KR100626898B1 - 라미네이트 방법 - Google Patents

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마사미 히라모토
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가시오 마이크로닉스 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 라미네이트 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 의한 라미네이트 장치는 테이프형의 캐리어 테이프(20)를 길이 방향(F)으로 반송하는 반송 롤러(30, 32, 34, 36)와, 반송 롤러(30, 32, 34, 36)에 의해 반송되는 캐리어 테이프(20)를 롤러면에 있어서 가열하는 가열·가압 롤러(42, 44)와, 캐리어 테이프(20)가 가열·가압 롤러(42, 44)의 롤러면에 접촉하는 접촉 면적을 조정하는 반송 경로 변경 롤러(40)를 구비하여, 캐리어 테이프 등의 테이프형의 피가열가압체를 길이 방향으로 반송시키면서 연속적으로 가열하는 경우라도 가열 조건을 용이하게 미세 조정하는 것을 특징으로 한다.

Description

라미네이트 방법{LAMINATING METHOD}
도 1은 기판의 폭 방향을 따른 2층 캐리어 테이프의 입단면도,
도 2는 기판의 폭 방향을 따른 3층 캐리어 테이프의 입단면도,
도 3은 포토레지스트 도포시에 있어서의 기판의 입단면도,
도 4는 노광시에 있어서의 기판의 입단면도,
도 5는 현상시에 있어서의 기판의 입단면도,
도 6은 에칭시에 있어서의 기판의 입단면도,
도 7은 종래 기술에 의한 라미네이트 장치에 대한 시스템 구성도,
도 8은 제1 실시예에 따른 라미네이트 방법을 이용한 라미네이트 장치의 일례를 나타낸 시스템 구성도,
도 9는 폴리이미드 등의 절연층의 표면측에 구리 등의 도체층이 적층된 캐리어 테이프의 일례를 나타낸 입단면도,
도 10은 제1 실시예에 따른 라미네이트 방법을 이용한 라미네이트 장치에 있어서 반송 경로 변경 롤러의 기능을 설명하기 위한 시스템 구성도,
도 11은 제2 실시예에 따른 라미네이트 방법을 이용한 라미네이트 장치의 일례를 나타낸 시스템 구성도,
도 12는 제3 실시예에 따른 라미네이트 방법을 이용한 라미네이트 장치의 일 례를 나타낸 시스템 구성도,
도 13은 제4 실시예에 따른 라미네이트 방법을 이용한 라미네이트 장치의 일례를 나타낸 시스템 구성도,
도 14는 제5 실시예에 따른 라미네이트 방법을 이용한 라미네이트 장치의 일례를 나타낸 시스템 구성도,
도 15는 제6 실시예에 따른 라미네이트 방법을 이용한 라미네이트 장치의 일례를 나타낸 시스템 구성도,
도 16은 제7 실시예에 따른 라미네이트 방법을 이용한 라미네이트 장치의 일례를 나타낸 시스템 구성도,
도 17은 레지스트가 배치된 캐리어 테이프의 일례를 나타낸 평면도,
도 18은 레지스트가 배치된 캐리어 테이프의 일례를 나타낸 입단면도,
도 19는 가압 패턴의 일례를 나타낸 그래프이다.
본 발명은 캐리어 테이프 등의 테이프형 피가열가압체를 길이 방향으로 반송시키면서 연속적으로 가열·가압하는 라미네이트 방법에 관한 것이다.
예컨대, TAB용의 캐리어 테이프, COF(Chip On Film)용의 캐리어 테이프, FPCs(Flexible Print Circuits) 등과 같은 프린트 배선 기판은 모니터, 휴대기기 등의 액정 드라이버나 반도체 IC 또는 부품끼리를 실장하는 케이블 등과 같은 다양 한 용도로 사용되고 있다.
도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 이런 유형의 프린트 배선 기판은 일반적으로, 예를 들면, 동박면으로 이루어지는 도체층에 포토레지스트(감광제) 등을 도포하여 배선 회로 패턴을 감광(노광)시키고, 현상하고, 에칭하는 단계를 거쳐 배선 회로가 형성되고 있다.
도 1 및 도 2는 기판 폭 방향을 따른 단면도이다. 도 1은 2층 캐리어 테이프의 일례이며, 프린트 배선 기판의 기재(base)(14)가 되는 폴리이미드 등의 절연층(10)에 소정의 배선 회로 패턴으로 형성되는 예컨대 구리로 이루어지는 도체층(12)이 적층되고, 도체층(12)의 표면이 탈지, 화학 연마 등에 의해 세정된다. 구리로 이루어지는 도체층(12) 두께의 일례로는 8∼12 ㎛ 정도이고, 폴리이미드로 이루어지는 절연층(10) 두께의 일례로는 25∼50 ㎛ 정도이다.
한편, 도 2는 절연층(10)과 도체층(12)을 접착하는 접착제층(16)을 절연층(10) 및 도체층(12) 사이에 마련한 3층 캐리어 테이프의 일례이다. 이 경우, 구리로 이루어지는 도체층(12) 두께의 일례로는 15∼25 ㎛ 정도이고, 폴리이미드로 이루어지는 절연층(10) 두께의 일례로는 75 ㎛ 정도이며, 접착제층(16) 두께의 일례로는 12 ㎛정도이다.
이와 같은 2층 및 3층 캐리어 테이프의 테이프 폭은 약 35∼350 ㎜ 정도이고, 테이프 길이는 약 100∼400 m 정도이며, 테이프 길이 방향 양측에 Reel-to-Reel 반송용의 스프로켓 홀(18)이 일정 간격으로 마련되어 있다.
이어서, 도 3에 도시된 바와 같이, 도체층(12)의 표면의 스프로켓 홀(18)이 형성된 테이프 사이드를 제외하고 두께 약 4 ㎛의 포토레지스트(19)가 도포된다. 이 후, 도 4에 도시된 바와 같이, 소정의 배선 회로 패턴이 형성된 포토마스크(21)를 통해 포토레지스트(19)로 자외선(23)이 조사된다. 이로써, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 배선 회로 패턴이 포토레지스트(19)에 프린트된다.
그리고, 도 5에 도시된 바와 같이, 현상액을 이용하여 포토레지스트(19)를 현상함으로써 배선 회로 패턴에 상당하는 부위의 포토레지스트(19(#a))가 남는다. 더욱이, 도 6에 도시된 바와 같이, 에칭액(27)을 딥 또는 스프레이 등의 방식으로 에칭 처리를 실시한다. 도 5에 형성된 배선 회로 패턴부는 포토레지스트(19(#a))에 의해 덮여 있어 에칭액이 닿지 않기 때문에, 도체층(12)이 개구된 부위만 에칭이 진행되어 최종적으로 도 6에 도시된 바와 같이, 배선 회로 패턴 이외의 부위에 있어서의 도체층(12)이 제거된다. 이 후, 남은 포토레지스트(19(#a))가 박리됨으로써, 절연층(10) 상에 소정의 배선 회로 패턴으로 형성된 도체층(12(#a))을 얻을 수 있다.
이미 설명한 바와 같이, 2층 캐리어 테이프의 경우, 도체층(12)인 동박의 대부분은 두께 약 8 ㎛∼12 ㎛인 것이 사용되고 있다. 동박 두께가 두꺼울수록 파인(fine) 배선 피치를 획득하는 것이 어려우며, 얇을수록 파인 배선 피치 패턴이 형성되기 쉽다는 메리트가 있다. 한편, 3층 캐리어 테이프에서는 도체층(12)인 동박의 대부분은 15 ㎛∼25 ㎛인 것이 사용되고 있는데, 파인 패턴이 형성되지 않고, 파인 배선 피치를 획득하기에 적합하지 않다. 이런 이유로, 2층 캐리어 테이프가 일반적으로 많이 사용되기 시작하고 있다. 3층 캐리어 테이프는 도체층(12)과 절연 층(10) 사이에 접착제층(16)이 있어 도체층(12)과 절연층(10)을 라미네이트할 필요가 있다.
이 라미네이트는 도 7에 도시된 바와 같은 라미네이트 장치를 이용하여 이루어지고 있다. 일본특허공개 2002-210823호 공보(이하, 특허문헌이라 함)에 의하면, 도 7에 도시된 바와 같은 라미네이트 장치에는 제1 라미네이트 장치로서의 진공 라미네이터(1)와, 제2 라미네이트 장치 및 가열·가압 수단으로서 서로 대향하는 한 쌍의 상측 롤(67) 및 하측 롤(68)을 구비한 제2 히트 롤(2)과, 상측 필름(5) 및 하측 필름(7)이 라미네이트되는 기재(14)를 권취하기 위한 권취 롤러(3)가 기재(14)의 권취 방향에 있어서의 상류측에서부터 하류측을 따라 순차 마련되어 있다.
진공 라미네이터(1)는 감압조로서의 진공조(4)와, 그 진공조(4) 내에 상측 필름(5)이 휘감겨 있는 상측 권회(卷回) 롤(6)과, 하측 필름(7)이 휘감겨 있는 하측 권회 롤(8)과, 가열·가압 수단으로서 서로 대향하는 한 쌍의 상측 롤(65) 및 하측 롤(66)을 갖춘 제1 히트 롤(9)을 구비하고 있다.
기재(14)를 통과시키기 위한 상류측 통과구(61) 및 하류측 통과구(62)가 진공조(4) 본체의 전벽 및 후벽에 각각 개구 형성되어 있다. 또, 상류측 통과구(61)의 상류측 근방 및 하류측 통과구(62)의 하류측 근방에는 진공조(4) 내의 진공도를 유지하기 위한 상류측 진공 시일 롤(63) 및 하류측 진공 시일 롤(64)이 각각 마련되어 있다.
