JPH038067Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は真空内で使用される真空内モータにお
いて、ロータ部及びステータ部を気密にするキヤ
ン装置に関する。

〔従来技術と問題点〕 半導体装置の製造等のため真空内で使用される
真空内モータは、内部に装着されているステータ
の巻線、ロータ、モールド樹脂あるいは永久磁石
等から生じるガスを外部に洩出させないように、
ロータ部分を密閉するロータキヤン及びステータ
部分を密閉するステータキヤンが設けられてい
る。

第３図はかかるロータキヤン及びステータキヤ
ンを真空内モータに配設した従来例の断面図であ
る。機枠３０にシヤフト３１が回転可能に支承さ
れており、シヤフト３１にヨーク及び永久磁石か
らなるロータ３２が取り付けられている。このロ
ータ３２に対応するステータ３３は前記機枠３０
側に取り付けられており、これらのロータ３２及
びステータ３３を外部から遮断するロータキヤン
３４及びステータキヤン３５が設けられている。
これらのキヤン３４，３５はいずれも均一の肉厚
の円筒体からなり、ロータキヤン３４は両端部が
シヤフト３１に取り付けられたフランジ３６，３
７の外周面に溶接によつて接合され、ステータキ
ヤン３５は前記機枠３０の内面に溶接によつて接
合されるようになつている。そして、このロータ
キヤン３４及びステータキヤン３５はロータ３２
とステータ３３との間の磁気的空隙及び機械的空
隙を小さくする必要があるため、できる限り肉薄
に成形されている。

しかしながら、これらのキヤン３４，３５が肉
薄であると、溶接時の熱による熱応力がキヤンの
中央部分に伝達されて熱歪み、熱変形等の悪影響
が生じる。又、キヤン自体の強度も小さく、小さ
な外力でも変形するため取扱いが難しいと共に、
気密を保ち難く、レーザ、電子ビーム等の特殊な
接合を必要としている。

〔考案の目的〕

本考案は上記事情を考慮してなされ、溶接の際
の熱影響が中央部分に伝達されることなく、強度
が向上し、しかも磁気的空隙、機械的空隙を大き
くすることのない真空内モータのキヤン装置を提
供することを目的としている。

〔考案の概要〕

上記目的を達成するため、本考案による真空内
モータのキヤン装置は、ロータキヤン及びステー
タキヤンの両端の接合部を中央部分よりも厚肉に
形成して溶接時の熱影響を排除し、且つ強度を向
上させ、さらに一端側の接合部を他端側の接合部
と反対側に隆起させて磁気的空隙及び機械的空隙
の拡大を防止したことを特徴としている。

〔実施例〕

以下、本考案による真空内モータのキヤン装置
の実施例を添付図面を参照して具体的に説明す
る。

第１図は本考案の一実施例の断面図である。左
右のブラケツト２，３によつて機枠１が形成さ
れ、この機枠１内にシヤフト４が挿入されてい
る。このシヤフト４は軸受５によつて支承されて
回転可能となつており、このシヤフト４にモータ
側ロータ６と検出部ロータ７とが所定の間隔で取
り付けられている。モータ側ロータ６はシヤフト
４に嵌められるリング状のヨーク６ａ及びこのヨ
ーク６ａの外面に接着される永久磁石６ｂからな
つている。このモータ側ロータ６の左側及び前記
検出部ロータ７の右側には下端部がシヤフト４に
接合されたフランジ９，１０が設けられ、さらに
肉薄円筒状のロータキヤン１１がこれらを被覆す
るように被せられ、両端部がフランジ９，１０に
溶接によつて接合されている。従つて、ロータキ
ヤン１１及び左右のフランジ９，１０によつてロ
ータ部が密閉可能となつており、かかる密閉を行
うため、左側のフランジ９には封じ口１２が挿入
されている。

