JPS58220442A - ダイ詰め換え装置におけるトレ−搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体装置等の製造工程に用いられるダイ詰め
換え装置におけるトレー搬送装置に関する。

近年、グイボンダーの稼動率向上のため、ウェハから良
品グイを識別して一旦トレーに詰め換え、このトレーを
ダイボンダーにセットしてボンディングを行うことが一
般化している。このため、良品ダイをウェハからトレー
に詰め換えるダイ詰め換え装置が用Ｇ′）られている。

従来のかかるダイ詰め換え装置では、トレーローダ側か
ら受は入れた空トレーをダイ詰め換え位置へ搬送及びダ
イ詰め換え位置からトレーアンローダ側への満杯トレー
の搬送は、多数の送り爪が等間隔に設けられた送りレバ
ーをカムによって上下動及び前後動させてトレーを固定
のガイドレールに沿って送る間欠移送方式をとっている
ため次のような欠点がある。即ち、送り爪がトレーに保
合及び離脱してトレーを送るので、トレーに伝わる振動
が大きく、トレーの位置ずれが生じ易い。

またガイドレールをトレーの寸法に合せ、かつ緩みがな
いように取付け、またトレーを板ばねではさまなければ
ならないので、トレーの寸法誤差によりトレーがガイド
レールにひっかかって動かなくなる場合がある。更にト
レーの変更にあたってはガイドレール、送り用カム及び
送り爪等の変換、再調整が必要となる。

本発明は上記従来技術の欠点を除去したダイ詰め換え装
置を提供することを目的とする。

以下、本発明を図示の実施例により説明する。

第１図はダイ詰め換え装置の全体を示す概略構成平面図
である。このダイ詰め換え装置は大別して、縦横複数に
分割されたダイをピックアップ位置に駆動するためのウ
ェハリング駆動手段１０と、良品ダイを収納するためト
レーを所定の詰め換え位置を含む範囲で縦横に移動させ
るための本発明になるトレー搬送装置３０と、ウェハリ
ング駆動手段１０よりトレー搬送装置３０上のトレーに
良品ダイを詰めるダイピックアップ手段６０と、芸＃セ
キ≠弁ウェハリング駆動手段１０にセットされたダイを
識別する第６図に示すダイ識別装置７０と、空のトレー
をトレー搬送装置３０に供給するトン−ローダ８０と、
良品のダイか収納されたトレーをトレー搬送装置３′θ
上より収納するトレーアン０−ダ１２０とにより構成さ
れている。

ウェハリング駆動手段１０（第１図、第２図参照）ウェ
ハリングホルダ１１はＸ方向駆動用モータ１２によって
Ｘ方向に駆動されるＸテーブル１３に固定されており、
Ｘテーブル１３はＹ方向駆動用モータ１４＃こよってＹ
方向に駆動されるＹテーブル１５＃こ摺動自在に搭載さ
れている。即ち、Ｘテーブル１３とＹテーブル１５によ
ってＸＹテーブルを構成している。前記ウェハリングボ
ルダ１１には、ウェハリング１６を位置決め固定するた
めに、２本のピン１７．１８と爪１９とが設けられ、爪
１９はウェハリング１６をピン１７．１８に押付けるよ
うに図示しないばねで付勢されている。

前記ウェハリング１６には縦横複数に等間隔にウェハが
分割されたダイ２ｏが粘着シート上に貼付けられその粘
着シートが取付けられている。

トレー搬送装置３０（第１図、第３図、第４図参照）第
５図に示すようにダイ２ｏを収納する凹部３１ａが縦横
等間隔に形成されたトレー３１は、トレー搬送コンベア
３２上にトレーローダ８ｏよす移載される。

トレー搬送コンベア３２は本体３３の両端部に２個１対
のプーリ３４．３５が回転自在に設けられており、前記
プーリ３４．３５にベルト３６．３７が掛けられている
。また前記本体３３にはモータ３８が取付けられており
、このモータ３８の出力軸に駆動プーリ３９が、前記プ
ーリ３５の回転軸に従動プーリ４０がそれぞれ固定され
、両プーリ３９．４０にはベルト４１が掛けられている
。

従って、モータ３８の回転により、ベルト４１を介して
プーリ３５が回転し、ベルト３６．３７がＸ方向に周回
運動を行い、ベルト３６．３７上におかれたトレー３１
が矢印Ａ方向に搬送される。

