JPH1177942A - フィルム張付装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フィルム張付装置においてフィルムをラミネ
ーションロールに均一な状態及び温度分布で押し付け
て、基板への張付後の皺発生を防止する。 【解決手段】 フィルム張付装置１０におけるラミネー
ションロール２２Ｂの入側に設けた気体吹き付け部材２
８により、ラミネーションロール２２Ｂと略等しい半径
の凹円弧状面３０の表面の複数の小孔から加圧気体を積
層体フィルム１４に吹き付けて、該積層体フィルム１４
をラミネーションロール２２Ｂに偏りない押し付け状態
及び温度分布状態とする。このとき、前記小孔は、ラミ
ネーションロール円周方向に３列以上配置とし、該ラミ
ネーションロール２２Ｂの中心軸と直交する断面におい
て、複数の小孔が存在しないように配置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、プリント配線板
用基板あるいは液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラ
ス基板に例示される基板の表面にフィルムを張付けるた
めのフィルム張付装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板の製造過程において、プリント配線板用
基板の表面の導電層に、透光性支持フィルム（通常はポ
リエステルに代表される透光性樹脂フィルム）上に直接
又は介在層を介して感光性樹脂層が形成され、且つ、こ
れがカバーフィルムによって覆われた積層体フィルム
を、カバーフィルムを剥して張付ける。そして、この
後、配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフ
ィルム及び前記透光性支持フィルムを通して、感光性樹
脂層を所定時間露光する。次いで、透光性支持フィルム
を剥した後、露光された感光性樹脂層を現像してエッチ
ングマスクパターンを形成し、この後、前記導電層の不
必要部分をエッチングにより除去し、これにより、所定
の配線パターンを有するプリント配線板が形成される。
又、液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラス基板に表
示セルを形成する工程で同様の積層体フィルムが張付け
られる。

【０００３】上記のような積層体フィルムを張り付ける
ためのフィルム張付装置としては、フィルムロールから
連続フィルムを巻き出し、これを、基板搬送面上を搬送
手段により間欠的に順次搬送されてくる複数の基板のフ
ィルム張付面に沿って、その感光性樹脂層が該フィルム
張付面側になるようにして、両者を重ねた状態で加熱さ
れたラミネーションロール間に通し、フィルムを複数の
基板に連続的に熱圧着しつつ基板を搬送するようにし
た、いわゆる連続張りタイプのものがある。

【０００４】又、フィルムロールから巻き出した積層体
フィルムを、対応する基板の長さに応じて切断し、切断
された各積層体フィルムの先端を基板の先端に仮付けし
て、ラミネーションロール間に通して積層体フィルムを
基板に張り付けるようにしたものがある。

【０００５】上記のように、透光性支持フィルムを通し
て感光性樹脂層を露光する場合、透光性支持フィルムを
通過する光がここでわずかに屈折されるので、基板上に
形成されるパターンを高精細化するためには、透光性支
持フィルムにおける屈折をできるだけ低減させる必要が
あり、このために、該透光性支持フィルムを薄くするよ
うになっている。

【０００６】ところが、透光性支持フィルムを、例えば
厚さ２０μｍ以下に薄くすると、フィルム表面にわずか
な温度分布のむらが発生しても、該フィルムを基板表面
に、加熱されたラミネーションロール（温度は通常１０
０℃〜１５０℃）によって張り付けた場合に微小な皺等
の不均一表面が発生し易くなるという問題点がある。

【０００７】従って、積層体フィルムを、ラミネーショ
ンロール通過の際にその表面における温度分布を均一に
する必要がある。

【０００８】このための手段としては、従来、例えば特
開平９−１１７９６１号公報に開示されるように、積層
体フィルムを対応する基板の長さに応じて切断してから
基板に張り付けるタイプのフィルム張付装置において、
ラミネーションロールに密着し難いフィルム後端部を、
ラミネーションロールの表面の曲面と実質的に同じ曲面
形状の気体吹き出し面を持ち、且つラミネーションロー
ルに対して前進と後退が可能なフィルムシート後端部保
持装置を設けて、積層体フィルム後端の、ラミネーショ
ンロールへの密着を補助するようにしたものがある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようなフィルムシート後端部保持装置を、いわゆる連続
張りタイプのフィルム張付装置に適用しようとすると、
積層体フィルムの送り方向の筋状のしわや、気泡が発生
してしまうという問題点を生じる。

