JPS58204873A - α−炭化ケイ素,炭化ホウ素および遊離炭素から成る実際に無孔な多結晶焼結体および該焼結体の製造方法 - Google Patents
α−炭化ケイ素,炭化ホウ素および遊離炭素から成る実際に無孔な多結晶焼結体および該焼結体の製造方法Info
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- JPS58204873A JPS58204873A JP58080257A JP8025783A JPS58204873A JP S58204873 A JPS58204873 A JP S58204873A JP 58080257 A JP58080257 A JP 58080257A JP 8025783 A JP8025783 A JP 8025783A JP S58204873 A JPS58204873 A JP S58204873A
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-
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- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/64—Burning or sintering processes
- C04B35/645—Pressure sintering
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
多結晶炭化ケイ素ならびに多結晶炭化ホウ素からの焼結
体が公知である。元本周期律表においてホウ素とケイ素
は斜めの関係にあることから、両者の縦化物は幾つかの
類似した物理的性質、例えは商い融点、低い熱膨張係数
、室温における曲げ強度として表わされる尚い機械的強
度(約1250Cまで変化しない)、^い弾性率および
非常に良好な化学的安定性を有している。これ1反して
、比重,硬度,耐摩耗性,耐破壊性として表わされる破
壊じん性,導電率,耐熱衝撃性および酸化安定性に関し
ては大きな相違がある。
体が公知である。元本周期律表においてホウ素とケイ素
は斜めの関係にあることから、両者の縦化物は幾つかの
類似した物理的性質、例えは商い融点、低い熱膨張係数
、室温における曲げ強度として表わされる尚い機械的強
度(約1250Cまで変化しない)、^い弾性率および
非常に良好な化学的安定性を有している。これ1反して
、比重,硬度,耐摩耗性,耐破壊性として表わされる破
壊じん性,導電率,耐熱衝撃性および酸化安定性に関し
ては大きな相違がある。
炭化ケイ素製材料は例えばガスタービン用構造部品とし
て、高温機械の建造および研岸法κ用いられている。炭
化ホウ素製材料も同様に研l#法ならびにホウ素の熱中
性子捕獲断面が^いことに基づいて、例えば制御伸おま
ひしゃへいスクリーンとして原子核工業に用いられてい
る。
て、高温機械の建造および研岸法κ用いられている。炭
化ホウ素製材料も同様に研l#法ならびにホウ素の熱中
性子捕獲断面が^いことに基づいて、例えば制御伸おま
ひしゃへいスクリーンとして原子核工業に用いられてい
る。
檀々の性質の組合わせ、すなわ9i1R化ケイ系のすぐ
れた、特に良好な酸化安定性,耐熱衝撃性および高い破
壊じん性と炭化ホウ素の竹に高い硬実。
れた、特に良好な酸化安定性,耐熱衝撃性および高い破
壊じん性と炭化ホウ素の竹に高い硬実。
高い耐l#耗性および低い比▲とを組合わ七ることが有
利であるという考えから、灰化ケイ素と炭化ホウ素の混
合材料がすでに公知である,、従って、炭化ケイ素と炭
化ホウ素の董の副台を震えることによって、用途特性と
呼ばれる軸足の用途に通した性質なもつ混合材料を製造
することが当然可能である。
利であるという考えから、灰化ケイ素と炭化ホウ素の混
合材料がすでに公知である,、従って、炭化ケイ素と炭
化ホウ素の董の副台を震えることによって、用途特性と
呼ばれる軸足の用途に通した性質なもつ混合材料を製造
することが当然可能である。
炭化ホウ素・炭化ケイ素混合材料製造の最初の試みKつ
いては、1962年にすでに報告されている。この実験
では、炭化ケイ素と10〜90容量哄炭化ホウ素との混
合材料を黒鉛鋳型内で、7000pli(48.2MP
りの圧力および2.10DCの温度において熱間プレス
成形し、理論的に可能な密度(以下では4TDと表わす
)の93.6〜96一の密度に達している( W, R
. Jacoby婢著「原子炉制御用中性子吸収材料」
4.6C章221〜222負,未原子力委員会原子炉開
発部門NavalReactors 、 W.Kern
ut Anderson.、 Y,S+Thexlac
ker発行[19t52]診照)。 これと同様K、平
均粒度5μ屏の炭化クイ本粉体と平均粒度2μ講の炭化
ホウ素粉体とから、黒鉛鋳型における5000p1番(
34.5MPα)の圧力,2。200Cのhaでの熱間
プレス成形によって製造した84G20〜50容it係
含有S *(J−B4 Gプレートは99〜100僑T
L3に相当す6 5. 0 6〜2−8 6 t/ar
t” (D密度な示した( R.G−Gray, LR
, Lynam者,テクニカル・レボ−}WAI{L)
−261(1963)参照)云わゆる熱間プレス成形法
または加圧焼結法によって、自然結合性S L G/B
4 G焼結体すなわち随伴相としてセラミック結合材
または金属結合材を付加的に含むことのない焼結体を殆
んど零に近い非常に低い孔度のものとして製造すること
ができる。
いては、1962年にすでに報告されている。この実験
では、炭化ケイ素と10〜90容量哄炭化ホウ素との混
合材料を黒鉛鋳型内で、7000pli(48.2MP
りの圧力および2.10DCの温度において熱間プレス
成形し、理論的に可能な密度(以下では4TDと表わす
)の93.6〜96一の密度に達している( W, R
. Jacoby婢著「原子炉制御用中性子吸収材料」
4.6C章221〜222負,未原子力委員会原子炉開
発部門NavalReactors 、 W.Kern
ut Anderson.、 Y,S+Thexlac
ker発行[19t52]診照)。 これと同様K、平
均粒度5μ屏の炭化クイ本粉体と平均粒度2μ講の炭化
ホウ素粉体とから、黒鉛鋳型における5000p1番(
34.5MPα)の圧力,2。200Cのhaでの熱間
プレス成形によって製造した84G20〜50容it係
含有S *(J−B4 Gプレートは99〜100僑T
L3に相当す6 5. 0 6〜2−8 6 t/ar
t” (D密度な示した( R.G−Gray, LR
, Lynam者,テクニカル・レボ−}WAI{L)
−261(1963)参照)云わゆる熱間プレス成形法
または加圧焼結法によって、自然結合性S L G/B
4 G焼結体すなわち随伴相としてセラミック結合材
または金属結合材を付加的に含むことのない焼結体を殆
んど零に近い非常に低い孔度のものとして製造すること
ができる。
しかし、加圧焼結の場合の成形性は限定されlているの
で、この方法によっては比較的小形で、幾何学的に簡単
な形状の製品のみが製造できるにすぎない。さもrtc
、この方法はエネルギーおよび鋳型材料に非常に大きな
M責を必要とする。炭化ホウ素と炭化ケイ素から熱間プ
レス成形した成形体の内加工は、この複合材料の硬度が
非常に^いためにダイヤモンドIx−を用いてのみ可能
であり、この書加工もかなりの時間とf!を川を必要と
する。
で、この方法によっては比較的小形で、幾何学的に簡単
な形状の製品のみが製造できるにすぎない。さもrtc
、この方法はエネルギーおよび鋳型材料に非常に大きな
M責を必要とする。炭化ホウ素と炭化ケイ素から熱間プ
レス成形した成形体の内加工は、この複合材料の硬度が
非常に^いためにダイヤモンドIx−を用いてのみ可能
であり、この書加工もかなりの時間とf!を川を必要と
する。
このため、炭1ヒケイ本と炭化ホウ素からの複合11、
:″ 材料の製造に費用のかかるM+団ルス成形法の代りを(
、費用や時間))かがる肖IA+ 、’l:なしにam
な形状の成形笥二酩を組かすること、および連続工程で
大す生韮することをμ」能Vこする、云わゆる非加圧焼
結法を用いることが試みられた。
:″ 材料の製造に費用のかかるM+団ルス成形法の代りを(
、費用や時間))かがる肖IA+ 、’l:なしにam
な形状の成形笥二酩を組かすること、および連続工程で
大す生韮することをμ」能Vこする、云わゆる非加圧焼
結法を用いることが試みられた。
S a G B 4 G系における非加圧焼結法に関
する最初の成果は、S、R,BillBlllin等に
よって[%殊セラミック 1964J19〜64頁(ロ
ンドンおよびニューヨークにおけるBr1t、sb C
eramicResearch As5ociatio
n、 Academic Press、 P。
する最初の成果は、S、R,BillBlllin等に
よって[%殊セラミック 1964J19〜64頁(ロ
ンドンおよびニューヨークにおけるBr1t、sb C
eramicResearch As5ociatio
n、 Academic Press、 P。
Poppθr によって発行)に報告されている。この
報告では、10〜60ム蓋嘩のB2Oを添加したα−S
iCを2,200 C〜2,300 Cの範囲のtMA
度で焼結して侍られた試験片を試験している。この焼結
は明らかに、体積の非常に大きな減少を伴う共晶浴融相
を形成して行われたが、この焼結では緻密性の低い成形
体が得られたにすぎなかったく最大重度: 2.65
?/z” 、 50垂蓋%B4C添加した場合の87.
7%TDに相当)。
報告では、10〜60ム蓋嘩のB2Oを添加したα−S
iCを2,200 C〜2,300 Cの範囲のtMA
度で焼結して侍られた試験片を試験している。この焼結
は明らかに、体積の非常に大きな減少を伴う共晶浴融相
を形成して行われたが、この焼結では緻密性の低い成形
体が得られたにすぎなかったく最大重度: 2.65
?/z” 、 50垂蓋%B4C添加した場合の87.
7%TDに相当)。
Sho −84G糸での無些成形体はα−8iGの予備
1 成形体に84C,i ・−SL L−1・の共晶浴融物
を浸透させ、次&C成る偏度勾配で硬化させることによ
って得られる(アメリカ軸計第5852099号明細書
参照)。
1 成形体に84C,i ・−SL L−1・の共晶浴融物
を浸透させ、次&C成る偏度勾配で硬化させることによ
って得られる(アメリカ軸計第5852099号明細書
参照)。
しかL、この方法の実施が非Hvこ不便であるという事
実の他に、この棟の成形体はShoマ) I)ツクスと
B 4 G/b * G共晶の熱膨張係数が異なるため
に、微小なき裂を形成しがちであり、この方法で製造し
た材料は限定された強度を有するにすぎないことになる
。
実の他に、この棟の成形体はShoマ) I)ツクスと
B 4 G/b * G共晶の熱膨張係数が異なるため
に、微小なき裂を形成しがちであり、この方法で製造し
た材料は限定された強度を有するにすぎないことになる
。
これに反して、非加圧焼結法を用いると炭化ケイ素、炭
化ホウ素と遊離の炭素から成り、少なくとも85*TD
の密度を有する多結晶焼結体を得ることができる(西ド
イツ公開第2734425号明細書に対応するアメリカ
特許!4,081,284号明細書参照)。このような
焼結体は、成形体中に均一に分布した微粒子状灰化ホウ
素10〜60電蓋チとミクロン以下の粒腿の遊l&戻木
0.001〜1崖蓋係を含有し、10μm以下の均一な
構造粒度を南するα−8iGおよ改またはβ−8司から
成る。
化ホウ素と遊離の炭素から成り、少なくとも85*TD
の密度を有する多結晶焼結体を得ることができる(西ド
イツ公開第2734425号明細書に対応するアメリカ
特許!4,081,284号明細書参照)。このような
焼結体は、成形体中に均一に分布した微粒子状灰化ホウ
素10〜60電蓋チとミクロン以下の粒腿の遊l&戻木
0.001〜1崖蓋係を含有し、10μm以下の均一な
構造粒度を南するα−8iGおよ改またはβ−8司から
成る。
このような成形体を製造するために、β−8iq840
10〜30m曾チおよび遊服の炭素0.1〜1虚:mt
’ %に相当する1°の炭素含4i′添加剤から成るミ
クロン以下粒度の均實な粉体混合物を予餉成形して、生
成形体を形成11次にこれi’ff−2000Cから8
4C/b番G共晶体の融点以下までの温度での不活性雰
囲気下での非加圧焼結法を行う。
10〜30m曾チおよび遊服の炭素0.1〜1虚:mt
’ %に相当する1°の炭素含4i′添加剤から成るミ
クロン以下粒度の均實な粉体混合物を予餉成形して、生
成形体を形成11次にこれi’ff−2000Cから8
4C/b番G共晶体の融点以下までの温度での不活性雰
囲気下での非加圧焼結法を行う。
この説明から明らかなように、完成焼結体の微粒状ミク
ロ構造の形成と密度に関して望ましい性質を得るために
は、炭化ホウ素の使用量がSiG +84Gの全1量に
関して10〜30!量−であることが特に1景である。
ロ構造の形成と密度に関して望ましい性質を得るために
は、炭化ホウ素の使用量がSiG +84Gの全1量に
関して10〜30!量−であることが特に1景である。
84C量が10重重量上り少ない場合には、焼結間の粒
子成長を制御することができず、大きなプレート状のS
iG結晶が形成されることになる、すなわち成形体の機
械的強度に対して必要な微粒状きクロ構造が得られない
。
子成長を制御することができず、大きなプレート状のS
iG結晶が形成されることになる、すなわち成形体の機
械的強度に対して必要な微粒状きクロ構造が得られない
。
B、G量が603kfIkLsヨり多くなルト、密度が
85−TD以下に低下する。
85−TD以下に低下する。
これと一様に、出発粉体混合物中の遊離炭素の割合がS
iG+BGの全重量に関して1重量%以上になっても利
点が生ずることはなく、むしろ得もれる最大密度と強度
が低下するという意味で焼結体中に孔が残留する場合と
四様な作用が生ずることになる1゜ 20801:’〜2090111:’で焼結したSiC
の相対密度とB4C−添加量との関係をグラフに示す。
iG+BGの全重量に関して1重量%以上になっても利
点が生ずることはなく、むしろ得もれる最大密度と強度
が低下するという意味で焼結体中に孔が残留する場合と
四様な作用が生ずることになる1゜ 20801:’〜2090111:’で焼結したSiC
の相対密度とB4C−添加量との関係をグラフに示す。
このグラフから明らかなように、84G添加量が11.
