KR20240050869A - 매거진 이송모듈 및 이를 이용한 다이 본딩 장치 - Google Patents

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KR20240050869A
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김승호
정용준
임문수
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은 매거진 이송모듈 및 이를 이용한 다이 본딩 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 자재의 품질을 개선하기 위하여 매거진을 이동하는 과정에서 발생할 수 있는 파티클을 최소화할 수 있는 매거진 이송모듈 및 이를 이용한 다이 본딩 장치에 관한 것이다.
본 발명은, 다다이 본딩 장치의 매거진 이송모듈에 있어서, OHT로부터 매거진이 투입되는 OHT 포트; OHT 포트로부터 투입된 매거진을 정해진 위치인 인계위치로 이송하는 컨베이어; OHT 포트와 컨베이어 사이에서 매거진을 이송하는 유닛간 이송수단; 상기 인계위치에 배치된 매거진을 다음 공정으로 이송하는 2축 구동부; 를 포함하되, 상기 컨베이어는, Y축 방향(수평 방향)으로 길게 마련되어 매거진을 지지하며 일정 거리 이격되게 설치되는 한 쌍의 레일부재를 포함하는 레일; 한 쌍의 레일부재 사이에 배치되는 판형상의 지지판과 지지판을 Z축 방향(상하방향)으로 이송하는 Z축 구동부와 지지판을 Y축 방향으로 이송하는 Y축 구동부;를 포함하여, 지지판이 매거진의 하부에 접촉한 상태에서 위로 이동시켜 매거진과 레일의 접촉을 해제시킨 상태로 매거진을 인계위치까지 옮긴 후 다시 매거진을 아래로 옮겨 레일에 거치하는 제1이송수단을 포함하고, 상기 2축 구동부는 인계위치에 배치된 매거진을 Y축과 Z축 방향으로 이동시키면서 다음 공정으로 이송하는 것을 특징으로 하는 매거진 이송모듈을 제공한다.

Description

매거진 이송모듈 및 이를 이용한 다이 본딩 장치{Magazine Transfer Module and Die Bonding Machine using the same}
본 발명은 매거진 이송모듈 및 이를 이용한 다이 본딩 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 매거진을 이송하는 과정에서 발생할 수 있는 파티클을 최소화할 수 있는 매거진 이송모듈 및 이를 이용한 다이 본딩 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있으며, 형성된 반도체 소자들은 다이싱 공정을 통해 분할되어 다이 본딩 공정을 통해 기판상에 본딩된다.
다이 본딩 공정을 수행하기 위한 장치는 복수의 다이들로 분할된 웨이퍼로부터 다이를 픽업하여 기판상에 부착시키기 위한 다이 본딩 모듈을 포함할 수 있다. 상기 다이 본딩 모듈은 웨이퍼가 부착된 웨이퍼 링을 지지하는 스테이지 유닛과 상기 스테이지 유닛에 지지가 된 웨이퍼로부터 선택적으로 다이를 분리시키기 위하여 수직 방향으로 이동 가능하게 설치된 다이 이젝터와 웨이퍼로부터 다이를 픽업하여 기판에 부착시키기 위한 픽업 유닛을 포함할 수 있다.
또한, 다이 본딩 장치는 기판을 공급하기 위한 기판 공급 모듈을 포함할 수 있다. 기판 공급 모듈은 매거진 이송장치를 포함하고 매거진 이송장치를 이용하여 다이가 수납된 매거진을 수평방향으로 이동하여 다이 본딩 모듈로 다이를 이동하기 위한 포지션에 위치시킨다.
종래의 매거진 이송장치는 도 1에 도시된 바와 같이 컨베이어 벨트(1)에 의해 매거진을 수평방향으로 이송하는 구성을 포함하고 있는데 컨베이어 벨트(1)를 구동하는 과정에서 벨트의 마모로 인해 파티클이 발생하게 되고 발생한 파티클에 의해 다이나 기판이 오염되는 문제가 발생한다.
특히, 도 2에 도시된 바와 같이 컨베이어 벨트에는 매거진의 정렬(align)을 위한 스토퍼(2)가 설치되는데 스토퍼(2)를 이용하여 매거진을 정렬하기 위해서는 매거진이 스토퍼와 맞닿아 더는 이동할 수 없는 상태에서도 컨베이어 벨트(1)를 구동해야 하는데 이러한 공회전 상태에서는 벨트의 마모가 심해 이로 인해 발생하는 파티클의 양이 많아진다는 문제점도 있다.
본 발명은 배경기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 매거진의 이송과정에서 파티클의 발생을 최소화할 수 있는 매거진 이송유닛과 이를 이용한 다이 본딩 장치를 제공하는 것이다.
전술한 과제의 해결 수단으로서 본 발명은,
다이 본딩 장치의 매거진 이송모듈에 있어서,
OHT로부터 매거진이 투입되는 OHT 포트;
OHT 포트로부터 투입된 매거진을 정해진 위치인 인계위치로 이송하는 컨베이어;
OHT 포트와 컨베이어 사이에서 매거진을 이송하는 유닛간 이송수단;
상기 인계위치에 배치된 매거진을 다음 공정으로 이송하는 2축 구동부; 를 포함하되,
상기 컨베이어는,
Y축 방향(수평 방향)으로 길게 마련되어 매거진을 지지하며 일정 거리 이격되게 설치되는 한 쌍의 레일부재를 포함하는 레일;
한 쌍의 레일부재 사이에 배치되는 판형상의 지지판과 지지판을 Z축 방향(상하방향)으로 이송하는 Z축 구동부와 지지판을 Y축 방향으로 이송하는 Y축 구동부;를 포함하여,
지지판이 매거진의 하부에 접촉한 상태에서 위로 이동시켜 매거진과 레일의 접촉을 해제시킨 상태로 매거진을 인계위치까지 옮긴 후 다시 매거진을 아래`로 옮겨 레일에 거치하는 제1이송수단을 포함하고,
상기 2축 구동부는 인계위치에 배치된 매거진을 Y축과 Z축 방향으로 이동시키면서 다음 공정으로 이송하는 것을 특징으로 하는 매거진 이송모듈을 제공한다.