【００１０】又、前記フィルムシート後端部保持装置
は、単に気体吹き出し面をラミネーションロールに対し
て進退させるのみの構成であるので、ラミネーションロ
ール表面との距離の制御が困難であり、積層体フィルム
表面における温度分布、特にフィルム送り方向の温度分
布が不均一となり易いという問題点がある。

【００１１】又、前述のように、上記フィルムシート後
端部保持装置は、あくまでも積層体フィルムを基板の長
さに応じて切断した場合、そのフィルム後端部をラミネ
ーションロールに押し付けるためのものであるので、基
板を間欠的且つ連続的に搬送しつつ、これら複数の基板
にフィルムを連続的に張り付ける、いわゆる連続張りタ
イプに用いた場合であって、更にフィルムを基板の下側
に張り付ける場合、基板を案内するための搬送ローラ
と、フィルムシート後端部保持装置とが干渉してしまう
ことから、該フィルムシート後端部保持装置近傍の搬送
ローラを省略しなければならないが、このようにする
と、基板を連続的に搬送する場合に、ラミネーションロ
ール入側近傍におけるガイドローラが不足するために、
基板を基板搬送面に沿って円滑に搬送することができな
いという問題点が生じてしまう。

【００１２】この発明は、上記従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、連続張りタイプのものであって
も、積層体フィルムを基板に張り付けたとき、しわや気
泡が発生しないようにしたフィルム張付装置を提供する
ことを目的とする。

【００１３】又、フィルムを基板の下側に張り付ける場
合に用いても、基板を安定して案内することができるよ
うにした、フィルム張付装置を提供することを目的とす
る。

【００１４】

【課題を解決するための手段】この発明は、本発明者の
分析の結果、前記しわや気泡の原因が、気体が、積層体
フィルムをその幅方向に偏りなくラミネーションロール
に押し付け、且つ、冷却していないためであるとの知見
に到達したことにもとづくものである。

【００１５】すなわち、積層体フィルムをラミネーショ
ンロールに押し付ける気体によって、積層体フィルムの
幅方向一部のみが押し付けられ、且つ、過剰に冷却され
た結果、積層体フィルムがその幅方向に、応力及び熱の
ばらつきを生じ、そのままラミネーションロールによっ
て基板に圧着されると、幅方向に十分に引張られていな
い部分及び過剰に冷却されていて熱による伸び代が大き
い部分にしわや気泡が発生する。

【００１６】なお、前記フィルムシート後端部保持装置
により、積層体フィルムの後端部のみをラミネーション
ロールに押し付ける場合は、冷却される範囲が短く、
又、パターン形成領域外の部分が多いので問題が生じな
い。

【００１７】この発明は、請求項１のように、回転する
一対の加熱されたラミネーションロール間に、基板搬送
面に沿って基板を送り込み、且つ、該基板のフィルム張
付面側のラミネーションロールの外周に沿って、前記基
板と同期して、前記フィルム張付面に重なるようにして
フィルムを送り込み、該フィルムを前記フィルム張付面
に張り付けるフィルム張付装置において、前記フィルム
張付面側のラミネーションロールにおけるフィルム入側
の円周角が３０°〜９０°の範囲の外周面と前記基板搬
送面との間の隙間に出入り自在であって、前記外周面と
略等しい半径の凹円弧状面と、この凹円弧状面に形成さ
れ、気体を吹き出す多数の小孔とを備えた気体吹き付け
部材を設けてなり、前記小孔は凹円弧状面における円周
方向に３列以上に配置され、且つ、各小孔は、前記ラミ
ネーションロールの回転中心軸と直交する同一断面内に
１個のみ存在するように配置されたことを特徴とするフ
ィルム張付装置により、上記目的を達成するものであ
る。

