JP2001320858A - 真空モータ用センサ - Google Patents
真空モータ用センサInfo
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- JP2001320858A JP2001320858A JP2000135642A JP2000135642A JP2001320858A JP 2001320858 A JP2001320858 A JP 2001320858A JP 2000135642 A JP2000135642 A JP 2000135642A JP 2000135642 A JP2000135642 A JP 2000135642A JP 2001320858 A JP2001320858 A JP 2001320858A
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- vacuum
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- magnetic
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、磁気式エンコーダをエンコーダケ
ース内の真空側に位置させることにより、真空モータの
形状を小型化し、装置への取付けを容易化することを目
的とする。 【解決手段】 本発明による真空モータ用センサは、ロ
ータ(8)を有する回転軸(9)に設けられた磁性歯車(22)
と、モータケース(1)に設けられたエンコーダケース(1
8)と、このエンコーダケース(18)内に設けられ磁性歯車
(22)と対面する磁気式センサ(19)とを備え、磁性歯車(2
2)と磁気式センサ(19)の検出面(19a)は真空側(14)に位
置している構成である。
ース内の真空側に位置させることにより、真空モータの
形状を小型化し、装置への取付けを容易化することを目
的とする。 【解決手段】 本発明による真空モータ用センサは、ロ
ータ(8)を有する回転軸(9)に設けられた磁性歯車(22)
と、モータケース(1)に設けられたエンコーダケース(1
8)と、このエンコーダケース(18)内に設けられ磁性歯車
(22)と対面する磁気式センサ(19)とを備え、磁性歯車(2
2)と磁気式センサ(19)の検出面(19a)は真空側(14)に位
置している構成である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空モータ用セン
サに関し、特に、ロータを真空中におくと共に、磁性歯
車及び磁気式センサの検出面を真空中におくための新規
な改良に関する。
サに関し、特に、ロータを真空中におくと共に、磁性歯
車及び磁気式センサの検出面を真空中におくための新規
な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、用いられていたこの種の真空モー
タ用センサとしては、真空モータの外側にエンコーダ、
レゾルバ、ホール素子等のセンサを取付け、センサは大
気側で用いられていた。
タ用センサとしては、真空モータの外側にエンコーダ、
レゾルバ、ホール素子等のセンサを取付け、センサは大
気側で用いられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の真空モータ用セ
ンサは、以上のように構成されていたため、次のような
課題が存在していた。すなわち、センサを真空中で用い
ることができないため、真空モータのモータケースの外
側に突出した状態で設けなければならず、そのために、
真空モータを真空用の各種装置に取付けた場合には、こ
のセンサ部分が突出して、他の部材等に対して障害とな
っていた。
ンサは、以上のように構成されていたため、次のような
課題が存在していた。すなわち、センサを真空中で用い
ることができないため、真空モータのモータケースの外
側に突出した状態で設けなければならず、そのために、
真空モータを真空用の各種装置に取付けた場合には、こ
のセンサ部分が突出して、他の部材等に対して障害とな
っていた。
【０００４】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、ロータを真空中におくと共
に、磁性歯車及び磁気式センサの検出面を真空中におく
ようにした真空モータ用センサを提供することを目的と
する。
めになされたもので、特に、ロータを真空中におくと共
に、磁性歯車及び磁気式センサの検出面を真空中におく
ようにした真空モータ用センサを提供することを目的と
する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明による真空モータ
用センサは、ステータを有するモータケースに軸受を介
してロータを回転自在に設け、前記ロータを真空中にて
用いる真空モータケースにおいて、前記ロータを有する
回転軸に設けられた磁性歯車と、前記モータケースに設
けられ前記磁性歯車を覆うためのエンコーダケースと、