상기 유닛간 이송수단은,
상기 매거진이 배치되는 판상의 이동 플레이트;
상기 이동 플레이트를 Y축 방향으로 구동하는 플레이트 구동수단을 포함하고,
상기 플레이트 구동수단에 의해 이동 플레이트에 배치된 매거진을 상기 레일로 이송하는 것이 바람직하다.
상기 플레이트 구동수단은,
이동 플레이트의 하부에 설치되는 리니어 모션 가이드와, 이동 플레이트를 구동하기 위한 볼스크류를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 컨베이어의 레일과 제1이송수단은 상하방향을 따라 둘 이상이 설치되고,
상기 2축 구동부의 그립부는 한 쌍이 마련되되 상하방향으로 배치되고,
상기 OHT 포트는 상기 유닛간 이송수단을 Z축 방향으로 이송하는 OHT-Z축 구동부를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 유닛간 이송수단에는 매거진을 정렬하기 위한 제1정렬수단이 마련되고,
상기 제1이송수단에는 매거진을 정렬하기 위한 제2정렬수단이 마련되는 것이 바람직하다.
상기 제1정렬수단과 제2정렬수단은,
바닥에 대하여 수직이게 결합하는 판상의 제1정렬판;
상기 제1정렬판과 대향되고 이동가능하게 설치되는 판상의 제2정렬판;
상기 제2정렬판을 제1정렬판과 근접하는 방향 또는 멀어지는 방향으로 이동시키되, 제2정렬판과 회전 가능하게 결합하는 로드와 로드를 구동하는 실린더;
제2정렬판을 제1정렬판 방향으로 탄성가압하며 로드를 중심으로 서로 반대쪽에 각각 설치되는 탄성가압수단; 을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 제1이송수단의 가동범위는 상기 레일의 길이보다 길게 형성되고 상기 인계위치는 레일의 외부에 위치할 수 있다.
상기 2축 구동부는 평행하게 배치되는 한 쌍의 그립부를 포함하며 한 쌍의 그립부를 Z축을 중심으로 회전시키기 위한 회전 구동부를 더 포함할 수도 있다.
본 발명은 또한,
기판 상에 다이를 본딩하는 다이 본딩모듈;
상기 기판을 수용하는 매거진을 다이 본딩 모듈로 공급하기 위한 매거진 이송모듈;
매거진으로부터 기판을 인출하거나 다이의 본딩이 완료된 기판을 매거진으로 수납하는 기판 반출입 모듈;
상기 기판에 다이가 정상적으로 본딩 되었는지를 검사하는 검사모듈; 을 포함하며,
상기 매거진 이송모듈은,
OHT로부터 매거진이 투입되는 OHT 포트;
OHT 포트로부터 투입된 매거진을 정해진 위치인 인계위치로 이송하는 컨베이어;
OHT 포트와 컨베이어 사이에서 매거진을 이송하는 유닛간 이송수단;
상기 인계위치에 배치된 매거진을 다이 본딩모듈로 이동시키며 매거진을 옮기는 과정에서 매거진을 파지하기 위한 그립부를 포함하는 2축 구동부; 를 포함하되,
상기 컨베이어는,
Y축 방향(수평 방향)으로 길게 마련되어 매거진을 지지하며 일정 거리 이격되게 설치되는 한 쌍의 레일부재를 포함하는 레일;
한 쌍의 레일부재 사이에 배치되는 판형상의 지지판과 지지판을 Z축 방향(상하방향)으로 이송하는 Z축 구동부와 지지판을 Y축 방향으로 이송하는 Y축 구동부;를 포함하여,
지지판이 매거진의 하부에 접촉한 상태에서 위로 이동시켜 매거진과 레일의 접촉을 해제시킨 상태로 매거진을 인계위치까지 옮긴 후 다시 매거진을 아래로 옮겨 레일에 거치하는 제1이송수단을 포함하고,
상기 2축 구동부는 인계위치에 배치된 매거진을 Y축과 Z축 방향으로 이동시키면서 다음 공정으로 이송하는 것을 특징으로 하는 다이 본딩 장치를 제공한다.
상기 유닛간 이송수단은,
상기 매거진이 배치되는 판상의 이동 플레이트;
상기 이동 플레이트를 Y축 방향으로 구동하는 플레이트 구동수단을 포함하고,
상기 플레이트 구동수단에 의해 이동 플레이트에 배치된 매거진을 상기 레일로 이송하는 것이 바람직하다.
상기 플레이트 구동수단은,
이동 플레이트의 하부에 설치되는 리니어 모션 가이드와, 이동 플레이트를 구동하기 위한 볼스크류를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 컨베이어의 레일과 제1이송수단은 상하방향을 따라 둘 이상이 설치되고,
상기 2축 구동부의 그립부는 한 쌍이 마련되되 상하방향으로 배치되고,
상기 OHT 포트는 상기 유닛간 이송수단을 Z축 방향으로 이송하는 OHT-Z축 구동부를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 유닛간 이송수단에는 매거진을 정렬하기 위한 제1정렬수단이 마련되고,
상기 제1이송수단에는 매거진을 정렬하기 위한 제2정렬수단이 마련되는 것이 바람직하다.