【００１８】又、請求項２のように、回転する一対の加
熱されたラミネーションロール間に、基板搬送面に沿っ
て基板を送り込み、且つ、該基板のフィルム張付面側の
ラミネーションロールの外周に沿って、前記基板と同期
して、前記フィルム張付面に重なるようにしてフィルム
を送り込み、該フィルムを前記フィルム張付面に張り付
けるフィルム張付装置において、前記フィルム張付面側
のラミネーションロールにおけるフィルム入側の円周角
が３０°〜９０°の範囲の外周面と前記基板搬送面との
間の隙間に出入り自在であって、前記外周面と略等しい
半径の凹円弧状面と、この凹円弧状面に形成され、気体
を吹き出す多数の小孔とを備えた気体吹き付け部材を設
けてなり、該気体吹き付け部材は、前記フィルム張付面
側のラミネーションロールの軸方向両端近傍位置での外
周面に転接可能であって、転接時に凹円弧状面と前記外
周面間の距離を所定値に維持する一対の位置決めローラ
を備えたことを特徴とするフィルム張付装置により、上
記目的を達成するものである。

【００１９】請求項３のように、前記小孔は凹円弧状面
における円周方向に３列以上に配置され、且つ、各小孔
は、前記ラミネーションロールの回転中心軸と直交する
同一断面内に１個のみ存在するように配置するようにし
てもよい。

【００２０】更に、請求項４のように、前記気体吹き付
け部材は、前記位置決めローラと反対側であって、且
つ、前記基板搬送面に沿う位置に、前記一対のラミネー
ションロール間に基板先端を案内するガイドローラを備
えるようにしてもよい。

【００２１】この発明においては、フィルムをラミネー
ションロールに押し付けるようにフィルムに対して気体
を吹き付けるための多数の小孔は、ラミネーションロー
ルの回転中心軸と直交する同一断面内に１個のみ存在す
るように配置したので、吹き付けられる気体によってフ
ィルムがその幅方向に偏りなくラミネーションローラに
押し付けられ、又フィルム送り方向の線状に過冷却され
ることがない。

【００２２】又、気体吹き付け部材に、ラミネーション
ロールに転接する位置決めローラを設けて、気体吹き付
け部材とラミネーションロールとの距離を、ラミネーシ
ョンロール回転中に常時最適値に設定することができ
る。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例を図
面を参照して説明する。

【００２４】この発明に係るフィルム張付装置１０は、
図１に示されるように、フィルム供給源であるフィルム
ロール１２から積層体フィルム１４を巻き出し、該積層
体フィルム１４を構成するカバーフィルム１４Ｃ（後
述）をカバーフィルム剥離装置１６によって剥離した
後、基板搬送装置１８によって順次間欠的に搬送されて
くる複数の基板２０の下面に重ねて、該基板２０と共に
上下一対のラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間に通
して基板２０に積層体フィルム１４を圧着するようにさ
れている。

【００２５】前記積層体フィルム１４は、図２に示され
るように、透光性支持フィルム１４Ａ、この透光性支持
フィルム１４Ａに積層された感光性樹脂層１４Ｂ、及
び、この感光性樹脂層１４Ｂを被って積層されたカバー
フィルム１４Ｃからなり、帯状に巻かれたフィルムロー
ル１２から連続的に巻き出されるようになっている。こ
こで、透光性支持フィルム１４Ａにおける「透光性」と
は、感光性樹脂層１４Ｂを露光させる光あるいはビー
ム、即ち、可視光線、紫外光、Ｘ線、電子線等を透過で
きることを意味する。

【００２６】前記カバーフィルム剥離装置１６は、分離
部材１６Ａを経て感光性樹脂層１４Ｂから引き剥がした
カバーフィルム１４Ｃを巻き取りロール１６Ｂによって
巻き取るようにされている。

【００２７】積層体フィルム１４は、カバーフィルム１
４Ｃが剥離されて感光性樹脂層１４Ｂが露出した状態
で、該感光性樹脂層１４Ｂ側を基板２０の下側面に向け
て圧着される。

【００２８】前記基板搬送装置１８は、複数の搬送ロー
ラ１９を含んで構成され、各搬送ローラ１９の上面によ
って構成される基板搬送面１８Ａが、前記一対のラミネ
ーションロール２２Ａ、２２Ｂにおける下側のラミネー
ションロール２２Ｂの上端に接して通過するように配置
されている。なお、搬送ローラ１９は、円盤状であり、
基板２０の幅方向両端部のみをその下側から、円盤の外
周面により回転しつつ支持するものである。