6ム蓋−のときに971TDの最大密度が得られるが、
B、C添加量が12m蓋憾以上になると生成する84
G−8龜G焼結体の密度は明白に低下する。
6ム蓋−のときに971TDの最大密度が得られるが、
B、C添加量が12m蓋憾以上になると生成する84
G−8龜G焼結体の密度は明白に低下する。
この公知の非加圧焼結法では、B、C添加量をScC+
84Gの全貞電に関して約10〜20重量−という狭
い範囲に限定してのみ、〉95%TDの焼結体密度が得
られるにすぎない。く95%TDの密度の5IC−B4
C#8鮎体は残留孔度が^いために、酸化安定性および
耐摩耗性が低い、すなわちこの場合には5L(3とB4
Cの性質の望ましい組合わせがもはや実現されないばか
りでなく、残留孔度によって機械的性質が息化する。我
々の醜自のテストによって、90%TDの密度のsia
−84G焼結体では曲げ強さかS:300 N/1m
”であるが、 テスト&度を上げると、この値が大きく
低下することが実証されている。
84Gの全貞電に関して約10〜20重量−という狭
い範囲に限定してのみ、〉95%TDの焼結体密度が得
られるにすぎない。く95%TDの密度の5IC−B4
C#8鮎体は残留孔度が^いために、酸化安定性および
耐摩耗性が低い、すなわちこの場合には5L(3とB4
Cの性質の望ましい組合わせがもはや実現されないばか
りでなく、残留孔度によって機械的性質が息化する。我
々の醜自のテストによって、90%TDの密度のsia
−84G焼結体では曲げ強さかS:300 N/1m
”であるが、 テスト&度を上げると、この値が大きく
低下することが実証されている。
このことから、公*ijの方法では出%J料としてミク
ロy以下粒度のβ−5tG籾捧が必賛であるが、この材
料は入手し難く、コストも高い。
ロy以下粒度のβ−5tG籾捧が必賛であるが、この材
料は入手し難く、コストも高い。
そのため、90:10から10 :90までの範囲の任
意の重量比のS司粉体と84G粉体の圧縮から炭素含有
添加剤を併用して製造でき、性質の選択を希望に応じて
制御して、各用途に適合させることができるような、炭
化ケイ本、炭化ホウ素および遊離炭素を原料とする実際
に無孔の焼結体を提供することが、本発明の目的である
。
意の重量比のS司粉体と84G粉体の圧縮から炭素含有
添加剤を併用して製造でき、性質の選択を希望に応じて
制御して、各用途に適合させることができるような、炭
化ケイ本、炭化ホウ素および遊離炭素を原料とする実際
に無孔の焼結体を提供することが、本発明の目的である
。
本発明による多結晶で、実際に無孔な焼結体はα−炭化
ケイ素、炭化ホウ素および遊離炭素から成り、次のよう
な稜角を有する台形によって6成分系B−3t−Cの電
量係として量の割合を決定することができる: a−890% 84 G99 %α−8iC−1110
b−9,9csBaG−89,091=(X−81’G
−1,1%Gc = 9.0 % 84 G81.0
%(1−5iC−10,0% Gcl−81,096B
a (J 9.0%a−8iG −10,0% に
のような成形体は少な(とも99%1°Dの密度(20
pHの平均構造粒度、少なくとも400 N7m”の4
点−曲げ弛さな有し、α−灰化ケイ本、炭化ホウ素、炭
素および/またはコークス化すると炭素になる有機物質
から成る微粒状混合物を非加圧焼結し、得られた成形体
を次に圧力伝達媒質として不活性ガスを用いる高圧オー
トクレーブ内で熱間均衡プレス成形法によって型なし再
圧縮することによって製造される。
ケイ素、炭化ホウ素および遊離炭素から成り、次のよう
な稜角を有する台形によって6成分系B−3t−Cの電
量係として量の割合を決定することができる: a−890% 84 G99 %α−8iC−1110
b−9,9csBaG−89,091=(X−81’G
−1,1%Gc = 9.0 % 84 G81.0
%(1−5iC−10,0% Gcl−81,096B
a (J 9.0%a−8iG −10,0% に
のような成形体は少な(とも99%1°Dの密度(20
pHの平均構造粒度、少なくとも400 N7m”の4
点−曲げ弛さな有し、α−灰化ケイ本、炭化ホウ素、炭
素および/またはコークス化すると炭素になる有機物質
から成る微粒状混合物を非加圧焼結し、得られた成形体
を次に圧力伝達媒質として不活性ガスを用いる高圧オー
トクレーブ内で熱間均衡プレス成形法によって型なし再
圧縮することによって製造される。
本発明による焼結体は全体でimjt*を超えない少量
の全域不純物および非金輌不純物を含むこともあるが、
これらの不jlil物は出発物質として用いる粉体混合
物中に製造時からあるいは研削粉として存在するもので
ある。
の全域不純物および非金輌不純物を含むこともあるが、
これらの不jlil物は出発物質として用いる粉体混合
物中に製造時からあるいは研削粉として存在するもので
ある。
本発明による焼結体中の個々の成分b LCI 84G
およびCのム植条での相組成は6成分系B/bi/Cr
において稜角a 、 b 、 Cおよびdl&、44す
る台形によって算出することが℃さるが、この算出方法
を第1図1cill+!明する。
およびCのム植条での相組成は6成分系B/bi/Cr
において稜角a 、 b 、 Cおよびdl&、44す
る台形によって算出することが℃さるが、この算出方法
を第1図1cill+!明する。
焼m体の住買は組成を軸足のンレーム構造内で変えるこ
とによって、変化するが、これに関係なく、b i C
,84GおよびCすm−昆が一定範囲内である1点粘体
は全゛(、均實、倣ム状−ご実際に三相であるミクロ構
造を有し、E3iCとB、C相の平均粒度は20声扉以
下、望ましくは5声属以下であり、C相の平均粒度は2
声属以下である。また、これらの残留孔隙率をセラミッ
ク組織学的ラストによって検査したところ、多くとも1
谷Ji%であった。
とによって、変化するが、これに関係なく、b i C
,84GおよびCすm−昆が一定範囲内である1点粘体
は全゛(、均實、倣ム状−ご実際に三相であるミクロ構
造を有し、E3iCとB、C相の平均粒度は20声扉以
下、望ましくは5声属以下であり、C相の平均粒度は2
声属以下である。また、これらの残留孔隙率をセラミッ
ク組織学的ラストによって検査したところ、多くとも1
谷Ji%であった。
「4点曲げ強さ」なる表現は4点法で測定した曲げ強さ
を意味するものと理解すべきである。
を意味するものと理解すべきである。
本発明による焼結体を製造するには、S& G : B
4 Gの重量比が90:10から10:90であるα−
炭化74本と炭化ホウ素の微粒状粉体に、微粒状炭素お
よび/または約1ooocまでの温度におけるコークス
化によって炭素を形成することのできる有機物質を15
〜12亀蓋優の遊離炭素に相当する童で均質に混合して
(SiGおよび84Gとして含まれる「結合炭素」と区
別するために、この炭素を「遊離炭素」と呼ぶ)、混合
物を少なくともso*raを南する生成形体に造形し、
このようKして得られた生成形体に保−ガス雰囲気下ま
た◆1^仝ト、1950C〜2151Jt:’の温度に
おいて非加圧焼結を行い、少なくとも50nTl)の密
度を有する成形体を形成し、この予備圧縮成形体に少な
くとも10MPaのガス圧力)、1850〜2150C
の温度において型なしの熱間均衡プレス成形法による二
次圧JIi!または再圧縮を行って、少な(とも99
%TDの密度にまで二次圧縮すなわち再圧縮する。
4 Gの重量比が90:10から10:90であるα−
炭化74本と炭化ホウ素の微粒状粉体に、微粒状炭素お
よび/または約1ooocまでの温度におけるコークス
化によって炭素を形成することのできる有機物質を15
〜12亀蓋優の遊離炭素に相当する童で均質に混合して
(SiGおよび84Gとして含まれる「結合炭素」と区
別するために、この炭素を「遊離炭素」と呼ぶ)、混合
物を少なくともso*raを南する生成形体に造形し、
このようKして得られた生成形体に保−ガス雰囲気下ま
た◆1^仝ト、1950C〜2151Jt:’の温度に
おいて非加圧焼結を行い、少なくとも50nTl)の密
度を有する成形体を形成し、この予備圧縮成形体に少な
くとも10MPaのガス圧力)、1850〜2150C
の温度において型なしの熱間均衡プレス成形法による二
次圧JIi!または再圧縮を行って、少な(とも99
%TDの密度にまで二次圧縮すなわち再圧縮する。
粉状出発混合物中には1.5m1i憾以上の遊離炭素に
相当する蓋で炭素含有添加剤が存在するため、本発明に
よる方法の最初の非加圧焼結段階間に実際にS ’ G
/B4 C系の全軛四にわたって、1なわちb ”J
: B <Cのjtl比が90:10からICI:9
0の範囲内であるS ’ G/B 4 C系において、
97優TD以上の相対酉度が得られる。かなり^い炭素
隋加蓋によるこの利点はアメリカ的ff第408128
4号明細書による方法にはみられな、(・ものである。
相当する蓋で炭素含有添加剤が存在するため、本発明に
よる方法の最初の非加圧焼結段階間に実際にS ’ G
/B4 C系の全軛四にわたって、1なわちb ”J
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0の範囲内であるS ’ G/B 4 C系において、
97優TD以上の相対酉度が得られる。かなり^い炭素
隋加蓋によるこの利点はアメリカ的ff第408128
4号明細書による方法にはみられな、(・ものである。
さらに、β−5iG粉体の代りにα、 E3iG初陣を
用い6、=1+i、M%ntx Q m bl、、Jl
:・484、。オ、。
用い6、=1+i、M%ntx Q m bl、、Jl
:・484、。オ、。
よってβ−8超が約2000 Cの範囲1’)の焼結一
度において熱力学的により安定なα−ノしりこ相転移す
ることによる二次結晶の生成を最初か・)1赴′Cきる
項内からも有利である。二次結晶の生成は焼結体に不均
一なミクロき裂形成を招くおそれがある。
度において熱力学的により安定なα−ノしりこ相転移す
ることによる二次結晶の生成を最初か・)1赴′Cきる
項内からも有利である。二次結晶の生成は焼結体に不均
一なミクロき裂形成を招くおそれがある。
木兄uAKよる方法を実施する一合に、炭化ケイ本出発
物質は厳大粒度5μm、望ましくは6声嵐および平均粒
度1μ准以下、望ましくは0.5μ菖以下を有する粉体