그리고, 상측 롤(67) 및 하측 롤(68)은 히터(도시하지 않음)에 의해 가열된다. 이 가열된 상태에서, 상측 롤(67) 및 하측 롤(68)은 상측 필름(5) 및 하측 필 름(7)이 적층된 기재(14)를 사이에 두고, 해당 기재(14)를 보내면서 가열·가압하도록 구성되어 있다.
상기 특허문헌에는 예를 들면, 제2 히트 롤(2)의 표면 온도가 약 110℃, 제2 히트 롤(2)의 압력이 0.4 MPa, 권취 롤러(3)의 권취 속도가 0.5 m/분으로 라미네이트하는 것이 기재되어 있다.
그러나, 이와 같은 종래의 라미네이트 장치는 다음과 같은 문제점이 있다.
즉, 도 7에 도시된 바와 같은 종래의 라미네이트 장치는 상측 롤(67) 및 하측 롤(68)과 기재(14)와의 접촉 각도가 일정하다. 따라서, 가열 온도나 가열 시간과 같은 가열 조건을 조정하기 위해서는 상측 롤(67)과 하측 롤(68)에 온도 조절기를 구비하여, 이 온도 조절기를 소정 온도로 설정함으로써 실행하거나, 권취 롤러(3)의 권취 속도를 조정하여 가열 시간을 조정함으로써 실행하거나, 또는 이들을 조합하여 실행한다.
그러나, 이들 방법에서는 가열 조건을 미세 조정하는 것이 용이하지 않아 안정된 품질로 라미네이트 처리를 실행하는 것이 어렵다는 문제점이 있다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 캐리어 테이프 등의 테이프형의 피가열가압체를 길이 방향으로 반송시키면서 연속적으로 가열하는 경우라도 가열 조건을 용이하게 미세 조정할 수 있는 라미네이트 방법을 제공하는 데에 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에서는 다음과 같은 수단을 강구한다.
즉, 본 발명의 제1 특징에 따른 라미네이트 방법은 반송 수단에 의해 테이프형의 피가열가압체를 길이 방향으로 반송하는 반송 단계와, 반송 수단에 의해 반송되는 피가열가압체를 가열·가압 롤러의 롤러면에 있어서 가열·가압하는 가열·가압 단계와, 피가열가압체가 롤러면에 접촉하는 접촉 면적을 조정하는 접촉 면적 조정 단계를 구비한다.
따라서, 본 발명의 제1 특징의 라미네이트 방법에 있어서는 이상과 같은 수단을 강구함으로써, 캐리어 테이프 등의 테이프형의 피가열가압체를, 길이 방향으로 반송시키면서 연속적으로 가열하는 경우라도, 피가열가압체의 롤러면에 접촉하는 접촉 면적을 조정함으로써, 롤러면의 온도나 피가열가압체의 권취 속도를 조정하는 일 없이도 가열 조건을 용이하게 미세 조정할 수 있게 된다.
본 발명의 제2 특징에 따르면, 본 발명의 제1 특징의 라미네이트 방법의 접촉 면적 조정 단계에 있어서, 피가열가압체가 가열·가압 롤러로 반송되는 가열·가압 전(前)의 반송 경로 및 가열·가압 롤러에 의해 가열·가압된 피가열가압체가 반송되는 가열·가압 후(後)의 반송 경로 중의 적어도 어느 한 쪽의 일부를 바꿈으로써, 접촉 면적을 조정한다.
따라서, 본 발명의 제2 특징의 라미네이트 방법에 있어서는 가열·가압 롤러의 전 또는 후의 반송 경로의 일부를 바꿈으로써 피가열가압체와 롤러면 사이의 접촉 면적을 조정할 수 있다. 이로써, 롤러면의 온도나 피가열가압체의 권취 속도를 조정하는 일 없이도 가열 조건을 용이하게 미세 조정할 수 있게 된다.
본 발명의 제3 특징에 따른 라미네이트 방법은 반송 수단에 의해 테이프형의 피가열가압체를 길이 방향으로 반송하는 반송 단계와, 반송 수단에 의해 반송되는 피가열가압체를 가열·가압 롤러의 롤러면에 있어서 가열·가압하는 가열·가압 단계와, 피가열가압체가 롤러면에 접촉하는 접촉 면적을 조정하는 접촉 면적 조정 단계와, 피가열가압체가 가열·가압 롤러에 의해 가열되는 가열 시간과 가압되는 가압 시간을 달리하는 시간 변위 단계를 구비한다.
따라서, 본 발명의 제3 특징의 라미네이트 방법에 있어서는 단순한 미세 조정의 차원이 아니라 가열 시간과 가압 시간이 같지 않고, 가열 시간 쪽을 길게 하는 식으로 할 수도 있다.
본 발명의 제4 특징에 따른 라미네이트 방법은 반송 수단에 의해 테이프형의 피가열가압체를 길이 방향으로 반송하는 반송 단계와, 반송 수단에 의해 반송되는 피가열가압체를 복수의 가열·가압 롤러의 각 롤러면에 있어서 가열·가압하는 가열·가압 단계와, 피가열가압체가 각 가열·가압 롤러에 의해 가열되는 가열 시간과 가압되는 가압 시간을 달리하는 시간 변위 단계를 구비한다.
따라서, 본 발명의 제4 특징의 라미네이트 방법에 있어서는 단순한 미세 조정의 차원이 아니라 가열 시간과 가압 시간이 같지 않으며, 가열 시간 쪽을 길게 하는 식으로 할 수도 있다. 또, 복수의 가열·가압 롤러를 구비함으로써 피가열가압체를 한 번의 처리에 있어서 여러 번 연속하여 가압하는 것도 가능하게 된다.
본 발명의 제5 특징에 따른 라미네이트 방법은 반송 수단에 의해 테이프형의 피가열가압체를 길이 방향으로 반송하는 반송 단계와, 반송 수단에 의해 반송되는 피가열가압체의 반송 경로의 일부를 바꾸고, 피가열가압체가 바뀐 반송 경로를 통해 서로의 롤러면이 대향하도록 배치되고 이 한 쌍의 롤러면 사이로 도입된 피가열가압체를 각 롤러면에 의해 피가열가압체의 표면측 및 이면측으로부터 각각 가열하는 한 쌍의 가열·가압 롤러의 롤러면 사이로 도입되도록 함으로써, 피가열가압체의 표면측 및 이면측이 각 롤러면에 접촉하는 접촉 면적을 각각 조정하는 접촉 면적 조정 단계를 구비한다.
따라서, 본 발명의 제5 특징의 라미네이트 방법에 있어서는 가열·가압 롤러 전의 반송 경로의 일부를 바꿈으로써 피가열가압체와 롤러면 사이의 접촉 면적을 조정할 수 있다. 이로써, 롤러면의 온도나 피가열가압체의 권취 속도를 조정하는 일 없이도 가열 조건을 용이하게 미세 조정할 수 있게 된다.
본 발명의 제6 특징에 따른 라미네이트 방법은 반송 수단에 의해 테이프형의 피가열가압체를 길이 방향으로 반송하는 반송 단계와, 반송 수단에 의해 반송되고, 서로의 롤러면이 대향하도록 배치되고 이 한 쌍의 롤러면 사이로 도입된 피가열가압체를 각 롤러면에 의해 피가열가압체의 표면측 및 이면측에서부터 각각 가열·가압하는 한 쌍의 가열·가압 롤러의 롤러면 사이로부터 반송된 피가열가압체의 반송 경로의 일부를 바꿈으로써, 피가열가압체의 표면측 및 이면측이 각 롤러면에 접촉하는 접촉 면적을 각각 조정하는 접촉 면적 조정 단계를 구비한다.
따라서, 본 발명의 제6 특징의 라미네이트 방법에 있어서는 가열·가압 롤러 후의 반송 경로의 일부를 바꿈으로써 피가열가압체와 롤러면 사이의 접촉 면적을 조정할 수 있다. 이로써, 롤러면의 온도나 피가열가압체의 권취 속도를 조정하는 일 없이도 가열 조건을 용이하게 미세 조정할 수 있게 된다.
본 발명의 제7 특징에 따른 라미네이트 방법은 반송 수단에 의해 테이프형의 피가열가압체를 길이 방향으로 반송하는 반송 단계와, 반송 수단에 의해 반송되는 피가열가압체의 반송 경로의 일부를 바꾸고, 피가열가압체가 바뀐 반송 경로를 통해 서로의 롤러면이 대향하도록 배치되고 이 한 쌍의 롤러면 사이로 도입된 피가열가압체를 각 롤러면에 의해 피가열가압체의 표면측 및 이면측으로부터 각각 가열하는 한 쌍의 가열·가압 롤러의 롤러면 사이로 도입되도록 함으로써, 피가열가압체의 표면측 및 이면측이 각 롤러면에 접촉하는 접촉 면적을 각각 조정하는 제1 접촉 면적 조정 단계와, 반송 수단에 의해 반송되고, 한 쌍의 롤러면 사이로부터 방출된 피가열가압체의 반송 경로의 일부를 바꿈으로써, 피가열가압체의 표면측 및 이면측이 각 롤러면에 접촉하는 접촉 면적을 각각 조정하는 제2 접촉 면적 조정 단계를 구비한다.
