JP4543132B2 - 真空モータ用センサ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空モータ用センサに関し、特に、ロータを真空中におくと共に、磁性歯車及び磁気式センサの検出面を真空中におくための新規な改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、用いられていたこの種の真空モータ用センサとしては、真空モータの外側にエンコーダ、レゾルバ、ホール素子等のセンサを取付け、センサは大気側で用いられていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
従来の真空モータ用センサは、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。
すなわち、センサを真空中で用いることができないため、真空モータのモータケースの外側に突出した状態で設けなければならず、そのために、真空モータを真空用の各種装置に取付けた場合には、このセンサ部分が突出して、他の部材等に対して障害となっていた。
【0004】
本発明は、以上のような課題を解決するためになされたもので、特に、ロータを真空中におくと共に、磁性歯車及び磁気式センサの検出面を真空中におくようにした真空モータ用センサを提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明による真空モータ用センサは、ステータを有するモータケースに第1、第2軸受を介してロータを回転自在に設け、前記ロータを真空中にて用いる構成であって、前記ロータを有する回転軸に設けられた磁性歯車と、前記モータケースの端面に設けられ前記磁性歯車を覆うためのキャップ型のエンコーダケースと、前記エンコーダケースにセンサ用Oリングを介して設けられ前記磁性歯車に対面する磁気式センサとを備え、前記磁性歯車及び前記磁気式センサの検出面は前記エンコーダケース内でかつ真空中に位置する構成とした真空モータ用センサにおいて、前記モータケースに溶接部を介して設けられ前記ステータを覆うためのステータ用シールド板と、前記回転軸に設けられ前記ロータの一端が接する鍔部と、前記ロータの他端側に設けられロータの他端が接するシール板と、前記鍔部とシール板との間でかつ前記ロータの外周位置に設けられたロータ用シールド板と、前記モータケースの一部として設けられ前記モータケースの前記磁性歯車側に位置する前記第2軸受を保持するための輪状保持体と、前記輪状保持体の外周溝に設けられたエンコーダケース用Oリングと、を備え、前記エンコーダケースの内面は前記エンコーダケース用Oリングに直接係合すると共に、エンコーダケースの輪状端面は前記モータケースの断面L字型の輪状の端面に接し、前記磁性歯車及び前記検出面の各表面は沸化ニッケル処理又は無電解ニッケル処理がなされ、前記エンコーダ用Oリングとセンサ用Oリングは沸素ゴム系材料よりなる構成である。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下、図面と共に本発明による真空モータ用センサの好適な実施の形態について説明する。
図1において符号1で示されるものは真空モータ2のモータケースであり、このモータケース1の内壁には、ステータ巻線3aを有する輪状のステータ3が設けられている。
前記ステータ3は、このモータケース1に溶接部1aを介して設けられた輪状のステンレス等のステータ用シールド板4により気密封止され、このステータ用シールド板4によってステータ3が大気側5に隔絶構成されている。
【0007】
前記モータケース1における前記ステータ用シールド板4の内側には、このモータケース1に設けた1対の第1、第2軸受6、7を介してロータ8を有する回転軸9が回転自在に設けられている。尚、第2軸受7は後述の磁性歯車22側に位置している。
前記ロータ8の一端8a側は回転軸9の鍔部9aに接し、その他端8b側には輪状のシール板10が溶接部11を介して固定されており、この鍔部9aとシール板10との間でかつ前記ロータ8の外周位置には輪状のステンレス等のロータ用シールド板12が溶接部13を介して固定され、このロータ用シールド板12によりロータ8側が真空側14に保たれるように構成されている。
【0008】
前記モータケース1の前記磁性歯車22側に位置する前記第2軸受7を保持し前記モータケース1の一部としてのモータケース1に接続された輪状保持体15の外周溝16には、エンコーダケース用Oリング17が設けられ、前記モータケース1の断面L字型をなす端面1bにはキャップ型をなすと共に前記磁性歯車22を覆うためのエンコーダケース18の輪状端面18bが接した状態で取付けられていると共に、このエンコーダケース18の内面18aはこのエンコーダケース用Oリング17に直接係合している。