상기 제1정렬수단과 상기 제2정렬수단은,
바닥에 대하여 수직이게 결합하는 판상의 제1정렬판;
상기 제1정렬판과 대향되고 이동가능하게 설치되는 판상의 제2정렬판;
상기 제2정렬판을 제1정렬판과 근접하는 방향 또는 멀어지는 방향으로 이동시키되, 제2정렬판과 회전 가능하게 결합하는 로드와 로드를 구동하는 실린더를 포함하는 것이 바람직하다.
제2정렬판을 제1정렬판 방향으로 탄성가압하며 로드를 중심으로 서로 반대쪽에 각각 설치되는 탄성가압수단; 을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 제1이송수단의 가동범위는 상기 레일의 길이보다 길게 형성되고 상기 인계위치는 레일의 외부에 마련되는 것이 바람직하다.
본 발명은 또한,
기판상에 다이를 본딩하는 다이 본딩모듈;
상기 기판을 다이 본딩 모듈로 공급하기 위한 매거진 이송모듈;
상기 기판에 다이가 정상적으로 본딩 되었는지를 검사하는 검사모듈을 포함하며,
상기 매거진 이송모듈은,
OHT로부터 매거진이 투입되는 OHT 포트;
OHT 포트로부터 투입된 매거진을 정해진 위치인 인계위치로 이송하는 컨베이어;
OHT 포트와 컨베이어 사이에서 매거진을 이송하는 유닛간 이송수단;
상기 인계위치에 배치된 매거진을 다음 공정으로 이송하는 2축 구동부; 를 포함하되,
상기 컨베이어는,
Y축 방향(수평 방향)으로 길게 마련되어 매거진을 지지하며 일정 거리 이격되게 설치되는 한 쌍의 레일부재를 포함하는 레일;
한 쌍의 레일부재 사이에 배치되는 판형상의 지지판과 지지판을 Z축 방향(상하방향)으로 이송하는 Z축 구동부와 지지판을 Y축 방향으로 이송하는 Y축 구동부;를 포함하여,
지지판이 매거진의 하부에 접촉한 상태에서 위로 이동시켜 매거진과 레일의 접촉을 해제시킨 상태로 매거진을 인계위치까지 옮긴 후 다시 매거진을 아래로 옮겨 레일에 거치하는 제1이송수단을 포함하고,
상기 2축 구동부는 인계위치에 배치된 매거진을 Y축과 Z축 방향으로 이동시키면서 다음 공정으로 이송하되,
상기 유닛간 이송수단은,
상기 매거진이 배치되는 판상의 이동 플레이트;
상기 이동 플레이트를 Y축 방향으로 구동하는 플레이트 구동수단을 포함하고,
상기 플레이트 구동수단에 의해 이동 플레이트에 배치된 매거진을 상기 레일로 이송하며,
상기 플레이트 구동수단은,
이동 플레이트의 하부에 설치되는 리니어 모션 가이드와, 이동 플레이트를 구동하기 위한 볼스크류를 포함하고,
상기 컨베이어의 레일과 제1이송수단은 상하방향을 따라 둘 이상이 설치되고,
상기 2축 구동부의 그립부는 한 쌍이 마련되되 상하방향으로 배치되고,
상기 OHT 포트는 상기 유닛간 이송수단을 Z축 방향으로 이송하는 OHT-Z축 구동부를 포함하며,
상기 유닛간 이송수단에는 매거진을 정렬하기 위한 제1정렬수단이 마련되고,
상기 제1이송수단에는 매거진을 정렬하기 위한 제2정렬수단이 마련되며,
상기 제1정렬수단과 제2정렬수단은 각각,
바닥에 대하여 수직이게 결합하는 판상의 제1정렬판;
상기 제1정렬판과 대향되고 이동가능하게 설치되는 판상의 제2정렬판;
상기 제2정렬판을 제1정렬판과 근접하는 방향 또는 멀어지는 방향으로 이동시키되, 제2정렬판과 회전 가능하게 결합하는 로드와 로드를 구동하는 실린더;
제2정렬판을 제1정렬판 방향으로 탄성가압하며 로드를 중심으로 서로 반대쪽에 각각 설치되는 탄성가압수단;을 포함하고,
상기 제1이송수단의 가동범위는 상기 레일의 길이보다 길게 형성되고 상기 인계위치는 레일의 외부에 마련되는 다이 본딩 장치를 제공한다.
본 발명에 의하면 매거진의 이송과정에서 파티클의 발생을 최소화할 수 있는 매거진 이송유닛과 이를 이용한 다이 본딩 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 종래의 매거진 이송모듈을 설명하기 위한 도면.
도 2는 도 1에 도시된 이송모듈의 컨베이어 벨트에 설치된 스토퍼에 의한 파티클 발생을 설명하기 위한 도면.
도 3은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 매거진 이송모듈을 설명하기 위한 도면.
도 4는 유닛간 이송수단을 설명하기 위한 평면도.
도 5a 및 도 5b는 제1이송수단을 설명하기 위한 도면.
도 6은 제1정렬수단(제2정렬수단)을 설명하기 위한 도면.
도 7a 내지 도 7e는 제1정렬수단에 의해 매거진이 정렬되는 과정을 설명하기 위한 도면.
도 8은 본 발명의 다른 하나의 실시예에 따른 매거진 이송모듈을 설명하기 위한 도면.
도 9는 본 발명의 다른 하나의 실시예에 따른 매거진 이송모듈을 설명하기 위한 도면.
도 10은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 다이 본딩 장치를 설명하기 위한 도면.
이하에서는 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명함으로써 본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 제공하기로 한다.
도 3은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 매거진 이송모듈을 설명하기 위한 도면, 도 4는 유닛간 이송수단을 설명하기 위한 평면도, 도 5a 및 도 5b는 제1이송수단을 설명하기 위한 도면, 도 6은 제1정렬수단(제2정렬수단)을 설명하기 위한 도면, 도 7a 내지 도 7e는 제1정렬수단에 의해 매거진이 정렬되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
우선 본 발명의 첫 번째 형태인 매거진 이송모듈(10)의 하나의 실시예에 대하여 설명하기로 한다.
