JPH11356025A - 真空モータ構造 - Google Patents

真空モータ構造

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JPH11356025A
JPH11356025A JP10159358A JP15935898A JPH11356025A JP H11356025 A JPH11356025 A JP H11356025A JP 10159358 A JP10159358 A JP 10159358A JP 15935898 A JP15935898 A JP 15935898A JP H11356025 A JPH11356025 A JP H11356025A
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rotor
magnetic sensor
sensor body
vacuum
magnetic
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Shigeo Seki
重夫 関
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Tamagawa Seiki Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の真空モータ構造は、回転検出器として
光学式を用いていたため、光源と受光素子が真空側に位
置し、リード線を外部に出すコネクタが必要となり、コ
ネクタの気密性に問題があった。 【解決手段】 本発明による真空モータ構造は、検出器
ロータ(12)が磁性材で形成された磁性歯車よりなり、モ
ータケース(20)には磁性歯車(12)に対応して磁気センサ
体(11)が設けられ、磁気センサ体(11)の内端(11Ba)は真
空側に、その外端(11Bc)は大気側に位置する構成であ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空モータ構造に
関し、特に、ロータに磁性歯車を設けてモータケースに
磁気センサ体を設けることにより、真空側に配置する光
源、エンコーダディスク及び受光素子を不要とし、構造
の簡略化及び信頼性の向上を得るための新規な改良に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来、用いられていたこの種の真空モー
タ構造としては、図3に示す光学式エンコーダを内蔵し
た構成が採用されていた。すなわち、図3において符号
1で示されるものは、ステータコア2aとステータ巻線
2bとからなるステータ2を有するモータケース20に
軸受21を介して回転自在に設けられたロータであり、
このモータケース20の一部に形成された取付孔20a
にはOリング8を介してコネクタ7が設けられている。
このロータ1の外周には、ロータマグネット10が設け
られている。
【0003】前記モータケース20内には、光源5及び
受光素子6が互いに離間しかつ対向して固定配設されて
いると共に、前記ロータ1の端部1aにはエンコーダデ
ィスク4が設けられ、このエンコーダディスク4は前記
光源5と受光素子6の間に位置している。従って、前述
のロータ1、光源5、エンコーダディスク4及び受光素
子6は真空側に位置し、モータケース20と一体の隔壁
3によってステータ2は大気側に位置している。なお、
光源5、受光素子6及びエンコーダディスク4により光
学式の回転検出器40を構成している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の真空モータ構造
は、以上のように構成されているため、次のような課題
が存在していた。すなわち、内蔵のエンコーダが光学式
であるため、光源と受光素子との間には隔壁を設けるこ
とができず、光源及び受光素子のリード線をコネクタを
介して外部に引出さなくてはならず、コネクタ内側の真
空側とコネクタ外側の大気側とを完全に維持すること
は、コネクタの構造上からも難しく、真空モータを使用
する場合のネックとなっていた。
【0005】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、ロータに磁性歯車を設けて
モータケースに磁気センサ体を設けることにより、真空
側に配置する光源、エンコーダディスク及び受光素子を
不要とし、構造の簡略化及び信頼性の向上を得るように
した真空モータ構造を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明による真空モータ
構造は、ステータを有するモータケースに軸受を介して
ロータを回転自在に有し、前記ロータに回転検出器の検
出器ロータを設け、前記ロータと検出器ロータとは真空
側に位置するようにした真空モータ構造において、前記
検出器ロータは磁性材で形成された磁性歯車よりなり、
前記モータケースには前記磁性歯車に対応して磁気セン
サ体が設けられ、前記磁気センサ体の内端は真空側に、
前記磁気センサ体の外端は大気側に位置するようにした
構成であり、さらに、前記磁気センサ体は、全体がカッ
プ型をなし鍔部を有するカバーと、前記カバー内に設け
られ表側に磁気センサを有するプリント基板と、前記プ
リント基板の裏側に設けられたバイアス用マグネット
と、前記カバー内に充填され前記プリント基板の保持を
するための樹脂充填材とよりなり、前記鍔部が前記モー
タケースの外面側に固定され、前記カバーの前記内端が
前記モータケースの内側に位置している構成である。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による真
空モータ構造の好適な実施の形態について説明する。な
お、従来例と同一又は同等部分については同一符号を用
いて説明する。図1において符号1で示されるものは、
ステータコア2aとステータ巻線2bとからなるステー
タ2を有するモータケース20に軸受21を介して回転
自在に設けられたロータであり、このモータケース20
の一部に形成された取付孔20aにはOリング8を介し
て磁気センサ体11が密合して固定されている。
【0008】前記ロータ1の外周には、ロータマグネッ
ト10が設けられていると共に、このロータ1の端部1
aの外周には磁性材料よりなると共に検出器ロータであ
る磁性歯車12が設けられている。この磁性歯車12の
歯車12aに対向して前記磁気センサ体11が位置して
いる。なお、この磁性歯車12と磁気センサ体11によ
って磁気式の回転検出器40を構成している。
【0009】前記磁気センサ体11は、図2で示される
ように構成されており、この磁気センサ体11のカップ
型をなすと共に鍔部11Aを有するカバー11Bの内端
11Ba側の段部11Bbには表側に周知の磁気センサ
11aを有するプリント基板11bが設けられ、このプ
リント基板11bの裏側にはバイアスマグネット11c
が設けられている。前記カバー11Bの内部には樹脂充
填材11eが充填され、この樹脂充填材11eによって
プリント基板11bが段部11Bbに保持されている。
従って、前記磁気センサ体11の内端11Baがモータ
ケース20の内側に位置し、モータケース20の延長部
である隔壁3によってステータ2が大気側に位置してい
る。
【0010】前述の構成により、前記ロータ1、磁性歯
車12及び磁気センサ体11の内端11Baが真空側に
位置し、ステータ2及び磁気センサ体11の外端11B
cが大気側に位置している。なお、この磁気センサ11
aが設けられたプリント基板11bに接続されたリード
線30はこの樹脂充填材11eを経て外部に導出されて
いる。また、前述の磁気センサ体11の内部構造は、図
2に示す構成は1例であり、周知の他のセンサ構造を用
いることもできる。
【0011】
【発明の効果】本発明による真空モータ構造は、以上の
ように構成されているため、次のような効果を得ること
ができる。すなわち、真空モータに内蔵されたエンコー
ダを従来の光学式から磁気式に変更したことによりモー
タケースには磁気センサ体を直接設けるのみとなり、真
空側から大気側への漏れがなくなり、かつ、真空側での
配線も不要となり、構造の簡略化と信頼性の向上を得る
ことができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による真空モータ構造を示す断面図であ
る。
【図2】図1の磁気センサ体を示す拡大断面図である。
【図3】従来の真空モータ構造を示す断面図である。
【符号の説明】
1 ロータ 2 ステータ 12 検出器ロータ(磁性歯車) 11 磁気センサ体 11Ba 内端 11Bc 外端 11A 鍔部 11B カバー 11a 磁気センサ 11b プリント基板 11e 樹脂充填材 20 モータケース