前記エンコーダケースに設けられ前記磁性歯車に対面す
る磁気式センサとを備え、前記磁性歯車及び前記磁気式
センサの検出面は前記エンコーダケース内でかつ真空中
に位置する構成であり、また、前記モータケースに設け
られ前記ステータを覆うためのステータ用シールド板
と、前記ロータの外周に設けられ前記ロータを覆うため
のロータ用シールド板と、前記モータケースとエンコー
ダケースとの間に設けられたエンコーダケース用Ｏリン
グと、前記エンコーダケースと磁気式センサとの間に設
けられたセンサ用Ｏリングとを備えた構成である。
用センサは、ステータを有するモータケースに軸受を介
してロータを回転自在に設け、前記ロータを真空中にて
用いる真空モータケースにおいて、前記ロータを有する
回転軸に設けられた磁性歯車と、前記モータケースに設
けられ前記磁性歯車を覆うためのエンコーダケースと、
前記エンコーダケースに設けられ前記磁性歯車に対面す
る磁気式センサとを備え、前記磁性歯車及び前記磁気式
センサの検出面は前記エンコーダケース内でかつ真空中
に位置する構成であり、また、前記モータケースに設け
られ前記ステータを覆うためのステータ用シールド板
と、前記ロータの外周に設けられ前記ロータを覆うため
のロータ用シールド板と、前記モータケースとエンコー
ダケースとの間に設けられたエンコーダケース用Ｏリン
グと、前記エンコーダケースと磁気式センサとの間に設
けられたセンサ用Ｏリングとを備えた構成である。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による真
空モータ用センサの好適な実施の形態について説明す
る。図１において符号１で示されるものは真空モータ２
のモータケースであり、このモータケース１の内壁に
は、ステータ巻線３ａを有する輪状のステータ３が設け
られている。前記ステータ３は、このモータケース１に
溶接部１ａを介して設けられた輪状のステンレス等のス
テータ用シールド板４により気密封止され、このステー
タ用シールド板４によってステータ３が大気側５に隔絶
構成されている。
空モータ用センサの好適な実施の形態について説明す
る。図１において符号１で示されるものは真空モータ２
のモータケースであり、このモータケース１の内壁に
は、ステータ巻線３ａを有する輪状のステータ３が設け
られている。前記ステータ３は、このモータケース１に
溶接部１ａを介して設けられた輪状のステンレス等のス
テータ用シールド板４により気密封止され、このステー
タ用シールド板４によってステータ３が大気側５に隔絶
構成されている。
【０００７】前記モータケース１における前記ステータ
用シールド板４の内側には、このモータケース１に設け
た１対の第１、第２軸受６、７を介してロータ８を有す
る回転軸９が回転自在に設けられている。前記ロータ８
の一端８ａ側は回転軸９の鍔部９ａに接合し、その他端
８ｂ側には輪状のシール板１０が溶接部１１を介して固
定されており、この鍔部９ａとシール板１０との間でか
つ前記ロータ８の外周位置には輪状のステンレス等のロ
ータ用シールド板１２が溶接部１３を介して固定され、
このロータ用シールド板１２によりロータ８側が真空側
１４に保たれるように構成されている。
用シールド板４の内側には、このモータケース１に設け
た１対の第１、第２軸受６、７を介してロータ８を有す
る回転軸９が回転自在に設けられている。前記ロータ８
の一端８ａ側は回転軸９の鍔部９ａに接合し、その他端
８ｂ側には輪状のシール板１０が溶接部１１を介して固
定されており、この鍔部９ａとシール板１０との間でか
つ前記ロータ８の外周位置には輪状のステンレス等のロ
ータ用シールド板１２が溶接部１３を介して固定され、
このロータ用シールド板１２によりロータ８側が真空側
１４に保たれるように構成されている。
【０００８】前記第２軸受７を保持し前記モータケース
１の一部としての輪状保持体１５の溝１６には、エンコ
ーダケース用Ｏリング１７が設けられ、前記モータケー
ス１の端面１ｂにはキャップ型をなすエンコーダケース
１８が取付けられていると共に、このエンコーダケース
１８の内面はこのエンコーダケース用Ｏリング１７に直
接接合している。
１の一部としての輪状保持体１５の溝１６には、エンコ
ーダケース用Ｏリング１７が設けられ、前記モータケー
ス１の端面１ｂにはキャップ型をなすエンコーダケース
１８が取付けられていると共に、このエンコーダケース
１８の内面はこのエンコーダケース用Ｏリング１７に直
接接合している。
【０００９】前記エンコーダケース１８の図１における
下部位置には、磁気式センサ１９を取付けるための開口
２０が形成され、この開口２０と磁気式センサ１９との
間には、センサ用Ｏリング２１が設けられていると共
に、この磁気式センサ１９の検出面１９ａは前記回転軸
９の先端９ａに取付けられた磁性歯車２２の歯面２２ａ
とわずかな間隙を介して直接対面している。
下部位置には、磁気式センサ１９を取付けるための開口
２０が形成され、この開口２０と磁気式センサ１９との