前記機枠１にはロータ部のモータ側ロータ６に
対応したモータ側ステータ１３及び検出部ロータ
７に対応したモータ側ステータ１４が取り付けら
れ、これらの間にシールド板１５が介在してい
る。そして、これらによつて構成されるステータ
部を被うステータキヤン１６が取り付けられてい
る。このステータキヤン１６は前記ロータキヤン
１１よりも若干、大径の肉薄円筒体からなり、両
端部が左右のブラケツト２，３の内面に溶接され
ることでステータ部を気密に保つようになつてい
る。この気密を行うため、機枠１には封じ口１７
が取り付けられている。なお、モータ側ステータ
１３及び検出部ステータ１４の口出し線は機枠１
に嵌る込まれたハーメチツク端子１８に接続され
ている。

このように構成された真空内モータにおいて、
前記ロータキヤン１１及びステータキヤン１６は
いずれも両端の接合部が中央部分よりも厚肉とな
るように成形されている。第２図はかかる状態を
示す断面図である。ロータキヤン１１の両端の接
合部の内、左側のフランジ９に溶接される接合部
１１ａはロータ６側、すなわち内側に隆起して厚
肉となつており、右側のフランジ１０に溶接され
る接合部１１ｂは機枠側、すなわち外側に隆起し
ている。又、ステータキヤン１６の両端の接合部
の内、左側のブラケツト３に溶接される接合部１
６ａはロータ側、すなわち内側、に隆起して厚肉
となつており、右側のブラケツトに溶接される接
合部１６ｂは機枠側、すなわち外側、に隆起して
厚肉となつている。すなわち、これらのキヤン１
１，１６の一端側の接合部は他端側の接合部と反
対方向に隆起するように厚肉に形成される構造と
なつている。このようにキヤン１１，１６の両端
の接合部を中央部分よりも厚肉に形成すること
で、キヤン１１，１６の全体の強度が向上すると
共に、フランジ又は機枠への溶接の際に溶接時の
熱応力が中央部分、すなわち、ロータ６とステー
タ１３との空隙部、に伝達されないから、熱歪
み、熱変形が防止される。又、両端の接合部を反
対側に隆起させることでロータキヤン１１とステ
ータキヤン１６との磁気的空隙、機械的空隙が大
きくならないから、モータ特性にも影響を与える
ことがない。ここで、ロータキヤン１１の左端側
の接合部１１ａはロータ６ａの永久磁石６ｂの端
面に当接されており、ロータキヤン１１の軸方向
の位置決めが容易となつている。又、ステータキ
ヤン１６の右端側の接合部１６ｂは前記検出部ロ
ータ１４の端面に当接されて、ステータキヤン１
６の軸方向の位置決めが容易となつている。

なお、上記実施例ではロータキヤン１１、ステ
ータキヤン１６の左端側の接合部が内側に隆起
し、右端側の接合部が外側に隆起しているが、こ
の逆方向に隆起させてもよい。

〔考案の効果〕

以上のとおり、本考案によると、ロータキヤン
及びステータキヤンの一端側の接合部と他端側の
接合部とが反対側に隆起するように厚肉に形成し
たから、強度が向上して変形が防止されると共
に、溶接時の熱影響が中央部分まで伝達すること
がない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案が適用される真空内モータの断
面図、第２図は本考案の一実施例の断面図、第３
図は従来装置の断面図である。 １……機枠、４……シヤフト、６……ロータ、
９，１０……フランジ、１１……ロータキヤン、
１１ａ，１１ｂ……接合部、１３……ステータ、
１６……ステータキヤン、１６ａ，１６ｂ……接
合部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 真空内モータのシヤフトに取り付けられたフ
   ランジに両端部が接合されてロータ部を気密に
   するロータキヤンと、前記シヤフトを回転可能
   に支承する機枠に両端部が接合されてステータ
   部を気密にするステータキヤンとからなり、前
   記ロータキヤン及びステータキヤンの一端側の
   接合部と他端側の接合部とが反対側に隆起する
   ように厚肉に形成されていることを特徴とする
   真空内モータのキヤン装置。 ２ ロータ部側に隆起した接合部が前記ロータキ
   ヤンの位置決め基準となつている実用新案登録
   請求の範囲第１項記載の真空内モータのキヤン
   装置。 ３ ステータ部側に隆起した接合部が前記ステー
   タキヤンの位置決め基準となつている実用新案
   登録請求の範囲第１項記載の真空内モータのキ
   ヤン装置。