JPH11513184A - 非蒸発型ゲッタ材料の担持された薄層の製造方法及びそれにより製造されたゲッタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 担持されたゲッタ材料薄層を製造する方法が開示され、これは−約１５０μｍ未満の粒寸を有するＮＥＧ材料の粒子を水性、アルコール性もしくはヒドロアルコール性のベースを有しそして２５０℃を超える沸点を有する有機化合物を１重量％未満含有する分散用媒体に含む少なくとも１種の懸濁液を調製し、その場合ＮＥＧ材料の重量対分散用媒体の比率が４：１〜１：１の範囲にあるものとなし、−ＮＥＧ材料懸濁液の少なくとも一つの層をセリグラフ技術により金属上に付着し、−こうして得られた付着物を揮発成分を蒸発せしめることにより乾燥し、そして−乾燥した付着物を真空オーブンにおいて、与えられたプロセス温度で真空下で物理的もしくは化学的変質を受けない材料で付着物を覆いながら、８００〜１０００℃の範囲の温度において真空下で焼結することを包含する。こうした方法に従って得られたゲッタ装置もまた開示される。

Description

【発明の詳細な説明】 非蒸発型ゲッタ材料の担持された薄層の製造方法及びそれにより 製造されたゲッタ装置 本発明は、非蒸発型ゲッタ材料の担持された薄層の製造方法並びにそれにより 製造されたゲッタ装置に関する。 非蒸発型ゲッタ材料（non-evaporable getter materials ：以下ＮＥＧ材料と いう）は、例えばランプや魔法瓶の真空断熱ジャケットのような、装置において それらの適正な機能を維持するために真空を維持することを必要とする産業分野 において少なくとも３０年にわたり知られそして使用されている。最も一般的な ＮＥＧ材料は、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｖ或いは１種以上の他の元素との合金 である。そうした合金の例は、ＬａｉｎａｔｅにおけるＳＡＥＳ ＧＥＴＴＥＲ Ｓ社により商品名「Ｓｔ１０１」の下で製造されそして販売されている重量％８ ４％Ｚｒ−１６％Ａｌを有する合金或いはＳＡＥＳ ＧＥＴＴＥＲＳ社により商 品名「Ｓｔ７０７」の下で製造されそして販売されている重量％で７０％Ｚｒ− ２４．６％Ｖ−５．４％Ｆｅの組成を有する合金である。 最近、一般にシリコンから成る基板上のマイクロエレクトロニクス・デバイス を異なった電気的性質を示す材料の層を付着しそして選択的に除去することによ り作製するプラナー作製技術が一段と重要となってきている。これらプラナー・ デバイスの代表的な厚さは、数十分のμｍのオーダーである。プラナー作製技術 の重要性は、本質的に、作製操作が自動化されやすくそして得られた装置の一体 性により、光−電子の分野或いは小型化された機械装置の分野におけるようなマ イクロエレクトロニクス・デバイスのいずれかに接続される作製プロセスの「平 面化」に対してもまた推進力として作用している。この方向に向けて発展してい る製品の例は、真空型もしくはプラズマ型のフラット・ディスプレイやマイクロ エレクトロニクスの分野で使用されているのと同じ技術により作製された例えば 自動車加速器ようないわゆる「マイクロマシン」である。この一般的な産業界が 必要とする傾向は、真空が必要とされるプラナー型装置の場合に、ゲッタ装置も またプラナーであることを必要としている。 プラナー型ゲッタ装置は通常、一般に金属シートである適当な担持体の上に付 着されたＮＥＧ材料の粒子の層から形成される。この型式のゲッタ装置は、気体 収着速度及び気体収着容量の優れた値に加えて、粒子損失がなるたけ低いこと、 好ましくはゼロであることにより特徴づけられねばならない。これら性質は同時 に達成することは困難である。なぜなら、一般に、ＮＥＧ材料粒子の互い同志の また基材への接着は高温での焼結熱処理により増進され、これは一般に層の気孔 率を損ない、従って少なくともその収着速度を損なうからである。 