따라서, 본 발명의 제7 특징의 라미네이트 방법에 있어서는 가열·가압 롤러 전후의 반송 경로의 일부를 바꿈으로써 피가열가압체와 롤러면 사이의 접촉 면적을 조정할 수 있다. 이로써, 롤러면의 온도나 피가열가압체의 권취 속도를 조정하는 일 없이도 가열 조건을 용이하게 미세 조정할 수 있게 된다.
본 발명의 제8 특징은 본 발명의 제1 특징 내지 제7 특징 중의 어느 하나의 라미네이트 방법에 있어서, 피가열가압체에 적층된 적층물의 배치 정보 및 면적 정보를 적층물 정보 저장 데이터베이스에 미리 저장하는 적충물 정보 저장 단계와, 적층물 정보 저장 데이터베이스에 저장된 정보에 기초하여, 각 적층물에 가열·가 압 롤러에 의해 가해지는 압력이 피가열가압체의 길이 방향을 따라 일정하게 되는 가압 패턴을 연산하는 가압 패턴 연산 단계와, 가열·가압 롤러가 가압 패턴 연산 단계에서 연산된 가압 패턴에 따라 피가열가압체에 압력을 가하도록 함으로써, 각 적층물이 가열·가압 롤러에 의해 길이 방향을 따라 일정 압력으로 가압되면서 가열되도록 한 가압 단계를 구비한다.
따라서, 본 발명의 제8 특징의 라미네이트 방법에 있어서는 이상과 같은 수단을 강구함으로써, 적층물이 배치된 피가열가압체를 가열하는 경우라도 모든 적층물에 대해 일정한 압력으로 가압하면서 또, 가열 조건의 미세 조정도 용이하게 할 수 있게 된다.
본 발명의 제9 특징에 따른 라미네이트 장치는 테이프형의 피가열가압체를 길이 방향으로 반송하는 반송 수단과, 반송 수단에 의해 반송되는 피가열가압체를 롤러면에 있어서 가열·가압하는 가열·가압 롤러와, 피가열가압체가 롤러면에 접촉하는 접촉 면적을 조정하는 접촉 면적 조정 수단을 구비한다.
따라서, 본 발명의 제9 특징의 라미네이트 장치에 있어서는 이상과 같은 수단을 강구함으로써, 캐리어 테이프 등의 테이프형의 피가열가압체를 길이 방향으로 반송시키면서 연속적으로 가열하는 경우라도, 피가열가압체가 롤러면에 접촉하는 접촉 면적을 조정함으로써, 롤러면의 온도나 피가열가압체의 권취 속도를 조정하는 일 없이도 가열 조건을 용이하게 미세 조정할 수 있게 된다.
본 발명의 제10 특징에 따르면, 본 발명의 제9 특징의 라미네이트 장치에 있어서, 접촉 면적 조정 수단은 피가열가압체가 가열·가압 롤러로 반송되는 가열· 가압 전의 반송 경로 및 가열·가압 롤러에 의해 가열·가압된 피가열가압체가 반송되는 가열·가압 후의 반송 경로 중 적어도 어느 한 쪽의 일부를 바꿈으로써, 접촉 면적을 조정한다.
따라서, 본 발명의 제10 특징의 라미네이트 장치에 있어서는 가열·가압 롤러 전 또는 후의 반송 경로의 일부를 바꿈으로써 피가열가압체와 롤러면 사이의 접촉 면적을 조정할 수 있다. 이로써, 롤러면의 온도나 피가열가압체의 권취 속도를 조정하는 일 없이도 가열 조건을 용이하게 미세 조정할 수 있게 된다.
본 발명의 제11 특징에 따른 라미네이트 장치는 테이프형의 피가열가압체를 길이 방향으로 반송하는 반송 수단과, 한 쌍의 롤러면이 서로 대향하도록 배치되고 이 한 쌍의 롤러면의 사이로 도입된 피가열가압체를 각 롤러면에 의해 피가열가압체의 표면측 및 이면측으로부터 각각 가열·가압하는 한 쌍의 가열·가압 롤러와, 반송 수단에 의해 반송되는 피가열가압체의 반송 경로의 일부를 바꾸고, 피가열가압체가 바뀐 반송 경로를 통해 한 쌍의 롤러면 사이로 도입되도록 함으로써, 피가열가압체의 표면측 및 이면측이 각 롤러면에 접촉하는 접촉 면적을 각각 조정하는 접촉 면적 조정 수단을 구비한다.
따라서, 본 발명의 제11 특징의 라미네이트 장치에 있어서는 가열·가압 롤러 전의 반송 경로의 일부를 바꿈으로써 피가열가압체와 롤러면 사이의 접촉 면적을 조정할 수 있다. 이로써, 롤러면의 온도나 피가열가압체의 권취 속도를 조정하는 일 없이도 가열 조건을 용이하게 미세 조정할 수 있게 된다.
본 발명의 제12 특징에 따른 라미네이트 장치는 테이프형의 피가열가압체를 길이 방향으로 반송하는 반송 수단과, 한 쌍의 롤러면이 서로 대향하도록 배치되고 이 한 쌍의 롤러면 사이로 도입된 피가열가압체를 각 롤러면에 의해 피가열가압체의 표면측 및 이면측으로부터 각각 가열·가압하는 한 쌍의 가열·가압 롤러와, 반송 수단에 의해 반송되고, 한 쌍의 롤러면 사이로부터 반송된 피가열가압체의 반송 경로의 일부를 바꿈으로써, 피가열가압체의 표면측 및 이면측이 각 롤러면에 접촉하는 접촉 면적을 각각 조정하는 접촉 면적 조정 수단을 구비한다.
따라서, 본 발명의 제12 특징의 라미네이트 장치에 있어서는 가열·가압 롤러 후의 반송 경로의 일부를 바꿈으로써 피가열가압체와 롤러면 사이의 접촉 면적을 조정할 수 있다. 이로써, 롤러면의 온도나 피가열가압체의 권취 속도를 조정하는 일 없이도 가열 조건을 용이하게 미세 조정할 수 있게 된다.
본 발명의 제13 특징에 따른 라미네이트 장치는 테이프형의 피가열가압체를 길이 방향으로 반송하는 반송 수단과, 한 쌍의 롤러면이 서로 대향하도록 배치되고 이 한 쌍의 롤러면 사이로 도입된 피가열가압체를 각 롤러면에 의해 피가열가압체의 표면측 및 이면측으로부터 각각 가열·가압하는 한 쌍의 가열·가압 롤러와, 반송 수단에 의해 반송되는 피가열가압체의 반송 경로의 일부를 바꾸고, 피가열가압체가 바뀐 반송 경로를 통해 한 쌍의 대향하는 롤러면 사이로 도입되도록 함으로써, 피가열가압체의 표면측 및 이면측이 각 롤러면에 접촉하는 접촉 면적을 각각 조정하는 제1 접촉 면적 조정 수단과, 반송 수단에 의해 반송되고, 한 쌍의 롤러면 사이로부터 방출된 피가열가압체의 반송 경로의 일부를 바꿈으로써, 피가열가압체의 표면측 및 이면측이 각 롤러면에 접촉하는 접촉 면적을 각각 조정하는 제2 접촉 면적 조정 수단을 구비한다.
따라서, 본 발명의 제13 특징의 라미네이트 장치에 있어서는 가열·가압 롤러 전후의 반송 경로의 일부를 바꿈으로써 피가열가압체와 롤러면 사이의 접촉 면적을 조정할 수 있다. 이로써, 롤러면의 온도나 피가열가압체의 권취 속도를 조정하는 일 없이도 가열 조건을 용이하게 미세 조정할 수 있게 된다.
본 발명의 제14 특징에 따르면, 본 발명의 제11 특징 내지 제13 특징 중의 어느 하나의 라미네이트 장치에 있어서, 한 쌍의 가열·가압 롤러 대신에 서로 대향 배치되고 직경이 다른 두 개의 가열·가압 롤러를 이용한다.
따라서, 본 발명의 제14 특징의 라미네이트 장치에 있어서는 가열 조건을 용이하게 미세 조정할 수 있게 된다.
본 발명의 제15 특징에 따르면, 본 발명의 제14 특징의 라미네이트 장치에 있어서, 직경이 큰 가열·가압 롤러의 원주 상이며 또, 피가열가압체가 직경이 큰 가열·가압 롤러에 접하는 제1 접점 및 제2 접점 사이에, 직경이 작은 가열·가압 롤러의 외주의 일부를 배치한다.
따라서, 본 발명의 제15 특징의 라미네이트 장치에 있어서는 가열 조건을 용이하게 미세 조정할 수 있게 된다.
본 발명의 제16 특징에 따르면, 본 발명의 제11 특징 내지 제15 특징 중의 어느 하나의 라미네이트 장치에 있어서, 한 쌍의 가열·가압 롤러 대신에 직경이 다른 적어도 두 개의 가열·가압 롤러를 이용하고, 직경이 큰 가열·가압 롤러의 원주 상이며 또, 피가열가압체가 직경이 큰 가열·가압 롤러에 접하는 제1 접점 및 제2 접점 사이에, 직경이 큰 가열·가압 롤러보다 직경이 작은 적어도 하나의 가열·가압 롤러의 외주 일부를 배치한다.
따라서, 본 발명의 제16 특징의 라미네이트 장치에 있어서는 가열 조건을 용이하게 미세 조정할 수 있게 된다.
