JPH1154568A - テープキャリアとその製造方法 - Google Patents
テープキャリアとその製造方法Info
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- JPH1154568A JPH1154568A JP21797797A JP21797797A JPH1154568A JP H1154568 A JPH1154568 A JP H1154568A JP 21797797 A JP21797797 A JP 21797797A JP 21797797 A JP21797797 A JP 21797797A JP H1154568 A JPH1154568 A JP H1154568A
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- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
- H05K3/06—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
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- H05K3/064—Photoresists
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- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/20—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by affixing prefabricated conductor pattern
- H05K3/202—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by affixing prefabricated conductor pattern using self-supporting metal foil pattern
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- Wire Bonding (AREA)
Abstract
等を設けることなく可能であり、特別な金型も不要で、
製造が容易でコストダウンが図れ、リードの補強が容易
で信頼性があり、リードを真っ直ぐではなく曲げること
も可能で、IC設計の自由度も増すテープキャリアとそ
の製造方法を提供する。 【解決手段】 テープ状金属基材1にガイド孔2を設け
るとともに、該テープ状金属基材1をエッチングするこ
とにより導体パターン4・8を形成し、該導体パターン
上に絶縁材料による補強膜5・9を形成する。
Description
し、電子回路機器や電子回路基板や液晶表示装置などに
搭載されるTAB(Tape Automated Bonding)用テープ
キャリア、特に、表裏の導通にスルホールメッキや半田
ボール等を要しないテープキャリアとその製造方法に関
する。
ば次の〜の工程を経て製造していた。 図3に示すように、テープ状絶縁フィルム51の片
面に接着剤52をコートする。 パンチングで、テープ状絶縁フィルム51にデバイ
ス孔51a、アウターリード孔51b、ガイド孔51c
などをあける。 接着剤52を用いて導体(銅箔)53をラミネート
する。 キュアーしてからフォトレジスト54aをコートす
る。 露光・現像してから、バックコート54bを付す
る。 エッチングしてからレジスト剥離して導体パターン
を形成する。 もし、ソルダーレジスト印刷が必要な場合には、そ
の印刷を行ってから、仕上げメッキ55を施す。 最後に、図4に示すようにデバイス孔51aの回り
のインナーリード57間にIC58を実装する。
機器のダウンサイジングやコストダウンの要請がますま
す強くなっている。これらの要請に応えるために、チッ
プサイズと同等或いはわずかに大きいCSP(Chip Siz
e Package)などのパッケージが開発された。ところ
が、表裏の導通をとるためにCSPの裏側に半田ボール
を付ける工程が必要で、製造が面倒で高価になってい
た。更に、基板との接合部が温度サイクルテストにもた
ない問題も生じている。
ルホールメッキや半田ボール等を設けることなく可能で
あり、またデバイス孔やアウターリード孔をあける特別
な金型も不要で、製造が容易でコストダウンが図れ、し
かもリードの補強が容易で信頼性があり、更にリードを
真っ直ぐではなく曲げることも可能で、IC設計の自由
度も増すテープキャリアとその製造方法を提供すること
にある。
リアは、テープ状金属基材にガイド孔を設けるととも
に、該テープ状金属基材をエッチングすることにより導
体パターンを形成し、該導体パターンの表裏両面に絶縁
材料による補強膜を形成してなるものである。
明の製造方法には、テープ状金属基材の表裏両面に導体
パターンを形成する方法と、片面にのみ形成する方法と
がある。前者の方法は、次の工程を経て両面タイプのテ