前記トレー搬送コンベア３２のベル１−３６，３７上に
は、トレー３１をダイ詰め換え位置に置くためのストッ
パー４２と、ストッパー４２に対しトレー３１を押圧し
て位置決めする位置決め爪４３とが設けられている。前
記ストッパー４２は本体３３に取付けられたストッパー
駆動用ソレノイド４４によって支軸４５を中心として矢
印Ｂ方向に駆動させられる。また前記位置決め爪４３は
本体３３に取付けられた爪駆動用ソレノイド４６によっ
て支軸４７を中心として矢印Ｃ方向に駆動される。前記
ストッパー４２の近傍のＤ点及びプーリ３５側のＥ点に
はそれぞれ上下に投光器４８．４９及びトレー検出用セ
ンサー５０．５１が図示しない手段で本体３３に取付け
られている。

前記トレー搬送コンベア３２の本体３３は支持台５２に
固定されており、支持台５２はＹ方向駆動用モータ５３
によってＹ方向に駆動されるＹテーブル５４に固定され
ている。Ｙテーブル５４はＸ方向駆動用モータ５５によ
ってＸ方向に駆動されるＸテーブル５６に摺動自在に搭
載されている。

即ち、Ｙテーブル５４とＸテーブル５６によってＸＹテ
ーブルを構成している。また前記支持台５２のＸ方向及
びＹ方向の最大移動範囲を規制するリミット検出板５７
が図示しない手段で図示しないベース上に揺動自在に懸
垂されており、このリミット検出板５７の動きを検出す
る図示しないセンサーがＸＹ方向にそれぞれベース上に
取付けられている。

６図参照） ダイ２０を吸着移送する移送コレット６１はコＬ／’７
１−７−ム６２の一端に固定されており、コレットアー
ム６２の他端はベース（図示せず）上に固定された支柱
６３より水平に伸びたアーム６・４に上下動及び旋回可
能に設けられた回転軸６５に固定されている。回転軸６
５の上下動及び旋回は図示しない機構によって行われる
。また前記ウェハリング１６の下方には前記ダイ２ｏを
突き上げる突上げ針６６途設けられ、この突上げ針６６
はガイド６７に沿って図示しない駆動手段で上下動させ
られる。

ダイ識別装置７０（第６図参照） 前記突−ヒげ針６６の真上上方にはダイ２０の良、不良
を判定するための検出カメラ７１が配設されており、こ
の検出カメラ７１は前記アーム６４に固定されている。

ト・−・−ダ８０（第１図、輸７図、第８図参照）底板
８１に固定された側板８２．８３の上面には中央に一定
幅の溝を形成するように上面板８４．８５が固定されて
いる。前記上面板８４．８５には空トレー３１を、ｆｔ
ｙ）重ねて収納する前方トレー収納部８６と後方トレー
収納部８７とからなるトレー収納部８８が固定されてい
る。トレー収納部８８は積み重ねられた上下の空トレー
３１がその凹凸によって互いに係合しないように、前後
に傾斜案内面８６ａ、８７ａが形成され、これｌこより
　゛トレー３１を階段のように少しづつずらしながら積
み重ね収納できるようになっている。また前方トレー収
納部８６は第８図から明らかなように、左右側板８６Ａ
、８６Ｂとからなり、これら側板８６Ａ、８６Ｂは連結
棒８６Ｃで一定間隔を保って連結され、ボルト８６Ｄで
一体に固定されている。また後方トレー収納部８７も同
様に構成されている。また上面板８４．８５とトレー収
納部８８との間には最下位の１枚のトレー３１だけを前
方に送る送出案内路８６ｂ及びトレー３１を送る送り爪
８９の移動のためア゛逃げ案内路８７ｂとが形成されて
いる。

前記送り爪８９の下部は前記上面板８４．８５間の溝よ
り下方に伸びている。また上面板８４．８５の下面には
ガイドレール９０．９１が固定されている。そして、前
記送り爪８９に固定された軸９２の両側に回転自在に設
けられたローラ９３．９４が前記ガイドレール９０．９
１上に載置されている。従って、送り爪８９はガイドレ
ール９０．９１に案内されて前後方向に移動することが
できる。また送り爪８９の下端側には軸受？５．９６を
介して軸９７が回転自在に支承されている。前記底板８
１にはブロック９８が固定されてあり、このブロック９
８に軸受９９．１００を介して軸１０１が回転自在に支
承されている。軸１０１には送りアーム１０２の下端が
固定されている。送りアーム１０２の上端には溝１０２
ａが形成され、この溝１０２ａに前記軸９７が挿入され
ている。

