RU98107658A

RU98107658A - Способ изготовления тонких слоев неиспаряющихся газопоглощающих материалов на подложке и газопоглотительное устройство

Info

Publication number: RU98107658A
Application number: RU98107658/09A
Authority: RU
Inventors: Коразза Алессио; Боффито Клаудио; Галлитоньотта Алессандро; Куллберг Ричард; Л.Феррис Майкл
Original assignee: Саес Геттерс С.П.А.
Priority date: 1996-07-23
Filing date: 1997-07-21
Publication date: 2000-02-20

Claims

1. Способ изготовления тонкого слоя газопоглотительного материала на подложке, включающий приготовление, по крайней мере, одной суспензии из частиц газопоглотительного материала с размером менее примерно 150 мкм в диспергирующей среде, имеющей водную, спиртовую или водно-спиртовую основу, содержащей весовой процент органических соединений, имеющих температуру кипения выше 250°С, ниже 1%, в которой соотношение веса газопоглотительного материала к весу диспергирующей среды составляет между 4:1 и 1:1; покрытие методом осаждения по меньшей мере одним слоем суспензии газопоглотительного материала металлического носителя посредством сериграфического способа; сушку полученного таким образом покрытия посредством испарения летучих компонентов; и обжиг в вакуумной печи высушенного покрытия при температуре, включающей интервал между 800 и 1000°С, и, действуя под вакуумом, нанесение на это покрытие материала устойчивого к физическим или химическим изменениям под вакуумом при любой температуре процесса.

2. Способ по п. 1, в котором газопоглотительный материал выбирают из металлов Zr, Ti, Nb, Та, V и их сплавов с одним или несколькими другими металлами.

3. Способ по п. 2, в котором газопоглотительный материал является сплавом, имеющим весовой процент для композиции 70%Zr-24,6%V-5,4%Fe.

4. Способ по п. 2, в котором газопоглотительный материал является сплавом, имеющим весовой процент для композиции 84%Zr-16%Al.

5. Способ по п. 2, в котором газопоглотительный материал является соединением Zr₂Fe.

6. Способ по п. 2, в котором газопоглотительный материал является соединением Zr₂Ni.

7. Способ по п. 1, в котором газопоглотительный материал представляет собой порошок, имеющий размер частиц, находящийся в интервале между 5 и 70 мкм.

8. Способ по п. 1, в котором весовой процент органического соединения, имеющего температуру кипения выше 250°С, ниже чем 0,8%.

9. Способ по п. 1, в котором соотношение веса газопоглотительного материала к весу диспергирующей среды включает между 2.5:1 и 1.5:1.

10. Способ по п. 1, в котором материал подложки выбирают из стали, титана, никелированного железа, константана, сплавов никель/хром и сплавов никель/железо.

11. Способ по п. 10, в котором носитель имеет толщину, находящуюся в интервале между 20 мкм и 1 мм.

12. Способ по п. 1, в котором операцию обжига осуществляют при остаточном давлении в печи ниже, чем 0,1 мБар.

13. Способ по п. 1, в котором обожженное покрытие разрезают вдоль одной или более линий, идущих через одну или более покрывающих зон, посредством технологии лазерной резки.

14. Способ по п. 1, в котором по крайней мере, два слоя различных материалов наносят методом осаждения посредством сериграфической технологии.

15. Способ по п. 14, в котором по крайней мере один слой состоит из материала, обожженного при температуре ниже 850°С.

16. Способ по п. 14, в котором по меньшей мере один слой состоит из множества дискретных покрывающих зон.

17. Газопоглотительное устройство, полученное способом по п. 1.

18. Газопоглотительное устройство, полученное способом по п. 14.

19. Газопоглотительное устройство по п. 18, в котором слой, находящийся в прямом контакте с носителем состоит из газопоглотительного материала, а следующий верхний слой состоит из никеля.

20. Газопоглотительное устройство, полученное согласно способу по п. 16, в котором слой дискретных зон покрытия состоит из газопоглотительного материала.