であることが有利である。このような粉体はAChes
on法によるSzGの工業的製造から生ずる微密な釉粒
を強く粉砕することによって得られる。1−攬以下の平
均粒度を有する粉体の場合には正確な粒度分布の測定が
困難であるので、比表面積(BKT法によって測定)を
用いて適当な材料な選択する。この場合に、2〜50
m”/it特に10〜2011L”/lの比表+i&を
有する炭化ケイ素が特に有利であることが判明している
。
物質は厳大粒度5μm、望ましくは6声嵐および平均粒
度1μ准以下、望ましくは0.5μ菖以下を有する粉体
であることが有利である。このような粉体はAChes
on法によるSzGの工業的製造から生ずる微密な釉粒
を強く粉砕することによって得られる。1−攬以下の平
均粒度を有する粉体の場合には正確な粒度分布の測定が
困難であるので、比表面積(BKT法によって測定)を
用いて適当な材料な選択する。この場合に、2〜50
m”/it特に10〜2011L”/lの比表+i&を
有する炭化ケイ素が特に有利であることが判明している
。
Achcsan法によって製造・したS司は、製造温度
が1・ために、熱力学的に゛・・より安定なα形の方を
多く含有シている。単相のα−3iCはAck1aso
n抵抗4で形成されたSiCロールの内部から採取した
緻密な小片な処坤することによって特に得られる。
が1・ために、熱力学的に゛・・より安定なα形の方を
多く含有シている。単相のα−3iCはAck1aso
n抵抗4で形成されたSiCロールの内部から採取した
緻密な小片な処坤することによって特に得られる。
このような単相α−8iCには、焼結過程を妨害するお
よび/または完成焼結体中の残留#本含量または全域不
純物含量を不利に増加させるような不純物、%に付看性
SiO□や遊離Si を除去するために、最初に化学洗
浄を行うことが有利であるが、単相α−8司を出発物質
として用いると非常に良好な結果が得られる。酸素と遊
離炭素はそれぞれ約1Jt蓋優まで、また窒素と金属不
N物は約1皇m%の合計蓋まで許容される。
よび/または完成焼結体中の残留#本含量または全域不
純物含量を不利に増加させるような不純物、%に付看性
SiO□や遊離Si を除去するために、最初に化学洗
浄を行うことが有利であるが、単相α−8司を出発物質
として用いると非常に良好な結果が得られる。酸素と遊
離炭素はそれぞれ約1Jt蓋優まで、また窒素と金属不
N物は約1皇m%の合計蓋まで許容される。
出発′@質として用いる炭化ホウ木粉体は最大粒度5μ
講(望ましくは6μ躊入平均粒度1μm 以下(望まし
くは[15μ肩)および比表面積3〜60rlt7t
(%に15〜251m”/)) [相当する、sic粉
体と同じ粒度分布を有することが有利である。
講(望ましくは6μ躊入平均粒度1μm 以下(望まし
くは[15μ肩)および比表面積3〜60rlt7t
(%に15〜251m”/)) [相当する、sic粉
体と同じ粒度分布を有することが有利である。
この場合にも、電気炉での融解還元法によつ−(3,8
:1から4.2二1 までの範囲のホウ本:炭本原子
比を用いて、ホウ酸と縦索がら工菓的規換で生産される
粗粒状炭化ホウ素結晶を出兄吻實として用いることが、
駐隣的墳山がら壱″滞りである。この粗粒状炭化ホウ素
を先ず最初に必要な粒度になるまで強く粉砕し、最後K
B + G分析合計値が少なくとも96重量%に達す
るまで湿式化学洗浄する。約1重蓋嘩までの遊離炭素、
大ていは水和したB2O3として存在する約3重量係ま
での酸素および合計で1重量%までの窒素と金属不純物
が許容される。2種類の炭化物のE3iCと84Gを、
場合によっては必要量の遊離炭素を添加した後に、共に
粉砕することもでき、特に均質な混合物を得るために有
利である(混合粉砕)。この方法で、一種類の炭化物の
がなり大きい硬い凝固物が混合物中に生成するのを避け
ることができる。さらに、焼結を妨げる不純物を除去す
るために通常の湿式化学洗浄を1回だけ行えば良いこと
になる。これと同様に、炭化ケイ素/炭化ホウ素混合物
を、場合により【は炭素含有添加剤および研削油と共K
、S*C/B4G/C複合材料で被接され、同材料から
成る研削工具を備えた粉砕機中で焼結粒度Kまで粉砕す
ることができる(自動粉砕)。この場合には焼結粉体ま
たは焼結粉体混合物の湿式化学洗浄を完全に省略するこ
とができる。
:1から4.2二1 までの範囲のホウ本:炭本原子
比を用いて、ホウ酸と縦索がら工菓的規換で生産される
粗粒状炭化ホウ素結晶を出兄吻實として用いることが、
駐隣的墳山がら壱″滞りである。この粗粒状炭化ホウ素
を先ず最初に必要な粒度になるまで強く粉砕し、最後K
B + G分析合計値が少なくとも96重量%に達す
るまで湿式化学洗浄する。約1重蓋嘩までの遊離炭素、
大ていは水和したB2O3として存在する約3重量係ま
での酸素および合計で1重量%までの窒素と金属不純物
が許容される。2種類の炭化物のE3iCと84Gを、
場合によっては必要量の遊離炭素を添加した後に、共に
粉砕することもでき、特に均質な混合物を得るために有
利である(混合粉砕)。この方法で、一種類の炭化物の
がなり大きい硬い凝固物が混合物中に生成するのを避け
ることができる。さらに、焼結を妨げる不純物を除去す
るために通常の湿式化学洗浄を1回だけ行えば良いこと
になる。これと同様に、炭化ケイ素/炭化ホウ素混合物
を、場合により【は炭素含有添加剤および研削油と共K
、S*C/B4G/C複合材料で被接され、同材料から
成る研削工具を備えた粉砕機中で焼結粒度Kまで粉砕す
ることができる(自動粉砕)。この場合には焼結粉体ま
たは焼結粉体混合物の湿式化学洗浄を完全に省略するこ
とができる。
炭素含有添加剤は高分散混合物中で確実に均一に分布し
得るような形態で、例えば10〜400+sa”/)の
範囲の比表面積を有する粒状カーボン・ブラックまたは
コロイド状黒鉛として用いるこEが℃きる。すすまたは
コロイド9状黒鉛を含有する粉状混合物に良好なプレス
成形性を与えるために、少量の一時的結合剤および/ま
たは潤滑剤を併用することが有利である。このような一
時的結合剤の例はポリビニルアルコールとポリスチレン
である;また、Ij4滑剤の例はステアリン酸、金属の
ステアリン酸塩および訊すエチレングリコールである。
得るような形態で、例えば10〜400+sa”/)の
範囲の比表面積を有する粒状カーボン・ブラックまたは
コロイド状黒鉛として用いるこEが℃きる。すすまたは
コロイド9状黒鉛を含有する粉状混合物に良好なプレス
成形性を与えるために、少量の一時的結合剤および/ま
たは潤滑剤を併用することが有利である。このような一
時的結合剤の例はポリビニルアルコールとポリスチレン
である;また、Ij4滑剤の例はステアリン酸、金属の
ステアリン酸塩および訊すエチレングリコールである。
このような云わゆるプレス成形助剤は得られる混合物に
基づいて最大2重量−までの合計量で用いるのが望まし
い。しかし炭素含有添加剤は、約1000Cまでの編度
でコークス化すると炭素を形成するような有機物質と用
いるのが望ましい。
基づいて最大2重量−までの合計量で用いるのが望まし
い。しかし炭素含有添加剤は、約1000Cまでの編度
でコークス化すると炭素を形成するような有機物質と用
いるのが望ましい。
このような物質の例はフエ・ノール樹脂とコールタール
ピッチである。また、1・00〜900Cの範囲で分解
して約35〜50優の収率で無定形炭素な形成するノボ
ラック形およびレゾール形のフェノとがわかつている。
ピッチである。また、1・00〜900Cの範囲で分解
して約35〜50優の収率で無定形炭素な形成するノボ
ラック形およびレゾール形のフェノとがわかつている。
出発混合物中の炭素含有ム加剤蓋によって目的生成物中
の炭素含量を1.1〜10重蓋俤の望ましい蓋に調節す
る場合には、炭化ケイ素とポウ化ケイ素の粉状出発物質
中に場合によっては存在する遊離炭素を考慮に入れるべ
きである。本発明による方法を実施した場合に、出発物
質として非常に純粋な、そのため大ていは高価な炭化物
粉体(遊離炭素含量<Q、1重量%)のみでなく、工業
的純度の炭化物粉体すなわち炭素含量の多い炭化物粉体
(遊離炭素含量約1重量係まで)をも使用できることが
意外にも実際に発見されている。粉体混合物9忙存在す
る遊離炭素蓋、場合によっては有機物質をコークス化し
た後の遊離炭素蓋が1.5〜121蓋チの全体量である
ことが、本発明による方法を実施し、焼結体に望ましい
性質を持たせるために非常に重要である。1.5重蓋よ
り少ないあるいは12垂isより多い遊離炭素量は望ま
しいという意味ではもはや有効ではない、すなわちこれ
Kよっては均衡再圧縮に適し、た95%TI)以りの密
度を有する予備圧縮焼結体を一次非加圧焼結段階で得る
ことはもはやできな(・0 本発明による方法の実施は次のように説明さオ(る: 先ず第一・t(炭化ケイ累と炭化ホウ索の粉体を級累含
有添加剤と共に均一に混合するが、この混合は有機物質
としての縦索添加剤を浴剤に俗解[−1この浴液中に炭
化物粉体がら成る混合物を分散させる。遊離炭素自体を
用いる場合には、内炭化物粉体を元素状炭素と共に、一
時的結合剤および/または潤滑剤の浴紗中に分散させる
。有機浴剤としては、例えばアセトンまた炭素原子数1
〜6j161を有する低級脂肪族アルコールを用いるこ
とができる。希薄な懸濁液の場合にはプラスチック谷器
内で攪拌機を用いる機械的な振@)K、よって分散を行
うことができるか、粘性なM[液の場合にはこねまぜ機
によって分散を行うことができる。次11C。
の炭素含量を1.1〜10重蓋俤の望ましい蓋に調節す
る場合には、炭化ケイ素とポウ化ケイ素の粉状出発物質
中に場合によっては存在する遊離炭素を考慮に入れるべ
きである。本発明による方法を実施した場合に、出発物
質として非常に純粋な、そのため大ていは高価な炭化物
粉体(遊離炭素含量<Q、1重量%)のみでなく、工業
的純度の炭化物粉体すなわち炭素含量の多い炭化物粉体
(遊離炭素含量約1重量係まで)をも使用できることが
意外にも実際に発見されている。粉体混合物9忙存在す
る遊離炭素蓋、場合によっては有機物質をコークス化し
た後の遊離炭素蓋が1.5〜121蓋チの全体量である
ことが、本発明による方法を実施し、焼結体に望ましい
性質を持たせるために非常に重要である。1.5重蓋よ
り少ないあるいは12垂isより多い遊離炭素量は望ま
しいという意味ではもはや有効ではない、すなわちこれ