また底板８１には支持板１０３が固定されており、この
支持板１０３にモータ１０４が固定されている。モータ
１０４の出力軸には円板１０５が固定されており、この
円板１０５に固定された軸１０６にローラ１０７が回転
自在に支承されている。このローラ１０７は前記送りア
ーム１０２に対応し、送りアーム１０２はばね１０８で
付勢されて前記ローラ１０７に押圧されている。前記円
板１０５に対応して円板１０５の１回転を検出する光電
スイッチ１０９が配設され、この光電スイッチ１０９は
支持板１１０を介して支持板１０３に固定されている。

トレーアンローダ１２０は、トレー搬送コンベア３２の
搬送方向き直交するトレーテーブル１２１と、このトレ
ーテーブル１２１と一定距離離れて配設されたブツシャ
１２２とからなる。またトレーテーブル１２１には垂直
に穴１２１ａが形成され、この穴１２１ａの上下に検出
器（図示せず）が配設されている。

次にかかる構成よりなるダイ詰め換え装置の動作につい
て説明する。ま゛ず、第１図の状態でウェハが分割され
た複数のダイ２０が取付けられたウェハリング１６（第
２図参照）をウェハリング駆動手段１０のウニハリフグ
ホルダ１１に取付ける。

またトレー搬送コンベア３２上に空トレー３１を１個載
置しておく。またトレーローダ７０のトレー収納部８８
（第７図参照）に空トレー３１を入れておく。この状態
で電源を入れると、図示しないコンピュータに予め設定
されたプログラムデータに従って作動する。

まず、トレー搬送装置３０のＸＹテーブル５４．５６（
第３図参照）が駆動してトレー搬送コノベア３２は、第
９図に示すようにトレーローダ８０がら空トレー３１を
供給できる位置に移動する。

またこの間に位置決め爪４３が矢印Ｃ方向に作動して開
状態となる。トレー搬送コンベア３２がトレーローダ８
０に隣接した位置に位置すると、第７図、第８図に示す
トレーローダ８０のモータ１０４が回転し、円板１０５
が光電スイッチ１０９の検出信号を利用して１回転する
。これにより、ローラ１０７が旋回して送りアーム１０
２が揺動し、送り爪８９によって最下裕の空トレー３１
を前方に送す出し、トレー３１はトレー搬送コンベア３
２のベルト３６．３７（第４図参照）に移載される。

次にトレー搬送装置３０のＸＹテーブル５４．５６が移
動してトレー搬送コノベア３２を第１０図に示すように
ダイ詰め換え位置に移動させ、トレー３１の凹部３１ａ
の１つを所定の詰め換え位置に位置決めする。またこの
動作に併行してトレー搬送コンベア３２のモータ３８が
回転シ、ヘルド４１を介してプーリ３５を回転させる。

これによりベルト３６．３７がＡ方向ｌこ起動してトレ
ー３１を移送する。そして、先行のトレー３１が投光器
４８をさえぎるとセンサー５０が働き、この信号によっ
てソレノイド４６がＯＦＦとなり、位置決め爪４３が矢
印Ｃと逆方向に移動して先行するトレー３１をストッパ
４２に押圧して位置決めする。

この状態より良品のダイ２０をトレー３１に詰め換えが
行われる。即ち、ダイ２０をウェハリング駆動手段１０
のＸＹテーブル１３．１５の移動によって順次ピッ１６
久、７ツブ位置に位置決めしながらダイ識別装置７０の
カメラ７１によって識別された良品のダイ２０をピック
アップ手段６０のコレット６１によってトレー３１の凹
部３１ａに詰め換え、トレー３１は：・レー搬送装置３
０のＸＹテーブル５４．５６の移動によって順次四部３
１ａを所定の詰め換え位置に位置決めしていく。

このようにして１つのトレー３１に良品ダイ、２０が満
杯になると、ソレノイド４４が作動してストッパー４２
が矢印Ｂ方向に移動して退勤し、モータ３８が起動して
ベルト３６．３７が移動する。