본 발명의 제17 특징은 본 발명의 제9 특징 내지 제16 특징 중의 어느 하나의 라미네이트 장치에 있어서, 피가열가압체에 적층된 적층물의 배치 정보 및 면적 정보를 미리 저장한 적층물 정보 저장 수단과, 적층물 정보 저장 수단에 저장된 정보에 기초하여, 각 적층물에 가열·가압 롤러에 의해 가해지는 압력이 피가열가압체의 길이 방향을 따라 일정하게 되는 가압 패턴을 연산하는 가압 패턴 연산 수단과, 가열·가압 롤러가 가압 패턴 연산 수단에 의해 연산된 가압 패턴에 따라 피가열가압체에 압력을 가하도록 함으로써, 각 적층물이 가열·가압 롤러에 의해 길이 방향을 따라 일정 압력으로 가압되면서 가열되도록 한 가압 수단을 구비한다.
따라서, 본 발명의 제17 특징의 라미네이트 장치에 있어서는 이상과 같은 수단을 강구함으로써, 적층물이 배치된 피가열가압체를 가열하는 경우라도 모든 적층물에 대해 일정한 압력을 가하면서 또, 가열 조건의 미세 조정도 용이하게 할 수 있게 된다.
본 발명의 제18 특징에 따른 라미네이트 장치는 테이프형의 피가열가압체를 길이 방향으로 반송하는 반송 수단과, 반송 수단에 의해 반송되는 피가열가압체를 롤러면에 있어서 가열·가압하는 가열·가압 롤러와, 피가열가압체가 롤러면에 접촉하는 접촉 면적을 조정하는 접촉 면적 조정 수단과, 피가열가압체가 가열·가압 롤러에 의해 가열되는 가열 시간과 가압되는 가압 시간을 달리하는 시간 변위 수단을 구비한다.
따라서, 본 발명의 제18 특징의 라미네이트 장치에 있어서는 단순한 미세 조정의 차원이 아니라 가열 시간과 가압 시간이 같지 않고, 가열 시간 쪽을 길게 하도록 할 수도 있다.
본 발명의 추가적인 목적 및 이점은 이하에서 상세하게 설명될 것이다. 그리고, 일부는 상세한 설명으로부터 명백해지거나 본 발명의 실행에 의해 얻어질 것이다. 본 발명의 목적과 이점은 이하에서 특별히 개시된 수단이나 조합에 의해 얻어질 수 있다.
이하, 본 발명의 실시하기 위한 바람직한 모드에 대해 도면을 참조하여 설명한다.
(제1 실시예)
본 발명의 제1 실시예를 도 8 내지 도 10을 참조하여 설명한다.
도 8은 제1 실시예에 따른 라미네이트 방법을 이용한 라미네이트 장치의 일례를 나타낸 시스템 구성도이다.
즉, 본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 캐리어 테이프 등과 같은 테이프형의 피가열가압체를 도 8에 도시된 반송 방향(F)인 길이 방향으로 반송시키면서 연속적으로 가열하는 장치이다.
본 실시예에서는 피가열가압체로서 캐리어 테이프(20)를 적용한 경우를 예로 들어 이하의 설명을 한다. 도 9의 입단면도에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 라미네이트 장치에 의해 가열되는 캐리어 테이프(20)는 폴리이미드 등이 이용되어 이루어지는 절연층(22)의 표면측(upper surface)에 구리 등으로 이루어지는 도체층(24)이 적층되어 있다. 해당 도체층(24)은 소정의 배선 패턴에 상당하는 부위에 레지스트(26)가 배치되고, 레지스트(26)가 배치되어 있는 않은 개구 부위는 침지 에칭(immersion wet etching), 샤워 에칭 등의 방법으로 하프 에칭 처리가 이루어져 움푹 패여 있다. 이 하프 에칭 처리에 의해서, 배선 회로 패턴의 복수의 포토레지스트(26) 아래에 포토레지스트(26)의 폭보다 좁은 정상부 폭을 갖도록 도체층(24(#a))이 형성된다.
본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 조출(繰出)(supply) 롤러(28), 반송 롤러(30, 32, 34, 36) 및 권취 롤러(38)로 반송 기구를 형성하고 있다. 조출 롤러(28)에는 피가열가압체인 캐리어 테이프(20)가 롤형으로 휘감겨 있다. 상기 조출 롤러(28)가 조출 롤러(28)의 중심축을 중심으로 하여 회전 기구(도시하지 않음)로부터의 구동력을 받아 도 8에 도시된 시계 방향(W)으로 회전함으로써, 휘감겨 있던 캐리어 테이프(20)가 반송 롤러(30)로 풀어내어지도록 한다. 반송 롤러(30)도 마찬가지로 시계 방향(W)으로 회전함으로써 조출 롤러(28)로부터 풀어내어진 캐리어 테이프(20)를 반송 방향(F)을 따라 반송 롤러(32) 측으로 반송한다. 반송 롤러(32)도 마찬가지로 시계 방향(W)으로 회전함으로써 반송 롤러(30)로부터 반송된 캐리어 테이프(20)를 반송 경로 변경 롤러(40)(후술함) 및 한 쌍의 가열·가압 롤러(42, 44)(후술함)를 통해 반송 롤러(34) 측으로 반송한다. 반송 롤러(34)도 마찬가지로 시계 방향(W)으로 회전함으로써 반송된 캐리어 테이프(20)를 댄서 롤러(46)(후술 함)를 통해 반송 롤러(36)로 반송한다. 반송 롤러(36)도 마찬가지로 시계 방향(W)으로 회전함으로써 반송된 캐리어 테이프(20)를 권취 롤러(38)로 반송한다. 권취 롤러(38)도 마찬가지로 시계 방향(W)으로 회전함으로써 반송 롤러(36)으로부터 반송된 캐리어 테이프(20)를 권취한다.
상술한 반송 기구에 의해 캐리어 테이프(20)가 반송되는 반송 경로의 도중에는 반송 경로 변경 롤러(40), 한 쌍의 가열·가압 롤러(42, 44) 및 댄서 롤러(46)가 배열되어 있다.
한 쌍의 가열·가압 롤러(42, 44)는 서로의 롤러면이 대향하도록 배치되며, 이 한 쌍의 롤러면 사이로 도입된 캐리어 테이프(20)를 각 롤러면에 의해서 표면측 및 이면측(lower surface)으로부터 각각 가열한다. 가열·가압 롤러(42) 및 가열·가압 롤러(44)도 또한 회전 기구(도시하지 않음)로부터의 구동력을 받아 반시계 방향(R) 및 시계 방향(W)으로 회전함으로써 도입된 캐리어 테이프(20)를 반송 롤러(34) 측으로 풀어낸다.
또, 본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 가압부(48)를 구비하고 있다. 이 가압부(48)는 가열·가압 롤러(42, 44)의 한 쌍의 롤러면이 그 사이로 도입된 캐리어 테이프(20)에 가하는 압력의 제어 명령을 한 쌍의 가열·가압 롤러(42, 44) 각각에 대해 출력한다. 따라서, 한 쌍의 가열·가압 롤러(42, 44)는 이 제어 명령에 기초하여, 양 롤러면 사이로 도입된 캐리어 테이프(20)에 압력을 가한다.
이로써, 한 쌍의 가열·가압 롤러(42, 44)의 각 롤러면 사이로 도입된 캐리어 테이프(20)는 가열·가압 롤러(42, 44)에 의해 연속적으로 가열·가압되어 반송 롤러(34)측으로 반송된다.
도 10에 도시된 바와 같이, 반송 경로 변경 롤러(40)는 에어 실린더(도시하지 않음) 등에 의해 도 10에서 수평 방향(H)으로 이동 가능하다. 이로써, 반송 경로 변경 롤러(40)는 반송 롤러(32)에서 가열·가압 롤러(42, 44)에 이르는 반송 경로의 일부를 변경하여, 가열·가압 롤러(44)의 롤러면에 캐리어 테이프(20)가 접촉하는 접촉 면적을 조정한다. 즉, 도 10에 도시된 반송 경로 변경 롤러(40(#a))와 같이, 반송 경로 변경 롤러(40)의 위치가 반송 방향(F)의 상류측으로 이동할수록, 캐리어 테이프(20)의 이면은 가열·가압 롤러(44)의 롤러면과 얕게 접촉하고 나서 한 쌍의 롤러면에 감겨져 들어가게 된다. 이 때문에, 롤러면과의 접촉 면적이 작아져, 캐리어 테이프(20)의 이면으로부터의 가열량이 낮아진다. 한편, 반송 경로 변경 롤러(40(#b), 40(#c), 40(#d))에 의해 나타나는 바와 같이, 반송 경로 변경 롤러(40)의 위치가 반송 방향(F)의 하류측으로 이동할수록, 캐리어 테이프(20)의 이면은 가열·가압 롤러(44)의 롤러면과 깊게 접촉하고 나서 한 쌍의 롤러면에 감겨져 들어가게 된다. 이 때문에, 롤러면과의 접촉 면적이 커져, 캐리어 테이프(20)의 이면으로부터의 가열량이 증가한다.
댄서 롤러(46)는 에어 실린더(도시하지 않음) 등에 의해 도 8에 도시된 수직 방향(V)으로 이동 가능하다. 댄서 롤러(46)의 수직 방향(V)에 있어서의 위치를 임의로 바꿈으로써 캐리어 테이프(20)에 장력을 부여하여, 캐리어 테이프(20)가 반송 도중에 이완이 발생하지 않고 권취 롤러(38)까지 반송되게 하고 있다.
또, 본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 레지스트 조출 롤러(50)를 더 구비 하여, 캐리어 테이프(20)의 표면측을 동박이나 이형지 등의 레지스트(52)로 덮은 상태에서 가열·가압할 수도 있다.
