JPH1133891A - 光ファイバ端面研磨装置 - Google Patents

光ファイバ端面研磨装置

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JPH1133891A
JPH1133891A JP9205409A JP20540997A JPH1133891A JP H1133891 A JPH1133891 A JP H1133891A JP 9205409 A JP9205409 A JP 9205409A JP 20540997 A JP20540997 A JP 20540997A JP H1133891 A JPH1133891 A JP H1133891A
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JP
Japan
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polishing
ferrule
optical fiber
holding means
elevating
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JP9205409A
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Inventor
Shiyuuichi Takashi
修一 高師
Takehiko Narita
武彦 成田
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Seikoh Giken Co Ltd
Original Assignee
Seikoh Giken Co Ltd
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B19/00Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group
    • B24B19/22Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
    • B24B19/226Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground of the ends of optical fibres
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/005Feeding or manipulating devices specially adapted to grinding machines

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 研摩面とフェルール先端面との接触圧力を自
由に調整することができるようにし、研磨の際の不良品
の発生を防止することのできる光ファイバフェルールの
端面研摩装置を提供する。 【構成】 光ファイバ端面研磨装置は、基台14と、研
磨面を形成する研磨部材を支持して前記基台に対して回
転可能に設けられている回転円盤15と、一以上の光フ
ァイバフェルール23を着脱可能に支持するフェルール
保持手段21,22,21Aと、前記フェルール保持手
段を前記研磨面に対して平行を保って昇降可能に支持し
て準備位置と研摩終了位置間を移動する昇降案内手段2
1,22,21Aと、前記フェルール保持手段18,2
0を支持した前記昇降案内手段を前記研磨面と垂直な方
向に付勢する付勢手段33,34と、前記フェルール保
持手段21,22,21Aを支持する前記昇降案内手段
を昇降駆動する昇降駆動手段30と、前記昇降駆動手段
を駆動する制御回路とを含んで構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバ通信回路に
おいて使用される光ファイバコネクタに用いられるフェ
ルールの端面を光ファイバとともに研磨する光ファイバ
端面研磨装置に関する。
【0002】
【従来の技術】光ファイバ付きフェルールを物理的に接
触(PC; phisical contact) させて、光接続を行う場
合、接触面が鏡面でかつ球面に研摩されることが好まし
い。またさらに接続の効率を上げるためには、前記物理
的な球面の接触が傾きを保ったもの(APC; angled phis
ical contact)であることが望まれる。戻り反射損失低
減のために光ファイバ光軸に対して8度〜12度程度傾
斜して研磨する斜め球面研磨を必要とする光ファイバ付
きフェルール(APCF;angled phisical contact ferrul
e) の場合は、フェルール端面の研磨除去量が大きいた
め研摩が困難であるとされている。
【0003】米国特許第4,831,784(特願昭6
2−13580)号は複数の光ファイバ付きフェルール
を単一のホルダで支持してフェルールの端面を光ファイ
バとともに研磨する光ファイバ端面研磨装置を開示して
いる。この発明はホルダを基台に対して小さい円に沿っ
て移動させ、つまり光ファイバの先端を小さい円に沿っ
て移動させ、研磨盤を前記基台に対して回転させること
によりこの相対運動によりフェルールと光ファイバの先
端を鏡面に研磨するものである。
【0004】米国特許第4,979,334(特開平3
−210506)号は、研磨盤が基台に対して、その中
心を円に沿って運動させながら、それ自体が基台に対し
て回転することにより、ホルダ支持された複数の光ファ
イバをフェルールとともに球面研磨している。同様にフ
ェルールと光ファイバの先端を鏡面に研磨するものであ
る。
【0005】米国特許第5,140,660(特開平3
−26456)号は、研磨盤の上に弾性のパッドを配置
しその上に研磨フィルムを配置して、フェルールとフェ
ルール、または光ファイバと光ファイバの先端が、前記
物理的な接触が傾きを保ったもの(APC)であること
を可能にする研磨装置または方法を開示している。これ
らの方法で使用される研磨盤と前記ホルダの組み合わせ
は前述のいずれの形式のものでも良く、また単一のフェ
ルールを支持するホルダであっても良い。
【0006】米国特許第4,831,784(特願昭6
2−13580)号や米国特許第4,979,334
(特開平3−210506)に示されている装置でもか
なり良好な研磨が可能であるが、ホルダの傾きが原因と