Kよっては均衡再圧縮に適し、た95%TI)以りの密
度を有する予備圧縮焼結体を一次非加圧焼結段階で得る
ことはもはやできな(・0 本発明による方法の実施は次のように説明さオ(る: 先ず第一・t(炭化ケイ累と炭化ホウ索の粉体を級累含
有添加剤と共に均一に混合するが、この混合は有機物質
としての縦索添加剤を浴剤に俗解[−1この浴液中に炭
化物粉体がら成る混合物を分散させる。遊離炭素自体を
用いる場合には、内炭化物粉体を元素状炭素と共に、一
時的結合剤および/または潤滑剤の浴紗中に分散させる
。有機浴剤としては、例えばアセトンまた炭素原子数1
〜6j161を有する低級脂肪族アルコールを用いるこ
とができる。希薄な懸濁液の場合にはプラスチック谷器
内で攪拌機を用いる機械的な振@)K、よって分散を行
うことができるか、粘性なM[液の場合にはこねまぜ機
によって分散を行うことができる。次11C。
浴媒を例えば希薄1.C,fM+ 液の場合には噴霧乾
燥によって、ある(・は粘性な溶液の場合には蒸発によ
′〕て除去する。また、硬い凝固物を破壊し、かつ焼結
を促進させる炭素含有添加剤を均一に分布させるために
一般に次に噴射ミル、ビンミルまたはボールミルでの乾
式粉砕を行う。このために用いるミルの内張りおよび/
または研削工具が鋼、炭化チタン(Ferrstic
) 、ホウ化チタンまたは硬質金M(炭化タングステン
/コバルト合金)から成る場合には、金属製ミルの削り
くずによる粉体混合物中の不純物ができるだけ少なくな
るように、すなわち1垂蓋チリ下、特に0,2重蓋俤以
下になるように注意しなければならない。凝固物を破壊
するために行う乾式粉砕は、粉体温合物の菫を約2の係
数で増加させろ。大ていの成形作業特に自動プレス成形
法に対しては、良好な鋳込み性と童が少ないことが必賛
であるので、高分散性粉体混合物に、乾式粉砕後および
成形前に、さらに粒状化段階を行って、プレス成形およ
び自由流動化しやすいなるべく柔軟な集塊を形成する。
燥によって、ある(・は粘性な溶液の場合には蒸発によ
′〕て除去する。また、硬い凝固物を破壊し、かつ焼結
を促進させる炭素含有添加剤を均一に分布させるために
一般に次に噴射ミル、ビンミルまたはボールミルでの乾
式粉砕を行う。このために用いるミルの内張りおよび/
または研削工具が鋼、炭化チタン(Ferrstic
) 、ホウ化チタンまたは硬質金M(炭化タングステン
/コバルト合金)から成る場合には、金属製ミルの削り
くずによる粉体混合物中の不純物ができるだけ少なくな
るように、すなわち1垂蓋チリ下、特に0,2重蓋俤以
下になるように注意しなければならない。凝固物を破壊
するために行う乾式粉砕は、粉体温合物の菫を約2の係
数で増加させろ。大ていの成形作業特に自動プレス成形
法に対しては、良好な鋳込み性と童が少ないことが必賛
であるので、高分散性粉体混合物に、乾式粉砕後および
成形前に、さらに粒状化段階を行って、プレス成形およ
び自由流動化しやすいなるべく柔軟な集塊を形成する。
しかし、例えば射出成形法による成形のために粉体を約
40谷嚇嗟の潤滑油および結合剤でさらに処理して成形
しやす(・物質に−(る場合には、この粒状化段階を省
略することができる。
40谷嚇嗟の潤滑油および結合剤でさらに処理して成形
しやす(・物質に−(る場合には、この粒状化段階を省
略することができる。
少なくとも50チTDO)密度を自(る生の予備成形体
を形成イる成形は、例えばタ°イゾレス成ル法、均衡プ
レス成形法、射出成形汰、押出しまたは滑り鋳造法のよ
うな、公知の慣習的なカフvcよって行うことができる
。駒型でのダイ・プレス成形法または均衡プレス成形法
の場合にf’i、、3[J〜600MI’α、望ま(2
くは100〜5tJ U Mi’αの圧力が一般に用い
られる。次しこ、定&通りの生Uノドυ扇成形体を1.
950U〜2,150t、”の朝f!l(の偏度を(お
いて非加圧焼結する。この偏反転WIH室止((性負を
祷るために非′吊′に重要であり、同じ条F4jでこれ
より低い温度では90%’11’ D J、L)のWI
Mを有する焼結体が得られ、これより尚い温度ごi」関
OIl!P!度が得らiするが焼結体σオ子をがなり在
村化し、目的生成物の独度の劣化を伴うことk<’、
jよ乙。
を形成イる成形は、例えばタ°イゾレス成ル法、均衡プ
レス成形法、射出成形汰、押出しまたは滑り鋳造法のよ
うな、公知の慣習的なカフvcよって行うことができる
。駒型でのダイ・プレス成形法または均衡プレス成形法
の場合にf’i、、3[J〜600MI’α、望ま(2
くは100〜5tJ U Mi’αの圧力が一般に用い
られる。次しこ、定&通りの生Uノドυ扇成形体を1.
950U〜2,150t、”の朝f!l(の偏度を(お
いて非加圧焼結する。この偏反転WIH室止((性負を
祷るために非′吊′に重要であり、同じ条F4jでこれ
より低い温度では90%’11’ D J、L)のWI
Mを有する焼結体が得られ、これより尚い温度ごi」関
OIl!P!度が得らiするが焼結体σオ子をがなり在
村化し、目的生成物の独度の劣化を伴うことk<’、
jよ乙。
有機コークス化物負として少−の縦索β壱物−を用いた
場合には、加熱ぷ程間にこのVlJ實がシクス化するの
で、実際の焼結段階の開始時t(遊動形の縦索が存在す
る。一般に40容蓋チまでの一時的結合剤および潤滑剤
を含み射出成形または押出し成形法によって予備成形し
た生成形体ならびに炭素含有添加剤としての有機コーク
ス化物質(例えば70重重量板上の1ボラツク形を有す
る混合物から成る)をかなり高い割合で含有する生成形
体の場合には、潤滑剤および結合剤を細心に除去するた
めあるいは有機物質を緩廣にコークス化するため、K、
生の予備成形体を別の処理段階で予備加熱する。この予
備加熱は不活性または還元性雰囲気の存在下、100〜
1500Cの温度範囲゛で行うのが望ましいが、生の予
備成形体が少鼠の祠a刑、結脅剤または4!′慎コーク
ス化物質を含有するにすぎない場合には、代替的に成形
直後に生の予備成形体に一次焼結段階を行うこともでき
る。
場合には、加熱ぷ程間にこのVlJ實がシクス化するの
で、実際の焼結段階の開始時t(遊動形の縦索が存在す
る。一般に40容蓋チまでの一時的結合剤および潤滑剤
を含み射出成形または押出し成形法によって予備成形し
た生成形体ならびに炭素含有添加剤としての有機コーク
ス化物質(例えば70重重量板上の1ボラツク形を有す
る混合物から成る)をかなり高い割合で含有する生成形
体の場合には、潤滑剤および結合剤を細心に除去するた
めあるいは有機物質を緩廣にコークス化するため、K、
生の予備成形体を別の処理段階で予備加熱する。この予
備加熱は不活性または還元性雰囲気の存在下、100〜
1500Cの温度範囲゛で行うのが望ましいが、生の予
備成形体が少鼠の祠a刑、結脅剤または4!′慎コーク
ス化物質を含有するにすぎない場合には、代替的に成形
直後に生の予備成形体に一次焼結段階を行うこともでき
る。
・、:。
非加圧焼結に伴う約15〜20%の軸形収縮は生ull
。
。
成形体の最初の幾何学的形状を保って生じ、正確に検出
用油であるので、焼結体の再加工は一般には必妾ない。
用油であるので、焼結体の再加工は一般には必妾ない。
最初の非加圧焼結段階は例えば黒鉛管状抵抗炉(Ta胴
anal炉)または黒船フイニンダを南−44紡導加熱
炉のような、ti意の高温炉で実施(る4−とができる
。連続作業のためには、水土ゾソシYまたはベルト形炉
を用い4.ことか4利であり、この炉で生の予備成形体
を炉の加熱帯な通し−(、谷底形体が一定時間、望まし
いmiに保持されるように、輸送することができる。加
熱時間、 mP、偏度における油貿時向および冷却時間
は生の被焼結成形体のサイズに依存憚る2、生の被焼結
成形体を↓例えは黒鉛るつほの1うなイく粘性な谷dη
内に人する、あるいは十ll!1性外囲気で1繞するσ
〕が頃まlい1、炭化ボウ木、戻比り・イ索および板木
&1.jlr+油性な株謙ガス界囲気を急味すると坤)
!N・豪さ。
anal炉)または黒船フイニンダを南−44紡導加熱
炉のような、ti意の高温炉で実施(る4−とができる
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を用い4.ことか4利であり、この炉で生の予備成形体
を炉の加熱帯な通し−(、谷底形体が一定時間、望まし
いmiに保持されるように、輸送することができる。加
熱時間、 mP、偏度における油貿時向および冷却時間
は生の被焼結成形体のサイズに依存憚る2、生の被焼結
成形体を↓例えは黒鉛るつほの1うなイく粘性な谷dη
内に人する、あるいは十ll!1性外囲気で1繞するσ
〕が頃まlい1、炭化ボウ木、戻比り・イ索および板木
&1.jlr+油性な株謙ガス界囲気を急味すると坤)
!N・豪さ。
不活性雰囲気の存在ドで、焼結作業を冨圧すなJ・ち約
Q、1MPαの圧力において有利に竹5ことが−Cきる
。保護ガス雰囲気と(−7ては、アルゴンまたはヘリウ
ムのような貢ガスある(・はこの代りrc 師化炭素
または水素上用いることかできる。まムー成形体の焼結
を大空内で実施する57ともでさ、。
Q、1MPαの圧力において有利に竹5ことが−Cきる
。保護ガス雰囲気と(−7ては、アルゴンまたはヘリウ
ムのような貢ガスある(・はこの代りrc 師化炭素
または水素上用いることかできる。まムー成形体の焼結
を大空内で実施する57ともでさ、。
の場合には<5oooPα の圧力がl陪に尖赴さi【
(いる。−次非加圧焼結段階によって得られる予備圧縮
成形体は少なくとも95%’rI)、望ましくは97
%TDの密度を有し、残留する孔はもっばら閉じた孔と
してであった。非加圧焼結によって得られる95囁TD
という最小密度は本発明による方法の二次段階にとって
すなわち予備成形体を少なくとも951TDまでにする
熱間均衡再圧縮にとって1費である。我々のテストによ
ると、〈95%TDの密度を有するかなり有孔性のB<
C/SiC,4焼結体はすでに、主として管状孔すなわ
ち開孔を有しているので、この予備圧縮体を型なし熱間
均衡圧縮によって再圧縮することはできない。管状孔が
存在する場合には圧力伝達媒質として役立つガスがその
圧力によって予備成形体を膨張させ、密度を低下させる
ことになる、すなわちこの場合には熱間均衡再圧縮はも
はや孔を解消することができない。
(いる。−次非加圧焼結段階によって得られる予備圧縮