본 실시예에 따른 매거진 이송모듈(10)은 다이 본딩 장치에서 기판을 수용하는 매거진을 다이 본딩 모듈로 옮기는 모듈로서 OHT 포트(100), 컨베이어(200), 유닛간 이송수단(300), 2축 구동부(400)를 포함한다.
상기 OHT 포트(100)는 OHT(미도시)로부터 매거진(M)이 투입되는 구성이다. OHT는 Overhead Hoist Transport의 약어로서 반도체 공정에서 매거진(M)을 이송하는 장치 중 하나이다.
OHT 포트(100)는 유닛간 이송수단(300)을 상하로 구동하는 OHT-Z축 구동부(미도시)를 포함할 수 있는데, 파티클의 발생을 최소화하기 위해 액추에이터를 이용할 수 있다.
컨베이어(200)는 유닛간 이송수단(300)에 의해 OHT 포트(100)로부터 이송된 매거진(M)을 인계위치까지 이송한다. 인계위치란 2축 구동부(400)가 매거진을 다음 공정(다이 본딩 모듈이 될 수 있다)으로 이송하도록 정해진 위치를 의미한다.
컨베이어(200)는 레일(210)과 제1이송수단(220)과 제2정렬수단(230)을 포함한다.
레일(210)은 한 쌍의 레일부재(211)를 포함하는데, 한 쌍의 레일부재(211)는 Y축 방향(도면 상의 Y축 방향으로 수평방향)으로 긴 형상으로 마련되고 일정한 간격으로 서로 나란하게 배치되어 매거진(M)을 지지한다.
제1이송수단(220)은 지지판(221), Z축 구동부(222), Y축 구동부(223)를 포함한다.
지지판(221)은 한 쌍의 레일부재(211) 사이에 배치되는 판형상의 구성으로서 매거진(M)을 지지한 상태로 Y축 방향과 Z축 방향으로 이송한다.
Z축 구동부(222)는 지지판(221)을 Z축 방향(도면 상의 Z축 방향으로 상하방향)으로 이송하는 구성으로서 피스톤 장치를 이용할 수 있다.
Y축 구동부(223)는 매거진(M)을 Y축 방향으로 이송하는 구성으로서 Z축 구동부(222)와 지지판(221)을 Y축 방향으로 이송함으로써 매거진(M)을 이송한다. 도 5a의 (b)에 도시된 바와 같이 Y축 구동부(223)는 레일(210)의 양쪽에서 Z축 구동부(222)와 지지판(221)을 지지한 상태로 이동시킬 수 있다. 도 3에는 Y축 구동부(223)의 한 쪽만이 도시되어 있는데 이는 도시 상의 편의를 위함이다.
제2정렬수단(230)은 매거진(M)이 정확한 위치에 정확한 자세로 포지셔닝 될 수 있도록 매거진(M)을 정렬하기 위한 구성으로서 도 6에 도시된 바와 같이 제1정렬판(231), 제2정렬판(232), 실린더(233), 로드(234) 및 탄성가압수단(235)을 포함한다.
제1정렬판(231)은 바닥(지지판)에 대하여 수직이게 설치되는 판상의 구성이다.
제2정렬판(232)은 제1정렬판(231)과 대향되게 설치되는데 제1정렬판(231)과 근접하는 방향(전진) 또는 멀어지는 방향(후진)으로 이동가능하게 설치된다.
실린더(233)와 로드(234)는 제2정렬판(232)이 전진 또는 후진할 수 있도록 구동한다. 로드(234)는 제2정렬판(232)과 회전 가능하게 결합한다.
탄성가압수단(235)은 제2정렬판(232)을 제1정렬판(231) 방향으로 탄성가압하도록 설치되는데, 로드(234)를 중심으로 서로 반대쪽에 각각 설치되며 코일 스프링을 이용할 수 있다.
탄성가압수단(235)이 로드(234)를 중심으로 서로 반대편에 각각 설치되는 것은 균형을 유지하기 위한 것인데 균형에 대해서는 아래에서 제2정렬수단(230)을 이용하여 매거진(M)을 정렬하는 방법과 함께 설명하기로 한다.
매거진(M)이 도 7a에 도시된 바와 같이 Z축을 기준으로 일정 각도 회전한 상태에서는 다음 공정에서 매거진(M)에 장비가 접근하는데 어려움이 있을 수도 있고, 2축 구동수단(400)에 의한 이송이 어려워질 수도 있다. 이러한 문제를 방지하기 위해 제2정렬수단(230)에 의해 매거진(M)이 정렬된다.
도 7a에 도시된 상태에서 제2정렬판(232)이 전진하면 도 7b에 도시된 바와 같이 매거진(M)의 어느 한 쪽 모서리와 제2정렬판(232)이 닿게 된다.
이 상태에서 제2정렬판(232)이 계속 전진하면 도 7c에 도시된 바와 같이 매거진(M)은 시계반대방향으로 회전하고 제2정렬판(232)은 시계방향으로 회전하는데, 이때 위쪽의 탄성가압수단(235)은 탄성압축되고 아래쪽의 탄성가압수단(235)은 탄성인장된다.
제2정렬판(232)이 계속 전진하면 도 7d에 도시된 상태를 거쳐 도 7e에 도시된 상태가 되며 정렬이 완료된다.
한편, 제2정렬수단(230)의 제2정렬판(232)이 매거진(M)을 제1정렬판(231) 쪽으로 가압함으로써 매거진(M)이 이송되는 과정에서 정렬된 상태를 유지하도록 한다.