間には、センサ用Ｏリング２１が設けられていると共
に、この磁気式センサ１９の検出面１９ａは前記回転軸
９の先端９ａに取付けられた磁性歯車２２の歯面２２ａ
とわずかな間隙を介して直接対面している。
【００１０】前記磁性歯車２２及び磁気式センサ１９の
検出面１９ａの各表面は、真空側１４に位置しているた
め、この真空側１４に存在する不活性ガス等のガス腐食
から保護するために、沸化ニッケル処理又は無電解ニッ
ケル処理をするように構成され、真空側１４と大気側５
を遮断するためのエンコーダケース用Ｏリング１７と、
センサ用Ｏリング２１は共に耐ガス用の沸素ゴム系材料
で構成されている。
検出面１９ａの各表面は、真空側１４に位置しているた
め、この真空側１４に存在する不活性ガス等のガス腐食
から保護するために、沸化ニッケル処理又は無電解ニッ
ケル処理をするように構成され、真空側１４と大気側５
を遮断するためのエンコーダケース用Ｏリング１７と、
センサ用Ｏリング２１は共に耐ガス用の沸素ゴム系材料
で構成されている。
【００１１】前記磁性歯車２２及び磁気式センサ１９に
よって磁気式エンコーダ３０を構成しているが、この磁
性歯車２２の歯数は、一側として、５１２歯で構成され
ている場合には、５１２歯×４０９６分割＝１／２００
万以上の分解能が可能となり、図示しないカウンタとの
組合せにより絶対値検出可能なＺ相対アブソリュートエ
ンコーダとすることができる。
よって磁気式エンコーダ３０を構成しているが、この磁
性歯車２２の歯数は、一側として、５１２歯で構成され
ている場合には、５１２歯×４０９６分割＝１／２００
万以上の分解能が可能となり、図示しないカウンタとの
組合せにより絶対値検出可能なＺ相対アブソリュートエ
ンコーダとすることができる。
【００１２】
【発明の効果】本発明による真空モータ用センサは、以
上のように構成されているため、次のような効果を得る
ことができる。すなわち、真空モータに取付けるエンコ
ーダを磁気式エンコーダとしているため、この磁気式エ
ンコーダを構成するための磁性歯車と磁気センサの検出
面とを真空側に位置させることができ、真空モータ自体
の形状を小型化し、かつ、エンコーダ部分のみが真空モ
ータから突出することもなく、各種装置への真空モータ
の組込みを従来よりも大幅に容易化することができる。
上のように構成されているため、次のような効果を得る
ことができる。すなわち、真空モータに取付けるエンコ
ーダを磁気式エンコーダとしているため、この磁気式エ
ンコーダを構成するための磁性歯車と磁気センサの検出
面とを真空側に位置させることができ、真空モータ自体
の形状を小型化し、かつ、エンコーダ部分のみが真空モ
ータから突出することもなく、各種装置への真空モータ
の組込みを従来よりも大幅に容易化することができる。
【図１】本発明による真空モータ用センサを示す断面図
である。
である。
１ モータケース ３ ステータ ４ ステータ用シールド板 ８ ロータ ９ 回転軸 １２ ロータ用シールド板 １７ エンコーダケース用Ｏリング １８ エンコーダケース １９ 磁気式センサ １９ａ 検出面 ２１ センサ用Ｏリング ２２ 磁性歯車
Claims (2)
- 【請求項１】 ステータ(3)を有するモータケース(1)に
軸受を介してロータ(8)を回転自在に設け、前記ロータ
(8)を真空中にて用いる真空モータケースにおいて、前
記ロータ(8)を有する回転軸(9)に設けられた磁性歯車(2
2)と、前記モータケース(1)に設けられ前記磁性歯車(2
2)を覆うためのエンコーダケース(18)と、前記エンコー
ダケース(18)に設けられ前記磁性歯車(22)に対面する磁
気式センサ(19)とを備え、前記磁性歯車(22)及び前記磁
気式センサ(19)の検出面(19a)は前記エンコーダケース
(18)内でかつ真空中に位置する構成としたことを特徴と
する真空モータ用センサ。 - 【請求項２】 前記モータケース(1)に設けられ前記ス
テータ(3)を覆うためのステータ用シールド板(4)と、前
記ロータ(8)の外周に設けられ前記ロータ(8)を覆うため
のロータ用シールド板(12)と、前記モータケース(1)と
エンコーダケース(18)との間に設けられたエンコーダケ
ース用Ｏリング(17)と、前記エンコーダケース(18)と磁
気式センサ(19)との間に設けられたセンサ用Ｏリング(2
1)とを備えたことを特徴とする請求項１記載の真空モー
タ用センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000135642A JP4543132B2 (ja) | 2000-05-09 | 2000-05-09 | 真空モータ用センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000135642A JP4543132B2 (ja) | 2000-05-09 | 2000-05-09 | 真空モータ用センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001320858A true JP2001320858A (ja) | 2001-11-16 |