なる研磨されるフェルール相互間に品質のばらつきが予
想された。そこで、この問題を解決するために、米国特
許第5,351,445(特開平6−179161)号
は前記米国特許第4,979,334(特開平3−21
0506)の研磨盤とホルダの研磨のための相対運動に
おいて、ホルダが傾かないように、ホルダの外周を基台
に対して平行に上下するように直進案内する機構を設け
たものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】米国特許第5,35
1,445(特開平6−179161)号のフェルール
ホルダの外周を基台に対して平行に上下するように直進
案内する機構を設けることにより、ホルダの傾きによる
研磨品質のばらつきを解決している。研磨前の光ファイ
バのフェルール先端からの突出量のばらつきおよび先端
周辺の接着剤の量による、研摩開始の際の事故が問題に
なった。この問題を図14および図15を参照してさら
に説明する。
【0008】図14は、研摩前のフェルールと光ファイ
バを示す図である。接着してあるフェルールの先端から
接着剤の先端までの距離Lは一般的にいってばらつくこ
とが多い。光ファイバのPC結合の先端の研摩工程で
は、まず最初にこの接着剤と光ファイバの突出部分が研
摩除去されて続いてフェルール123の先端と光ファイ
バ123bの先端が球面に研摩されて、それから仕上げ
の研摩が行われる。
【0009】米国特許第5,351,445号の実施例
装置(図15)を用いて、前記フェルールの先端から接
着剤の先端までの距離Lの異なるものを同時に研摩する
場合の問題を説明する。この従来の装置では、研磨装置
基台114には、複数のフェルールを支持するホルダ1
21と研磨パット117間の最終の高さ調節用の雄ねじ
筒127が一体に設けられている。この雄ねじ筒127
には案内用の軸支持筒126がねじ結合させられてお
り、研磨装置基台114に対する案内用の軸支持筒12
6を決定している。案内用の軸支持筒126には案内用
の軸110が複数本垂直に植設されている。ホルダ12
1には前記案内用の軸110に対応する複数の孔121
aが設けられており、ホルダ121は前記案内用の軸1
10に沿って傾きなく上下動可能に支持されている。回
転円板115は研磨装置基台114に対して、その中心
が円上を移動(公転)しながら中心回りに回転(自転)
させられる。光ファイバを接着された図13に説明した
ような光ファイバ付きフェルール123はホルダ121
の孔に挿入され先端が研摩パッド117の方向に突出さ
せられてナット125で固定される。
【0010】図15に示すように、ホルダ121により
図中左側に支持されている光ファイバフェルールの接着
剤の突出量Lが大きい場合を想定する。ホルダ121は
中心の重り軸112に結合させられた重り111により
下方向に付勢されているから、その付勢力が全て左側の
フェルールの先端に集中して、研摩開始の際に異常な力
がかかり、光ファイバ先端を破損することがあった。仮
に全てのフェルールが均一に研摩パッドに接触したとし
ても初期の工程で光ファイバ先端に大きな力がかかり、
ひび割れや歪みを残すという問題があった。また、前述
したように光ファイバフェルールのPC端の研摩にあた
っては、研摩面に配置されるフィルムを変える必要があ
る。そのような場合、前記ホルダ121を一旦取り外す
必要があるが、ホルダ121は相当な重量となるので、
作業者の負担となっていた。
【0011】本発明の主たる目的は、前述したような研
摩装置において、研摩面とフェルール先端面との接触圧
力を自由に調整することができるようにし、前述したよ
うな研磨の際の不良品の発生を防止することのできる光
ファイバフェルールの端面研摩装置を提供することにあ
る。本発明のさらに他の目的は、研磨用の光ファイバフ
ェルールを支持するフェルールホルダの支持手段に改良
を施し、フェルールホルダの高さを任意に調節すること
ができるようにするとともに上方への移動量を大きくし
て研摩面の交換を容易にし作業者の負担を減少させるよ
うにした光ファイバフェルールの端面研磨装置を提供す
ることにある。本発明のさらに他の目的は、研磨用の光
ファイバフェルールを支持するフェルールホルダの支持
手段に改良を施し、フェルールホルダの着脱を容易に
し、作業者の負担を減少させるようにした光ファイバフ
ェルールの端面研磨装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明による光ファイバ端面研磨装置は、基台と、研
磨面を形成する研磨部材を支持して前記基台に対して回
転可能に設けられている回転円盤と、一以上の光ファイ
バフェルールを着脱可能に支持するフェルール保持手段
と、前記フェルール保持手段を前記研磨面に対して平行
を保って昇降可能に支持して準備位置と研摩終了位置間
を移動する昇降案内手段と、前記フェルール保持手段を
支持した前記昇降案内手段を前記研磨面と垂直な方向に
付勢する付勢手段と、前記フェルール保持手段を支持す
る前記昇降案内手段を昇降駆動する昇降駆動手段と、前
記昇降駆動手段を駆動する制御回路とを含んで構成され
ている。前記付勢手段は、前記フェルール保持手段を支
持した前記昇降案内手段を前記研磨面の方向に付勢する
第1の付勢手段と、前記研磨面と離れる方向に付勢する
第2の付勢手段よりなるものとすることができる。前記
第2の付勢手段は、前記昇降手段と前記フェルール保持
手段の降下時の重量を見かけ零に近づけるために前記昇
降手段をその下降中に上方向に付勢するばねとすること
ができる。
【0013】前記第1の付勢手段は、研摩の際のフェル
ールと前記研摩面との接触圧力を付与するものとするこ
とができる。前記第1の付勢手段は圧縮ばねであり、圧
縮長さを調節することにより研摩の際のフェルールと前
記研摩面との接触圧力を可変にすることができる。前記
昇降案内手段は、前記基台に設けられ、前記研磨面に垂
直な複数の軸受けにより軸方向に摺動可能に案内された
複数の支柱に固定されている昇降板を含むものとするこ
とができる。前記昇降駆動手段は前記昇降手段を上下方
向に駆動する直線駆動手段を含むものとすることができ
る。
【0014】前記フェルール保持手段を前記昇降手段に
着脱可能に支持する着脱自在手段を含むものとするたと
ができる。前記着脱自在手段を前記昇降手段の昇降板に
U型に設けられた開口部に前記フェルール保持手段の平