즉, 레지스트 조출 롤러(50)는 동박이나 이형지 등의 레지스트(52)가 롤형으로 휘감겨져 있다. 상기 레지스트 조출 롤러(50)는 레지스트 조출 롤러(50)의 중심축을 중심으로 하여 반시계 방향(R)으로 회전함으로써 휘감겨 있던 레지스트(52)를 가열·가압 롤러(42)로 풀어낸다. 이로써, 캐리어 테이프(20)의 표면측이 레지스트(52)로 덮인 상태에서 가열·가압 롤러(42, 44)에 의해 가열·가압된다. 이 후, 표면측이 레지스트(52)로 덮인 캐리어 테이프(20)가 반송 롤러(34) 측으로 반송되어, 최종적으로 권취 롤러(38)에 의해 권취된다.
이어서, 이상과 같이 구성된 본 실시예에 따른 라미네이트 장치의 작용에 대해 설명한다.
즉, 본 실시예에 따른 라미네이트 장치에서, 캐리어 테이프(20)는 조출 롤러(28)로부터 풀려져 나와 반송 롤러(30, 32)를 통해 반송 경로 변경 롤러(40)로 반송된다.
반송 경로 변경 롤러(40)는 수평 방향(H)을 따라 자기의 위치를 자유롭게 바꿀 수 있다. 이로써, 반송 롤러(32)에서 가열·가압 롤러(42, 44)에 이르는 캐리어 테이프(20)의 반송 경로의 일부가 변경된다. 그리고, 반송 경로의 이러한 변경 후, 캐리어 테이프(20)가 가열·가압 롤러(42, 44)로 보내짐으로써 가열·가압 롤러(44)의 롤러면에 캐리어 테이프(20)의 이면이 접촉하는 접촉 면적이 조정된다. 이 경우, 반송 경로 변경 롤러(40)의 위치가 반송 방향(F)의 상류측으로 이동할수 록, 캐리어 테이프(20)의 이면은 가열·가압 롤러(44)의 롤러면과 얕게 접촉하고 나서 한 쌍의 롤러면에 감겨져 들어가게 된다. 이 때문에, 롤러면과의 접촉 면적이 작아져, 즉, 가열 시간이 짧아져, 캐리어 테이프(20)의 이면에서부터의 가열량이 낮아진다. 한편, 반송 경로 변경 롤러(40)의 위치가 반송 방향(F)의 하류측으로 이동할수록, 캐리어 테이프(20)의 이면은 가열·가압 롤러(44)의 롤러면과 깊게 접촉하고 나서 한 쌍의 롤러면에 감겨져 들어가게 된다. 이 때문에, 롤러면과의 접촉 면적이 커져, 즉, 가열 시간이 길어져, 캐리어 테이프(20)의 이면으로부터의 가열량이 증가한다.
한편, 가압부(48)로부터의 제어 명령에 따라 가열·가압 롤러(42, 44)의 양 롤러면 사이로 도입된 캐리어 테이프(20)에 가해지는 압력이 제어된다. 또, 상기 압력이 양 롤러 사이의 접촉면에 가해지기 때문에, 가압 시간이 가열 시간과는 달리 항상 일정하게 된다. 이에 따라, 캐리어 테이프(20)는 가열·가압 롤러(42, 44)에 의해 조정된 가열량으로 가열되는 동시에 제어된 압력으로 가압되어, 연속적으로 반송 롤러(34)로 반송된다.
또한, 캐리어 테이프(20)의 표면측을 동박이나 이형지 등의 레지스트(52)로 덮은 상태에서 가열·가압하는 경우, 레지스트 조출 롤러(50)를 반시계 방향(R)으로 회전시킨다. 이로써, 레지스트(52)가 가열·가압 롤러(42)로 풀려져 나와, 캐리어 테이프(20)의 표면측이 상기 레지스트(52)로 덮인 상태에서 상기와 같은 식으로 가열·가압 롤러(42, 44)에 의해 가열·가압된다.
이렇게 하여 연속적으로 가열·가압된 캐리어 테이프(20)는 가열·가압 롤 러(42, 44)에 의해 반송 롤러(34) 측으로 방출되고, 또한, 반송 롤러(36)를 통해 권취 롤러(38)에 의해 권취된다.
또, 반송 롤러(34)와 반송 롤러(36) 사이에는 댄서 롤러(46)가 마련되어 있다. 상기 댄서 롤러(46)는 수직 방향(V)으로 이동하여 캐리어 테이프(20)에 장력을 부여한다. 그러므로, 상술한 바와 같은 조출 롤러(28)에서 권취 롤러(38)에 이르는 반송 경로에 있어서, 캐리어 테이프(20)는 반송 도중에 이완이 발생하는 일없이 반송된다.
상술한 바와 같이, 본 실시예에 따른 라미네이트 장치에 있어서, 캐리어 테이프(20)의 가열량은 반송 경로 변경 롤러(40)의 수평 방향(H)에 있어서의 위치를 반송 방향(F)의 상류측으로 이동시킴으로써 감소될 수 있다. 반대로, 캐리어 테이프(20)의 가열량은 반송 경로 변경 롤러(40)의 수평 방향(H)에 있어서의 위치를 반송 방향(F)의 하류측으로 이동시킴으로써 증가될 수 있다.
즉, 캐리어 테이프(20) 등의 테이프형의 피가열가압체를 길이 방향으로 반송시키면서 연속적으로 가열하는 경우라도, 피가열가압체가 롤러면에 접촉하는 접촉 면적을 조정함으로써 롤러면의 온도나 피가열가압체의 권취 속도를 조정하는 일 없이도 가열 조건을 용이하게 미세 조정할 수 있게 된다.
(제2 실시예)
본 발명의 제2 실시예를 도 11을 참조하여 설명한다.
도 11은 제2 실시예에 따른 라미네이트 방법을 이용한 라미네이트 장치의 일례를 나타낸 시스템 구성도이다.
즉, 본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 제1 실시예에 따른 라미네이트 장치의 변형예로서, 반송 롤러(33)를 부가하여 구비하는 동시에, 반송 경로 변경 롤러(40) 대신에 반송 경로 변경 롤러(41)를 구비한 점만이 다르다. 따라서, 이하, 다른 구성에 대해서만 설명하고, 중복 설명은 피한다. 한편, 도 11에서는 가압부(48)에 대한 기재를 생략하고 있다.
반송 경로 변경 롤러(41)는 한 쌍의 가열·가압 롤러(42, 44)의 접촉점인 Y점을 중심으로 하고 반경 r인 원의 원주(P)를 따라 이동 가능한 구성을 하고 있다. 상기 반경(r)은 반송 경로 변경 롤러(41)가 원주(P)를 따라 이동하더라도 반송 롤러(32), 반송 롤러(33) 및 한 쌍의 가열·가압 롤러(42, 44)와 충돌하지 않는 거리이다.
반송 경로 변경 롤러(41)가 P0 또는 P1과 같이 가열·가압 롤러(44) 측에 있는 경우, 반송 롤러(32)로부터 반송 경로 변경 롤러(41)의 하부측으로 반송된 캐리어 테이프(20)는 반시계 방향(R)으로 송출된다. 따라서, 캐리어 테이프(20)의 이면이 가열·가압 롤러(44)의 롤러면에 접촉되고 나서, 캐리어 테이프(20)가 한 쌍의 가열·가압 롤러(42, 44) 사이로 도입된다. 이 경우, 제1 실시예와 마찬가지로, 반송 경로 변경 롤러(41)의 위치가 반송 방향(F)의 상류측(예컨대, P1)으로 이동할수록, 캐리어 테이프(20)의 이면은 가열·가압 롤러(44)의 롤러면과 얕게 접촉하고 나서 한 쌍의 롤러면에 감겨져 들어가게 된다. 이 때문에, 롤러면과의 접촉 면적이 작아져, 캐리어 테이프(20)의 이면으로부터의 가열량이 낮아진다. 한편, 반송 경로 변경 롤러(41)의 위치가 반송 방향(F)의 하류측(예컨대, P0)으로 이동할수록, 캐리 어 테이프(20)의 이면은 가열·가압 롤러(44)의 롤러면과 깊게 접촉하고 나서 한 쌍의 롤러면에 감겨져 들어가게 된다. 이 때문에, 롤러면과의 접촉 면적이 커져, 캐리어 테이프(20)의 이면으로부터의 가열량이 증가한다.
또, 반송 경로 변경 롤러(41)가 P2 또는 P3과 같이 가열·가압 롤러(42) 측에 있는 경우, 반송 롤러(33)로부터 반송 경로 변경 롤러(41)의 상부측으로 반송된 캐리어 테이프(20)는 시계 방향(W)으로 송출된다. 따라서, 캐리어 테이프(20)의 표면이 가열·가압 롤러(42)의 롤러면과 접촉시키고 나서, 캐리어 테이프(20)가 한 쌍의 롤러 사이로 도입된다. 이 경우, 반송 경로 변경 롤러(41)의 위치가 반송 방향(F)의 상류측(예컨대, P2)으로 이동할수록, 캐리어 테이프(20)의 표면은 가열·가압 롤러(42)의 롤러면과 얕게 접촉하고 나서 한 쌍의 롤러면에 감겨져 들어가게 된다. 이 때문에, 롤러면과의 접촉 면적이 작아져, 캐리어 테이프(20)의 표면으로부터의 가열량이 낮아진다. 한편, 반송 경로 변경 롤러(41)의 위치가 반송 방향(F)의 하류측(예컨대, P3)으로 이동할수록, 캐리어 테이프(20)의 표면은 가열·가압 롤러(42)의 롤러면과 깊게 접촉하고 나서 한 쌍의 롤러면에 감겨져 들어가게 된다. 이 때문에, 롤러면과의 접촉 면적이 커져, 캐리어 테이프(20)의 표면으로부터의 가열량이 증가한다.