【００２９】ラミネーションロール２２Ａは、ロール開
閉装置２６によって、図１で実線で示される「開」状態
で待機され、基板２０の先端から後端がラミネーション
ロール２２Ａ、２２Ｂ間を通過するとき、２点鎖線で示
される「閉」位置に駆動され、基板２０と、カバーフィ
ルム１４Ｃが剥離された積層体フィルム１４とを挟み込
むようにされている。

【００３０】ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂとし
ては、ヒータを内蔵した金属製円筒部材の表面を耐熱性
ゴムにより例えば厚さ２ｍｍ程度で被覆し、直径は８０
〜１６０ｍｍ、長さ５００〜１２００ｍｍのものが通常
使用される。

【００３１】又、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ
によるフィルム圧着の圧力は計算上４ｋｇ／ｃｍ〜２０
ｋｇ／ｃｍ、フィルム張付速度は通常０．５〜２ｍ／分
とする。更に、上記直径はロール軸方向に等しくしても
よいが、ロール軸方向中央部のたわみを考慮して、中央
部の直径を軸方向両端よりもわずかに大きくしてもよ
い。

【００３２】前記ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ
の基板搬送方向入側には、カバーフィルム１４Ｃが剥離
された積層体フィルム１４を下側のラミネーションロー
ル２２Ｂの外周面に押し付けるように積層体フィルム１
４に気体を吹き付けるための気体吹き付け部材２８が設
けられている。

【００３３】この気体吹き付け部材２８は、図３〜図
５、特に図５に拡大して示されるように、ラミネーショ
ンロール２２Ｂにおけるフィルム入側の略３０°の円周
角の範囲の外周面と前記基板搬送面１８Ａとの間の略三
角形状の隙間に、基板搬送方向に出入り自在であって、
前記ラミネーションロール２２Ｂと略等しい半径の凹円
弧状面３０及びこの凹円弧状面３０に形成され、気体を
吹き出す多数の小孔３２を備えている。

【００３４】前記小孔３２は、図３に示されるように、
ラミネーションロール２２Ｂの円周方向に５列に、且
つ、各列において複数配置され、更に、ラミネーション
ロール２２Ｂの回転中心軸と直交する同一断面内に複数
の小孔３２が存在しないように、基板幅方向（ラミネー
ションロール軸方向）に位置調整して配置されている。

【００３５】更に詳細には、各小孔３２は基板幅方向中
心位置に対して左右対称に、且つ、図３に示されるよう
に、水平線に対して、約３０°に傾斜した仮想傾斜線３
３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃ……上に等ピッチで位置するよう
に配置されている。

【００３６】前記気体吹き付け部材２８は、図１に示さ
れるように、エアシリンダ装置３４によって前記基板搬
送面１８Ａに沿って、且つラミネーションロール２２Ｂ
に対して進退自在とされ、図１の実線で示されるよう
に、ラミネーションロール２２Ｂから離間した待機位置
と、図１において二点鎖線及び図５、図６に示されるよ
うに、ラミネーションロール２２Ｂに最も接近した状態
である吹き付け位置との間で移動されるようになってい
る。

【００３７】又、前記気体吹き付け部材２８には、基板
２０の幅方向両外側となる位置に、吹き付け位置で、前
記ラミネーションロール２２Ｂに外接して、該ラミネー
ションロール２２Ｂが回転するとき、これに転接する左
右一対の位置決めローラ３６が設けられている。

【００３８】この位置決めローラ３６は、ラミネーショ
ンロール２２Ｂに転接することによって、前記凹円弧状
面３０と該ラミネーションロール２２Ｂの外周との隙間
が最適値となるように設定されている。

【００３９】又、前記吹き付け部材２８の、ラミネーシ
ョンロール２２Ｂと反対側の位置には、前記基板搬送面
１８Ａに対して下方からこれに外接する位置にガイドロ
ーラ３８が設けられている。

【００４０】このガイドローラ３８は、基板搬送装置１
８における搬送ローラ１９と略同一サイズで基板幅方向
に同一位置に配置され、基板搬送装置１８と共に基板搬
送面１８Ａを形成するようにされている。なお図６に示
されるように、ガイドローラ３８の上端は基板搬送面１
８Ａよりもやや低くされているが、これは垂れ下がって
進行してくる基板２０の先端をガイドできるようにする
ためである。