탄성가압수단(235)은 매거진(M)과 제2정렬판(232)이 서로 접촉할 때 충격을 완화해주는 역할을 하는 댐퍼로서의 기능을 하게 되는데 로드(234)의 양쪽에 각각 탄성가압수단(235)이 배치되어 제2정렬판(232)이 균형을 잡으면서 매거진(M)을 정렬하고 움직이게 한다.
유닛간 이송수단(300)에 의해 레일(210)로 옮겨진 매거진(M)은 레일(210)에 의해 지지가 되는데(도 5a에 도시된 상태) 이 상태에서 매거진(M)을 Y축 방향으로 이동하기 위해서는 도 5b에 도시된 상태와 같이 지지판(221)이 Z축 구동부(222)에 의해 위쪽으로 이동하여 매거진(M)과 레일(210)의 접촉을 해제시키고, Y축 구동부(223)에 의해 매거진(M)을 Y축 방향으로 옮긴다. 매거진(M)이 이동하는 과정에서 레일(210)과의 마찰이 발생하지 않으므로 파티클이 발생할 가능성이 차단되는 것이다. 도 5a와 도 5b에서 (a)는 정면도이고, (b)는 측면도이다. 사시도를 도시하는 것보다 정면도와 측면도를 도시하는 것이 이해를 돕는데 유리하다 판단되어 정면도와 측면도를 도시하였다.
매거진(M)이 인계위치까지 이동하면 Z축 구동부(222)에 의해 지지판(221)을 아래쪽으로 이동시켜 매거진(M)을 레일(210)에 거치하면 매거진(M)의 이송이 완료된다. 매거진(M)의 이송이 완료되면 제2정렬판(232)이 후진하여 매거진(M)과의 접촉이 해제되고, 제1이송수단(220)은 매거진(M)과의 접촉 없이 다시 OHT 포트(100)로부터 레일(210)로 유입된 매거진(M)을 이송하기 위해 도면상의 왼쪽으로 이동한다. 이를 위해서는 도 5a에 도시된 바와 같이 제1이송수단(210)이 매거진(M)과 간섭이 발생하지 않는 위치로 내려가면 된다.
컨베이어(200)의 레일(210)과 제1이송수단(220)은 상하방향을 따라 둘 이상 설치될 수 있는데 도 3에 도시된 바와 같이 본 실시예에서는 세 개가 설치된다. 필요에 따라 등급이 다른 다이를 본딩하기 위하여 다이 본딩 설비가 다이의 등급별로 구분되어 운영될 수 있는데 이러한 필요에 맞게 매거진(M)도 여러 개의 층위에서 이송되는 것이다.
컨베이어(200)가 여러 개의 층으로 구성되면 유닛간 이송수단(300)에 투입된 매거진(M)을 상하방향으로 이동시킬 필요가 있으므로 OHT 포트(100)에 OHT-Z축 구동부를 설치하여 유닛간 이송수단(300)을 Z축 방향으로 이동시킬 수 있도록 하고, 2축 구동부(400)도 두 개의 그립부(410)를 구비하여 효율적으로 매거진(M)을 이송할 수 있도록 구성할 수 있다.
상기 유닛간 이송수단(300)은 상기 OHT 포트(100)와 컨베이어(200) 사이에서 매거진(M)을 옮기는 구성으로서 이동 플레이트(310)와 플레이트 구동수단(320)과 제1정렬수단(330)을 포함하여 구성된다. 한편, 전술한 바와 같이 유닛간 이송수단(300)은 OHT 포트(100)에 포함된 OHT-Z축 구동부에 의해 상하방향으로 이동할 수 있다.
상기 이동 플레이트(310)는 OHT에 의해 투입된 매거진(M)이 수용되는 판이다. 이동 플레이트(310)에는 매거진(M)을 인식하기 위한 매거진 인식부(311)와 매거진(M)을 이송하는 과정에서 파지하기 위한 매거진 그립(312)이 설치된다.
매거진 인식부(311)는 RFID 장치가 이용될 수 있고 매거진 그립(312)으로는 피스톤이 이용될 수 있다.
상기 플레이트 구동수단(320)은 이동 플레이트(310)의 하부에 배치되는 리니어 모션 가이드(321)와 이동 플레이트(310)를 구동하기 위한 볼스크류(322)를 포함한다.
상기 제1정렬수단(330)은 이동 플레이트(310)에 배치된 매거진(M)을 정렬하기 위한 구성으로서, 제1정렬판(331), 제2정렬판(332), 실린더(333), 로드(334), 탄성가압수단(335)을 포함하는데 앞서 설명한 제2정렬수단(230)과 비교할 때 이동 플레이트(310)에 설치된다는 점 이외에는 실질적으로 동일한 구성이므로 추가적인 설명은 생략하기로 한다.
매거진 인식부(311)에 의해 이동 플레이트(310)에 매거진(M)의 유입이 인식되면, 제1정렬수단(330)에 의해 매거진(M)을 정렬하고, 매거진 그립(312)이 매거진(M)을 임시고정한 상태에서 플레이트 구동수단(320)에 의해 이동 플레이트(310)를 도면의 오른쪽(Y축 방향)으로 이동시켜 매거진(M)을 레일(210)까지 이송한다. 레일(210)로 이송된 매거진(M)은 점선으로 도시되어 있다.
매거진(M)이 레일(210)로 이송되면 매거진 그립(312)에 의한 파지가 해제되고 제2정렬판(332)이 후진함으로써 매거진(M)과 유닛간 이송수단(300) 사이의 구속이 사라진다. 이 상태에서 이동 플레이트(310)를 도면의 오른쪽으로 옮겨 새로운 매거진(M)이 투입될 수 있도록 한다.