担持されたプラナー型ＮＥＧ装置は、例えば、米国特許第３，６５２，３１７ 号、３，８５６，７０９号及び３，９７５，３０４号に開示されるような担持用 金属テープ上への粉末の冷間積層により作製することができる。この技術により 明らかになった問題の一つは、付着物の厚さがＮＥＧ材料の粒子の平均寸法に制 限されることである。更に、万一、ＮＥＧ材料が基材の硬さに匹敵する若しくは それ以下の硬さを有するなら、圧縮ロールにより行使される圧力は、粒子の歪み をもたらし、従って、表面積、結局は気体収着効率を減じる。 プラナー型ゲッタ装置は、電気泳動によってもまた作製することができ、これ は、例えば米国特許第４，６２８，１９８号に開示されている。この技術の制約 は、約５０μｍの厚さまでしかＮＥＧ材料層を容易にな態様で形成することがで きないことである。もっと厚い付着物は、長い、従って工業上の観点からは非実 用的な時間を必要とする。更に、電気泳動技術においては、粒子は、基材上に液 体懸濁液から付着されそして適用電場により荷電された状態で移動される。先に 述べたＳｔ７０７のような幾つかの関心のあるＮＥＧ材料は、なんとか静電気的 に荷電されているだけであり、これはこの方式においてこれら材料によりゲッタ 装置を作製することを困難ならしめる。 プラナー型ゲッタ装置を作製するためのまた別の技術は、ＷＯ９５／２３４２ ５に開示されるように、材料粒子を含有する懸濁液を基材上にスプレイすること である。しかし、この態様で付着物が生成されるなら、無視し得ない量の懸濁液 が基材外部に噴霧され、失われる。 従って、本発明の目的は、優れた気体収着性質及び粉末損失性質を維持してＮ ＥＧ材料の担持された薄膜を作製する方法を提供することである。 こうした目的は、本発明に従えば、 −約１５０μｍ未満の粒寸を有するＮＥＧ材料の粒子を水性、アルコール性もし くはヒドロアルコール性のベースを有しそして２５０℃を超える沸点を有する有 機化合物を１重量％未満含有する分散用媒体に含む少なくとも１種の懸濁液を調 製し、その場合ＮＥＧ材料の重量対分散用媒体の比率が４：１〜１：１の範囲に あるものとなし、 −ＮＥＧ材料懸濁液の少なくとも一つの層をセリグラフ技術により金属上に付着 し、 −こうして得られた付着物を揮発成分を蒸発せしめることにより乾燥し、そして −乾燥した付着物を真空オーブンにおいて、与えられたプロセス温度で真空下で 物理的もしくは化学的変質を受けない材料で付着物を覆いながら、８００〜１０ ００℃の範囲の温度において真空下で焼結する ことを包含する担持ゲッタ材料薄層を製造する方法により達成される。 本発明を図面を参照して以下詳しく説明する。 図面において、 第１図は、本発明に従うゲッタ材料の薄層サンプルと２つの比較サンプルとの 気体収着速度を表すグラフである。 第２図は、本発明に従うゲッタ材料の薄層サンプルとまた別の比較サンプルと の気体収着速度を表すグラフである。 第３図は、サンプル表面の上方からの平面図であり、その半分において表面は 本発明に従って調製されている。 本発明方法により、例えば電気泳動方法とは異なって、ＮＥＧ材料もしくはそ うした材料の組合せから複数の層を得ることが可能である。これら材料の例とし ては、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｖ或いは１種以上の他の元素との合金；最初に 言及した「Ｓｔ１０１」及び「Ｓｔ７０７」合金（商品名）；ＳＡＥＳ ＧＥＴ ＴＥＲＳ社より「Ｓｔ１９８］及び「Ｓｔ１９９」の商品名の下でそれぞれ製造 されそして販売されている組成Ｚｒ₂Ｆｅ及びＺｒ₂Ｎｉを有する合金；或いはＺ ｒもしくはＴｉを基とするこの分野で知られる他の種合金を挙げることができる 。これら材料は、約１５０μｍ未満の粒寸、好ましくは５〜７０μｍの粒寸を有 する粉末形態にある。指定を超える粒寸では、均質な付着物を得ることは困難で ある。 ＮＥＧ粒子の分散用媒体は、水性、アルコール性もしくはヒドロアルコール性 のベースを有しそして２５０℃を超える沸点を有する有機化合物を１重量％未満 、好ましくは０．