반송 롤러(33)는 반송 경로 변경 롤러(41)가 P2 또는 P3와 같이 가열·가압 롤러(42) 측에 있는 경우에 반시계 방향(R)으로 회전하여, 반송 롤러(32)로부터 반송된 캐리어 테이프(20)를 반송 경로 변경 롤러(41)로 반송한다.
상술한 바와 같은 구성의 라미네이트 장치에서, 반송 경로 변경 롤러(41)의 위치가 P0 또는 P1과 같이 가열·가압 롤러(44) 측에 있는 경우에, 캐리어 테이프(20)는 반송 롤러(32)로부터 하부측으로 반송된다. 한편, 반송 경로 변경 롤러(41)가 P2 또는 P3과 같이 가열·가압 롤러(42) 측에 있는 경우, 캐리어 테이프(20)는 반송 롤러(33)로부터 상부측으로 반송된다. 이 때문에, 반송 경로 변경 롤러(41)의 위치를 가열·가압 롤러(42) 측에서 가열·가압 롤러(44) 측으로 변경하는 경우 또는 그 반대로 변경하는 경우, 캐리어 테이프(20)의 반송은 일단 정지되고, 반송 경로 변경 롤러(41)에 대해서 캐리어 테이프(20)의 권회 위치는 수동에 의해 바뀌어진다. 즉, 반송 경로 변경 롤러(41)의 위치를 가열·가압 롤러(42) 측에서 가열·가압 롤러(44) 측으로 변경하는 경우, 반송 경로 변경 롤러(41)의 상부측으로 반송되도록 되어 있던 캐리어 테이프(20)의 권회 위치는 반송 경로 변경 롤러(41)의 하부측으로 반송되도록 변경된다. 이와 반대로, 반송 경로 변경 롤러(41)의 위치를 가열·가압 롤러(44) 측에서 가열·가압 롤러(42) 측으로 변경하는 경우, 반송 경로 변경 롤러(42)의 하부측으로 반송되도록 되어 있던 캐리어 테이프(20)의 권회 위치는 반송 경로 변경 롤러(41)의 상부측으로 반송되도록 변경된다.
이상과 같이 구성된 본 실시예에 따른 라미네이트 장치에서, 반송 경로 변경 롤러(40)는 Y점을 중심으로 하고 반경 r인 원의 원주(P)를 따라 자기의 위치를 자유롭게 바꿀 수 있다. 이로써, 캐리어 테이프(20)는 반송 롤러(32) 또는 반송 롤러(33)에서 가열·가압 롤러(42, 44)에 이르는 캐리어 테이프(20)의 반송 경로의 일부가 반송 경로 변경 롤러(41)에 의해 변경된 후, 가열·가압 롤러(42, 44)로 보 내진다. 이로써, 가열·가압 롤러(44)의 롤러면에 캐리어 테이프(20)의 이면이 접촉하는 접촉 면적이 조정된다.
이 경우, 반송 경로 변경 롤러(41)가 P0 또는 P1과 같이 가열·가압 롤러(44) 측에 있는 경우, 반송 롤러(32)에서 반송 경로 변경 롤러(41)로 반송된 캐리어 테이프(20)는 캐리어 테이프(20)의 이면이 가열·가압 롤러(44)의 롤러면에 접촉된 후, 한 쌍의 가열·가압 롤러(42, 44) 사이로 도입된다. 이로써, 제1 실시예와 마찬가지로, 반송 경로 변경 롤러(41)의 위치가 반송 방향(F)의 상류측(예컨대, P1)으로 이동할수록, 롤러면과의 접촉 면적이 작아져, 캐리어 테이프(20)의 이면에서부터의 가열량이 낮아진다. 한편, 반송 경로 변경 롤러(41)의 위치가 반송 방향(F)의 하류측(예컨대, P0)으로 이동할수록, 롤러면과의 접촉 면적이 커져, 캐리어 테이프(20)의 이면에서부터의 가열량이 증가한다.
한편, 반송 경로 변경 롤러(41)가 P2 또는 P3과 같이 가열·가압 롤러(42) 측에 있는 경우, 반송 롤러(33)에서 반송 경로 변경 롤러(41)로 반송된 캐리어 테이프(20)는 캐리어 테이프(20)의 표면이 가열·가압 롤러(42)의 롤러면에 접촉된 후, 한 쌍의 롤러 사이로 도입된다. 이로써, 반송 경로 변경 롤러(41)의 위치가 반송 방향(F)의 상류측(예컨대, P2)으로 이동할수록, 롤러면과의 접촉 면적이 작아져, 캐리어 테이프(20)의 표면에서부터의 가열량이 낮아진다. 한편, 반송 경로 변경 롤러(41)의 위치가 반송 방향(F)의 하류측(예컨대, P3)으로 이동할수록, 롤러면과의 접촉 면적이 커져, 캐리어 테이프(20)의 표면에서부터의 가열량이 증가한다.
상술한 바와 같이, 본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 캐리어 테이프(20) 의 이면에서부터의 가열량 뿐만 아니라 캐리어 테이프(20)의 표면에서부터의 가열량도 자유롭게 제어하여, 제1 실시예와 같은 작용 효과를 발휘할 수 있게 된다.
(제3 실시예)
본 발명의 제3 실시예를 도 12를 참조하여 설명한다.
도 12는 제3 실시예에 따른 라미네이트 방법을 이용한 라미네이트 장치의 일례를 나타낸 시스템 구성도이다.
즉, 본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 제2 실시예에 따른 라미네이트 장치의 변형예로서, 반송 경로 변경 롤러(41) 대신에 한 쌍의 반송 경로 변경 롤러(43, 45)를 구비한 점만이 다르다. 따라서, 이하, 다른 구성에 대해서만 설명하고, 중복 설명은 피한다. 한편, 도 12에서는 가압부(48)에 대한 기재를 생략하고 있다.
한 쌍의 반송 경로 변경 롤러(43, 45)는 서로 대향 배치되어 있으며, 양 롤러의 최근 접점(예컨대, 도 12에서의 P0∼P4)이 Y점을 중심으로 하고 반경 r인 원의 원주(P)를 따라 이동 가능한 구성을 하고 있다. 반경(r)은 상기 최근 접점이 원주(P)를 따라 이동하더라도, 반송 경로 변경 롤러(43)가 반송 롤러(32) 및 반송 롤러(33)와 충돌하지 않고, 반송 경로 변경 롤러(45)가 가열·가압 롤러(42, 44)와 충돌하지 않는 거리이다.
한 쌍의 반송 경로 변경 롤러(43, 45)가 P2∼P4와 같이 가열·가압 롤러(42) 측에 있는 경우, 반송 롤러(32, 33)로부터 반송되는 캐리어 테이프(20)는 반송 경로 변경 롤러(43)에 대해서 시계 방향(W)으로 말아 붙여지고 나서, 양 롤러의 최근 접점(예컨대, P2∼P4)에서 반송 경로 변경 롤러(45)로 중계된다. 그리고, 반송 경로 변경 롤러(45)는 반시계 방향(R)으로 회전하여 캐리어 테이프(20)를 한 쌍의 가열·가압 롤러(42, 44) 사이로 도입시킨다.
한편, 한 쌍의 반송 경로 변경 롤러(43, 45)가 P0 또는 P1과 같이 가열·가압 롤러(44) 측에 있는 경우, 반송 롤러(32, 33)로부터 반송되는 캐리어 테이프(20)는 반송 경로 변경 롤러(43)와 반송 경로 변경 롤러(45) 사이로 도입된 후, 반송 경로 변경 롤러(45)에 대해서 반시계 방향(R)으로 말아 붙여진다. 그리고, 반송 경로 변경 롤러(45)가 반시계 방향(R)으로 회전하여 캐리어 테이프(20)를 한 쌍의 가열·가압 롤러(42, 44) 사이로 도입시킨다.
이러한 구성으로 함으로써, 반송 경로 변경 롤러(43)와 반송 경로 변경 롤러(45) 사이에 항상 캐리어 테이프(20)를 유지할 수 있기 때문에, 제2 실시예에서와 다르게 캐리어 테이프(20)의 반송을 일단 정지하고, 반송 경로 변경 롤러(41)에 대해서 캐리어 테이프(20)의 권회 위치를 수동으로 바꿀 필요성이 없다. 즉, 반송 경로 변경 롤러(43, 45)의 위치를 도 12에서의 P2∼P4와 같이 가열·가압 롤러(42) 측에서 도 12에서의 P0 또는 P1과 같이 가열·가압 롤러(44) 측으로 변경하는 경우 또는 그 반대의 경우라도, 캐리어 테이프(20)의 반송을 정지하지 않고서 실행할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 캐리어 테이프(20)의 반송을 정지하지 않고서 제2 실시예에서와 같은 작용 효과를 발휘할 수 있게 된다.
(제4 실시예)
본 발명의 제4 실시예를 도 13을 참조하여 설명한다.
도 13은 제4 실시예에 따른 라미네이트 방법을 이용한 장치의 일례를 나타낸 시스템 구성도이다.
본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 제3 실시예에 따른 라미네이트 장치의 변형예이다. 따라서, 이하, 다른 구성에 대해서만 설명하고, 중복 설명은 피한다. 한편, 도 13에서는 가압부(48)에 대한 기재를 생략하고 있다.