상기 2축 구동부(400)는 컨베이어(200)에 의해 인계위치로 이송된 매거진(M)을 다음 공정(다이 본딩 유닛)으로 이송하기 위해 두 개의 축방향으로 이동시키는 구성으로서 그립부(410), Y구동부(420)와 Z구동부(430)를 포함하는데, Z구동부는 Y구동부(420)를 따라 움직이며, 그립부(410)가 Z구동부(430)에 의해 아래위 방향(Z축 방향)으로 움직이게 된다.
상기 그립부(410)는 매거진(M)을 이송하기 위하여 파지하며 도 3에 도시된 바와 같이 아래위 방향으로 한 쌍이 마련되어 함께 움직이는데 각각 다른 매거진(M)을 파지할 수 있다.
그립부(410)는 고정단(411)과 가동단(412)을 포함하는데, 고정단(411)은 고정되어 움직이지 않는 구성이고, 가동단(412)은 아래위 방향으로 움직이는데 가동단(412)을 구동하기 위하여 피스톤이 이용될 수 있다.
도 8 및 도 9에는 본 발명의 다른 실시예에 따른 매거진 이송모듈이 도시되어 있다.
도 8에 도시된 매거진 이송모듈은 제1이송수단(200)의 가동범위가 레일(210)의 외부까지 연장되어 있어서 점선으로 표시된 인계위치가 레일(210)의 외부에 위치한다. Y축 구동부(223)를 레일(210) 보다 Y축 방향에 대하여 길게 형성하여 제1이송수단(200)의 가동범위를 길게한다. 이러한 구성에 의해 상하로 배치된 그립부(410)와 레일(210) 사이의 간섭을 최소화함으로써 상하로 배치되는 레일(210) 사이의 간격을 줄일 수 있어서 공간을 효율적으로 활용할 수 있도록 해준다. 나머지 구성은 앞서 설명한 실시예와 동일하므로 추가적인 설명은 생략한다.
도 9에 도시된 매거진 이송모듈은 2축 구동부의 그립부(410)가 한 쌍 마련되며 평행하게 배치되는데 평행하게 배치된다는 의미는 도 3에 도시된 실시예와 달리 같은 높이에 배치된다는 의미이다. 상기 한 쌍의 그립부(410)는 회전 구동부(440)에 의해 Z축을 중심으로 회전할 수 있도록 구성된다. 이러한 구성에 의해 상하로 배치되는 레일(210) 사이의 간격을 줄일 수 있어서 공간을 효율적으로 활용할 수 있도록 해준다. 나머지 구성은 앞서 설명한 실시예와 동일하므로 추가적인 설명은 생략한다.
이하에서는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 다이 본딩 장치에 대하여 설명하기로 한다.
도 10은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 다이 본딩 장치를 설명하기 위한 도면이다.
본 실시예에 따른 다이 본딩 장치는 도 10에 도시된 바와 같이 다이 본딩모듈(20), 매거진 이송모듈(10), 기판 반출입 모듈(30), 검사모듈(40)을 포함한다.
다이 본딩모듈(20)은 다이(1)를 픽업하여 기판(2) 상에 본딩하는 구성이다.
매거진 이송모듈(10)은 OHT로부터 투입된 매거진을 인계위치로 이송하는 구성으로서 앞서 설명하였으므로 추가적인 설명은 생략한다.
기판 반출입 모듈(30)은 매거진으로부터 기판을 반출하여 다이 본딩모듈(10)로 이송하고 다이가 본딩된 기판을 다시 매거진으로 수납하는 구성이다.
검사모듈(40)은 기판(2)에 다이(1)가 정상적으로 본딩되었는지를 검사하는 구성으로서 비전 테스터를 이용할 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명함으로써 본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 제공하였으나 본 발명의 기술적 사상이 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 기술적 사상의 범위 안에서 다양한 형태로 구체화될 수 있다.
10 : 매거진 이송모듈 20 : 다이 본딩모듈
30 : 기판 반출입 모듈 40 : 검사유닛
100 : OHT 포트 200 : 컨베이어
300 : 유닛간 이송수단 400 : 2축 구동부

Claims (20)

  1. 다이 본딩 장치의 매거진 이송모듈에 있어서,
    OHT로부터 매거진이 투입되는 OHT 포트;
    OHT 포트로부터 투입된 매거진을 정해진 위치인 인계위치로 이송하는 컨베이어;
    OHT 포트와 컨베이어 사이에서 매거진을 이송하는 유닛간 이송수단;
    상기 인계위치에 배치된 매거진을 다음 공정으로 이송하는 2축 구동부; 를 포함하되,
    상기 컨베이어는,
    Y축 방향(수평 방향)으로 길게 마련되어 매거진을 지지하며 일정 거리 이격되게 설치되는 한 쌍의 레일부재를 포함하는 레일;
    한 쌍의 레일부재 사이에 배치되는 판형상의 지지판과 지지판을 Z축 방향(상하방향)으로 이송하는 Z축 구동부와 지지판을 Y축 방향으로 이송하는 Y축 구동부;를 포함하여,
    지지판이 매거진의 하부에 접촉한 상태에서 위로 이동시켜 매거진과 레일의 접촉을 해제시킨 상태로 매거진을 인계위치까지 옮긴 후 다시 매거진을 아래로 옮겨 레일에 거치하는 제1이송수단을 포함하고,
    상기 2축 구동부는 인계위치에 배치된 매거진을 Y축과 Z축 방향으로 이동시키면서 다음 공정으로 이송하는 것을 특징으로 하는 매거진 이송모듈.
  2. 제1항에서,
    상기 유닛간 이송수단은,
    상기 매거진이 배치되는 판상의 이동 플레이트;
    상기 이동 플레이트를 Y축 방향으로 구동하는 플레이트 구동수단을 포함하고,
    상기 플레이트 구동수단에 의해 이동 플레이트에 배치된 매거진을 상기 레일로 이송하는 매거진 이송모듈.