８％未満含有する溶液である。セリグラフ技術のために使用さ れる分散用媒体は通常、バインダーとして定義される高沸点有機成分を多量に有 している。付着物中に残る高沸点有機成分は、その乾燥後、爾後の焼結期間中約 ２００〜４００℃の温度において分解してＣＯ、ＣＯ₂、或いは窒素酸化物のよ うな気体を形成する可能性がある。この温度において、ＮＥＧ材料粒子は、すで に少なくとも部分的に賦活されており、従ってこれら気体を収着し、ゲッタ装置 のその用途での収着容量の減少をもたらす恐れがある。 ２５０℃を超える沸点を有する有機化合物を１重量％より高い割合で含有する 分散用媒体によりセリグラフ技術により付着されたＮＥＧ材料の薄層は、乏しい 気体収着性質しか有しないことが見いだされた。他方、高い沸点を示す有機化合 物が分散用媒体中に約０．２％以上の濃度で存在することが好ましい。こうした 化合物の濃度がもっと低いと、懸濁液は低過ぎる粘度を有することとなる。これ ら条件の下で、付着物の最終形態は、溶剤の表面張力によりそして担持体のそし てセリグラフスクリーンのウエブの溶剤濡れ性により決定される。溶剤の表面張 力は、担持体上に懸濁液の液滴を形成する傾向があり、多いほど、担持体の溶剤 濡れ性は低くなる。更に、万一セリグラフスクリーンの材料が、高い溶剤濡れ性 を示すなら、付着物からのスクリーンの剥離期間中、懸濁液はスクリーン自体の スレッドに過剰に一時的に粘着しやすく、これは懸濁液とスクリーンとの間に形 成されたメニスカス領域においてＮＥＧ材料の過剰量の累積をもたらす。これら 作用の総合的結果は、予見し得ずそして担持体としてまたセリグラフスクリーン として使用された材料に応じて変化するが、いずれにせよ不均一な付着物を生成 する。 ＮＥＧ材料の重量対分散用材料の重量の比率は、４：１〜１：１、好ましくは 約２．５：１〜１．５：１の範囲である。ＮＥＧ材料の含有量がこの指定された 範囲より多いと、懸濁液は十分に流動性でなく、凝集しやすく、これはセリグラ フスクリーン上での分布が悪くなり、そのメッシュを通過困難となる。他方、Ｎ ＥＧ材料の重量％の下限は生産性への考慮から指定される。原理的には、非常に 低いＮＥＧ材料含有量を有する懸濁液を使用することは禁避されないが、この場 合、層は材料に乏しくなり、従って乏しい容量しか得られない。更に、付着物の 単位表面積当りのＮＥＧ材料が余りに低過ぎては、これは均一性を欠き、気体収 着性質が装置ごとに異なり再現性に乏しくなる。 こうして調製された懸濁液は、セリグラフ技術により担持体上に付着される。 この技術は、適当な表面への絵画の複製或いは印刷回路のための電導性回路の付 着のような他の用途に対しては知られている。本発明に従う担持体の形成のため の有用な材料は、特には鋼、チタン、ニッケルメッキ鉄、コンスタンタン、並び にニッケル／クロム及びニッケル／鉄合金のような金属である。担持体は、一般 に、２０μｍ〜１ｍｍの範囲の厚さを有する。付着物は、担持体の表面全体を通 して連続した層の形態をとりうるが、最終シートを容易に取り扱いできるように 随意的に担持体の縁辺を未被覆状態に残すこともできる。しかしながら、セリグ ラフ技術は、表面上に部分的な付着物を得ることをも可能とし、かくしてＮＥＧ 材料の様々に異なった寸法形状を得ることを可能ならしめる。そうするためには 、所望のパターンに従って、付着されるべき懸濁液によりエッチされ得ないゲル によりセリグラフスクリーンの口を選択的に閉塞すればよい。得られた付着物は 、これにより閉塞されずに設定されたスクリーン口に対応する、ゲル反転寸法形 状を有する。この方法により、らせんのような複雑な形状を有する連続した付着 物或いは同一の担持体上に円、方形、もしくは直線形状を持つ複数の個々の付着 帯域により形成される不連続な付着物を得ることが可能である。 こうして得られた付着物は、懸濁用媒体の最大限量を排除するために乾燥せし められる。乾燥は、気体流れ中でもしくは静圧雰囲気で約５０〜２００℃の範囲 の温度においてオーブン中でなしうる。 