
トツパー４２が矢印Ｂ方向に移動して退動し、モ
ータ３８が起動してベルト３６，３７が移動す
る。これにより満杯トレー３１をＡ方向に移送す
る。そして、再びストツパー４２を動作させ、位
置決め爪４３も退動させる。この動作と併行して
トレー移動手段３０のXYテーブル５４，５６を
移動させてトレー搬送コンベア３２を再びトレー
ローダ８０に接する位置に移動させる。そして、
前述したように次のトレー３１がトレーローダ８
０よりトレー搬送コンベア３２上に移載される。

以上の動作を繰り返しながら、やがてトレー搬
送コンベア３２上に満杯トレー３１がたまり、先
行の満杯トレー３１が投光器４９をさえぎると、
センサー５１の信号によつてトレー移動手段３０
のXYテーブル５４，５６が移動し、第１１図に
示すようにトレー搬送コンベア３２はトレーテー
ブル１２１に接する位置に移動する。そして、プ
ツシヤ１２２が動作して初めのトレー３１をトレ
ー搬送コンベア３２からトレーテーブル１２１に
移載する。次にベルト３６，３７が移動して次の
トレー３１を投光器４９の下に送る。そして再び
プツシヤ１２２が動作して２個目のトレー３１を
トレーテーブル１２１に移載する。このようにし
てトレー搬送コンベア３２上の満杯トレー３１が
全てトレーテーブル１２１上に移載されると、ト
レー搬送コンベア３２は再びトレーローダ８０に
接する位置に移動させられる。

こうして、この一連の動作を繰返すことにより
ダイの詰め換え装置の動作が継続していく。

このように、トレー３１の補給はトレーローダ
８０のトレー収納部８８に随時トレー３１を積み
重ねて投入すればよい。またトレー３１の搬出も
トレーテーブル１２１上のトレー３１も取り出す
だけでよい。この場合、トレーテーブル１２１上
にトレー３１が満杯になつた時は穴１２１ａがト
レー３１でふさがれ、これにより穴１２１ａの上
下にセツトした検出器で検出されて満杯表示され
るので、穴１２１ａ上のトレー３１を取り除けば
よい。このトレーテーブル１２１上の検出器は特
に設けなくてもよい。このため、装置全体を停止
せずに効率良くトレー３１の補給、取り出しを行
うことができる。

またトレー３１の搬送はトレー搬送コンベア３
２により行うので、トレー３１に振動を与えるこ
となく搬送することができると共に、ダイ２０の
詰め換えに当つてはトレー３１をトレー搬送コン
ベア３２上でストツパ４２及び位置決め爪４３か
らなる位置決め手段で位置決めすることができ
る。またトレー３１の外形寸法に変更が生じても
単にストツパ４２又は位置決め爪４３の少なくと
も一方の取付け位置を調整するのみで容易に対処
できる。

以上の説明から明らかな如く、本発明によれ
ば、空のトレーの補給及びダイを収納したトレー
の取り出しを装置全体を停止せずに効率良く行う
ことができる。またトレーの搬送をコンベアで行
うので、トレーに振動を与えることなく搬送する
ことができると共に、トレーの変更に対しても容
易に対処できる。またダイの詰め換えにあたつて
トレーをコンベア上で位置決めすることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になるダイ詰め換え装置の一実
施例を示す概略構成平面図、第２図はウエハリン
グ駆動手段及びダイピツクアツプ手段の一部を示
す斜視図、第３図、第４図はトレー移動手段を示
し、第３図は斜視図、第４図ａは一部切欠いて示
す要部正面図、第４図ｂは第４図ａの平面図、第
５図はトレーの拡大斜視図、第６図はダイピツク
アツプ手段の一部及びダイ識別装置の斜視図、第
７図、第８図はトレーローダを示し、第７図は正
面断面図、第８図は側面断面図、第９図、第１０
図、第１１図は装置の動作説明図である。 １０……ウエハリング駆動手段、１６……ウエ
ハリング、２０……ダイ、３０……トレー移動手
段、３２……トレー搬送コンベア、４２……スト
ツパー、４３……位置決め爪、５４……Ｙテーブ
ル、５６……Ｘテーブル、６０……ダイピツクア
ツプ手段、７０……ダイ識別装置、８０……トレ
ーローダ、８８……トレー収納部、８９……送り
爪、１２０……トレーアンローダ、１２１……ト
レーテーブル、１２２……プツシヤ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 縦横に配列された多数のダイが設けられてい
   るウエハリングを保持して縦横に移動するウエハ
   リング駆動手段と、前記ウエハリング上のダイの
   良否を識別するダイ識別装置と、この識別された
   ウエハリング上の良品ダイを１個づつピツクアツ
   プして所定のダイ詰め換え位置へ移送するダイピ
   ツクアツプ手段と、前記ダイ詰め換え位置を含む
   範囲で縦横に移動するXYテーブル上に搭載され
   たトレー搬送コンベアを有するトレー移動手段
   と、前記XYテーブル上に設けられトレー搬送コ
   ンベア上のトレーを位置決めするトレー位置決め
   手段と、空トレーを直接積み上げ最下位の空トレ
   ーを順に一枚づつ押し出し前記トレー搬送コンベ
   ア上に空トレーを供給するトレーローダと、前記
   トレー搬送コンベア上の満杯トレーを移載して収
   納するトレーアンローダとを備え、前記トレー搬
   送コンベアは、前記トレーローダに接する位置、
   前記ダイ詰め換え位置及び前記トレーアンローダ
   に接する位置にそれぞれ移動することを特徴とす
   るダイ詰め換え装置。