行溝部と嵌め合い摺動するようにすることができる。前
記着脱自在手段を前記昇降手段の昇降板に設けられたバ
ヨネット開口に、前記フェルール保持手段をバヨネット
結合するように構成することができる。前記フェルール
保持手段と前記昇降手段を相互の高さの基準面で圧着さ
せるばね圧着手段を設けることができる。前記フェルー
ル保持手段を前記昇降手段に係合させた後に前記昇降手
段に係止する係止手段とすることができる。前記制御回
路は、前記昇降手段の下降速度を制御可能であり、前記
フェルールが研摩面に接触する寸前より研摩中の降下速
度を遅くするように制御することができる。前記制御回
路は、研摩の目的に応じて研摩時間を設定できるものと
することができる。前記制御回路は研摩の目的に応じ
て、研摩時間と接触圧の組み合わせを予め複数組設定し
一回の昇降の工程で連続制御可能とすることができる。
【0015】
【実施例】以下、図面を参照して本発明による光ファイ
バ研磨装置を詳細に説明する。図1ないし図5は本発明
による光ファイバ端面研磨装置の第1の実施例を示す図
であって、図1は実施例の側面の部分断面図,図2は正
面の部分断面図,図3は同平面図,図4は正面図の係止
部分を部分的に拡大して示してある。
【0016】研磨装置基台14の上に回転円板15が搭
載されている。前記円板15は図示しないモータの回転
が回転円板駆動軸16を介して伝達され、図示を省略し
た自転,公転機構により研磨装置基盤14により自転公
転させられる。前記回転円板15の表面にはパッド17
を介して研磨フィルム25が乗せられている。図2にこ
れらの関係を部分的に拡大して示してある。パッド17
としてはガラス板とか弾性をもつパッドが目的に応じて
選択的に使用される。研磨フィルム25には光ファイバ
端面を研磨するための研磨剤が塗布されている。前記回
転円盤15の駆動機構として公知の機構、例えば特開平
3−6456に開示されている自転公転運動機構を利用
することができる。なお単なる回転運動の回転円盤使用
することを妨げるものではない。
【0017】前記基台14には四隅に直進案内用の軸受
け19が設けられており、それぞれに案内軸20が挿入
されている。これらの案内軸20の上部にフェルール保
持手段を着脱自在に支持して昇降する昇降板18がねじ
20Aで固定されている。昇降板18は、フェルール保
持手段を支持して前記回転円盤15に対して、平行を保
って昇降できるようになされている。フェルール保持手
段は上側のフェルール保持手段の鍔部22とこれに一体
に設けられた板状のフェルールホルダ板21から構成さ
れている。フェルール保持手段の鍔部22の下面とフェ
ルールホルダ板21の上面間は前記昇降板18の厚みよ
り僅かに大きくなっており、溝部24が形成されてい
る。前記昇降板18は、中央に半円状に穿ったU字型の
受入れ孔をもち、開放端(正面)からフェルール保持手
段が挿入される。
【0018】フェルール保持手段のフェルールホルダ板
21は1以上、この実施例では12本の研磨対象のフェ
ルール23の先端を下方に向けて支持する構成となって
おり、前記フェルールホルダ板21にフェルールの先端
が挿入される孔が設けられており、ここに挿入されたフ
ェルールは袋ナット21Aで締めつけ固定される。フェ
ルールホルダ板21の中心には開口21bが設けられて
おり、ここから研摩面を観察できる。
【0019】昇降板18にはフェルール保持手段が挿入
されたときに位置を指定する位置決めピン26(図1お
よび図3参照)が二箇所に植立てられており、フェルー
ル保持手段の鍔部22の外周に当接して位置を決める。
昇降板18の右前よりに、フェルール保持手段の係止手
段が設けられている。係止手段のロック爪27Cは、ば
ね軸27Fを中心にばね27Eにより反時計方向に付勢
されている。ロック爪27Cは軸27Dで枢止されてい
るレバー27Bのノブ27Aを操作することにより時計
方向に退避させられる。係止手段のコイルばね27Eは
ロック爪27Cを反時計方向に付勢しており(図3参
照)、フェルール保持手段を図3の位置に係止する。図
4の右側の拡大断面図にフェルール保持手段の鍔部22
の下側の面取り部44にロック爪27Cが当接して係止
している状態を示している。
【0020】図4の左側の拡大断面図にフェルール保持
手段の鍔部22の下側の面取り部44に固定ピン45が
突き当たっており、フェルール保持手段の鍔部22の下
面が、昇降板18側の孔に設けられたボールプランジャ
42で押し開げられている状態が示されている。ボール
プランジャ42はばね43で押し上げられている。この
ようにしてフェルール保持手段と前記昇降手段を相互の
高さの基準面、昇降板18の下面とフェルールホルダ板
21の上面が圧着させられる。
【0021】図2はこの第1実施例の正面図であり、昇
降板18に結合されたフェルールホルダ板21の3つの
状態を示している。図中左側のA1 の示す状態は昇降板
18が上昇させられている準備状態を示す。この位置に
おいてフェルール保持手段の着脱や、研摩面の交換とか
整備を行う。図中左側のA2 の示す状態は昇降板18が
下降して研摩を開始した状態を示す。図中右側のBの示
す状態は昇降板18がさらに下降して研摩中の状態を示
す。
【0022】研摩装置基台14の下方の筐体13に昇降
駆動モータ30(図1参照)が設けられており、この軸
31aは内部の歯車機構により直進進退させられる。こ
の軸31aは基台14に対して垂直に作動し、先端に昇
降板18を押し上げるための鍔部31bが設けられてい
る。鍔部31bの上部には昇降板18を貫通して上方に
延びる軸31cが一体に設けられている。軸31cの先
端部には頭部31dが設けられており、この頭部と昇降
板18の間でその間の長さに等しい自由長をもつコイル
ばね33が取り付けられており、頭部31dのみの下降
にしたがい、昇降板に下方向きの力を付与することがで
きるようになっている。昇降板18と基台14の間で支
軸20の外周にコイルばね34が取り付けられている。
このばねは全ての支軸に設けても良いが、この実施例で
は後方の2本の支軸に関連して設けてある。
【0023】筐体13の内部には、前述した昇降駆動モ
ータ30の他に昇降の制御のためにカウンタ,リレー,
回転円板15を駆動するモータおよびタイマを用いたシ
ーケンス回路等(図示せず)が組み込まれている。図5
に筐体13前面に設けられたシーケンス回路の操作パネ
ルを示す。図2に示されている位置センサ47,48は
昇降板18の位置を検出するためのセンサであり、制御