乾燥された付着物はその後、真空オーブンにおいて、ＮＥＧ材料の種類に依存 して約８００〜１０００℃の範囲の温度でそして０．１ｍｂａｒより低い圧力に おいてこれを処理することにより焼結される。処理時間は、温度に依存して約５ 分から約２時間行われる。焼結処理の終わりにおいて、付着物は、真空下で或い は冷却を促進するために不活性流れの下で或いは２つの条件の組合せにより冷却 せしめられる。 好ましくは、２つの乾燥及び焼結処理は、同じ熱処理の相次いでの段階として 順次行われる。例えば、サンプルを真空オーブン内に置き、オーブンを０．１ｍ ｂａｒ以下の圧力に排気し、温度を５０〜２００℃の範囲に昇温し、そしてサン プルをその温度に１０分から１時間の範囲の所定の時間維持するようにすること ができる。別様には、オーブン内の圧力変化を追跡しそして分散用媒体の揮発性 成分の蒸発の結果として圧力の増加が観察されない時点を乾燥段階の完了とみな すことも可能である。ひとたび乾燥が終わると、サンプルは真空下で焼結温度ま で加熱されうる。分散用媒体及びＮＥＧ材料の成分の化学的性質に依存して、乾 燥時間と焼結時間との間の値において一定温度で処理時間を与えるもっと複雑な 熱サイクルをとることも可能である。これらの処理は例えば、極微量の最終有機 成分の排除に有用であり、それらをＮＥＧ材料がいまだ賦活されない温度で分解 することを可能ならしめる。 本発明に従えば、焼結中、乾燥した付着物の表面は、プロセス温度において真 空下で何らかの物理的もしくは化学的変質を受けない材料で覆うことにより保護 されねばならない。事実、焼結が付着物表面を暴露した状態で行われるなら、処 理中、付着物のスケールが剥離される。この作用の理由はいまだ解明されていな いが、付着物表面上に、物理的及び化学的に不活性な材料（上に明らかにした意 味で）の平面状の表面を置くことにより、この現象が起こらないことが判明した 。この材料は「耐火」材料としても定義されうる。付着物の保護のために使用で きる材料は、熱サイクルの温度範囲全体を通して真空下で溶融せず又は物理的も しくは化学的変化や変質を受けない限り、様々でありうる。こうした材料の例と して、モリブデンやグラファイトを挙げることができる。同じ熱サイクルにおい て幾つかの付着物の焼結を、担持された付着物の幾つかのシートを重ねそしてこ れらシート乃至平面間に耐火材料を介在させそして一番上のシートの表面を耐火 材料で覆うことにより行うこともまた可能である。 セリグラフ技術により、付着物は、一般に、少なくとも５０ｃｍ²を超える比 較的広い表面積を有する担持体上に生成される。この技術を制限された表面の担 持体とともに使用することは困難である。これとは逆に、一般に、真空を必要と するデバイス内でのゲッタ装置に対して利用可能な表面はそう広くはない。例え ば、フラット型ディスプレイにおいて、ゲッタは、数ｍｍの幅を有するストライ プの形状をにおけるスクリーンの縁において配列されうる。「マイクリマシン」 の場合、逆に、数ｍｍ²の幾何学的表面を有するゲッタ装置が必要とされる。そ の結果、本発明によるゲッタ装置の作製のためには、シート切断段階がほとんど 常に必要とされる。付着物が不連続でありそして担持用表面の自由部分が一つの 付着物帯域と別のそれとの間に存在するなら、シートを未被覆担持帯域に沿って の剪断によるような通常の機械的技術により切断することが可能である。逆に、 一つ以上の付着物帯域を通る線に沿って切断を行うことが所望されるとき、アル ゴンガスの同軸流れと関連してのレーザ切断技術に頼ることが好ましい。この技 術により、シートは、金属上にレーザにより発生した熱により生じた局所的な溶 融により切断される。同時に、付着物の約３０〜４０μｍ幅の非常に薄い帯域の 溶融も起こり、この場合ＮＥＧ材料の粒子は互い同志また担持体とも融着するこ とがわかっている。これは、切断の「シーム（継目）」を提供しそして付着物の 機械的切断により起こりうるＮＥＧ材料の損失を防止する。