JPH038068Y2 - - Google Patents

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JPH038068Y2
JPH038068Y2 JP14360285U JP14360285U JPH038068Y2 JP H038068 Y2 JPH038068 Y2 JP H038068Y2 JP 14360285 U JP14360285 U JP 14360285U JP 14360285 U JP14360285 U JP 14360285U JP H038068 Y2 JPH038068 Y2 JP H038068Y2
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JP
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stator
rotor
machine frame
liquid
vacuum
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は真空内で使用される真空内モータにお
いて、ロータ部及びステータ部を気密にするキヤ
ン装置に関する。
〔従来技術と問題点〕
真空内で使用される真空内モータは、内部に装
着されているステータの巻線、ロータ、モールド
樹脂あるいは永久磁石等から生じるガスを外部に
洩出させないように、従来から、ロータ部を密閉
するロータキヤン及びステータ部を密閉するステ
ータキヤンが設けられている。従つて、ステータ
キヤンで密閉されたステータ部の内部はステータ
巻線部から生じる熱が外部に放出されず、巻線部
が高温となることから耐熱電線を使用した耐熱絶
縁が必要となつていると共に、巻線部からの発熱
を抑えるためにはモータ特性を犠牲にしなければ
ならない。さらに、ステータ部の一部を構成する
検出部も温度上昇で抵抗値が増加し、良好な検出
ができない問題を生じる。
〔考案の目的〕
本考案は上記事情を考慮してなされ、ステータ
巻線部から生じる熱をステータ部全体に伝達して
放出熱量を増加させた真空内のモータのキヤン装
置を提供することを目的としている。
〔考案の概要〕
上記目的を達成するため、本考案に係る真空内
モータのキヤン装置は、ステータキヤンで密閉さ
れたステータ部に絶縁性の液体を封入し、ステー
タ巻線部から生じる熱がステータ全体に伝達する
ようにしたことを特徴としている。
〔実施例〕
以下、本考案に係る真空内モータのキヤン装置
の実施例を添付図面を参照して具体的に説明す
る。
第1図は本考案の一実施例の断面図である。左
右のブラケツト2,3によつて機枠1が形成さ
れ、この機枠1内をシヤフト4が長手方向に挿入
されている。このシヤフト4は軸受5によつて支
承されて回転可能となつており、このシヤフト4
にモータ側ロータ6と検出部ロータ7とが所定の
間隔で取り付けられている。モータ側ロータ6は
ヨーク及び永久磁石からなつており、このモータ
側ロータ6の左側および前記検出部ロータ7の右
側には内周面が前記シヤフト4に溶接等で接合さ
れたL字形のリングのフランジ9,10が設けら
れ、さらに肉薄円筒状のロータキヤン11がこれ
らを被覆するように被せられ、その両端部がフラ
ンジ9,10に溶接によつて接合されている。従
つて、ローラキヤン11および左右のフランジ
9,10によつてロータ部が密閉可能となつてお
り、左側のフランジ9には外部に連通する封じ口
12が挿入されている。
前記機枠1にはロータ部のモータ側ロータ6に
対応したモータ側ステータ13及び検出部ロータ
7に対応した検出部ステータ14が取り付けら
れ、これらの間にシールド板15が介在してい
る。ここで、モータ側ステータ13、検出部ステ
ータ14にはそれぞれ巻線が施されている。そし
て、これらによつて構成されるステータ部を被う
ステータキヤン16が取り付けられている。この
ステータキヤン16は前記ロータキヤン11より
も若干、大径の肉薄円筒体からなり、両端部が左
右の機枠2,3に溶接されることでステータ部を
気密にしている。さらに、機枠1には外部に延び
る注入口17が取り付けられており、この注入口
17が液体タンク(図示せず)に接続されて、ス
テータ部内に液体Lが充填されるようになつてい
る。充填される液体Lとしては、絶縁性を有する
ことが不可欠で、この外に、伝熱性が良好で、耐
腐食性があり、粘性係数が大きいことが好まし
く、タービンオイル、シリコンオイル等の絶縁オ
イルが選択される。この絶縁性液体の充填によ
り、ステータの巻線部から生じる熱がステータ部
全体に伝達されてステータキヤン16から良好に
放熱されるため、巻線部の温度上昇が抑制され
る。又、ステータのコア部から生じる電磁音が液
体の粘性によるダンピング効果で吸収されるた
め、騒音も低減する。かかる液体Lのステータ部
内への充填は、ステータキヤン16を取り付けた
後、前記注入口17にバルブ(図示せず)を取り
付けてステータ部が密閉状態であることを確認し
た後に注入口17から行われる。そして、ステー
タ部内が液体で充填された後、注入口を封じるこ
とで液体の封止が行われる。
〔考案の効果〕
以上のとおり本考案によると、ステータキヤン
で密閉されたステータ部内に液体を充填してステ
ータ巻線部から生じる熱をステータ部全体に熱を
伝達させ、放出するようにしたから、ステータ巻
線部の温度上昇が抑制され、モータ特性が向上す
る。又、液体の粘性でステータコア部からの電磁
音も減少するから運転時の騒音が低減する。さら
には、ステータキヤンへの荷重が等分布となるた
め、ステータキヤンの剛性も増大する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案が適用される真空内モータの断
面図である。 1……機枠、6……ロータ、13……ステー
タ、16……ステータキヤン、L……液体。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 1 真空内モータのロータに対応して機枠側に取
    り付けられたステータと、ステータと機枠との
    間を気密に保つように機枠に接合されたステー
    タキヤンと、ステータキヤンと機枠との間に充
    填された絶縁性の液体とを備えてなることを特
    徴とする真空内モータのキヤン装置。 2 前記液体が絶縁オイルである実用新案登録請
    求の範囲第1項記載の真空内モータのキヤン装
    置。 3 前記絶縁オイルがタービンオイル又はシリコ
    ンオイルである実用新案登録請求の範囲第2項
    記載の真空内モータのキヤン装置。
JP14360285U 1985-09-20 1985-09-20 Expired JPH038068Y2 (ja)

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JP14360285U JPH038068Y2 (ja) 1985-09-20 1985-09-20

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JP14360285U JPH038068Y2 (ja) 1985-09-20 1985-09-20

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JPS6251943U JPS6251943U (ja) 1987-03-31
JPH038068Y2 true JPH038068Y2 (ja) 1991-02-27

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JP2011205878A (ja) 2009-12-25 2011-10-13 Canon Anelva Corp 真空アクチュエータ及び基板搬送ロボット

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JPS6251943U (ja) 1987-03-31

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