ープキャリアを製造する。
ガイド孔2をあける第1工程。 (2)そのテープ状金属基材1の全面にフォトレジスト
3を施す第2工程。 (3)露光、現像する第3工程。 (4)テープ状金属基材1の表側をエッチングする第4
工程。 (5)前記フォトレジスト3を剥離して表側の導体パタ
ーン4を形成する第5工程。 (6)その表側の導体パターン4上に絶縁材料による補
強膜5を形成する第6工程。 (7)テープ状金属基材1の裏側にフォトレジスト3a
を施す第7工程。 (8)露光、現像する第8工程。 (9)前記補強膜5が形成されたテープ状金属基材1の
表側にエッチングレジスト6を形成する第9工程。 (10)テープ状金属基材1の裏側をエッチングする第1
0工程。 (11)裏側のフォトレジストコート3aを剥離して裏側
導体パターン7を形成する第11工程。 (12)前記裏側導体パターン7上に絶縁材料による補強
膜8を形成する第12工程。 (13)表側の前記エッチングレジスト6を剥離する第1
3工程。
のテープキャリアを製造する。 (A)テープ状金属基材1にパンチングでガイド孔2を
あける第1工程。 (B)そのテープ状金属基材1の全面にフォトレジスト
3を施す第2工程。 (C)露光、現像する第3工程。 (D)テープ状金属基材の表側をエッチングする第4工
程。 (E)前記フォトレジスト3を剥離して導体パターン4
を形成する第5工程。 (F)その導体パターン4上に絶縁材料による補強膜5
を形成する第6工程。 (G)該補強膜5が形成されたテープ状金属基材1の表
側にエッチングレジスト6を形成する第7工程。 (H)テープ状金属基材1の裏側をエッチングする第8
工程。 (I)そのエッチングされた裏側に、絶縁材料による補
強膜8を形成する第9工程。 (J)表側の前記エッチングレジスト6を剥離する第1
0工程。
を参照して説明する。
造する本発明の第1実施例を示す。この例では、厚さが
10〜500μmの銅、銅合金、アルミニウム、アルミ
ニウム合金、鉄、鉄合金などによるテープ状金属材(以
下、テープ状金属基材と記す)1を基材とし、次の工程
を経て両面タイプのテープキャリアを製造する。
ガイド孔2をあける。 (2)テープ状金属基材1の全面にフォトレジスト3を
施す。 (3)テープ状金属基材1の表側から露光、現像する。 (4)テープ状金属基材1の表側を任意にエッチングす
る。 (5)フォトレジスト3を剥離して表側導体パターン4
を形成する。 (6)表側導体パターン4上に、耐熱性、耐薬品性を有
する絶縁材料による補強膜5を、ソルダーレジスト印刷
等で所要範囲(例えば、ばらけそうなところや補強が必
要なところ)に形成する。補強膜5の材料としては、例
えばエポキシ系やポリイミド系の樹脂を用い、厚さは5
μm以上とする。補強膜5の形成は、印刷法のほか、ラ
ミネート法や電着法やコート法、更にそれらを露光、現
像する方法などが考えられる。 (7)テープ状金属基材1の裏側に再びフォトレジスト
3aを施す。 (8)テープ状金属基材1の裏側から露光、現像する。 (9)表側にエッチングレジスト6を施す。 (10)テープ状金属基材1の裏側を任意にエッチングす
る。 (11)フォトレジストを剥離して裏側導体パターン8を
形成する。 (12)裏側導体パターン8上に、上記と同様に絶縁材料
による補強膜9を形成する。 (13)表側のエッチングレジスト6を剥離する。 (14)錫などの仕上げメッキ10を施す。
造する本発明の第2実施例を示す。この例でも、第1実
施例と同様のテープ状金属基材1を用い、次の工程を経
て片面タイプのテープキャリアを製造する。
ガイド孔2をあける。 (B)テープ状金属基材1の全面にフォトレジスト3を
施す。 (C)テープ状金属基材1の表側から露光、現像する。 (D)テープ状金属基材1の表側を任意にエッチングす
る。 (E)フォトレジスト3を剥離して表側に導体パターン
4を形成する。 (F)導体パターン4上に、耐熱性、耐薬品性を有する
絶縁材料による補強膜5を、ソルダーレジスト印刷等で
所要範囲に形成する。 (G)テープ状金属基材1の表側にエッチングレジスト
6を施す。 (H)テープ状金属基材1の裏側を所要範囲だけエッチ
ングする。 (I)裏側に上記と同様の絶縁材料による補強膜9を形
成する。 (J)表側のエッチングレジスト6を剥離する。 (K)錫などの仕上げメッキ10を施す。
状金属自体を基材としてこれにて導体パターンを形成
し、導体パターンの表裏両面に絶縁材料による補強膜を
形成するので、次のような効果がある。
ボール等を設けることなく可能であり、またデバイス孔
やアウターリード孔をあける特別な金型も不要で、製造
が容易でコストダウンが図れる。
更にリードを真っ直ぐではなく曲げることも可能で、I
C設計の自由度も増す。
る。
る。
示す断面図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 テープ状金属基材にガイド孔を設けると
ともに、該テープ状金属基材をエッチングすることによ
り導体パターンを形成し、該導体パターン上に絶縁材料
による補強膜を形成してなることを特徴とする、テープ