アルゴン流れはゲッ タ材料の酸化防止に役立つ。セリグラフ方法により得られるゲッタ材料の調製に 固有の利益の一つは、異種材料でもそして異なった層が必ずしも同じパターンで なくとも、簡単な態様で多層を得ることができることである。例えば、２つの重 なった連続した層及び金属担持体上の第１の材料の連続層と当該第１の層上の第 ２の材料の個々の帯域の層若しくは、逆の構造で、担持体と直接接触している不 連続付着層と第１の層を覆う連続層を付着することが可能である。この後者の構 造は、優れた機械的性質並びに出発ＮＥＧ材料が焼結困難で、その粒子が結果的 に互い同志また担持体との接着性が乏しい場合でも、実用上ゼロの粒子損失を示 すゲッタ装置を容易に得ることを可能ならしめる点で特に興味がある。この種の 構造の例として、焼結困難であるＳｔ７０７合金の粒子の第１の層を付着しその 後約８５０℃の温度で容易に焼結されるニッケル粉末の層を付着することにより 得られるゲッタ装置を得ることができる。この場合、焼結ニッケル層は十分に多 孔質であり、下側のゲッタ合金へのかなりの気体導入速度を許容し、同時に合金 付着物に対して「ケージ」として挙動し、真空装置内部でのその粒子損失を回避 する。異なった材料の重なり合う層を得る可能性は、電気泳動やスプレイのよう な技術を使用しても理論的には存在するが、電気泳動の場合得られる最大厚さに よる制限約困難さを受ける。対照的に、セリグタフ技術は、少なくとも一つの不 連続粉末層を有するゲッタ装置を得ることを可能ならしめる唯一の技術である。 本発明を以下の例に基づいて例示する。これらは、本発明を制限することを意 図するものでなく、当業者に本発明に実施を態様を例示しそして本発明の達成の ための最適と考えられる形態を表すためのものである。 例１ 本例は、本発明に従う担持されたゲッタ材料の薄層の調製を例示する。 ゲッタ材料の粉末の懸濁液を、７０ｇのチタン水素化物、３０ｇのＳｔ７０７ 合金、及びKFG ITLIANA 社から、０．８重量％未満の高沸点有機物質を含有量を 有する水性ベースとして製造されている、「Transparent ad Acqus 5251/1"」の 商品名のもとで販売されている４０ｇの分散用媒体を使用した。粉末は、６０μ ｍ未満の粒寸を有した。２種の成分を均質な懸濁液を得るために約２０分混合し た。この懸濁液をセリグラフマシン（Ｃｕｇｈｅｒ社のＭＳ３００モデル）に設 置した、２４スレッド／ｃｍを有するセリグラフ印刷用フレーム上に分与した。 フレームスクリーンは、その周辺に沿って層の付着中担持体と接触状態にある側 辺に止着されたマスク用テープによりあらかじめ遮蔽しておいた。テープは１１ ×１５ｃｍの矩形状付着帯域を画定しそして印刷期間中約５０μｍの材料の被膜 の付着を可能とするようにフレームと基材との間にこの間隔を維持するものとし た。付着材料を有するシートを、室温で大気中３０分の最初の乾燥段階後、２枚 のモリブデン板の間に挟みそして真空オーブン内に置いた。オーブンの排気を開 始しそして圧力が５×１０^-4ｍｂａｒの値に達した時常時排気状態のもとで熱処 理を開始した。熱サイクルは次の通りとした： −室温から２００℃まで２０分で温度上昇、 −２００℃で２０分間温度を維持、 −２００℃から５５０℃まで６０分で温度上昇、 −５５０℃で６０分間温度を維持、 −５５０℃から８５０℃まで６０分で温度上昇、 −８５０℃で４０分間温度を維持、 −真空下で約３５０℃まで自然冷却そしてオーブン室内に数ｍｂａｒのアルゴン を添加することによりこの温度以下まで強制冷却。 焼結されたゲッタ材料の付着物を有するシートを室温でオーブンから取り出し そして１×５ｃｍのストライプをレーザ切断により切り出した。ストライプは、 ゲッタ材料により完全に被覆され、その後以下に述べる気体収着試験を行った。 このストライプがサンプル１を形成する。 例２（比較例） この比較例は、本発明とは異なった技術による、担持されたゲッタ材料の薄層 の調製を言及する。 ５０μｍのゲッタ材料層をＷＯ９５／２３４２５号により開示されたスプレイ 付着技術に従って５０μｍのＮｉ／Ｃｒシート上に調製した。使用したゲッタ材 料及びその粒寸は例１と同じである。付着物を例１で言及したサンプルに対して 使用したのと同じ熱サイクルにより焼結した。焼結されたゲッタ材料の付着物を 有するシートから、１×５ｃｍのストライプをレーザ切断により切り出した。ス トライプは、ゲッタ材料により完全に被覆され、その後以下に述べる気体収着試 験を行った。このストライプがサンプル２を形成する。 例３（比較例） この比較例は、本発明とは異なったまた別の技術による、担持されたゲッタ材 料の薄層の調製を言及する。 ５０μｍのゲッタ材料層を米国特許第４，６２８，１９８号により開示された 電気泳動技術に従って５０μｍのＮｉ／Ｃｒシート上に調製した。使用したゲッ タ材料及びその粒寸は例１と同じである。付着物を例１で言及したサンプルに対 して使用したのと同じ熱サイクルにより焼結した。焼結されたゲッタ材料の付着 物を有するシートから、１×５ｃｍのストライプをレーザ切断により切り出した 。ストライプは、ゲッタ材料により完全に被覆され、その後以下に述べる気体収 着試験を行った。このストライプがサンプル３を形成する。 例４（比較例） この比較例は、本発明のものとは異なった分散用媒体による、担持されたゲッ タ材料の薄層の調製を言及する。 例１の過程を繰り返したが、但し、次の組成を有する懸濁用分散媒体を使用し た：４．４５％アルミニウムフレーク、４４．５％Ａｌ（ＮＯ₃）₃、及び５１． ０５％蒸留水、（すなわち有機物を含まない）。得られた焼結付着物は担持体に 対して非常に乏しい接着性しか示さず、フレークの形態でそこから剥離した。こ うして得られた付着物の機械的性質にでは、ゲッタ装置が必要とされる技術分野 で使用可能ではなく、このサンプルについては収着試験は行わなかった。 例５（比較例） この比較例は、本発明のものとは異なった分散用媒体による、担持されたゲッ タ材料の薄層の調製を言及する。 例１の過程を繰り返したが、但し次の組成を有する懸濁用分散媒体を使用した ：１．５重量％コロジオン・コットン、４０％酢酸ブチル、５８．５％イソブタ ノール。焼結されたゲッタ材料の付着物を有するシートから、１×５ｃｍのスト ライプをレーザ切断により切り出した。ストライプは、ゲッタ材料により完全に 被覆され、その後以下に述べる気体収着試験を行った。このストライプがサンプ ル５を形成する。 例６ ゲッタ材料の付着物の焼結中半分だけをモリブデンシートで被覆した点を除い て、例１の過程を繰り返した。繞結後得られた付着物がサンプル６を形成する。 第３図において、サンプル６の焼結中モリブデンにより被覆された帯域と被覆せ ずの残された帯域両方を上面から概略的に示した。 例７ サンプル１、２、３の気体収着容量を標準規則ＡＳＴＭ Ｆ ７９８−８２に より指定された方法に従って測定した。試験気体として、一酸化炭素（ＣＯ）を 使用した。これら試験の結果を第１図に曲線１、２、３としてそれぞれ示す。こ こでは、収着気体の量を横軸にそして収着速度を縦軸に記録した。 例８ サンプル１及び５の気体収着容量を標準規則ＡＳＴＭ Ｆ ７９８−８２によ り指定された方法に従って測定した。試験気体として、一酸化炭素（ＣＯ）を使 用した。これら試験の結果を、第１図のグラフと同様に、第２図に曲線１及び５ としてそれぞれ示す。 第１図のグラフにおける曲線１、２、３の比較から推測されるように、本発明 に従って作製されたゲッタ装置は、同じ寸法形状であるが異なった技術により調 製された装置により得られたものより優れた気体収着性質を示す。 更に、第２図のグラフの解析は、低濃度の高沸点炭素化合物を有する分散用媒 体を採用することの必要性を確認する。付着物の乾燥及び焼結熱処理がこれら化 合物の微量を除去することは予想しうるけれども、高い含有量の高沸点炭素化合 物を有する懸濁液から出発して得られたサンプル５が、本発明に従って調製され たサンプル１より乏しい気体収着性質しか有しないことがグラフから明らかであ る。 