【００４１】前記気体吹き付け部材２８は、図５に拡大
して示されるように、加圧気体導入管４０によって加圧
気体が導入される圧力室４２を備え、前記小孔３２は、
一端がこの圧力室４２に開口され、他端が凹円弧状面３
０に開口されている。又、各小孔３２は、図５に示され
るように、ラミネーションロール２２Ｂに最接近した吹
き付け位置において、その軸線即ち気体吹き出し方向が
ラミネーションロール２２Ｂの中心２３に向かうように
形成されている。

【００４２】図１、図３、図４、図６及び図７における
符号４４は、気体吹き付け部材２８の左右両端位置に配
置され、前記位置決めローラ３６及びガイドローラ３８
を支持するためのローラ支持部材を示す。

【００４３】このローラ支持部材４４は、図４に示され
るように、平面視で略Ｌ字形状とされ、気体吹き付け部
材２８の後端から突出した端部に、ラミネーションロー
ル２２Ｂと平行な支持軸３８Ａを支持し、ここに、前記
ガイドローラ３８を回転自在に支持するものである。な
お、図４においてガイドローラ３８は一対のカラー３８
Ｂにより、ラミネーションロール２２Ｂに沿って基板幅
方向に位置調節して固定されるようになっている。

【００４４】又、図３〜図５及び図７において、符号４
６は前記圧力室４２を形成する空間を上方から閉じる蓋
体を示す。この蓋体４６は、薄い板状であって、この上
側に前記基板搬送面１８Ａが通過するようにして、基板
２０との干渉を回避するようにされている。蓋体４６は
気体吹付部材２８に沈頭皿ねじ４６Ａによりねじ止めさ
れている。図３、図４の符号４７は、加圧気体導入管４
０が設けられるとともに、蓋体４６の幅方向両端を位置
決め固定するための取付部材を示す。

【００４５】又、図１の符号４８はフィルムガイドロー
ルを示す。このフィルムガイドロール４８は、前記下側
のラミネーションロール２２Ｂの入側近傍位置に配置さ
れ、図１において実線で示される位置に駆動装置（図示
省略）によって駆動されたとき、ラミネーションロール
２２Ａ、２２Ｂに対して積層体フィルム１４が非接触と
なるように、これを案内し、又図１の二点鎖線の位置に
駆動されたとき、積層体フィルム１４が下側のラミネー
ションロール２２Ｂに巻き掛けられるようにするもので
ある。

【００４６】又、図１の符号５０は、前記ガイドロール
４８とフィルム分離部材１６Ａとの間で、積層体フィル
ム１４が巻き掛けられる固定ガイドロールを示す。

【００４７】この固定ガイドロール５０は、積層体フィ
ルム１４を案内する機能のみを有するものでもよいが、
これに加え、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂに送
り込まれる積層体フィルム１４の張力を一定に制御する
機能も備えるようにすると好ましい。

【００４８】この場合、例えば特開平９−１７４７９７
号公報に開示されるように、表面に負圧が印加される多
数の細孔を備えた回転ドラムを用い、負圧により積層体
フィルムを吸引しつつ送る。

【００４９】次に、上記フィルム張付装置１０の作用に
ついて説明する。

【００５０】フィルムロール１２から巻き出した積層体
フィルム１４の先端からカバーフィルム１４Ｃを剥離し
て、カバーフィルム剥離装置１６によって巻き取るよう
にしておいて、該カバーフィルム１４Ｃが剥離された積
層体フィルム１４を、図１の実線で示されるように、フ
ィルムガイドロール４８に、透光性支持フィルム１４Ａ
側を接触させた状態で巻き掛ける。

【００５１】次に、積層体フィルム１４と同期しつつ基
板２０を図１において右方向に搬送開始する。

【００５２】同時に、前記フィルムガイドロール４８を
図１において二点鎖線の待機位置まで揺動させ、積層体
フィルム１４がラミネーションロール２２Ｂに巻き掛か
るようにする。次に、基板２０が搬送されてくると同時
又は搬送されてくる前に、エアシリンダ装置３４によっ
て気体吹き付け部材２８を図１の実線の位置から二点鎖
線の位置（図６参照）にまで前進させる。このとき、位
置決めローラ３６がラミネーションロール２２Ｂの外周
に接触した時点で、エアシリンダ装置３４を停止させ
る。