用の信号としてシーケンス回路に接続される。
【0024】図5は研摩条件の設定を入力する操作パネ
ルである。スイッチ36は装置の電源スイッチである。
接着剤除去時間設定つまみ35Aによりフェルール先端
の接着剤を除去する予備工程の時間を設定する。接着剤
除去の加圧力設定つまみ35Bにより前記予備工程にお
ける加圧力の設定を行う。この加圧力の設定はモータ3
0を駆動して軸31の位置を決定し、ばね33の圧縮力
を調整することにより行われる。つまみ37は、フェル
ール研摩(本工程)の研摩時間を設定するつまみであ
り、以下の実施例では3kgに設定する。つまみ38は
フェルール研摩(本工程)の加圧力設定つまみである。
ボタン39A,39Bはそれぞれ昇降板の移動方向、上
または下を選択するボタンである。スイッチ40は予備
工程を行うか、行わないかを選択する選択スイッチであ
る。
【0025】前記構成に係る装置の研摩の動作を簡単に
説明する。図2のA1 に示す待機状態から昇降ドライブ
モータ30を駆動して昇降板18の下降を開始する。こ
の下降時に、昇降板18と基台14間のコイルばね34
が昇降板18により押し下げられる。昇降板18と一体
の研摩対象のフェルール23の接着剤付着部123c
(図14参照)が研摩フィルム25に接触する所定の位
置(0.5〜1mm)に達した時点を検出してシーケン
サは降下速度を低速に切り替えると同時に回転円板15
の駆動を開始させる。軸31cの頭部31dと昇降板1
8間の押し下げばね33は自由長のまま変化はない。昇
降板18が昇降鍔部31bと接触して一体の状態にある
状態では押し下げばね33は自由長のまま変化はない。
なお研磨のためのフェルールへの加圧(研摩圧力)はコ
イルばね33で行われる。このコイルばね33の前記自
由長さからの圧縮長さを変えることにより加圧力を変え
ることができる。
【0026】昇降板18と一体の光ファイバ付きフェル
ール23の先端が図4の回転円板15の研磨面に押し当
てられた時点より昇降板18の降下が停滞する。一方、
駆動軸31a,鍔部31bおよびばね圧縮軸31cが一
体で降下継続し、ばね圧縮軸の頭部31dでコイルばね
33は圧縮され、昇降板18と一体の光ファイバ付きフ
ェルール23が加圧される。下降量はコイルばね33の
圧縮量に比例するためセンサ35Aの感知した時点より
駆動軸の移動で発生するパルスをカウントし、前もって
セットされたカウントに達したときに駆動を停止させ
る。
【0027】カウンタおよびタイマを複数準備すること
で、複数の工程を一度に行うことができる。このシーケ
ンスは公知の手段で可能であり、説明は省略する。研磨
時間はタイマ37の設定で行う。研磨の終了は所定時間
後タイマの停止命令で回転円板15が停止する。それか
ら昇降駆動軸31の上昇を開始し、そして昇降板18お
よびこれと一体のフェルール保持手段は、昇降駆動軸3
1の鍔部31bにより押し上げられ、図2左側の待機位
置A2 に達すると位置センサ47が検知出力を発生して
駆動を停止する。
【0028】本実施例の研磨装置を用いた標準的研磨の
例を説明する。表1に研摩の各工程に置ける研摩フィル
ムとパッドの組み合わせなどを要約して示してある。
【表1】
【0029】図6は前記研摩におけるフェルールの運動
と荷重との関係を示すグラフである。縦軸は、フェルー
ルの高さとフェルールと研摩面間の圧力を示す。横軸は
動作時間を示す。動作の開始は押しボタン39A(図
5)の操作で始まる。準備位置高さ40mmから0まで
降下した位置でセンサが作動し降下速度が約1/10に
なり約2.5secで3kgのばね荷重(研摩圧)に達
し、この間に接着剤およびガラスファイバは緩やかに切
削除去される。次いで所定時間経過後昇降駆動軸の降下
が開始し荷重が6kgに達しここより高さ整列工程に入
る。当然ながらフェルールの高さは変化しない。(厳密
には研磨盤の硬度により微少変化する)タイマ終了後上
昇を開始し準備位置に戻る。ここでフェルールホルダを
取り外すことなく研磨盤,研磨フィルムの交換,フェル
ールホルダ下部の清掃が行われ、準備状態に戻る。以後
は、単純工程のためスイッチ40をオフとし、予備工程
を無効にして本工程の設定だけで行えば良い。
【0030】(条件の設定)第一工程である接着剤除去
および第二工程である高さ整列は、研磨フィルム,研磨
盤(パッド)が同一であるため前者を予備工程、後者を
本工程として同時に行う。予備工程の時間設定は図5の
操作パネルのPREーLOADのツマミ35Aを0.5
(min)に設定する。荷重設定は同WEIGHTツマ
ミ36Bを3(kg)に設定する。本工程の時間設定は
タイマ37を0.5(min)に、荷重設定をカウンタ
38を6(kg)に設定する。なお、カウンタ38の表
示はコイルばねBのばね定数から計算されモータ昇降駆
動モータのパルス数に換算され制御される。なお、予備
工程における荷重設定のツマミ38で本工程のカウンタ
38の制御を共用することもできるが昇降駆動軸30の
降下速度を一定とし降下量=加圧量を時間に置き換えて
タイマの制御とすることもできる。
【0031】図7〜図11は、本発明による光ファイバ
端面研磨装置の第2の実施例装置を説明するための図で
あって、図7は平面図、図8は実施例の研摩状態を示す
側断面図である。図9は前記装置の準備状態を示す側断
面図、図10は部分拡大側断面図、図11は正面断面図
である。この実施例の基本的な構成は前記第1の実施例
と略同じであるが、フェルール保持手段を前記昇降手段
に着脱可能に支持する着脱自在手段の構成が異なるか
ら、その部分を中心に説明する。前記第1の実施例の昇
降板18と略同様な構成の昇降板52に、押し板支持棒
50,50が設けられ、押し板支持棒50,50の先端
に押し板51が設けられている。押し板51の先端51
aは昇降板の方向に曲げられている。昇降板のピン受け
孔部52aには、ピン52がその鍔部53bをピン押し
ばね54で押し上げるようにして支持されている。フェ
ルール保持手段は鍔部56とフェルール取り付け板58
からなり、鍔部56は昇降板52に設けられた一対のレ
ール55,55に対応してフェルール保持手段の平行カ
ット部56a,56aが設けられている。またフェルー
ル保持手段の鍔部56には、ピン頭孔部56bが設けら
れている。昇降板52には一対のボールプランジャ57
(図7参照)が設けられている。
【0032】昇降板52が図9の準備位置にあるとき、