成形体は少なくとも95%’rI)、望ましくは97
%TDの密度を有し、残留する孔はもっばら閉じた孔と
してであった。非加圧焼結によって得られる95囁TD
という最小密度は本発明による方法の二次段階にとって
すなわち予備成形体を少なくとも951TDまでにする
熱間均衡再圧縮にとって1費である。我々のテストによ
ると、〈95%TDの密度を有するかなり有孔性のB<
C/SiC,4焼結体はすでに、主として管状孔すなわ
ち開孔を有しているので、この予備圧縮体を型なし熱間
均衡圧縮によって再圧縮することはできない。管状孔が
存在する場合には圧力伝達媒質として役立つガスがその
圧力によって予備成形体を膨張させ、密度を低下させる
ことになる、すなわちこの場合には熱間均衡再圧縮はも
はや孔を解消することができない。
本発明による方法の二次段階すなわち再緻密化の実施に
は、少なくとも951TD望ましくは?7%TDを有す
る予備成形体を型なしで、 すなわち付加的な真空気密
に密閉した延性材料製ケーシングを用いることなく、1
0〜25 MPdの圧)Jおよび1800〜2100
Cの範囲内のOrA度にお(・て圧力伝達媒質として不
活性ガスを用(・る、黒鉛加熱g!索を備えた高圧オー
トクレーブ中で均衡に熱間圧縮する。このような高圧オ
ートクレーブ炉は大きな加熱帯を庖しているので、多く
の予備焼結体を収容して、共に再圧縮することができる
。ガスを介して多面的に圧縮することによって、f−1
4ft焼結体を2994TDの密度まで組織を生ずるこ
となく圧縮することができる、すなわち無孔焼結体の物
性値が全ゆる方向で均一である。使用圧力は150〜2
50MPαであることが望ましく、各場合に195D〜
2050Uの範囲内であることが望ましい最終温度にお
し・て徐々に圧力を高めなからこの圧力に達するように
jる。例えばIOM)’、2のような、かなり低いガス
圧力を用いる場合には、非加圧焼結温度において再圧縮
が最も良〈実施される。これに反して、例えば100M
)’α以上のようなかなり高いガス圧力を用いる場合に
は、非加圧焼結の場合に用いる温度よりも約1oot:
’低い温度において再圧縮を行うことができる。再圧縮
間に実際に粒度成長がな(・ので、無孔の完成体は予備
圧縮した非加圧焼結体と実際に同じ粒度を有する。J 圧力の多面的作用によってミクロき裂またはミクロ孔が
除去されるあるいはこれらの欠陥の影響が減少するので
、本発明による少なくとも99チTDの密度を有する焼
結体は非加圧焼結のみによって予備圧縮された焼結体に
比べてかなり大きい強度を有する。残留孔度の広範な除
去および曲げ強さの改良の他に、例えばクリープ強さ、
耐Iii撃性、耐賑耗性のような機株加工性の改良が認
められた。
は、少なくとも951TD望ましくは?7%TDを有す
る予備成形体を型なしで、 すなわち付加的な真空気密
に密閉した延性材料製ケーシングを用いることなく、1
0〜25 MPdの圧)Jおよび1800〜2100
Cの範囲内のOrA度にお(・て圧力伝達媒質として不
活性ガスを用(・る、黒鉛加熱g!索を備えた高圧オー
トクレーブ中で均衡に熱間圧縮する。このような高圧オ
ートクレーブ炉は大きな加熱帯を庖しているので、多く
の予備焼結体を収容して、共に再圧縮することができる
。ガスを介して多面的に圧縮することによって、f−1
4ft焼結体を2994TDの密度まで組織を生ずるこ
となく圧縮することができる、すなわち無孔焼結体の物
性値が全ゆる方向で均一である。使用圧力は150〜2
50MPαであることが望ましく、各場合に195D〜
2050Uの範囲内であることが望ましい最終温度にお
し・て徐々に圧力を高めなからこの圧力に達するように
jる。例えばIOM)’、2のような、かなり低いガス
圧力を用いる場合には、非加圧焼結温度において再圧縮
が最も良〈実施される。これに反して、例えば100M
)’α以上のようなかなり高いガス圧力を用いる場合に
は、非加圧焼結の場合に用いる温度よりも約1oot:
’低い温度において再圧縮を行うことができる。再圧縮
間に実際に粒度成長がな(・ので、無孔の完成体は予備
圧縮した非加圧焼結体と実際に同じ粒度を有する。J 圧力の多面的作用によってミクロき裂またはミクロ孔が
除去されるあるいはこれらの欠陥の影響が減少するので
、本発明による少なくとも99チTDの密度を有する焼
結体は非加圧焼結のみによって予備圧縮された焼結体に
比べてかなり大きい強度を有する。残留孔度の広範な除
去および曲げ強さの改良の他に、例えばクリープ強さ、
耐Iii撃性、耐賑耗性のような機株加工性の改良が認
められた。
本発明圧よる、α−炭化ケイ素、炭化ホウ素および炭素
から成る実7に無孔の焼結体は多方面に使用可能な複合
材料である。この材料は、高い硬度と耐廊−耗性、良好
な耐高温性および耐食性またはこれらの性質の組合わせ
を必要とするような、あらゆる用途分野に使用aJ能で
ある。本発明によるh法によ′γ(複雑な形状の構造部
品も費用のかかる肖加土なしに製茄〜することかできる
ので、圀えば^m模械構端捧にこの複合材料を紅鍼的k
C便用−Cることができる。
から成る実7に無孔の焼結体は多方面に使用可能な複合
材料である。この材料は、高い硬度と耐廊−耗性、良好
な耐高温性および耐食性またはこれらの性質の組合わせ
を必要とするような、あらゆる用途分野に使用aJ能で
ある。本発明によるh法によ′γ(複雑な形状の構造部
品も費用のかかる肖加土なしに製茄〜することかできる
ので、圀えば^m模械構端捧にこの複合材料を紅鍼的k
C便用−Cることができる。
時短の用途に対して有利な組成は、第1図に図示した三
成分系B−43ト−GKお(・てa、b、cおよびdの
稜角を有する台形に基づ(・て、最も良く説明すること
ができ心: 台形の点b−c方向の右側部分に相当して、StC:
B10血−比か(、’0:10から約6 tl : 4
0までの範囲である屍化ケイ素冨化複合材料は、艮好な
耐熱衝撃件および酸化安定性−\の咬*tζぜ′J(。
成分系B−43ト−GKお(・てa、b、cおよびdの
稜角を有する台形に基づ(・て、最も良く説明すること
ができ心: 台形の点b−c方向の右側部分に相当して、StC:
B10血−比か(、’0:10から約6 tl : 4
0までの範囲である屍化ケイ素冨化複合材料は、艮好な
耐熱衝撃件および酸化安定性−\の咬*tζぜ′J(。
特にセーター構造体の高温月利として用(・らオ(る。
台形の点c−d力回の上部に相虫l、−C,僚台祠lの
戻木含門が同時に増加する場合には、弾fF碑数が低下
し、これIICよって強度二弾性係数の比の116が増
加するが、このことは耐熱輌撃性rc付加的に有利な作
用を及ぼす、我々の実験によって、6重it価の遊離炭
素を言む複合材料は熱間lレス成形L タ、炭素ヲ”;
%−*ナイ5tC−B4G−41u4A杓k(比べて約
16優低い弾性係数を有することがわかった。
戻木含門が同時に増加する場合には、弾fF碑数が低下
し、これIICよって強度二弾性係数の比の116が増
加するが、このことは耐熱輌撃性rc付加的に有利な作
用を及ぼす、我々の実験によって、6重it価の遊離炭
素を言む複合材料は熱間lレス成形L タ、炭素ヲ”;
%−*ナイ5tC−B4G−41u4A杓k(比べて約
16優低い弾性係数を有することがわかった。
遊離炭素と炭化ホウ素の含量が増加すると灰化ケイ素富
化高温材料の坤論密度は減少し、1賛な構造/機械特性
値である、強度:密度の比の非常に良好な値を生ずる。
化高温材料の坤論密度は減少し、1賛な構造/機械特性
値である、強度:密度の比の非常に良好な値を生ずる。
黒鉛として複合材料に含まれる遊離炭素はS番G/B4
G マトリックス全体に特に均一に分布しているの
で、炭素の割合がかなり高くなると(遊離炭素含1ft
5〜10重量%)、複合材料の滑り特性が改良されるた
め、この複合材料をすべりリング、すべりリング・シー
ルのカウンタ・リング、軸受はノシュおよび玉軸受に特
に有利に使用することができる。また、この複合材料は
緻、#混合物およびアルカリ性溶液に対して化学的に安
定であるため、このような成形部品の化学装置への使用
が%に有利であるとわかっている。この複合材料は60
0〜500C以上の温度において酸化性アルカリ溶融物
によってはじめておかされた。
G マトリックス全体に特に均一に分布しているの
で、炭素の割合がかなり高くなると(遊離炭素含1ft
5〜10重量%)、複合材料の滑り特性が改良されるた
め、この複合材料をすべりリング、すべりリング・シー
ルのカウンタ・リング、軸受はノシュおよび玉軸受に特
に有利に使用することができる。また、この複合材料は
緻、#混合物およびアルカリ性溶液に対して化学的に安
定であるため、このような成形部品の化学装置への使用
が%に有利であるとわかっている。この複合材料は60
0〜500C以上の温度において酸化性アルカリ溶融物
によってはじめておかされた。
台形の点a−d方向の左@部分に相当して、btc :
B4Cの塩社比が約50:50から10:S/fJの
範囲である炭化ホウ素富化44制は原子7J [兼の分
野で、例えばスクリーン用の中性f−吸収M44として
、ならびに研削工業に、例えば一般の愼械構造体に減塵
羽として用いられる。
B4Cの塩社比が約50:50から10:S/fJの
範囲である炭化ホウ素富化44制は原子7J [兼の分
野で、例えばスクリーン用の中性f−吸収M44として
、ならびに研削工業に、例えば一般の愼械構造体に減塵
羽として用いられる。
炭化ホウ素富化複合材刺の特命的な制皐札性はSLG成
分のために純粋な炭化ホウ素よりも太き(曲げ強さ、導
[4および酸化安定性を有し、灰化ホウ素マトリックス
によって複合劇料の硬良か護持されていることに帰因さ
れる。これらの複6月料の重量は炭化ホウ素の割合が市
いために小さく・ので、人間および装置な弾丸から保−
するためのいわゆるセラミック・プレートとして用(・
ることができる。この用途のために知られている、純粋
な炭化ホウ素に基づいて熱間ズ1.レス成形法で製造し
なければならないじやへいン:・レートに比べると、□ 本発明による灰化ホウ素富化複合I杓は、(の製造のた
めにかなり女価な出発材料な使用し、比較的簡単に成形
できるという利点な有して(・る、。
分のために純粋な炭化ホウ素よりも太き(曲げ強さ、導
[4および酸化安定性を有し、灰化ホウ素マトリックス
によって複合劇料の硬良か護持されていることに帰因さ