【００５３】従って、気体吹き付け部材２８における凹
円弧状面３０と、ラミネーションロル２２Ｂとの隙間が
最適な状態にセットされることになる。

【００５４】この状態で、加圧気体導入管４０から、例
えば圧縮空気等の加圧気体を圧力室４２内に導入し、凹
円弧状面３０における各小孔３２から加圧気体を噴出さ
せる。

【００５５】従って、カバーフィルム１４Ｃが剥離され
た状態の積層体フィルム１４は、各小孔３２から噴出す
る加圧気体によってラミネーションロール２２Ｂの表面
に押し付けられる。

【００５６】前述のように、小孔３２はラミネーション
ロール２２Ｂの回転方向に５列であって、どの列の小孔
３２も、他の列の小孔３２とラミネーションロール２２
Ｂの軸方向位置が一致しないように配置されているの
で、積層体フィルム１４は、ラミネーションロール２２
Ｂ軸方向の特定の位置で、他の軸方向位置よりも過剰に
冷却されることがない。

【００５７】従って、積層体フィルム１４は、吹き付け
部材２８の凹円弧状面３０の位置で、小孔３２から噴き
出す加圧気体により、ラミネーションロール２２Ｂの軸
方向（基板幅方向）に偏りなくラミネーションロール２
２Ｂ表面に押圧され、且つ、冷却される。

【００５８】このように、ラミネーションロール２２Ｂ
に偏りなく押圧された状態の積層体フィルム１４は、そ
の感光性樹脂層１４Ｂを外側にして、ラミネーションロ
ール２２Ｂと共に回転し、基板搬送面１８Ａに沿って搬
送されてくる基板２０と共にラミネーションロール２２
Ａ、２２Ｂ間の位置に至る。

【００５９】基板２０の先端がラミネーションロール２
２Ａ、２２Ｂの間の位置に到達すると、ロール開閉装置
２６によって上側のラミネーションロール２２Ａが図１
の実線の位置から、図１で２点鎖線で示される位置（図
６の位置）に駆動され、ラミネーションロール２２Ｂと
の間に、基板２０及び積層体フィルム１４を挟み込み、
これによって、カバーフィルム１４Ｃが剥離された積層
体フィルム１４は、感光性樹脂層１４Ｂ側において、基
板２０の下側面に圧着される。

【００６０】前述の如く、積層体フィルムは、基板幅方
向に偏りなくラミネーションロール２２Ｂに押し付けら
れ、且つ温度分布も偏りなく、ヒートスポットがないの
で、基板２０に張り付けられた後、皺が発生したりする
ことがない。

【００６１】なお、上記位置決めローラ３６によって決
定される凹円弧状面３０とラミネーションロール２２Ｂ
表面との隙間は、通常１〜５ｍｍであり、前記凹円弧状
面３０の、ラミネーションロール２２Ｂの円周方向の範
囲は、該ラミネーションロール２２Ｂの円周角が３０°
〜９０°の範囲であればよい。

【００６２】又、小孔３２が形成されている凹円弧状面
３０の基板幅方向範囲は、積層体フィルム１４の全幅を
被う長さ又はそれよりも若干長い範囲とする。

【００６３】例えば、積層体フィルム１４の幅が６４０
ｍｍのとき、凹円弧状面３０の小孔３２が設けられてい
る幅方向範囲は７００ｍｍとする。更に、前記小孔３２
は、その孔径が通常１〜３ｍｍ、好ましくは２ｍｍ程度
とする。

【００６４】又、上記小孔３２の、ラミネーションロー
ル円周方向の列数は５列とされているが、本発明はこれ
に限定されるものでなく、３列以上であればよい。

【００６５】更に、凹円弧状面３０における小孔３２の
総開孔面積は、凹円弧状面３０と、これと対向するラミ
ネーションロールとの間のスペース（隙間）の四周（隙
間の上下左右の開口部）の総面積に対して２５〜５０％
に設定するとよい。