キャリア。 - 【請求項2】 次の工程を経てテープキャリアを製造す
るテープキャリアの製造方法。 (1)テープ状金属基材にパンチングでガイド孔をあけ
る第1工程。 (2)そのテープ状金属基材の全面にフォトレジストを
施す第2工程。 (3)露光、現像する第3工程。 (4)テープ状金属基材の表側をエッチングする第4工
程。 (5)前記フォトレジストを剥離して表側導体パターン
を形成する第5工程。 (6)その表側導体パターン上に絶縁材料による補強膜
を形成する第6工程。 (7)テープ状金属基材の裏側にフォトレジストを施す
る第7工程。 (8)露光、現像する第8工程。 (9)前記補強膜が形成されたテープ状金属基材の表側
にエッチングレジストを形成する第9工程。 (10)テープ状金属基材の裏側をエッチングする第10
工程。 (11)裏側のフォトレジストを剥離して裏側の導体パタ
ーンを形成する第11工程。 (12)その裏側導体パターン上に絶縁材料による補強膜
を形成する第12工程。 (13)表側の前記エッチングレジストを剥離する第13
工程。 - 【請求項3】 次の工程を経てテープキャリアを製造す
るテープキャリアの製造方法。 (A)テープ状金属基材にパンチングでガイド孔をあけ
る第1工程。 (B)そのテープ状金属基材の全面にフォトレジストを
施す第2工程。 (C)露光、現像する第3工程。 (D)テープ状金属基材の表側をエッチングする第4工
程。 (E)前記フォトレジストを剥離して導体パターンを形
成する第5工程。 (F)前記導体パターン上に絶縁材料による補強膜を形
成する第6工程。 (G)該補強膜が形成されたテープ状金属基材の表側に
エッチングレジストを形成する第7工程。 (H)テープ状金属基材の裏側をエッチングする第8工
程。 (I)そのエッチングされた裏側に絶縁材料による補強
膜を形成する第9工程。 (J)表側の前記エッチングレジストを剥離する第10
工程。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP9217977A JP3061767B2 (ja) | 1997-07-29 | 1997-07-29 | テープキャリアとその製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH1154568A true JPH1154568A (ja) | 1999-02-26 |
JP3061767B2 JP3061767B2 (ja) | 2000-07-10 |
Family
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JP9217977A Expired - Fee Related JP3061767B2 (ja) | 1997-07-29 | 1997-07-29 | テープキャリアとその製造方法 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002111185A (ja) * | 2000-10-03 | 2002-04-12 | Sony Chem Corp | バンプ付き配線回路基板及びその製造方法 |
KR100447495B1 (ko) * | 2001-12-28 | 2004-09-07 | 이규한 | 테이프캐리어형 반도체패키지의 배선패턴 및 이의 제조방법 |
US7020961B2 (en) | 2000-07-11 | 2006-04-04 | Sony Corporation | Method for manufacturing a bump-attached wiring circuit board |
-
1997
- 1997-07-29 JP JP9217977A patent/JP3061767B2/ja not_active Expired - Fee Related
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US7020961B2 (en) | 2000-07-11 | 2006-04-04 | Sony Corporation | Method for manufacturing a bump-attached wiring circuit board |
US7520053B2 (en) | 2000-07-11 | 2009-04-21 | Sony Corporation | Method for manufacturing a bump-attached wiring circuit board |
JP2002111185A (ja) * | 2000-10-03 | 2002-04-12 | Sony Chem Corp | バンプ付き配線回路基板及びその製造方法 |
KR100447495B1 (ko) * | 2001-12-28 | 2004-09-07 | 이규한 | 테이프캐리어형 반도체패키지의 배선패턴 및 이의 제조방법 |
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