れる。これらの複6月料の重量は炭化ホウ素の割合が市
いために小さく・ので、人間および装置な弾丸から保−
するためのいわゆるセラミック・プレートとして用(・
ることができる。この用途のために知られている、純粋
な炭化ホウ素に基づいて熱間ズ1.レス成形法で製造し
なければならないじやへいン:・レートに比べると、□ 本発明による灰化ホウ素富化複合I杓は、(の製造のた
めにかなり女価な出発材料な使用し、比較的簡単に成形
できるという利点な有して(・る、。
説明中および次に述べる本発明の実施例中C1生の成形
体、焼結された状態の成形体および再圧縮焼結状態の成
形体に対して記載した相対密度(優TD)は、各場合に
、複合羽料の理論密度に基づくものである。
体、焼結された状態の成形体および再圧縮焼結状態の成
形体に対して記載した相対密度(優TD)は、各場合に
、複合羽料の理論密度に基づくものである。
この相対密度は次のような混合体に従って複合材料の最
終相組成り 4 Q /bt G/’じ(fi蓋%)か
ら算定する3゜ それぞれ17.6 K”/l (Acheson 5i
G)と25.3mン1(84G)の高い比表面積までA
ttritor ミルで粉砕した、工業的純度の炭化
物粉体を出発物質として用いた。最大粒度6μmを有す
るこむらの粉体の化学分析を第1表に示す。炭素含有添
加剤として1:、。
終相組成り 4 Q /bt G/’じ(fi蓋%)か
ら算定する3゜ それぞれ17.6 K”/l (Acheson 5i
G)と25.3mン1(84G)の高い比表面積までA
ttritor ミルで粉砕した、工業的純度の炭化
物粉体を出発物質として用いた。最大粒度6μmを有す
るこむらの粉体の化学分析を第1表に示す。炭素含有添
加剤として1:、。
は、市販のノボラック形うエノールホルムアルデヒド樹
脂粉体(例えばHoechst AG社のALNOVO
L■)を用いる。S司−粉体80重蓋部とB4C粉体
20曹蓋部とから成る混合物に、ア七トンに俗解した酢
液としてノボフック粉捧9本蓋部を加え、得られた粘性
なスラリな空気中C1溶媒の全てが火際Vこ蒸発するま
−にねまぜる4、Jねまぜが完成した佐に#ら第1た、
←Cれべ・′f1.[+体を噴射ミルにおいて約0.2
M)”αの仝気圧トC5約0.2〜0.5 tAm”
のかさMUになるまで粉砕【。
脂粉体(例えばHoechst AG社のALNOVO
L■)を用いる。S司−粉体80重蓋部とB4C粉体
20曹蓋部とから成る混合物に、ア七トンに俗解した酢
液としてノボフック粉捧9本蓋部を加え、得られた粘性
なスラリな空気中C1溶媒の全てが火際Vこ蒸発するま
−にねまぜる4、Jねまぜが完成した佐に#ら第1た、
←Cれべ・′f1.[+体を噴射ミルにおいて約0.2
M)”αの仝気圧トC5約0.2〜0.5 tAm”
のかさMUになるまで粉砕【。
塊状物を除き、拘置化した鏝、ゴム・ケ 7/グ内にお
いて400 MPUの圧力下で均倶ゾレス成形して、5
0關X 2. Oin+X 7鰭のサイズで、1.82
z/clILsの生@度を有するプレー トを形成−す
る。
いて400 MPUの圧力下で均倶ゾレス成形して、5
0關X 2. Oin+X 7鰭のサイズで、1.82
z/clILsの生@度を有するプレー トを形成−す
る。
次に、この生プレー トを還7C性膠囲気トのコクス炉
内で加熱(ると、fi’−第20時間のル1間をCわl
、って室温かも#’v 1000 Uまでに加熱し1、
この一度で8時間t#、成することによって、ノボラッ
ク納脂゛の緩慢な熱分解がイrわれる2、コー クス化
し第5.、〆レートを保−ガストで約36時間の期間に
わた勺て室温にまで冷却し、次にTamznanu型黒
鉛管状炉の加熱帯に挿入しΔ−黒鉛るつば内で、210
0t;および10Pαの減圧下で焼結lまた。加熱前に
炉室な梢製アルゴンガスで数回洗浄した。焼結1!次の
ような温度スケジュールで行った。
内で加熱(ると、fi’−第20時間のル1間をCわl
、って室温かも#’v 1000 Uまでに加熱し1、
この一度で8時間t#、成することによって、ノボラッ
ク納脂゛の緩慢な熱分解がイrわれる2、コー クス化
し第5.、〆レートを保−ガストで約36時間の期間に
わた勺て室温にまで冷却し、次にTamznanu型黒
鉛管状炉の加熱帯に挿入しΔ−黒鉛るつば内で、210
0t;および10Pαの減圧下で焼結lまた。加熱前に
炉室な梢製アルゴンガスで数回洗浄した。焼結1!次の
ような温度スケジュールで行った。
20〜400t:’ : 60分間400〜2,1
00C: 120分間 2.100CK保持 : 60分間 涌貿時間が終了した後に、炉の電源を切り、炉内で焼結
体を室温にまで冷却した。このプレートは未焼結体の重
量と長さKそれぞれ基づいて第5僑の電量損失と16.
4%の収縮を示し、Buoyancy法によって算定し
た3、0 Ot/C♂の密度を有した。
00C: 120分間 2.100CK保持 : 60分間 涌貿時間が終了した後に、炉の電源を切り、炉内で焼結
体を室温にまで冷却した。このプレートは未焼結体の重
量と長さKそれぞれ基づいて第5僑の電量損失と16.
4%の収縮を示し、Buoyancy法によって算定し
た3、0 Ot/C♂の密度を有した。
次K、この焼結プレートの捧を、黒鉛加熱系装備の熱間
均衡プレス機に装入し、200(1’において熱間均衡
プレス成形した。最終温度において200 MPUの望
ましい圧力が得られ、滞留時間は180分間および加熱
時間は120分間であった。
均衡プレス機に装入し、200(1’において熱間均衡
プレス成形した。最終温度において200 MPUの望
ましい圧力が得られ、滞留時間は180分間および加熱
時間は120分間であった。
この熱間均衡再圧縮したプレートの密度をBuoyan
cy 法によって測定したところ、3.01 VC!r
?であった。この再圧縮プレートはSiC含*76.8
亀量チ、B4C含量192重量%、遊離炭素金蓋′5.
7JiLii%、残留酸素含量0.08重蓋チ、窒索會
蓋Q、11重i−および金属不純物含量0.2重蓋係以
Fを有した1、六角形のα−8tUおゴびM h六11
体の炭化ポウ系の他に、黒鉛とし+’tのam炭素かX
線分析によって明らかνCC出出h/、−13次式vc
J、る混合体によってA矩[7た埋酬鴇屓H,5,0
1)、’にI11 ’であった: 従って、予(!焼結プレートおよび再圧縮!し トのこ
の値に基づく相対密度はそれセミ【、9ソ、/および1
00%TDであった。Buoya+nLy kCよる密
序測定を行った後、曲げ強さと酸化安定性を測定(るた
めに、2.Oi+履×4.O肩鳳X64關1イXの小試
験ロッドを、非加圧焼結プレー)(S)と再圧縮7レー
ト(HIPS)から、プラスチック結合90μ購ダイヤ
モンド・ディスクによる切−1と湿式aSによって製造
した。この試験片の一定試験編序゛における重量増加(
η/表面面積1m”における)の時間依存5を、酸化安
定性の指標としてボ°す。この関截が限界値に近づいた
場合には、試験ハは試験ハと人気との反応を阻止する付
庸被嶺層を形成したため酸化安定性になったとみなすこ
とができる。この酸化安定性を空気流(101/時)中
で950 Cにおいて記録用熱てんびんを用いて等温測
定した。
cy 法によって測定したところ、3.01 VC!r
?であった。この再圧縮プレートはSiC含*76.8
亀量チ、B4C含量192重量%、遊離炭素金蓋′5.
7JiLii%、残留酸素含量0.08重蓋チ、窒索會
蓋Q、11重i−および金属不純物含量0.2重蓋係以
Fを有した1、六角形のα−8tUおゴびM h六11
体の炭化ポウ系の他に、黒鉛とし+’tのam炭素かX
線分析によって明らかνCC出出h/、−13次式vc
J、る混合体によってA矩[7た埋酬鴇屓H,5,0
1)、’にI11 ’であった: 従って、予(!焼結プレートおよび再圧縮!し トのこ
の値に基づく相対密度はそれセミ【、9ソ、/および1
00%TDであった。Buoya+nLy kCよる密
序測定を行った後、曲げ強さと酸化安定性を測定(るた
めに、2.Oi+履×4.O肩鳳X64關1イXの小試
験ロッドを、非加圧焼結プレー)(S)と再圧縮7レー
ト(HIPS)から、プラスチック結合90μ購ダイヤ
モンド・ディスクによる切−1と湿式aSによって製造
した。この試験片の一定試験編序゛における重量増加(
η/表面面積1m”における)の時間依存5を、酸化安
定性の指標としてボ°す。この関截が限界値に近づいた
場合には、試験ハは試験ハと人気との反応を阻止する付
庸被嶺層を形成したため酸化安定性になったとみなすこ
とができる。この酸化安定性を空気流(101/時)中
で950 Cにおいて記録用熱てんびんを用いて等温測
定した。
30時101の酸化時間までの試験片の止置増加を記録
し、緻密な純粋炭化ケイ素と炭化ホウ素の重量増加と比
較した(第4図6照)。第4図から明らかなようにい非
加り焼結複合材料(S20)と丙圧縮複合拐料()HP
S 20)[対して得られた等温酸化曲線は、純粋な炭
化ケイ素のものと一致した。
し、緻密な純粋炭化ケイ素と炭化ホウ素の重量増加と比
較した(第4図6照)。第4図から明らかなようにい非
加り焼結複合材料(S20)と丙圧縮複合拐料()HP
S 20)[対して得られた等温酸化曲線は、純粋な炭
化ケイ素のものと一致した。
これらの場合に、60時間の酸化後の重量増加はわずか
0.2 Mr9/ctn”であった。そのため、SiC
76,9ム菫チ、B4C19,1組1およびC6,7事
蓋チから成る焼結体は選択した条件下で緻密な純粋Si
Gが有するものと実際に同じ大きさの酸化安定性を示し
た。良好な酸化安定性は固体の付着性ホウケイ#1塩保
換層の形成に帰因することができる。純粋な炭化ホウ素
の等&線は非常に急激であり、2時間の酸化後には殆ん
ど直線になる曲線であるが、これは形成されるB20.
被榎層の液体コンシスチンシーとこの嚇65c生゛f′
る鈑素拡散速串の槓加シ(帰因゛するものである。
0.2 Mr9/ctn”であった。そのため、SiC
76,9ム菫チ、B4C19,1組1およびC6,7事
蓋チから成る焼結体は選択した条件下で緻密な純粋Si
Gが有するものと実際に同じ大きさの酸化安定性を示し
た。良好な酸化安定性は固体の付着性ホウケイ#1塩保
換層の形成に帰因することができる。純粋な炭化ホウ素
の等&線は非常に急激であり、2時間の酸化後には殆ん
ど直線になる曲線であるが、これは形成されるB20.