【００６６】又、小孔３２から噴出させる気体は、積層
体フィルム１４や周囲の部材との間で化学反応を起こす
ような気体でない限り、特に限定されない。例えば、窒
素ガス、二酸化炭素等が用いられ、通常は空気が用いら
れる。

【００６７】又、噴出気体の温度は、加圧気体導入管４
０に供給する位置で２０℃〜５０℃とする。この場合、
気体吹き付け部材２８はラミネーションロール２２Ａ、
２２Ｂからの熱を受けて加熱されるので、小孔３２から
噴出されるときの加圧気体は前記供給温度よりも若干昇
温された状態となる。

【００６８】又、小孔３２から噴出される気体は、積層
体フィルム１４をラミネーションロール２２Ｂに吹き付
けなければならないので、その噴出圧力が問題となる
が、通常は、０．５〜３ｋｇｆ／ｃｍ² が望ましい。

【００６９】又、上記実施の形態の例においては、前記
小孔３２はラミネーションロール２２Ｂの軸方向及び円
周方向共に均一に加圧気体を噴出するようにされている
が、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば、ラ
ミネーションロール２２Ｂの軸方向中央部の表面に沿っ
て流れる加圧気体の流量が、軸方向両端近傍よりも少な
いので、この部分での積層体フィルム１４をラミネーシ
ョンロール２２Ｂに押し付ける力及び冷却が不十分とな
る可能性がある。

【００７０】従って、この場合は、例えば図７に示され
るように、小孔３２の孔径をラミネーションロール２２
Ｂの軸方向両端近傍よりも中央部側の方が大きくなるよ
うに設定して、該中央部側からの加圧気体の流量を多く
し、押し付ける力及び冷却が均一になるようにしてもよ
い。

【００７１】又、ラミネーションロール２２Ｂ軸方向中
央部における加圧気体の噴出量を増大する手段として、
該中央部近傍での小孔３２の配設密度を両端近傍よりも
大にしてもよい。更に、例えば前記圧力室４２をラミネ
ーションロール２２Ｂ軸方向に複数に分割し、且つ、軸
方向中央部における加圧気体の圧力を高くして、噴出量
を他の部分よりも増大するようにしてもよい。

【００７２】又、前記気体吹き付け部材２８は、蓋体４
６の上側近傍に、前記基板搬送面１８Ａが位置するよう
に配置しているが、基板２０が薄くて、その幅方向中央
部が垂れ下がり易い場合は、これとの干渉を回避するた
めに、図８に示されるように、図１と比較して下方に位
置させてもよい。なお、ガイドローラ３８は基板搬送面
１８Ａの位置にしておく。

【００７３】この場合、図１の気体吹き付け部材２８を
そのまま下方にずらすと、図８のように凹円弧上面３０
とラミネーションロール２２Ｂとの隙間３１の下端が広
く、上端が狭くなる。従って、小孔３２から噴出した気
体の大部分が隙間３１の下端から排出され、この際に積
層体フィルム１４を、一対のラミネーションロール２２
Ａ、２２Ｂの接触部から、しわ伸ばしするように加圧気
体が作用し、積層体フィルム１４をより偏りなくラミネ
ーションロール２２Ｂに押し付けることができる。な
お、隙間３１の上端を広く、下端を狭くしてもよい。

【００７４】上記位置決めローラ３６は、加熱されるラ
ミネーションロール２２Ｂと転接するので、金属あるい
は、耐熱性に優れた弗素樹脂、ポリエーテルエーテルケ
トン等の合成樹脂を用いるとよい。又、前記ガイドロー
ラ３８も、位置決めローラ３６と同様の材質で構成する
とよい。

【００７５】又、気体吹き付け部材２８のガイド機構の
剛性が充分に大きい場合は、図８に示されるようにガイ
ドローラ３８を省略してもよい。

【００７６】又、上記各実施の形態の例においては、基
板２０に張り付けられる積層体フィルム１４は、カバー
フィルム１４Ｃを剥離して感光性樹脂層１４Ｂを露出し
た状態のものであるが、本発明はこれに限定されるもの
でなく、感光性樹脂層等の粘着力によることなく、その
フィルムを基板に張り付ける場合についても一般的に適
用されるものである。更にフィルムを基板の上面に張り
付ける場合についても当然適用されるものである。

