JPS6251942U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6251942U JPS6251942U JP14360185U JP14360185U JPS6251942U JP S6251942 U JPS6251942 U JP S6251942U JP 14360185 U JP14360185 U JP 14360185U JP 14360185 U JP14360185 U JP 14360185U JP S6251942 U JPS6251942 U JP S6251942U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- rotor
- vacuum motor
- cann
- joined
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 241000282465 Canis Species 0.000 claims 1
Landscapes
- Motor Or Generator Frames (AREA)
Description
第１図は本考案が適用される真空内モータの断
面図、第２図は本考案の一実施例の断面図、第３
図は従来装置の断面図である。 １…機枠、４…シヤフト、６…ロータ、９，１
０…フランジ、１１…ロータキヤン、１１ａ，１
１ｂ…接合部、１３…ステータ、１６…ステータ
キヤン、１６ａ，１６ｂ…接合部。
面図、第２図は本考案の一実施例の断面図、第３
図は従来装置の断面図である。 １…機枠、４…シヤフト、６…ロータ、９，１
０…フランジ、１１…ロータキヤン、１１ａ，１
１ｂ…接合部、１３…ステータ、１６…ステータ
キヤン、１６ａ，１６ｂ…接合部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 真空内モータのシヤフトに取り付けられたフ
ランジに両端部が接合されてロータ部を気密にす
るロータキヤンと、前記シヤフトを回転可能に支
承する機枠に両端部が接合されてステータ部を気
密にするステータキヤンとからなり、前記ロータ
キヤン及びステータキヤンの一端側の接合部と他
端側の接合部とが反対側に隆起するように厚肉に
形成されていることを特徴とする真空内モータの
キヤン装置。 ２ ロータ部側に隆起した接合部が前記ロータキ
ヤンの位置決め基準となつている実用新案登録請
求の範囲第１項記載の真空内モータのキヤン装置
。 ３ ステータ部側に隆起した接合部が前記ステー
タキヤンの位置決め基準となつている実用新案登
録請求の範囲第１項記載の真空内モータのキヤン
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14360185U JPH038067Y2 (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14360185U JPH038067Y2 (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6251942U true JPS6251942U (ja) | 1987-03-31 |
| JPH038067Y2 JPH038067Y2 (ja) | 1991-02-27 |
Family
ID=31053437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14360185U Expired JPH038067Y2 (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH038067Y2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001320858A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-16 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 真空モータ用センサ |
| JP2001339920A (ja) * | 2000-05-30 | 2001-12-07 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 真空モータ |
| JP2002534282A (ja) * | 1998-12-30 | 2002-10-15 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 共通回転軸を有する複数アームを持つ基板搬送装置 |
| JP2013038964A (ja) * | 2011-08-09 | 2013-02-21 | Ulvac Japan Ltd | 位置検出器および真空モータ |
-
1985
- 1985-09-20 JP JP14360185U patent/JPH038067Y2/ja not_active Expired
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002534282A (ja) * | 1998-12-30 | 2002-10-15 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 共通回転軸を有する複数アームを持つ基板搬送装置 |
| JP2001320858A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-16 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 真空モータ用センサ |
| JP2001339920A (ja) * | 2000-05-30 | 2001-12-07 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 真空モータ |
| JP2013038964A (ja) * | 2011-08-09 | 2013-02-21 | Ulvac Japan Ltd | 位置検出器および真空モータ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH038067Y2 (ja) | 1991-02-27 |