被榎層の液体コンシスチンシーとこの嚇65c生゛f′
る鈑素拡散速串の槓加シ(帰因゛するものである。
15IIJ(上計)と60龍(−F’ =13)の支持
距艙を用いた四点法によって、試験片の曲げ強さを側足
した。一つの結話から他の結尻へ及A、で破壊−する小
試験片は室温において次のような平均曲げ強さく5回測
定の平均イ16)を有する: 420 N//IIJI
” (小Sロッド)および51 [1tj/、♂(小)
(H’Sμツ1°)。
距艙を用いた四点法によって、試験片の曲げ強さを側足
した。一つの結話から他の結尻へ及A、で破壊−する小
試験片は室温において次のような平均曲げ強さく5回測
定の平均イ16)を有する: 420 N//IIJI
” (小Sロッド)および51 [1tj/、♂(小)
(H’Sμツ1°)。
b 20 N/mm”の1直(工1400Urr−aけ
る熱処抗If(7j(−て得らオlたもので、しり(−
j−Hl)’S弓」ノ1.fルゴン雰囲気);促って、
この成形棒には比軟的簡妃貫における強度の仙下を招く
粒W層としてのがラス相は弁台しない4゜ 走査電子顕微鏡によって撮影した破面の写真は、非加圧
焼結試験片の残菌孔が1−II)’ 再圧縮法に」っ
て完全に閉じらねインことをポしており、このことは1
00チTIJとムう相対密此の結果−とも艮灯り(一致
している。2@食イ01膠した表面の横1靜ま15μm
の平均粒度を壱′する徽細なS襲および84C$M子か
ら成るマトリックスに坤込まれた2μm以Fの粒径を有
する縦木粒子を示している。
る熱処抗If(7j(−て得らオlたもので、しり(−
j−Hl)’S弓」ノ1.fルゴン雰囲気);促って、
この成形棒には比軟的簡妃貫における強度の仙下を招く
粒W層としてのがラス相は弁台しない4゜ 走査電子顕微鏡によって撮影した破面の写真は、非加圧
焼結試験片の残菌孔が1−II)’ 再圧縮法に」っ
て完全に閉じらねインことをポしており、このことは1
00チTIJとムう相対密此の結果−とも艮灯り(一致
している。2@食イ01膠した表面の横1靜ま15μm
の平均粒度を壱′する徽細なS襲および84C$M子か
ら成るマトリックスに坤込まれた2μm以Fの粒径を有
する縦木粒子を示している。
実施例 2〜4
60:40.40:60および20:80のSiG :
B4Cm i比を用いた点およびノボラック添加剤量を
11〜15曹蓋優の範囲内で変化させた点以外は東施タ
リ1をくり返した。結果は第1表、第2表および第2〜
4図に示す。実施例5,6,9,12゜15.18.2
0および21の結果をグラフに表わした第2図では、本
発明の方法による非加圧焼結法およびアメリカ%Fl−
第4,081,284号明細書(Prochazkaと
Goblenz )による公知の方法を用いて、柚々な
比のS z G : B4 G出発組成物によって得ら
れた相対焼結密度を比較する。本発明の方法によると非
加圧焼結の場合に97%TD以上の相対密度が糸の全範
囲にわたって、すなわちSiC:B、G垂電比が90:
10から10:90である出発組成物によって得られる
ことがわかる。この結果は前記アメリカ特許明細書によ
る先行技術と明らかに対照的である。この先行技術によ
ると、約11虚−゛チ炭化ホウ素の場合にのみ同じよう
に高い焼結密度か狗られた。本発明の方法−(よ勺C侍
られた実施例2,6および4の成形体じ、αStGと炭
化ホウ素から成る二相マトリックスレ(加えて、第64
[]としてそれぞれ4.2.4.7および55車菫係−
の遊離縦糸を言んでいる。焼結体マトリックス中のSI
C: 84Uのtibt比は出発粉体混合−の60:4
0,40:60および20:8Uの慮−比に充分に一致
する(第2表す照)、、來施しリ1へ−4の非加圧焼結
体の密度、平均414逓粒度Jdよひ曲1jIi!Ji
さに及ぼ−(熱間均灸肖圧縮の幼果は第5衣と第6図か
ら知ることができる。こj+らの衣と図かり明らかなよ
うに、995%TL)以上の相対vhaま−(・に再圧
動した試験ハの曲は強さは円圧動1−.7エ(訪態に比
べて14〜65%積強−(るか、平均程良(j実際に変
化しな(・、1さらに、実施タリ2の成形体4なわち約
6o:40のSiG : B・jG庫に比と4.2mM
係の遊離炭素ざ−を有する成”y体が最簡の曲げ強さを
有することか、第6図から明らかである。第4図は実施
例2,6および4の予紬圧縮成形体(S)と再圧縮成形
体(HIP)の酸化安定性の比較を不4これらの実施例
に対応する等温酸化曲線はS−およびHIPS−40,
60および80と呼ぶことにする。これらの曲線から明
らかなように、一定の相組成において、HIPによって
再圧縮し、た試験片の酸化速度は再圧縮しなかった試験
片に比べて減少する(曲線5−80を曲線HIPS−8
0と比較、また曲#5−60を曲線HIPS−60こ比
較)。
B4Cm i比を用いた点およびノボラック添加剤量を
11〜15曹蓋優の範囲内で変化させた点以外は東施タ
リ1をくり返した。結果は第1表、第2表および第2〜
4図に示す。実施例5,6,9,12゜15.18.2
0および21の結果をグラフに表わした第2図では、本
発明の方法による非加圧焼結法およびアメリカ%Fl−
第4,081,284号明細書(Prochazkaと
Goblenz )による公知の方法を用いて、柚々な
比のS z G : B4 G出発組成物によって得ら
れた相対焼結密度を比較する。本発明の方法によると非
加圧焼結の場合に97%TD以上の相対密度が糸の全範
囲にわたって、すなわちSiC:B、G垂電比が90:
10から10:90である出発組成物によって得られる
ことがわかる。この結果は前記アメリカ特許明細書によ
る先行技術と明らかに対照的である。この先行技術によ
ると、約11虚−゛チ炭化ホウ素の場合にのみ同じよう
に高い焼結密度か狗られた。本発明の方法−(よ勺C侍
られた実施例2,6および4の成形体じ、αStGと炭
化ホウ素から成る二相マトリックスレ(加えて、第64
[]としてそれぞれ4.2.4.7および55車菫係−
の遊離縦糸を言んでいる。焼結体マトリックス中のSI
C: 84Uのtibt比は出発粉体混合−の60:4
0,40:60および20:8Uの慮−比に充分に一致
する(第2表す照)、、來施しリ1へ−4の非加圧焼結
体の密度、平均414逓粒度Jdよひ曲1jIi!Ji
さに及ぼ−(熱間均灸肖圧縮の幼果は第5衣と第6図か
ら知ることができる。こj+らの衣と図かり明らかなよ
うに、995%TL)以上の相対vhaま−(・に再圧
動した試験ハの曲は強さは円圧動1−.7エ(訪態に比
べて14〜65%積強−(るか、平均程良(j実際に変
化しな(・、1さらに、実施タリ2の成形体4なわち約
6o:40のSiG : B・jG庫に比と4.2mM
係の遊離炭素ざ−を有する成”y体が最簡の曲げ強さを
有することか、第6図から明らかである。第4図は実施
例2,6および4の予紬圧縮成形体(S)と再圧縮成形
体(HIP)の酸化安定性の比較を不4これらの実施例
に対応する等温酸化曲線はS−およびHIPS−40,
60および80と呼ぶことにする。これらの曲線から明
らかなように、一定の相組成において、HIPによって
再圧縮し、た試験片の酸化速度は再圧縮しなかった試験
片に比べて減少する(曲線5−80を曲線HIPS−8
0と比較、また曲#5−60を曲線HIPS−60こ比
較)。
また炭化ホウ素をかなり多(含有する再圧縮試験片は炭
化ホウ素宮蓋の低い、再圧縮しない試験片に比べて、大
きい酸化安定性をも壱する。
化ホウ素宮蓋の低い、再圧縮しない試験片に比べて、大
きい酸化安定性をも壱する。
曲線Hiss−60と5−40および5−60との比較
から明らかなように、試験片5−40の酸化速度は5−
60に比べて炭化ケイ素含蓄が高(・ために当然低いが
、再圧縮試験片HIPS−60の酸化速度はこれよりも
さらに低い。このように、緻密な炭化ホウ素富化材料の
用途は、今まで純粋なE3iGまたは非常にSidゝを
多く含んだ材料にもっばら限られていたような用途にま
で拡大されることができる。
から明らかなように、試験片5−40の酸化速度は5−
60に比べて炭化ケイ素含蓄が高(・ために当然低いが
、再圧縮試験片HIPS−60の酸化速度はこれよりも
さらに低い。このように、緻密な炭化ホウ素富化材料の
用途は、今まで純粋なE3iGまたは非常にSidゝを
多く含んだ材料にもっばら限られていたような用途にま
で拡大されることができる。
実施例1〜4の生成形体および90 : I LI D
・番、10:90のα−8IC:B4Cj!!臘比と6
〜16sのノボラック添加MIJを用いた点以外&j、
*翔しリ1に示したようなα−3ICと84(:の焼結
粉体から製造した生成形体の全てIL、^苧(10Pα
アルJ7ノの代りに、尻結雰囲気として保^ガX(傘J
(J、IMPαアルゴン)を用(・、1900〜2N+
01.”の焼^”、漏曳゛による男I JJII II
−焼結を実施した。出発混a勧Jr特沼と非加圧VG粕
の結末It第4表&(、小−+、夫施レし1〜4の焼結
結束を“実施例8,11.14および1/の結果と比軟
゛(ると、210(I Uの焼結′tM廣のW粘編度
を用(・ると97%′1“l)t、LLυ)惰k」焼結
−序/J焼粘雰囲気(負lと士たは株^)Jス&lt
) kC関詠lり′州られることがわかる。第4表も、
比較的低(・焼結偏11i14Cおいて4J比軟的低L
・縁布性か得りJt乙とをかしている。−ケなわち、2
1) 00υのtA帖一度にお(・て州らハる焼鯖体目
956〜9ソ〔」≠“1°Dの相対密度をまた南してい
るか、1900 Uの焼結raatでは非nに低1−’
76〜90.4%’l’iJytg酎4となり、HIP
による型なしの肖焼結はもはX・不uJ能になる。
・番、10:90のα−8IC:B4Cj!!臘比と6
〜16sのノボラック添加MIJを用いた点以外&j、
*翔しリ1に示したようなα−3ICと84(:の焼結
粉体から製造した生成形体の全てIL、^苧(10Pα
アルJ7ノの代りに、尻結雰囲気として保^ガX(傘J
(J、IMPαアルゴン)を用(・、1900〜2N+
01.”の焼^”、漏曳゛による男I JJII II
−焼結を実施した。出発混a勧Jr特沼と非加圧VG粕
の結末It第4表&(、小−+、夫施レし1〜4の焼結
結束を“実施例8,11.14および1/の結果と比軟
゛(ると、210(I Uの焼結′tM廣のW粘編度
を用(・ると97%′1“l)t、LLυ)惰k」焼結
−序/J焼粘雰囲気(負lと士たは株^)Jス&lt
) kC関詠lり′州られることがわかる。第4表も、
比較的低(・焼結偏11i14Cおいて4J比軟的低L
・縁布性か得りJt乙とをかしている。−ケなわち、2
1) 00υのtA帖一度にお(・て州らハる焼鯖体目
956〜9ソ〔」≠“1°Dの相対密度をまた南してい
るか、1900 Uの焼結raatでは非nに低1−’
76〜90.4%’l’iJytg酎4となり、HIP
による型なしの肖焼結はもはX・不uJ能になる。
実施例 26〜24
これらの実施例に用いた炭化物粉体の特徴を第5表に示
す。出発物質としてこのような焼結粉体な用いる場合、
80:20から20:80のSiG :B4Cム量比を
有する炭化物混合物を種々な童の炭素添加剤と、実施例
1および実施例4と同様に混合する(第6表参照)。こ
の炭素添加剤はアセトンに俗解したフェノールホルムア
ルデヒド・ノボラック倒瓶酢液こしておよび付加的にす
る形状(比表面積: 150 m”/))の元素状炭素
として供給する。特にこの場合に、炭化ケイ素、炭化ホ
ウ素および遊離炭素から成る生成混合物中の0.8〜1
4.7ti*の遊離炭素含量に相当する広い範囲で、炭
素添加剤量は変化する。プレス成形用の拘置な混合物か
ら、直径8m、長さ40鵡および55〜65STDの生
密度を有する円筒状成形体をゴム・ケーシング内におい
て500 MPαの圧力下でプレス成形した。生成形体
を焼結し、焼結体を実施例1に述べた方法と同じ方法で
熱間均衡再圧縮したが、実施例61〜64の生成形の4
は1U虚蓋チ以、上の高含址のノボラック添加剤を熱分
解するためにコークス炉で予備加熱した。実施例27〜
52の示すところによると、本発明の方法によると約1
.1〜10貞蓄優の遊離炭素含量を有する成形体を生ず
るような電の炭素含有添加剤によって、多電の炭化ホウ
素含有炭化物混合物を選択するかそれとも多電の炭化ケ
イ素言南灰化物混合物を選択するかに関係なく、緻密性
に関して良好な結果が得られる。この場合に、)IIP
によって再圧縮した焼結体は全て998〜10096T
Dの範囲内の相対密度を有する(第6表参照)。炭素添
加剤量が不充分な場合(実施例23〜26)および炭素
添加剤量が過剰である場合(実施例66と64)と比較
するために実施したテストでは、82〜96チTDとい
う非常に低い相対密度か倚ら才するに1ぎなかった;こ
れらの場合には、型なし熱間均東プレス成形によって再
圧縮はもはや成功しなかった。
す。出発物質としてこのような焼結粉体な用いる場合、
80:20から20:80のSiG :B4Cム量比を
有する炭化物混合物を種々な童の炭素添加剤と、実施例
1および実施例4と同様に混合する(第6表参照)。こ
の炭素添加剤はアセトンに俗解したフェノールホルムア
ルデヒド・ノボラック倒瓶酢液こしておよび付加的にす
る形状(比表面積: 150 m”/))の元素状炭素
として供給する。特にこの場合に、炭化ケイ素、炭化ホ
ウ素および遊離炭素から成る生成混合物中の0.8〜1
4.7ti*の遊離炭素含量に相当する広い範囲で、炭
素添加剤量は変化する。プレス成形用の拘置な混合物か
ら、直径8m、長さ40鵡および55〜65STDの生
密度を有する円筒状成形体をゴム・ケーシング内におい
て500 MPαの圧力下でプレス成形した。生成形体
を焼結し、焼結体を実施例1に述べた方法と同じ方法で
熱間均衡再圧縮したが、実施例61〜64の生成形の4
は1U虚蓋チ以、上の高含址のノボラック添加剤を熱分
解するためにコークス炉で予備加熱した。実施例27〜
52の示すところによると、本発明の方法によると約1
.1〜10貞蓄優の遊離炭素含量を有する成形体を生ず
るような電の炭素含有添加剤によって、多電の炭化ホウ
素含有炭化物混合物を選択するかそれとも多電の炭化ケ
イ素言南灰化物混合物を選択するかに関係なく、緻密性
に関して良好な結果が得られる。この場合に、)IIP
によって再圧縮した焼結体は全て998〜10096T
Dの範囲内の相対密度を有する(第6表参照)。炭素添
加剤量が不充分な場合(実施例23〜26)および炭素
添加剤量が過剰である場合(実施例66と64)と比較
するために実施したテストでは、82〜96チTDとい
う非常に低い相対密度か倚ら才するに1ぎなかった;こ
れらの場合には、型なし熱間均東プレス成形によって再
圧縮はもはや成功しなかった。
焼結粉体の分析
B (mix最) 0.01 76.7S
1. (,1に%) 68.8 0.26
CCkik%> 29.8 20.4XxO
(旧i % ) 0.85 2.3ON
(imp) o、n O,19M!1
(4ml) <0.01 <0.01A7(
重−チ) 0.io 0.01G(L
(julit%) <0.01 (0,0
1Ti (*M%) 0゜05 0.06
Ft (ljiiL%) 0.02 0
.05エ この中0.89%は遊離Cである XX この中0.80 ’96は遊MCである第
2 表 混合体の特悼と焼結結果 l 2 3 4 炭化物栓棒SL”B4”’ 8C):20 60:
40,40:61) 20:8Ll東−此 山元混合物中の遊嘔仄糸” 4.5 5.2
6.0 67<mi%) 生i&1度 60561.1 61.7
622線形収縮(%l 16.4 16
.0 1り7 15.4中−損失(@7.5 8
.b 9.4 10.7非加圧焼結体の相対密度
9’1.7 98,6 98,2 97.7再圧
縮体の相対密1i(IOU、0 99.7 100.