これにより満杯トレー３１をＡ方向に移送する。

そして、再びストッパ４２を動作させ、位置決め爪４゛
３も退勤させる。この動作と併行してトレー搬送装置３
０のＸＹテーブル５４．５６を移動させてトレー搬送コ
ンベア３２を再びトレーローダ８０に接する位置に移動
させる。そして、前述したように次のトレー３１がトレ
ーローダ８０よりトレー搬送コンベア３２上に移載され
る。

以上の動作を繰り返しながら、やがてトレー搬送コンベ
ア３２上に満杯トレー３１かたまり、先行の満杯トレー
３１が投光器４９をさえぎると、センサー５１の信号に
よってトレー搬送装置３０のＸＹテーブル５４．５６が
移動し、第１１図に示すよつ４こトレー搬送コノベア３
２はトレーテーブル１２１に接する位置に移動する。そ
して、ブツシャ１２２が動作して初めのトレー３１７ｉ
−１−ｖ−搬送コンベア３２からトレーテーブル１２１
に移載する。次にベルト３６．３７が移動して次のトレ
ー３１を投光器４９の下に送る。そして再びブツシャ１
２２が動作して２個目のトレー３１をトレーテーブル１
２１に移載する。このようにしてトレー搬送コンベア３
２上の満杯トレー３１が全てトレーテーブル１２１上に
移載されると、トレー搬送コンベア３２は再びトレーロ
ータ８０ｆこ接する位置に移動させられる。

こうして、この一連の動作を繰返すことによりダイの詰
め換え装置の動作が継続していく。そして、ル−テーブ
ル１２１上にトレー３１が満杯φこなった時は穴１２１
ａがトレー３１でふさがれ、これにより穴１２１ａの上
下にセットした検出器で検出されて満杯表示されるので
、穴１２１ａ上のトレー３１を取り除けばよい。

このように、トレー３１の搬送はトレー搬送コ／ベア３
２により行うので、トレー３１に振動を与えることなく
搬送することができると共に、ダイ２０の詰め換えｌこ
当っては）Ｌ／−３１をトレー搬送コンベア３２上でス
トツノマ４２及び位置決め爪４３からなる位置決め手段
で位置決めすることができる。またトレー３１の外形寸
法に変更が生じても単ｌこストッパ４２又は位置決め爪
４３の少なくとも一方の取付は位置を調整するのみで容
易に対処できる。

以−ヒの説明から明らかな如く、本発明によれば、トレ
ーの搬送をコンベアで行うので、トレー３こ振動を与え
ることなく搬送することができると共に、トレーの変更
に対しても容易に対処できる。またダイの詰め換えにあ
たってトレーをコンベア上で位置決めすることができる
。

【図面の簡単な説明】

゛、。 第１図はダイ詰め換え装置の全体を示す概略構成平面図
、第２図はウニハリノブ駆動手段及びダイピックアップ
手段の一部を示す斜視図、第３図。 第４図は本発明になるトレー搬送装置の一実施例て示す
要部正面図、第４図（ｂ）は第４図ｆａｔの平面図、第
５図はトレーの拡大斜視図、第６図はダイピックアップ
手段の一部及びダイ識別装置の斜視図、第７図、第８図
はトレーローダを示し、第７図は正面断面図、第８図は
側面断面図、第９図、第１０図、第１１図は装置の動作
説明図である。 ２０・・・ダイ、　　　　　　　３０・・・トレー搬送
装置、３２・・・トレー搬送コンベア、　　４２・・・
ストッパー、４３・・・位置決め爪、　　　５４・・・
Ｙテーブル、５６・・・Ｘテーブル、　　　６０・・・
ダイピックアップ手段。 第１ｖＡ 第３ｖＡ 第４図 （ｂ） ｌｌ８Ｉｌ 第９図 第１０図 第１１ 静 ２０

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 縦横に配列された多数のダイの内の良品を１個づつ所定
   のダイ詰め換え位置に設けられたトレーに詰め換えるダ
   イ詰め換え装置に詔いて、前記ダイ詰め換え位置を含む
   範囲で縦横に移動するＸＹテーブルと、このＸＹテーブ
   ル上に搭載されたトレー搬送コンベアト、このトレー搬
   送コンベアに進退自在に設けられトレー搬送コンベア上
   のトレーを位置決めする位置決め手段とを備えてなるダ
   イ詰め換え装置におけるトレー搬送装置。