즉, 제3 실시예에 따른 라미네이트 장치가 한 쌍의 반송 경로 변경 롤러(43, 45)를 가열·가압 롤러(42, 44)의 상류측에 배치하고 있는 데에 비하여, 본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 한 쌍의 반송 경로 변경 롤러(43, 45)를 가열·가압 롤러(42, 44)의 하류측에 배치하고 있다. 이러한 배치에 따라, 서로 대향하는 한 쌍의 반송 롤러(33(#1, #2))도 가열·가압 롤러(42, 44)의 하류측에 배치된다. 또한, 레지스트 조출 롤러(50)는 가열·가압 롤러(42, 44)의 상류측에 배치되어, 가열·가압 롤러(42, 44)의 하류측에서 이루어지는 Y점을 중심으로 하여 원주(P)를 따라 이루어지는 반송 경로 변경 롤러(43, 45)의 이동을 방해하지 않는다.
반송 경로 변경 롤러(43, 45)가 P5∼P7과 같이 가열·가압 롤러(42) 측에 있는 경우, 가열·가압 롤러(42, 44) 사이에서 방출된 캐리어 테이프(20)는 도 13에서의 상측으로 들어올려지고 나서 반송 경로 변경 롤러(45)에 대하여 반시계 방향(R)으로 말아 붙여진다. 그 후, 캐리어 테이프(20)는 양 롤러의 최근 접점(예컨대, P5∼P7)에서 반송 경로 변경 롤러(43)로 중계된다. 그리고, 반송 경로 변경 롤 러(43)가 시계 방향(W)으로 회전하여 캐리어 테이프(20)를 반송 롤러(33(#1))와 반송 롤러(33(#2)) 사이로 도입시킨다.
이 경우, 반송 경로 변경 롤러(43, 45)의 위치가 반송 방향(F)의 상류측(예컨대, P5)으로 이동할수록, 캐리어 테이프(20)의 표면이 가열·가압 롤러(42)의 롤러면과 깊게 접촉하게 되기 때문에, 롤러면과의 접촉 면적이 커져, 캐리어 테이프(20)의 표면으로부터의 가열량이 증가한다. 한편, 반송 경로 변경 롤러(43, 45)의 위치가 반송 방향(F)의 하류측(예컨대, P7)으로 이동할수록, 캐리어 테이프(20)의 표면이 가열·가압 롤러(42)의 롤러면과 얕게 접촉하게 되기 때문에, 롤러면과의 접촉 면적이 작아져, 캐리어 테이프(20)의 표면으로부터의 가열량이 감소한다.
또, 반송 경로 변경 롤러(43, 45)가 P8 또는 P9와 같이 가열·가압 롤러(44) 측에 있는 경우, 가열·가압 롤러(42, 44) 사이에서 방출된 캐리어 테이프(20)는 도 13에서의 하측으로 내려지고 나서 반송 경로 변경 롤러(45)에 대하여 반시계 방향(R)으로 말아 붙여진다. 그리고, 반송 경로 변경 롤러(45)가 반시계 방향(R)으로 회전하여 캐리어 테이프(20)를 한 쌍의 반송 롤러(33(#1, #2)) 사이로 도입시킨다.
이 경우, 반송 경로 변경 롤러(43, 45)의 위치가 반송 방향(F)의 상류측(예컨대, P9)으로 이동할수록, 캐리어 테이프(20)의 이면이 가열·가압 롤러(44)의 롤러면과 깊게 접촉하게 되기 때문에, 롤러면과의 접촉 면적이 커져, 캐리어 테이프(20)의 이면으로부터의 가열량이 증가한다. 한편, 반송 경로 변경 롤러(43, 45)의 위치가 반송 방향(F)의 하류측(예컨대, P8)으로 이동할수록, 캐리어 테이프(20)의 이면이 가열·가압 롤러(44)의 롤러면과 얕게 접촉하게 되기 때문에, 롤러면과 의 접촉 면적이 작아져, 캐리어 테이프(20)의 이면으로부터의 가열량이 감소한다.
본 실시예는 상술한 바와 같은 구성으로 하여도 제3 실시예와 같은 작용 효과를 발휘할 수 있게 된다. 한편, 본 실시예에서는 제3 실시예에서 나타낸 반송 경로 변경 롤러(43, 45)를 가열·가압 롤러(42, 44)의 하류측에 배치한 구성에 대해 설명했다. 하지만, 본 실시예에서는 제1 실시예에서 나타낸 반송 경로 변경 롤러(40) 및 제2 실시예에서 나타낸 반송 경로 변경 롤러(41)를 마찬가지로 가열·가압 롤러(42, 44)의 하류측에 배치하더라도 같은 작용 효과를 발휘할 수 있다.
(제5 실시예)
본 발명의 제5 실시예를 도 14를 참조하여 설명한다.
도 14는 제5 실시예에 따른 라미네이트 방법을 이용한 라미네이트 장치의 일례를 나타낸 시스템 구성도이다.
본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 제3 및 제4 실시예에 따른 라미네이트 장치를 조합한 구성으로 하고 있다. 따라서, 이하, 다른 구성에 대해서만 설명하고, 중복 설명은 피한다. 한편, 도 14에서는 가압부(48)에 대한 기재를 생략하고 있다.
즉, 본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 한 쌍의 반송 경로 변경 롤러(43(#1), 45(#1))를 가열·가압 롤러(42, 44)의 상류측에 배치하고, 한 쌍의 반송 경로 변경 롤러(43(#2), 45(#2))를 가열·가압 롤러(42, 44)의 하류측에 배치한다. 또, 본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 레지스트 조출 롤러(50)를 반송 경로 변경 롤러(43, 45)의 원주(P)를 따른 이동의 방해가 되지 않는 장소에 배치한 다. 또한, 본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 반송 롤러(51)를 구비하여, 레지스트 조출 롤러(50)로부터 풀어내어지는 레지스트(52)가 반송 경로 변경 롤러(43, 45)의 원주(P)를 따른 이동의 방해가 되지 않도록 가열·가압 롤러(42, 44)의 사이로 도입시킨다.
이와 같은 구성으로 함으로써, 캐리어 테이프(20)의 표면측에서 부여하는 가열량 또는 캐리어 테이프(20)의 이면측에서 부여하는 가열량을 가열·가압 롤러(42, 44)의 상류측 및 하류측 각각에 있어서 제어할 수 있다. 따라서, 제1 내지 제4 실시예에서 설명한 것과 같은 가열·가압 롤러(42, 44)의 상류측 또는 하류측의 어느 한 쪽에서만 가열량을 제어하는 경우에 대해서, 가열량의 제어 범위를 2배로 할 수 있게 된다.
(제6 실시예)
본 발명의 제6 실시예를 도 15를 참조하여 설명한다.
도 15는 제6 실시예에 따른 라미네이트 방법을 이용한 라미네이트 장치의 일례를 나타낸 시스템 구성도이다.
본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 제1 내지 제5 실시예에 따른 라미네이트 장치의 변형예이다. 따라서, 이하, 다른 구성에 대해서만 설명하고, 중복 설명은 피한다.
즉, 본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 가열·가압 롤러(42) 대신에 그 가열·가압 롤러(42)의 지름보다 작은 지름을 갖는 복수의 가열·가압 롤러(47(#1∼#4))를 구비한다. 이들 각 가열·가압 롤러(47(#1∼#4))도 가열·가압 롤러(42)와 마찬가지로 가압부(48)에 의해서 캐리어 테이프(20)에 인가하는 압력이 제어되도록 하고 있는데, 여기서는 가압부(48)에 대한 기재를 생략하고 있다.
각 가열·가압 롤러(47(#1∼#4))는 캐리어 테이프(20) 또는 경우에 따라 레지스트(52)로 표면이 덮인 캐리어 테이프(20)에 각각 독립적으로 열량 및 압력을 가할 수 있다.
이러한 구성에 의해, 어느 가열·가압 롤러(47)가 가열은 하지만 가압은 하지 않도록 함으로써 가열 시간 쪽을 가압 시간보다 길게 하는 식으로 할 수 있다. 반대로, 어느 가열·가압 롤러(47)가 가압은 하지만 가열은 하지 않도록 함으로써 가압 시간 쪽을 가열 시간보다 길게 하는 식으로 할 수도 있다.
이러한 가열량 및 가압량의 조정을 각 가열·가압 롤러(47(#1∼#4))마다 행함으로써 다양한 가열량 및 가압량의 조합으로 인해 좋은 조건을 실현할 수 있게 된다.
(제7 실시예)
본 발명의 제7 실시예를 도 16 내지 도 19를 참조하여 설명한다.
도 16은 제7 실시예에 따른 라미네이트 방법을 이용한 라미네이트 장치의 일례를 나타낸 시스템 구성도이다.
본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 제1 내지 제6 실시예에 따른 라미네이트 장치에 면적 정보 저장부(54)와, 가압 패턴 연산부(56)를 부가한 구성으로 하고 있다. 도 16은 대표적으로 도 8에 도시된 구성의 라미네이트 장치에 면적 정보 저장부(54)와, 가압 패턴 연산부(56)를 부가한 구성을 나타낸다. 또한, 본 실시예에 서는 제1 내지 제6 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하고, 중복 설명은 피한다.
도 9에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 캐리어 테이프(20)의 표면에는 소정의 배선 패턴에 상당하는 부위에 레지스트(26)가 배치되어 있다. 도 17은 이와 같이 레지스트(26)가 배치된 캐리어 테이프(20)의 일례를 나타낸 평면도이다. 즉, 도 17에 도시된 바와 같이, 레지스트(26)는 캐리어 테이프(20)의 표면에 균일하게 배치되는 것이 아니라 불균일하게 배치되는 것이 일반적이다.