  3. 제2항에서,
    상기 플레이트 구동수단은,
    이동 플레이트의 하부에 설치되는 리니어 모션 가이드와, 이동 플레이트를 구동하기 위한 볼스크류를 포함하는 매거진 이송모듈.
  4. 제1항에서,
    상기 컨베이어의 레일과 제1이송수단은 상하방향을 따라 둘 이상이 설치되고,
    상기 2축 구동부의 그립부는 한 쌍이 마련되되 상하방향으로 배치되고,
    상기 OHT 포트는 상기 유닛간 이송수단을 Z축 방향으로 이송하는 OHT-Z축 구동부를 포함하는 매거진 이송모듈.
  5. 제1항에서,
    상기 유닛간 이송수단에는 매거진을 정렬하기 위한 제1정렬수단이 마련되는 매거진 이송모듈.
  6. 제1항에서,
    상기 제1이송수단에는 매거진을 정렬하기 위한 제2정렬수단이 마련되는 매거진 이송모듈.
  7. 제5항에서,
    상기 제1정렬수단은,
    바닥에 대하여 수직이게 결합하는 판상의 제1정렬판;
    상기 제1정렬판과 대향되고 이동가능하게 설치되는 판상의 제2정렬판;
    상기 제2정렬판을 제1정렬판과 근접하는 방향 또는 멀어지는 방향으로 이동시키되, 제2정렬판과 회전 가능하게 결합하는 로드와 로드를 구동하는 실린더;
    제2정렬판을 제1정렬판 방향으로 탄성가압하며 로드를 중심으로 서로 반대쪽에 각각 설치되는 탄성가압수단; 을 포함하는 매거진 이송모듈.
  8. 제6항에서,
    상기 제2정렬수단은,
    바닥에 대하여 수직이게 결합하는 판상의 제1정렬판;
    상기 제1정렬판과 대향되고 이동가능하게 설치되는 판상의 제2정렬판;
    상기 제2정렬판을 제1정렬판과 근접하는 방향 또는 멀어지는 방향으로 이동시키되, 제2정렬판과 회전 가능하게 결합하는 로드와 로드를 구동하는 실린더;
    제2정렬판을 제1정렬판 방향으로 탄성가압하며 로드를 중심으로 서로 반대쪽에 각각 설치되는 탄성가압수단; 을 포함하는 매거진 이송모듈.
  9. 제4항에서,
    상기 제1이송수단의 가동범위는 상기 레일의 길이보다 길게 형성되고 상기 인계위치는 레일의 외부에 마련되는 매거진 이송모듈.
  10. 제4항에서,
    상기 2축 구동부는 평행하게 배치되는 한 쌍의 그립부를 포함하며 한 쌍의 그립부를 Z축을 중심으로 회전시키기 위한 회전 구동부를 더 포함하는 매거진 이송모듈.
  11. 기판 상에 다이를 본딩하는 다이 본딩모듈;
    상기 기판을 수용하는 매거진을 다이 본딩 모듈로 공급하기 위한 매거진 이송모듈;
    매거진으로부터 기판을 인출하거나 다이의 본딩이 완료된 기판을 매거진으로 수납하는 기판 반출입 모듈;
    상기 기판에 다이가 정상적으로 본딩 되었는지를 검사하는 검사모듈; 을 포함하며,
    상기 매거진 이송모듈은,
    OHT로부터 매거진이 투입되는 OHT 포트;
    OHT 포트로부터 투입된 매거진을 정해진 위치인 인계위치로 이송하는 컨베이어;
    OHT 포트와 컨베이어 사이에서 매거진을 이송하는 유닛간 이송수단;
    상기 인계위치에 배치된 매거진을 다이 본딩모듈로 이동시키며 매거진을 옮기는 과정에서 매거진을 파지하기 위한 그립부를 포함하는 2축 구동부; 를 포함하되,
    상기 컨베이어는,
    Y축 방향(수평 방향)으로 길게 마련되어 매거진을 지지하며 일정 거리 이격되게 설치되는 한 쌍의 레일부재를 포함하는 레일;
    한 쌍의 레일부재 사이에 배치되는 판형상의 지지판과 지지판을 Z축 방향(상하방향)으로 이송하는 Z축 구동부와 지지판을 Y축 방향으로 이송하는 Y축 구동부;를 포함하여,
    지지판이 매거진의 하부에 접촉한 상태에서 위로 이동시켜 매거진과 레일의 접촉을 해제시킨 상태로 매거진을 인계위치까지 옮긴 후 다시 매거진을 아래로 옮겨 레일에 거치하는 제1이송수단을 포함하고,
    상기 2축 구동부는 인계위치에 배치된 매거진을 Y축과 Z축 방향으로 이동시키면서 다음 공정으로 이송하는 것을 특징으로 하는 다이 본딩 장치.
  12. 제11항에서,
    상기 유닛간 이송수단은,
    상기 매거진이 배치되는 판상의 이동 플레이트;
    상기 이동 플레이트를 Y축 방향으로 구동하는 플레이트 구동수단을 포함하고,
    상기 플레이트 구동수단에 의해 이동 플레이트에 배치된 매거진을 상기 레일로 이송하는 다이 본딩 장치.
  13. 제12항에서,
    상기 플레이트 구동수단은,
    이동 플레이트의 하부에 설치되는 리니어 모션 가이드와, 이동 플레이트를 구동하기 위한 볼스크류를 포함하는 다이 본딩 장치.
  14. 제11항에서,
    상기 컨베이어의 레일과 제1이송수단은 상하방향을 따라 둘 이상이 설치되고,
    상기 2축 구동부의 그립부는 한 쌍이 마련되되 상하방향으로 배치되고,
    상기 OHT 포트는 상기 유닛간 이송수단을 Z축 방향으로 이송하는 OHT-Z축 구동부를 포함하는 다이 본딩 장치.