ホルダ支持手段56,58をレール55,55に沿って
装填するとピン孔部56bはピン53と同軸となる。昇
降板52が降下を始めると押し板51の先端部が相対的
に上昇しピンはコイルばねの押し上げ力でピン孔に結合
しホルダは前後に固定される。同時にピンの鍔部53b
はホルダ支持手段を押し上げるためホルダ支持板58の
上面と昇降板52の下面が密着する。一方2カ所のボー
ルプランジャ57,57は同様にホルダ支持手段の鍔部
56を押し上げるため3カ所で上部に固定される。上昇
時には逆の動作により、上昇後フェルール保持手段を抜
き取ることができる。
【0033】図12および図13は本発明による光ファ
イバフェルール研摩装置の第3の実施例を示す図であ
る。この実施例の基本的な構成は前記第1および第2の
実施例と略同じであるが、フェルール保持手段を前記昇
降手段に着脱可能に支持する着脱自在手段の構成が異な
る。前述の2つの実施例は、昇降板にU字型の開口があ
り、フェルール保持手段を摺動結合して係止する構成で
あるが、この実施例は昇降板に設けられたバヨネット開
口にフェルール保持手段を結合する構成となっている。
【0034】図12は第3の実施例の平面図、図13は
フェルール保持手段を結合前の角度位置で示してある。
前述の各実施例の昇降板に対応する昇降板60には、略
四角形のマウント用孔部60aが設けられている。フェ
ルール保持手段の保持板61には4個のバヨネット爪部
61aが設けられている。フェルール保持手段の鍔部6
5は、U字形のハンドル64,64が設けられている。
昇降板60には前述したようなボールプランジャ63が
4箇所に設けられている。
【0035】図13に示す角度で前記フェルール保持手
段61,65をハンドル64で保持して、昇降板60の
開口60aに挿入して時計方向に45°回転すると、図
12の破線の示す位置にセットされる。このとき4カ所
のボールプランジャ63で押し上げられ、昇降板60の
下面とフェルール保持板61aの上面が密着させられ
る。
【0036】本発明による光ファイバ端面研磨装置は、
以上のように構成されているから、以下の特徴を持つ。
光ファイバ端面研磨装置は、昇降板18と一体となった
フェルール保持手段に取り付けられた一本または複数の
光ファイバ付きフェルールは高さのばらつき(図14の
Lの変動)に関係なく良好な研摩が可能となる。すなわ
ち、昇降手段の一部である昇降板18は、軸受け19に
案内された4本の支軸20との精密な嵌め合い精度に依
存でき、がたや傾きの生じない状態で垂直に押しつけ、
正確な研磨が行うことができる。また、モータによる自
動昇降で準備状態ではフェルール保持手段と昇降板を一
体で上方に設定できる。そのためフェルールホルダを外
すことなく研磨フィルムおよび研磨盤を清掃、交換する
ことができる。また、フェルール保持手段に取り付けら
れたフェルール端面の清掃もフェルール保持手段を取り
外すことなく下から拭きあげることが可能となる。
【0037】さらに、研磨盤に被研磨フェルールを押し
当てる際、昇降板18の降下速度を遅く設定することが
でき、緩やかな接触と切削が可能になる。従来は回転す
る研磨盤に落とすように当てつけたり、停止している研
磨盤上に固定した上で研磨盤の回転を開始させたりする
ため接着剤と一体でフェルール端面から突出した光ファ
イバが強引にむしり取られるようになり光ファイバ断面
に深い傷、または亀裂が生じ品質の高い研磨結果を得る
ことが困難であったが、上記のように緩やかな接触(通
称ソフトランディング)と切削により効果的な結果が得
られた。
【0038】以上、詳しく説明した実施例について、本
発明の範囲内で種々の変形を施すことができる。前記実
施例として、フェルールと光ファイバの球面研摩の例を
示したが、平面の研摩にも、斜め球面の研摩にも広く利
用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による光ファイバ研磨装置の第1の実施
例の側面図である。
【図2】前記実施例の正面図である。
【図3】前記実施例の平面図である。
【図4】前記実施例のフェルール保持手段のロック手段
を部分的に拡大して示した正面断面図である。
【図5】前記実施例の操作パネルを示す正面図である。
【図6】前記研磨装置の駆動特性を説明するためのグラ
フである。
【図7】本発明による光ファイバ研磨装置の第2の実施
例の平面図である。
【図8】前記第2の実施例の研摩状態を示す側面図であ
る。
【図9】前記第2の実施例の準備状態を示す側面図であ
る。
【図10】図9の一部を拡大して示した部分拡大断面図
である。
【図11】前記第2の実施例の正面図である。
【図12】本発明による光ファイバ端面研磨装置の第3
の実施例の平面図である。
【図13】前記第3の実施例のフェルール保持手段を示
す平面図である。
【図14】研摩前の光ファイバつきフェルールを一部破
断して示した図である。
【図15】米国特許第5,351,445(特開平6−
179161)号に係る研摩装置の問題を説明するため
の略図である。
【符号の説明】
13 研摩装置の筐体 14 研磨装置基台 15 回転円板 16 回転円板の駆動軸 17 研磨パッド 18 フェルール保持手段の昇降板 19 軸受け 20 支軸 20A ねじ 21 フェルール保持手段のホルダ板 21A フェルール保持手段のナット 21b 開口 22 フェルール保持手段の鍔 23 光ファイバ付きフェルール 23A フェルール留めナット 24 フェルール保持手段の溝 25 研摩フィルム 26 フェルール保持手段の位置決めピン 27 フェルール保持手段ロック手段 27A ロック手段の操作ノブ 27B ロック手段のレバー 27C ロック爪 27D ロック手段のレバー軸 27E ロック手段のばね 27F ロック手段のばね軸 27G ばね端受け軸 30 昇降駆動モータ 31a 駆動部材の駆動軸 31b 駆動部材の鍔部 31c 駆動部材のばね圧縮軸 31d 駆動部材のばね圧縮軸の頭部 33 押し下げばね(第1の付勢手段) 34 押し上げばね(第2の付勢手段) 35A 接着剤除去(予備工程)時間設定つまみ 35B 接着剤除去(予備工程)の加圧力設定つまみ 36 電源スイッチ 37 フェルール研摩(本工程)の研摩時間の設定つま