最後に、第３図は、耐火材料により付着物を覆うことの効果を示す。第３図に おいて、焼結中覆われた帯域は「ａ」により示されそして覆われなかった帯域は 「ｂ」として示される。露出状態で残された表面部分は、担持体自体から剥離し た付着物スケールｃ、ｃ’により示されるように、担持体ｄに対して乏しい付着 力しか有さなかった。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ガリトニョッタ，アレッサンドロ イタリア国 20017 エレアッカオ（ミラ ノ），ビア アルフレドー ディ ディ オ，１ (72)発明者 クルバーグ，リチャード アメリカ合衆国 80906 コロラド，コロ ラド スプリングス，シャイアン ブール バード 1942 (72)発明者 フェリス，マイケル エル. アメリカ合衆国 80906 コロラド，コロ ラド スプリングス，アッシュウッド サ ークル 3330

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．担持されたゲッタ材料薄層を製造する方法であって、 −約１５０μｍ未満の粒寸を有するＮＥＧ材料の粒子を水性、アルコール性もし くはヒドロアルコール性のベースを有しそして２５０℃を超える沸点を有する有 機化合物を１重量％未満含有する分散用媒体中に含む少なくとも１種の懸濁液を 調製し、その場合ＮＥＧ材料の重量対分散用媒体重量の比率が４：１〜１：１の 範囲にあるものとなし、 −ＮＥＧ材料懸濁液の少なくとも一つの層をセリグラフ技術により金属上に付着 し、 −こうして得られた付着物を揮発成分を蒸発せしめることにより乾燥し、そして −乾燥した付着物を真空オーブンにおいて、与えられたプロセス温度で真空下で 物理的もしくは化学的変質を受けない材料で付着物を覆いながら、８００〜１０ ００℃の範囲の温度において真空下で焼結する ことを包含する担持されたゲッタ材料薄層を製造する方法。 ２．ＮＥＧ材料がＺｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｖ及び１種以上の他の元素との合金 から選択される請求項１に従う方法。 ３．ＮＥＧ材料が重量％で７０％Ｚｒ−２４．６％Ｖ−５．４％Ｆｅの組成を有 する合金である請求項２に従う方法。 ４．ＮＥＧ材料が重量％で８４％Ｚｒ−１６％Ａｌの組成を有する合金である請 求項２に従う方法。 ５．ＮＥＧ材料が化合物Ｚｒ₂Ｆｅである請求項２に従う方法。 ６．ＮＥＧ材料が化合物Ｚｒ₂Ｎｉである請求項２に従う方法。 ７．ＮＥＧ材料が５〜７０μｍの範囲の粒寸を有する粉末の形態にある請求項１ に従う方法。 ８．２５０℃より高い沸点を有する有機化合物の重量％が０．８％以下である請 求項１に従う方法。 ９．ＮＥＧ材料の重量対分散用媒体の重量の比率が２．５：１〜１．５：１の範 囲にある請求項１に従う方法。 １０．担持用材料が鋼、チタン、ニッケルメッキ鉄、コンスタンタン、並びにニ ッケル／クロム合金及びニッケル／鉄合金から選択される請求項１に従う方法。 １１．担持体が２０μｍ〜１ｍｍの範囲の厚さを有する請求項１０の方法。 １２．焼結操作が０．１ｍｂａｒ未満の残留オーブン圧力において行われる請求 項１に従う方法。 １３．焼結された付着物がレーザ切断技術を使用して複数の付着物帯域間を通る 一つ以上の線に沿って切断される請求項１に従う方法。 １４．少なくとも２つの異なった材料の層がセリグラフ技術に従って付着される 請求項１に従う方法。 １５．少なくとも一つの層が８５０℃以下の温度での焼結材料から成る請求項１ ４に従う方法。 １６．少なくとも一つの層が複数の個々の付着物帯域からなる請求項１４に従う 方法。 １７．請求項１の方法により得られたゲッタ装置。 １８．請求項１４の方法により得られたゲッタ装置。 １９．担持体に直接接触する層がＮＥＧ材料からなりそして最上層がニッケルか ら成る請求項１８に従うゲッタ装置。 ２０．個々の付着物帯域の層がＮＥＧ材料から成る請求項１６の方法により得ら れたゲッタ装置。