| JP4543132B2 JP4543132B2 (ja) | 2010-09-15 |
Family
ID=18643689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000135642A Expired - Fee Related JP4543132B2 (ja) | 2000-05-09 | 2000-05-09 | 真空モータ用センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4543132B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009133632A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-18 | Tamagawa Seiki Co Ltd | レゾルバカバー構造 |
| CN104659957A (zh) * | 2013-11-20 | 2015-05-27 | 顾飞龙 | 缝纫机直驱马达与磁性编码器同步化的装置 |
| CN112803696A (zh) * | 2019-11-14 | 2021-05-14 | 株式会社安川电机 | 真空用机器人、真空用马达、真空马达用编码器 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6251942U (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-31 | ||
| JPS6289168U (ja) * | 1985-11-22 | 1987-06-08 | ||
| JPS6451904U (ja) * | 1987-09-28 | 1989-03-30 | ||
| JPH01121857U (ja) * | 1988-02-10 | 1989-08-18 | ||
| JPH06351194A (ja) * | 1993-06-10 | 1994-12-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | センサー内蔵のモータ |
| JPH09247887A (ja) * | 1996-03-06 | 1997-09-19 | Yaskawa Electric Corp | 真空用モータのキャン装置 |
| JPH11356025A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-24 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 真空モータ構造 |
| JP2001320857A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-16 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 冷却型モータ |
| JP2001339920A (ja) * | 2000-05-30 | 2001-12-07 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 真空モータ |
-
2000
- 2000-05-09 JP JP2000135642A patent/JP4543132B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2009133632A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-18 | Tamagawa Seiki Co Ltd | レゾルバカバー構造 |
| CN104659957A (zh) * | 2013-11-20 | 2015-05-27 | 顾飞龙 | 缝纫机直驱马达与磁性编码器同步化的装置 |
| CN104659957B (zh) * | 2013-11-20 | 2019-01-15 | 顾飞龙 | 缝纫机直驱马达与磁性编码器同步化的装置 |
| CN112803696A (zh) * | 2019-11-14 | 2021-05-14 | 株式会社安川电机 | 真空用机器人、真空用马达、真空马达用编码器 |
| CN112803696B (zh) * | 2019-11-14 | 2024-04-05 | 株式会社安川电机 | 真空用机器人、真空用马达、真空马达用编码器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4543132B2 (ja) | 2010-09-15 |
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