み 38 フェルール研摩(本工程)の加圧力設定つまみ 39A,39B 昇降板移動方向選択ボタン 40 予備工程選択スイッチ 42 ボールプランジャ 43 コイルばね 44 鍔下面取り部 45 固定ピン 46,47 センサ 50 押し板支持棒 51 押し板 51a 押し板の先端部 52 昇降板 52a 昇降板のピン受け孔部 53a ピン頭 53b ピン鍔 53d ピン軸 54 ピン押しばね 55 レール 56 フェルール保持手段 56a フェルール保持手段の平行カット部 56b フェルール保持手段のピン頭孔部 57 ボールプランジャ 60 昇降板 60a 昇降板のマウント用孔部 61 フェルール保持手段の保持板 61a フェルール保持手段の保持板に設けられたバヨ
ネット爪部 62 ストッパーピン 63 ボールプランジャ 64 ハンドル 65 フェルール保持手段の鍔部でハンドル支持板
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成10年8月19日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0003
【補正方法】変更
【補正内容】
【0003】米国特許第4,831,784(特願昭6
2−135800)号は複数の光ファイバ付きフェルー
ルを単一のホルダで支持してフェルールの端面を光ファ
イバとともに研磨する光ファイバ端面研磨装置を開示し
ている。この発明はホルダを基台に対して小さい円に沿
って移動させ、つまり光ファイバの先端を小さい円に沿
って移動させ、研磨盤を前記基台に対して回転させるこ
とによりこの相対運動によりフェルールと光ファイバの
先端を鏡面に研磨するものである。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0004
【補正方法】変更
【補正内容】
【0004】米国特許第4,979,334(特開平3
−026456)号は、研磨盤が基台に対して、その中
心を円に沿って運動させながら、それ自体が基台に対し
て回転することにより、ホルダ支持された複数の光ファ
イバをフェルールとともに球面研磨している。同様にフ
ェルールと光ファイバの先端を鏡面に研磨するものであ
る。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0005
【補正方法】変更
【補正内容】
【0005】米国特許第5,140,660(特開平3
−210509)号は、研磨盤の上に弾性のパッドを配
置しその上に研磨フィルムを配置して、フェルールとフ
ェルール、または光ファイバと光ファイバの先端が、前
記物理的な接触が傾きを保ったもの(APC)であるこ
とを可能にする研磨装置または方法を開示している。こ
れらの方法で使用される研磨盤と前記ホルダの組み合わ
せは前述のいずれの形式のものでも良く、また単一のフ
ェルールを支持するホルダであっても良い。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0006
【補正方法】変更
【補正内容】
【0006】
米国特許第4,831,784(特願昭
62−135800)号や米国特許第4,979,33
4(特開平3−026456)号に示されている装置で
もかなり良好な研磨が可能であるが、ホルダの傾きが原
因となる研磨されるフェルール相互間に品質のばらつき
が予想された。そこで、この問題を解決するために、米
国特許第5,351,445(特開平6−17916
1)号は前記米国特許第4,979,334(特開平3
−026456)号の研磨盤とホルダの研磨のための相
対運動において、ホルダが傾かないように、ホルダの外
周を基台に対して平行に上下するように直進案内する機
構を設けたものである。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0014
【補正方法】変更
【補正内容】
【0014】前記フェルール保持手段を前記昇降手段に
着脱可能に支持する着脱自在手段を含むものとする
ができる。前記着脱自在手段を前記昇降手段の昇降板に
U型に設けられた開口部に前記フェルール保持手段の平
行溝部と嵌め合い摺動するようにすることができる。前
記着脱自在手段を前記昇降手段の昇降板に設けられたバ
ヨネット開口に、前記フェルール保持手段をバヨネット
結合するように構成することができる。前記フェルール
保持手段と前記昇降手段を相互の高さの基準面で圧着さ
せるばね圧着手段を設けることができる。前記フェルー
ル保持手段を前記昇降手段に係合させた後に前記昇降手
段に係止する係止手段とすることができる。前記制御回
路は、前記昇降手段の下降速度を制御可能であり、前記
フェルールが研摩面に接触する寸前より研摩中の降下速
度を遅くするように制御することができる。前記制御回
路は、研摩の目的に応じて研摩時間を設定できるものと
することができる。前記制御回路は研摩の目的に応じ
て、研摩時間と接触圧の組み合わせを予め複数組設定し
一回の昇降の工程で連続制御可能とすることができる。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0020
【補正方法】変更
【補正内容】
【0020】図4の左側の拡大断面図にフェルール保持
手段の鍔部22の下側の面取り部44に固定ピン45が
突き当たっており、フェルール保持手段の鍔部22の下
面が、昇降板18側の孔に設けられたボールプランジャ
42で押し上げられている状態が示されている。ボール
プランジャ42はばね43で押し上げられている。この
ようにしてフェルール保持手段と前記昇降手段相互の
高さの基準面である昇降板18の下面とフェルールホル
ダ板21の上面が圧着させられる。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0023
【補正方法】変更
【補正内容】
【0023】筐体13の内部には、前述した昇降駆動モ
ータ30の他に昇降の制御のためにカウンタ,リレー,
回転円板15を駆動するモータおよびタイマを用いたシ
ーケンス回路等(図示せず)が組み込まれている。図5
に筐体13前面に設けられたシーケンス回路の操作パネ
ルを示す。図2に示されている位置センサ47,48は
昇降板18の位置を検出するためのセンサであり、セン
サ出力は制御用の信号としてシーケンス回路に接続され
る。
【手続補正8】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0024
【補正方法】変更
【補正内容】
【0024】図5は研摩条件の設定を入力する操作パネ
ルである。スイッチ36は装置の電源スイッチである。