lJ 99.6丙H2縮体の相組成 SiG (*ji % ) 76.8 5
8,6 39.1) 20.(JB4G (ii&
i−’4 ’) 19,2 37.0
56.0 74.5遊啼G (MsM、1)
3.7 4.2 4−7 5.5x B
4 Cr b ’ Cとiu#rs局・ら成る第 6
表 焼結体(S)および焼結再圧縮成形体()IIPs)の
密度2曲げ強さおよび平均構造粒度 l 2 3 4 HIPS−成形体 510 550 493
430第 5 表 焼結粉体の分析 B (11iL+6) 0.01
76.3St (重量1) 69.
1 0.15G (重量1)
30.1” 22.0”0 (重量係
) 0.42 1.05N
(重量−) 0.04 0.22Mg
(重Jt*) <0.01 <
o、otkl (重量%) 0.05
0.02Q、 (重量%)
<0.01 (0,01’I’t (mm
%) o、os O,02Fg
(Ji量係) 0.04 0.02比表
面積 (購ン)) 16,5 21.8X
この中、0.79%は遊離炭素であるXX この中
、0.9596は遊離炭素である
1. (,1に%) 68.8 0.26
CCkik%> 29.8 20.4XxO
(旧i % ) 0.85 2.3ON
(imp) o、n O,19M!1
(4ml) <0.01 <0.01A7(
重−チ) 0.io 0.01G(L
(julit%) <0.01 (0,0
1Ti (*M%) 0゜05 0.06
Ft (ljiiL%) 0.02 0
.05エ この中0.89%は遊離Cである XX この中0.80 ’96は遊MCである第
2 表 混合体の特悼と焼結結果 l 2 3 4 炭化物栓棒SL”B4”’ 8C):20 60:
40,40:61) 20:8Ll東−此 山元混合物中の遊嘔仄糸” 4.5 5.2
6.0 67<mi%) 生i&1度 60561.1 61.7
622線形収縮(%l 16.4 16
.0 1り7 15.4中−損失(@7.5 8
.b 9.4 10.7非加圧焼結体の相対密度
9’1.7 98,6 98,2 97.7再圧
縮体の相対密1i(IOU、0 99.7 100.
lJ 99.6丙H2縮体の相組成 SiG (*ji % ) 76.8 5
8,6 39.1) 20.(JB4G (ii&
i−’4 ’) 19,2 37.0
56.0 74.5遊啼G (MsM、1)
3.7 4.2 4−7 5.5x B
4 Cr b ’ Cとiu#rs局・ら成る第 6
表 焼結体(S)および焼結再圧縮成形体()IIPs)の
密度2曲げ強さおよび平均構造粒度 l 2 3 4 HIPS−成形体 510 550 493
430第 5 表 焼結粉体の分析 B (11iL+6) 0.01
76.3St (重量1) 69.
1 0.15G (重量1)
30.1” 22.0”0 (重量係
) 0.42 1.05N
(重量−) 0.04 0.22Mg
(重Jt*) <0.01 <
o、otkl (重量%) 0.05
0.02Q、 (重量%)
<0.01 (0,01’I’t (mm
%) o、os O,02Fg
(Ji量係) 0.04 0.02比表
面積 (購ン)) 16,5 21.8X
この中、0.79%は遊離炭素であるXX この中
、0.9596は遊離炭素である
第1図は本発明による焼結体の三成分系における和船m
u)14出方法を示す図である。 第2図は本発明による焼結体中の炭化ホウ素含蓋と焼結
密度の関係を示す図である。 第3図は本発明による焼結体の種々な組成における曲げ
強さを示す図である。 第4図は非加圧焼結体(S)と再圧縮成形体(HIPS
)試験片の一定温度における重量増加の時間依存性を酸
化安定性の指椋として示した図である。 」シ?! BORCARBID It量−@/、l−→1: コ 1S+C。 0−&0 1FIr−多 第1頁の続き @発明者 フランツ・イセマン ドイツ連邦共和国オーベルスト ドルフ・アム・ヤウケン12
u)14出方法を示す図である。 第2図は本発明による焼結体中の炭化ホウ素含蓋と焼結
密度の関係を示す図である。 第3図は本発明による焼結体の種々な組成における曲げ
強さを示す図である。 第4図は非加圧焼結体(S)と再圧縮成形体(HIPS
)試験片の一定温度における重量増加の時間依存性を酸
化安定性の指椋として示した図である。 」シ?! BORCARBID It量−@/、l−→1: コ 1S+C。 0−&0 1FIr−多 第1頁の続き @発明者 フランツ・イセマン ドイツ連邦共和国オーベルスト ドルフ・アム・ヤウケン12
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、α−炭化ケイ素、炭化ホウ素および遊離炭素から成
る実際に無孔な多結晶焼結体において、三成分系B/S
i/Cにおけるム量チが次の稜角:a =89.0 %
84G ’29 % Q SxG 11 %
Cb= 90チ84G−89,0チα−8iG −1,
1優Cc = 9. D % B40 81.0 ’
lk α81 G−10,0% Gd=8tOチB4O
−9Qチα−8iC−io、o*cを有する台形によっ
て決定されること、成形体が少なくとも埋−密度の99
%の密度、20μ准以下の平均構造粒度および少なくと
も400 N/i♂の4点曲げ強さを有すること、なら
びにα−災化ケイ素、災化ホウ木、炭素および/または
コークス化すると炭素を形成する有機物質から成るiI
L粒状混合物を、非加圧焼結し、得られた焼結体な次に
圧力伝達媒質とし【不活性ガスを用いる高圧オートクレ
ーブ内での熱間均衡プレス成形により型なし再圧縮する
ととKよって製造されたことを特徴とする焼結体。 2、金属および非金属不純物の含有量の合計が1皇m憾
以下であることな特徴とする特許請求の乾H第1項記載
の焼結体。 3.90:10から10 : 90 ’l) SAC:
B4CmJii比におけるα−炭化ケイ素と炭化ホウ
素の微粒状粉体を、1.5〜12m蓋チの遊離炭素に相
当する崖の、微粒状R素および/または1000Uまで
の一度でコークス化して炭素を形成し得る有機物質の形
の炭素含有添加剤と均質に混合し、この混合機な少なく
とも理論密度の50%の密度を有する生成形体に成形し
、このようにして得られた生成形体を保鏝ガスの存在下
あるいは真空中で1950C〜2150Uの温度におい
て非加圧焼結して少なくとも埋@密度の95優の密度を
有する成形体を形成し、この予備圧縮焼結体を次に18
50〜2150tl:の釦L 少なくともIQMPαの
ガス圧において少なくとも埋−密度の991の密度にな
るまで、型なしで再圧縮することを特徴とする焼結体の
製造方法。 4、炭化ケイ素粉体として、2〜50ng”/!1FI
)比表面積を有する炭化ケイ素粉体な用いることを%′
徴とする%Ift’請求の範囲第6項記載の製造方法。 5、炭化ホウ素粉体として、ポウ木二炭素の原子比が6
,8がら4.2の範囲であり、かつ6〜6゜♂/iの比
表面積を有する炭化ホウ素を用いることを特徴とする特
許請求の範&!i1第6項記載の製造方法。 6、炭素含有添加剤として、す1または10〜400
rx2/lの範囲の比表面積を有するコロイド状黒鉛を
用いることを特徴とする特許請求の範囲第6項記載の製
造方法。 7、炭素含有添加剤として、フェノールホルムアルデヒ
ド縮合生成物またiコールタールピッチを用いることを
特徴とする%ivf請求の範囲第6項記載の製造方法。 8、生の予備成形体を非加圧焼結の萌に、不活性または
還元性雰囲気の存在下で100〜1500Cの範囲の温
度で予備加熱することを特徴とする%ff請求の範囲第
6項記載の製造方法。 9、生の予備成形体の非加圧焼結を約O,IMPαの圧
力における保−ガス雰囲気内で、または<5000Pα
の圧力における真空内で実施することな特徴とする特許
請求の範囲第6項記載の製造方法。 10、予備圧縮焼結体の型なし再圧縮を150〜250
MPαのガス圧ド、2050t:’までの温度におい
て夫りすることを特徴とする請求 第3m記載の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19823218052 DE3218052A1 (de) | 1982-05-13 | 1982-05-13 | Polykristalline, praktisch porenfreie sinterkoerper aus (alpha)-siliciumcarbid, borcarbid und freiem kohlenstoff und verfahren zu ihrer herstellung |
DE32180527 | 1982-05-13 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58204873A true JPS58204873A (ja) | 1983-11-29 |
JPH0253387B2 JPH0253387B2 (ja) | 1990-11-16 |
Family
ID=6163507
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58080257A Granted JPS58204873A (ja) | 1982-05-13 | 1983-05-10 | α−炭化ケイ素,炭化ホウ素および遊離炭素から成る実際に無孔な多結晶焼結体および該焼結体の製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4524138A (ja) |
EP (1) | EP0094591B1 (ja) |
JP (1) | JPS58204873A (ja) |
AT (1) | ATE13416T1 (ja) |
CA (1) | CA1201730A (ja) |
DE (2) | DE3218052A1 (ja) |
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