【００７７】

【発明の効果】本発明は、上記のように構成したので、
薄いフィルムをその幅方向に偏りがなく押圧した状態及
び温度分布状態で基板に張り付けることができるという
優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の例に係るフィルム張付装
置を示す略示側面図

【図２】同フィルム張付装置によって基板に張り付けら
れる前のフィルムを拡大して示す断面図

【図３】同フィルム張付装置における気体吹き付け部材
を示す第１図のIII −III 線に沿う拡大断面図

【図４】図１のIV−IV線に沿う拡大断面図

【図５】気体吹き付け部材とラミネーションロールとの
関係を拡大して示す断面図

【図６】気体吹き付け部材によりフィルムに気体を吹き
付ける状態を示す拡大側面図

【図７】本発明の他の実施の形態の例に係る気体吹き付
け部材を示す図３と同様の側面図

【図８】本発明の更に他の実施の形態の例を示す図５と
同様の断面図

【符号の説明】

１０…フィルム張付装置 １４…積層体フィルム １８…基板搬送装置 １８Ａ…基板搬送面 ２０…基板 ２２Ａ、２２Ｂ…ラミネーションロール ２３…中心 ２６…ロール開閉装置 ２８…気体吹き付け部材 ３０…凹円弧状面 ３２…小孔 ３４…エアシリンダ装置 ３６…位置決めローラ ３８…ガイドローラ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】回転する一対の加熱されたラミネーション
   ロール間に、基板搬送面に沿って基板を送り込み、且
   つ、該基板のフィルム張付面側のラミネーションロール
   の外周に沿って、前記基板と同期して、前記フィルム張
   付面に重なるようにしてフィルムを送り込み、該フィル
   ムを前記フィルム張付面に張り付けるフィルム張付装置
   において、前記フィルム張付面側のラミネーションロー
   ルにおけるフィルム入側の円周角が３０°〜９０°の範
   囲の外周面と前記基板搬送面との間の隙間に出入り自在
   であって、前記外周面と略等しい半径の凹円弧状面と、
   この凹円弧状面に形成され、気体を吹き出す多数の小孔
   とを備えた気体吹き付け部材を設けてなり、前記小孔は
   凹円弧状面における円周方向に３列以上に配置され、且
   つ、各小孔は、前記ラミネーションロールの回転中心軸
   と直交する同一断面内に１個のみ存在するように配置さ
   れたことを特徴とするフィルム張付装置。
2. 【請求項２】回転する一対の加熱されたラミネーション
   ロール間に、基板搬送面に沿って基板を送り込み、且
   つ、該基板のフィルム張付面側のラミネーションロール
   の外周に沿って、前記基板と同期して、前記フィルム張
   付面に重なるようにしてフィルムを送り込み、該フィル
   ムを前記フィルム張付面に張り付けるフィルム張付装置
   において、前記フィルム張付面側のラミネーションロー
   ルにおけるフィルム入側の円周角が３０°〜９０°の範
   囲の外周面と前記基板搬送面との間の隙間に出入り自在
   であって、前記外周面と略等しい半径の凹円弧状面と、
   この凹円弧状面に形成され、気体を吹き出す多数の小孔
   とを備えた気体吹き付け部材を設けてなり、該気体吹き
   付け部材は、前記フィルム張付面側のラミネーションロ
   ールの軸方向両端近傍位置での外周面に転接可能であっ
   て、転接時に凹円弧状面と前記外周面間の距離を所定値
   に維持する一対の位置決めローラを備えたことを特徴と
   するフィルム張付装置。
3. 【請求項３】請求項２において、前記小孔は凹円弧状面
   における円周方向に３列以上に配置され、且つ、各小孔
   は、前記ラミネーションロールの回転中心軸と直交する
   同一断面内に１個のみ存在するように配置されたことを
   特徴とするフィルム張付装置。
4. 【請求項４】請求項２又は３において、前記気体吹き付
   け部材は、前記位置決めローラと反対側であって、且
   つ、前記基板搬送面に沿う位置に、前記一対のラミネー
   ションロール間に基板先端を案内するガイドローラを備
   えたことを特徴とするフィルム張付装置。