【0009】
前記エンコーダケース18の図1における下部位置には、磁気式センサ19を取付けるための開口20が形成され、この開口20と磁気式センサ19との間には、センサ用Oリング21が設けられていると共に、この磁気式センサ19の検出面19aは前記回転軸9の先端9aに取付けられた磁性歯車22の歯面22aとわずかな間隙を介して直接対面している。
【0010】
前記磁性歯車22及び磁気式センサ19の検出面19aの各表面は、真空側14に位置しているため、この真空側14に存在する不活性ガス等のガス腐食から保護するために、沸化ニッケル処理又は無電解ニッケル処理をするように構成され、真空側14と大気側5を遮断するためのエンコーダケース用Oリング17と、センサ用Oリング21は共に耐ガス用の沸素ゴム系材料で構成されている。
【0011】
前記磁性歯車22及び磁気式センサ19によって磁気式エンコーダ30を構成しているが、この磁性歯車22の歯数は、一例として、512歯で構成されている場合には、512歯×4096分割=1/200万以上の分解能が可能となり、図示しないカウンタとの組合せにより絶対値検出可能なZ相対アブソリュートエンコーダとすることができる。
【0012】
【発明の効果】
本発明による真空モータ用センサは、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。
すなわち、真空モータに取付けるエンコーダを磁気式エンコーダとしているため、この磁気式エンコーダを構成するための磁性歯車と磁気センサの検出面とを真空側に位置させることができ、真空モータ自体の形状を小型化し、かつ、エンコーダ部分のみが真空モータから突出することもなく、各種装置への真空モータの組込みを従来よりも大幅に容易化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明による真空モータ用センサを示す断面図である。
【符号の説明】
1 モータケース
1a 溶接部
1b 端面
3 ステータ
4 ステータ用シールド板
6,7 第1、第2軸受
8 ロータ
8a 一端
8b 他端
9 回転軸
9a 鍔部
10 シール板
12 ロータ用シールド板
15 輪状保持体
16 外周溝
17 エンコーダケース用Oリング
18 エンコーダケース
18a 内面
18b 輪状端面
19 磁気式センサ
19a 検出面
21 センサ用Oリング
22 磁性歯車
Claims (1)
- ステータ(3)を有するモータケース(1)に第1、第2軸受(6,7)を介してロータ(8)を回転自在に設け、前記ロータ(8)を真空中にて用いる構成であって、前記ロータ(8)を有する回転軸(9)に設けられた磁性歯車(22)と、前記モータケース(1)の端面(1b)に設けられ前記磁性歯車(22)を覆うためのキャップ型のエンコーダケース(18)と、前記エンコーダケース(18)にセンサ用Oリング(21)を介して設けられ前記磁性歯車(22)に対面する磁気式センサ(19)とを備え、前記磁性歯車(22)及び前記磁気式センサ(19)の検出面(19a)は前記エンコーダケース(18)内でかつ真空中に位置する構成とした真空モータ用センサにおいて、
前記モータケース(1)に溶接部(1a)を介して設けられ前記ステータ(3)を覆うためのステータ用シールド板(4)と、前記回転軸(9)に設けられ前記ロータ(8)の一端(8a)が接する鍔部(9a)と、前記ロータ(8)の他端(8b)側に設けられロータ(8)の他端(8b)が接するシール板(10)と、前記鍔部(9a)とシール板(10)との間でかつ前記ロータ(8)の外周位置に設けられたロータ用シールド板(12)と、前記モータケース(1)の一部として設けられ前記モータケース(1)の前記磁性歯車(22)側に位置する前記第2軸受(7)を保持するための輪状保持体(15)と、前記輪状保持体(15)の外周溝(16)に設けられたエンコーダケース用Oリング(17)と、を備え、前記エンコーダケース(18)の内面(18a)は前記エンコーダケース用Oリング(17)に直接係合すると共に、エンコーダケース(18)の輪状端面(18b)は前記モータケース(1)の断面L字型の輪状の端面(1b)に接し、前記磁性歯車(22)及び前記検出面(19a)の各表面は沸化ニッケル処理又は無電解ニッケル処理がなされ、前記エンコーダ用Oリング(17)とセンサ用Oリング(21)は沸素ゴム系材料よりなることを特徴とする真空モータ用センサ。
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