이와 같이 레지스트(26)가 불균일하게 배치된 캐리어 테이프(20)가 가열·가압 롤러(42, 44)에 의해 동일 압력이 걸린 상태에서 가열되면, 레지스트(26)의 배치 밀도가 높은 부위에서 각각의 레지스트(26)가 받는 압력과, 레지스트(26)의 배치 밀도가 낮은 부위에서 각각의 레지스트(26)가 받는 압력은 다르다. 예를 들어, 도 17에서의 E-E선을 따른 평면에 배치된 레지스트(26a)의 배치 밀도는 도 17에서의 G-G선을 따른 평면에 배치된 레지스트(26b)의 배치 밀도보다 높다. 이러한 경우, E-E선을 따른 평면 및 G-G선을 따른 평면이 가열·가압 롤러(42, 44)에 의해 각각 동일 압력 아래에서 가열된다면, E-E선을 따른 평면에서의 레지스트(26a)당 가해지는 압력은 작고, G-G선을 따른 평면에서의 레지스트(26b)당 가해지는 압력DS 크다. 이 때문에, E-E선 및 G-G선을 따른 입단면도인 도 18의 좌측면 및 우측면에 도시된 바와 같이, E-E선을 따른 평면에 배치된 레지스트(26a)보다 G-G선을 따른 평면에 배치된 레지스트(26b)가 더 오목하게 된다.
따라서, 본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 레지스트(26)의 배치 밀도의 대소에 상관없이, 가열·가압 롤러(42, 44)에 의해 캐리어 테이프(20)의 길이 방향 을 따라서 각 레지스트(26)에 일정한 압력이 가해지도록 하고 있다. 그 때문에, 도 16에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 라미네이트 장치는 면적 정보 저장부(54)와, 가압 패턴 연산부(56)를 구비한다.
면적 정보 저장부(54)는 캐리어 테이프(20)에 적층된 레지스트(26) 등의 적층물의 배치 정보 및 면적 정보를 미리 저장하고 있다.
그리고, 가압 패턴 연산부(56)는 면적 정보 저장부(54)에 저장된 정보에 기초하여, 각 적층물에 가열·가압 롤러(42, 44)에 의해 가해지는 압력이 캐리어 테이프(20)의 길이 방향을 따라 일정하게 되는 가압 패턴을 연산하여, 그 연산 결과를 가압부(48)로 출력한다. 도 19는 이와 같은 가압 패턴의 일례를 나타낸 그래프이다. 도 19에 있어서 횡축은 캐리어 테이프(20)의 길이 방향 위치를 나타내고, 종축은 가열·가압 롤러(42, 44)에 의해 캐리어 테이프(20)에 가해지는 가압 압력을 나타낸다.
도 17에 도시된 바와 같이, 캐리어 테이프(20)에는 일반적으로 동일 패턴의 레지스트 배치(S)가 반복된다. 도 19에 있어서 Mn -1은 (n-1)번째에 반복되는 레지스트 배치(Sn -1)의 가압 패턴을 나타내고, Mn은 n번째에 반복되는 레지스트 배치(Sn)의 가압 패턴을 나타내며, Mn +1은 (n+1)번째에 반복되는 레지스트 배치(Sn +1)의 가압 패턴을 나타낸다. 각 레지스트 배치(S)(…, Sn -1, Sn, Sn +1, …)는 동일하기 때문에, 동일한 가압 패턴(M)(…, Mn -1, Mn, Mn +1, …)이 반복된다. 도 19에 도시된 가압 패 턴(Mn)에 대응하는 레지스트 배치(Sn)에 있어서 선두부(먼저 반송되는 측)에는 레지스트(26)가 전혀 배치되어 있지 않으며, 선두부의 후에 이어서 반송되는 중간부에는 레지스트(26)가 가장 많이 배치되며, 중간부의 후에 이어서 반송되는 후방부에는 중간부의 반 정도의 배치 밀도로 레지스트(26)가 배치된 것으로 가정한다. 도 19에 도시된 바와 같이, 레지스트 배치(S)에 대응하는 가압 패턴(M)에 있어서, 선두부의 가압 압력(f1)은 가장 낮고, 중간부의 가압 압력(f2)은 가장 높고, 후방부의 가압 압력(f3)은 상기 가압 압력(f2)의 반 정도이다.
그리고, 가압부(48)는 도 19에 도시된 바와 같은 가압 패턴에 따른 제어 명령을 가열·가압 롤러(42, 44)로 출력한다. 이로써, 캐리어 테이프(20)에 배치된 각 레지스트(26)는 가열·가압 롤러(42, 44)에 의해 이 가압 패턴에 따라 가압되면서 가열된다.
이어서, 이상과 같이 구성된 본 실시예에 따른 라미네이트 장치의 작용에 대해서 설명한다.
즉, 본 실시예에 따른 라미네이트 장치의 면적 정보 저장부(54)는 캐리어 테이프(20)에 적층된 레지스트(26) 등의 적층물의 배치 정보 및 면적 정보를 미리 저장하고 있다.
가압 패턴 연산부(56)는 면적 정보 저장부(54)에 저장된 정보에 기초하여, 캐리어 테이프(20)에 적층된 각 레지스트(26)가 캐리어 테이프(20)의 길이 방향을 따라 가열·가압 롤러(42, 44)에 의해 일정 압력으로 가압되는 가압 패턴을 연산하 여, 연산된 가압 패턴을 가압부(48)로 출력한다.
그리고, 가압부(48)는 연산된 가압 패턴에 기초한 제어 명령을 가열·가압 롤러(42, 44)로 출력한다.
가열·가압 롤러(42, 44) 사이로 도입된 캐리어 테이프(20)는 가열·가압 롤러(42, 44)에 의해 이 가압 패턴에 따라 가압되면서 가열된다. 이로써, 캐리어 테이프(20)에 배치된 각 레지스트(26)는 가열·가압 롤러(42, 44)에 의해 길이 방향을 따라 일정한 압력으로 가압되면서 가열된다. 결과적으로, 도 18의 좌측면 및 우측면에 도시된 바와 같은 압입량(push amounts)의 불균일을 초래하지 않고, 각 레지스트(26)의 압입량을 같은 정도로 할 수 있게 된다.
이상, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 모드에 대해 첨부 도면을 참조하여 설명했지만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않는다. 본 기술 분야의 당업자라면 특허청구범위에 기재된 기술적 사상의 범주에 있어서 각종 변형예 및 수정예에 도달할 수 있을 것이며, 그들 변형예 및 수정예에 대해서도 본 발명의 기술적 범위에 속하는 것을 이해할 수 있을 것이다.
예를 들어, 상술한 제1 내지 제5 및 제7 실시예에서는 한 쌍의 가열·가압 롤러(42, 44)를 예로 들어 설명했지만, 가열·가압 롤러(42, 44)는 반드시 한 쌍이 아니라 서로 직경을 달리 하고 있어도 된다. 이 경우라도, 직경이 큰 가열·가압 롤러의 원주 상이며 또, 캐리어 테이프(20)가 직경이 큰 가열·가압 롤러에 접하는 제1 접점 및 제2 접점 사이에, 직경이 작은 가열·가압 롤러의 외주 일부를 배치함으로써, 한 쌍의 가열·가압 롤러(42, 44)를 이용한 경우와 같은 효과를 발휘할 수 있다. 또, 이러한 직경이 작은 가열·가압 롤러는 도 15에 도시된 것과 같이 여러 개 있더라도 상관없다.
본 발명의 추가적인 이점과 변형예가 본 기술 분야의 당업자에게 가능하다는 것은 당연하다. 그러므로, 본 발명의 더 넓은 특징은 본 명세서에서 설명되고 예시된 대표적인 실시예 및 특정한 설명들에 한정되지 않는다. 따라서, 첨부된 청구항과 그것에 대등한 것들에 의해 정의되는 일반적인 발명적 개념으로부터 벗어남이 없이 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다.
본 발명의 라미네이트 방법에 따르면, 캐리어 테이프 등의 테이프형의 피가열가압체를 길이 방향으로 반송시키면서 연속적으로 가열하는 경우라도 가열 조건을 용이하게 미세 조정할 수 있다는 효과가 있다.

Claims (2)

  1. 반송 수단에 의해 테이프형의 피가열가압체를 길이 방향으로 반송하는 반송 단계;
    상기 반송 수단에 의해 반송되는 피가열가압체를 복수의 가열·가압 롤러의 각 롤러면에 있어서 가열·가압하는 가열·가압 단계; 및
    상기 피가열가압체가 상기 각 가열·가압 롤러에 의해 가열되는 가열 시간과 가압되는 가압 시간을 달리하는 시간 변위 단계를 구비한 라미네이트 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 피가열가압체에 적층된 적층물의 배치 정보 및 면적 정보를 적층물 정보 저장 데이터베이스에 미리 저장하는 적층물 정보 저장 단계;
    상기 적층물 정보 저장 데이터베이스에 저장된 정보에 기초하여, 상기 각 적층물에 상기 가열·가압 롤러에 의해 가해지는 압력이 상기 피가열가압체의 길이 방향을 따라 일정하게 되는 가압 패턴을 연산하는 가압 패턴 연산 단계; 및
    상기 가열·가압 롤러가 가압 패턴 연산 단계에서 연산된 가압 패턴에 따라 상기 피가열가압체에 압력을 가하도록 함으로써, 상기 각 적층물이 상기 가열·가압 롤러에 의해 상기 길이 방향을 따라 일정 압력으로 가압되면서 가열되도록 한 가압 단계를 더 구비한 라미네이트 방법.
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