接着剤除去時間設定つまみ35Aによりフェルール先端
の接着剤を除去する予備工程の時間を設定する。接着剤
除去の加圧力設定つまみ35Bにより前記予備工程にお
ける加圧力の設定を行う。この加圧力の設定はモータ3
0を駆動して軸31の位置を決定し、ばね33の圧縮力
を調整することにより行われる。つまみ37は、フェル
ール研摩(本工程)の研摩時間を設定するつまみであ
り、以下の実施例では3kgに設定する。つまみ38
はフェルール研摩(本工程)の加圧力設定つまみであ
る。ボタン39A,39Bはそれぞれ昇降板の移動方
向、上または下を選択するボタンである。スイッチ40
は予備工程を行うか、行わないかを選択する選択スイッ
チである。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基台と、 研磨面を形成する研磨部材を支持して前記基台に対して
    回転可能に設けられている回転円盤と、 一以上の光ファイバフェルールを着脱可能に支持するフ
    ェルール保持手段と、 前記フェルール保持手段を前記研磨面に対して平行を保
    って昇降可能に支持して準備位置と研摩終了位置間を移
    動する昇降案内手段と、 前記フェルール保持手段を支持した前記昇降案内手段を
    前記研磨面と垂直な方向に付勢する付勢手段と、 前記フェルール保持手段を支持する前記昇降案内手段を
    昇降駆動する昇降駆動手段と、 前記昇降駆動手段を駆動する制御回路と、を含むフェル
    ール端面の研磨を行う光ファイバ端面研磨装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の光ファイバ端面研磨装置
    において、 前記付勢手段は、前記フェルール保持手段を支持した前
    記昇降案内手段を前記研磨面の方向に付勢する第1の付
    勢手段と、前記研磨面と離れる方向に付勢する第2の付
    勢手段よりなるものである光ファイバ端面研磨装置。
  3. 【請求項3】 請求項2記載の光ファイバ端面研磨装置
    において、前記第2の付勢手段は、前記昇降手段と前記
    フェルール保持手段の降下時の重量を見かけ零に近づけ
    るために前記昇降手段をその下降中に上方向に付勢する
    ばねである光ファイバ端面研磨装置。
  4. 【請求項4】 請求項2記載の光ファイバ端面研磨装置
    において、前記第1の付勢手段は、研摩の際のフェルー
    ルと前記研摩面との接触圧力を付与するものである光フ
    ァイバ端面研磨装置。
  5. 【請求項5】 請求項4記載の光ファイバ端面研磨装置
    において、前記第1の付勢手段は圧縮ばねであり、圧縮
    長さを調節することにより研摩の際のフェルールと前記
    研摩面との接触圧力を可変にした光ファイバ端面研磨装
    置。
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US08/972,950 US6077154A (en) 1997-07-14 1997-11-19 Polishing apparatus for optical fiber end surface
CA002221945A CA2221945A1 (en) 1997-07-14 1997-11-21 Polishing apparatus for optical fiber end surface

Applications Claiming Priority (1)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6324556B1 (ja) * 2017-02-03 2018-05-16 株式会社精工技研 光ファイバーフェルールの端面研磨装置

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6157863A (en) * 1998-02-27 2000-12-05 Ciena Corporation Apparatus and method for leveling optical fibers before polishing
TW394125U (en) * 1999-04-13 2000-06-11 Uconn Technology Inc Fiberglass grinder
JP2001315047A (ja) * 2000-05-01 2001-11-13 Hitachi Ltd フェルール端面研磨装置
JP2003019649A (ja) * 2001-07-05 2003-01-21 Seiko Instruments Inc 端面研磨装置
JP2003103446A (ja) * 2001-07-13 2003-04-08 Seiko Instruments Inc 端面研磨装置及び端面研磨システム
JP2003053652A (ja) * 2001-08-16 2003-02-26 Seikoh Giken Co Ltd 光ファイバ端面研磨機
US6599030B1 (en) * 2002-02-08 2003-07-29 Adc Telecommunications, Inc. Method for polishing a fiber optic connector
US6918816B2 (en) * 2003-01-31 2005-07-19 Adc Telecommunications, Inc. Apparatus and method for polishing a fiber optic connector
TWI222915B (en) * 2003-10-20 2004-11-01 Guo-Ji Ling Device for polishing end face of optic fiber
US7068906B2 (en) * 2004-06-14 2006-06-27 Adc Telecommunications, Inc. Fixture for system for processing fiber optic connectors
US7352938B2 (en) * 2004-06-14 2008-04-01 Adc Telecommunications, Inc. Drive for system for processing fiber optic connectors