  15. 제11항에서,
    상기 유닛간 이송수단에는 매거진을 정렬하기 위한 제1정렬수단이 마련되는 다이 본딩 장치.
  16. 제11항에서,
    상기 제1이송수단에는 매거진을 정렬하기 위한 제2정렬수단이 마련되는 다이 본딩 장치.
  17. 제15항에서,
    상기 제1정렬수단은,
    바닥에 대하여 수직이게 결합하는 판상의 제1정렬판;
    상기 제1정렬판과 대향되고 이동가능하게 설치되는 판상의 제2정렬판;
    상기 제2정렬판을 제1정렬판과 근접하는 방향 또는 멀어지는 방향으로 이동시키되, 제2정렬판과 회전 가능하게 결합하는 로드와 로드를 구동하는 실린더;
    제2정렬판을 제1정렬판 방향으로 탄성가압하며 로드를 중심으로 서로 반대쪽에 각각 설치되는 탄성가압수단; 을 포함하는 다이 본딩 장치.
  18. 제16항에서,
    상기 제2정렬수단은,
    바닥에 대하여 수직이게 결합하는 판상의 제1정렬판;
    상기 제1정렬판과 대향되고 이동가능하게 설치되는 판상의 제2정렬판;
    상기 제2정렬판을 제1정렬판과 근접하는 방향 또는 멀어지는 방향으로 이동시키되, 제2정렬판과 회전 가능하게 결합하는 로드와 로드를 구동하는 실린더;
    제2정렬판을 제1정렬판 방향으로 탄성가압하며 로드를 중심으로 서로 반대쪽에 각각 설치되는 탄성가압수단; 을 포함하는 다이 본딩 장치.
  19. 제11항에서,
    상기 제1이송수단의 가동범위는 상기 레일의 길이보다 길게 형성되고 상기 인계위치는 레일의 외부에 마련되는 다이 본딩 장치.
  20. 기판 상에 다이를 본딩하는 다이 본딩모듈;
    상기 기판을 다이 본딩 모듈로 공급하기 위한 매거진 이송모듈;
    매거진으로부터 기판을 인출하거나 다이의 본딩이 완료된 기판을 매거진으로 수납하는 기판 반출입 모듈;
    상기 기판에 다이가 정상적으로 본딩 되었는지를 검사하는 검사모듈을 포함하며,
    상기 매거진 이송모듈은,
    OHT로부터 매거진이 투입되는 OHT 포트;
    OHT 포트로부터 투입된 매거진을 정해진 위치인 인계위치로 이송하는 컨베이어;
    OHT 포트와 컨베이어 사이에서 매거진을 이송하는 유닛간 이송수단;
    상기 인계위치에 배치된 매거진을 다음 공정으로 이송하는 2축 구동부; 를 포함하되,
    상기 컨베이어는,
    Y축 방향(수평 방향)으로 길게 마련되어 매거진을 지지하며 일정 거리 이격되게 설치되는 한 쌍의 레일부재를 포함하는 레일;
    한 쌍의 레일부재 사이에 배치되는 판형상의 지지판과 지지판을 Z축 방향(상하방향)으로 이송하는 Z축 구동부와 지지판을 Y축 방향으로 이송하는 Y축 구동부;를 포함하여,
    지지판이 매거진의 하부에 접촉한 상태에서 위로 이동시켜 매거진과 레일의 접촉을 해제시킨 상태로 매거진을 인계위치까지 옮긴 후 다시 매거진을 아래로 옮겨 레일에 거치하는 제1이송수단을 포함하고,
    상기 2축 구동부는 인계위치에 배치된 매거진을 Y축과 Z축 방향으로 이동시키면서 다음 공정으로 이송하되,
    상기 유닛간 이송수단은,
    상기 매거진이 배치되는 판상의 이동 플레이트;
    상기 이동 플레이트를 Y축 방향으로 구동하는 플레이트 구동수단을 포함하고,
    상기 플레이트 구동수단에 의해 이동 플레이트에 배치된 매거진을 상기 레일로 이송하며,
    상기 플레이트 구동수단은,
    이동 플레이트의 하부에 설치되는 리니어 모션 가이드와, 이동 플레이트를 구동하기 위한 볼스크류를 포함하고,
    상기 컨베이어의 레일과 제1이송수단은 상하방향을 따라 둘 이상이 설치되고,
    상기 2축 구동부의 그립부는 한 쌍이 마련되되 상하방향으로 배치되고,
    상기 OHT 포트는 상기 유닛간 이송수단을 Z축 방향으로 이송하는 OHT-Z축 구동부를 포함하며,
    상기 유닛간 이송수단에는 매거진을 정렬하기 위한 제1정렬수단이 마련되고,
    상기 제1이송수단에는 매거진을 정렬하기 위한 제2정렬수단이 마련되며,
    상기 제1정렬수단과 제2정렬수단은 각각,
    바닥에 대하여 수직이게 결합하는 판상의 제1정렬판;
    상기 제1정렬판과 대향되고 이동가능하게 설치되는 판상의 제2정렬판;
    상기 제2정렬판을 제1정렬판과 근접하는 방향 또는 멀어지는 방향으로 이동시키되, 제2정렬판과 회전 가능하게 결합하는 로드와 로드를 구동하는 실린더;
    제2정렬판을 제1정렬판 방향으로 탄성가압하며 로드를 중심으로 서로 반대쪽에 각각 설치되는 탄성가압수단; 을 포함하고,
    상기 제1이송수단의 가동범위는 상기 레일의 길이보다 길게 형성되고 상기 인계위치는 레일의 외부에 마련되는 다이 본딩 장치.
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