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ステータ(2)を有するモータケース(20)
    に軸受(21)を介してロータ(1)を回転自在に有し、前記
    ロータ(1)に回転検出器(40)の検出器ロータ(12)を設
    け、前記ロータ(1)と検出器ロータ(12)とは真空側に位
    置するようにした真空モータ構造において、前記検出器
    ロータ(12)は磁性材で形成された磁性歯車よりなり、前
    記モータケース(20)には前記磁性歯車(12)に対応して磁
    気センサ体(11)が設けられ、前記磁気センサ体(11)の内
    端(11Ba)は真空側に、前記磁気センサ体(11)の外端(11B
    c)は大気側に位置するように構成したことを特徴とする
    真空モータ構造。
  2. 【請求項2】 前記磁気センサ体(11)は、全体がカップ
    型をなし鍔部(11A)を有するカバー(11B)と、前記カバー
    (11B)内に設けられ表側に磁気センサ(11a)を有するプリ
    ント基板(11b)と、前記プリント基板(11b)の裏側に設け
    られたバイアス用マグネット(11c)と、前記カバー(11B)
    内に充填され前記プリント基板(11b)の保持をするため
    の樹脂充填材(11e)とよりなり、前記鍔部(11A)が前記モ
    ータケース(20)の外面側に固定され、前記カバー(11B)
    の前記内端(11Ba)が前記モータケース(20)の内側に位置
    していることを特徴とする請求項1記載の真空モータ構
    造。
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