US7209629B2 (en) * 2004-06-14 2007-04-24 Adc Telecommunications, Inc. System and method for processing fiber optic connectors
US7198555B2 (en) * 2004-12-30 2007-04-03 Southwest Research Institute Atomizer cooling by liquid circulation through atomizer tip holder
US7217174B1 (en) 2006-04-07 2007-05-15 Mf Lightwave, Inc Portable optical fiber polisher
TWI289496B (en) * 2006-06-29 2007-11-11 Kow-Je Ling Grinding tool for the end of workpiece
US7738760B2 (en) * 2007-03-23 2010-06-15 Domaille Engineering, Llc Optical polishing fixture
TW200846135A (en) * 2007-05-22 2008-12-01 Kow-Je Ling Grinding fixture for terminal face in workpiece
CN101543970B (zh) * 2008-03-27 2012-05-09 凌国基 工件端面研磨置具
US8708776B1 (en) 2008-12-04 2014-04-29 Domaille Engineering, Llc Optical fiber polishing machines, fixtures and methods
TWI409132B (zh) * 2010-10-13 2013-09-21 Univ Nat Pingtung Sci & Tech 光纖研磨夾具裝置及其夾具頭
WO2019077484A1 (en) * 2017-10-17 2019-04-25 Sahajanand Technologies Private Limited AUTOMATED POWER SUPPLY IN PRECIOUS STONES
CN108406572B (zh) * 2018-02-05 2020-05-22 黄文琪 一种用于光纤制造的光纤研磨机
CN108356683A (zh) * 2018-04-26 2018-08-03 东莞市瑞立达玻璃盖板科技股份有限公司 一种抛光物料定位机构
CN113523931A (zh) * 2020-04-17 2021-10-22 北京今信科技发展有限公司 一种便携式光纤研磨机
JP2022033494A (ja) * 2020-08-17 2022-03-02 株式会社ディスコ 加工装置
CN113199386B (zh) * 2020-11-16 2024-05-24 常州凯瑞莱精密工具有限公司 珩磨工具的停机检测机构及具有该机构的珩磨工具
CN113695149B (zh) * 2021-08-24 2023-04-07 湖南盈晟智能家居有限公司 一种家具制作用方形饭桌表面光亮设备

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US791254A (en) * 1905-03-24 1905-05-30 American Optical Corp Lens-cutting machine.
US2579666A (en) * 1948-03-20 1951-12-25 Jewel Smiths Inc Diamond cutting machine
US2686391A (en) * 1951-06-11 1954-08-17 Mitchel Tyler Company Lens grinding apparatus
US3435569A (en) * 1965-10-05 1969-04-01 Howard E Stanley Faceting apparatus
US4106240A (en) * 1977-01-10 1978-08-15 Bartolo Paul I De Apparatus for precisely indexing the orientation of a portion of a device with respect to a support structure of the device
JPS63300852A (ja) * 1987-05-29 1988-12-08 Seiko Giken:Kk 光ファイバの端面研磨装置
JPH0767663B2 (ja) * 1989-06-23 1995-07-26 株式会社精工技研 光ファイバ端面研磨装置
JPH03210509A (ja) * 1990-01-12 1991-09-13 Seiko Giken:Kk 光コネクタフェルール部材
JP3027063B2 (ja) * 1992-12-15 2000-03-27 株式会社精工技研 光ファイバ端面研磨装置
JP3078714B2 (ja) * 1994-10-07 2000-08-21 株式会社精工技研 フェルール固定手段を有する光ファイバ端面研磨装置
JP3002399B2 (ja) * 1995-01-13 2000-01-24 株式会社精工技研 光ファイバ端面研磨機用の光ファイバフェルールホルダ

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6324556B1 (ja) * 2017-02-03 2018-05-16 株式会社精工技研 光ファイバーフェルールの端面研磨装置
WO2018143436A1 (ja) * 2017-02-03 2018-08-09 株式会社精工技研 光ファイバーフェルールの端面研磨装置
JP2018122424A (ja) * 2017-02-03 2018-08-09 株式会社精工技研 光ファイバーフェルールの端面研磨装置
US11474305B2 (en) 2017-02-03 2022-10-18 Seikoh Giken Co., Ltd. End face polishing device for optical fiber ferrule
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