JP4450468B2 - ガラスルツボのリムカット装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラスルツボ、特にシリコン単結晶の引き上げに用いる石英ガラスルツボの製造において、ルツボ開口縁部(リム)を滑らかに精度よく切断する装置に関する。
【0002】
【従来技術】
シリコン単結晶引き上げ用の石英ガラスルツボは、引き上げの生産性を高めるために次第に大型化している。現在、このガラスルツボは主に回転モールド法によって製造されており、回転するモールドの内表面に石英粉を均一に堆積させ、これを加熱溶融してガラス化することにより製造している。この製造方法ではルツボの開口縁部が不揃いになり易いので、製造後にこの開口縁部を一定幅切断して製品に仕上げており、従来はこの切断を手作業で行っている。ところがルツボの大型化に伴いリムの切断作業の負担が増し、その機械化が求められていた。
【0003】
【発明の解決課題】
本発明は従来の上記課題を解決したものであり、ガラスルツボのリムを機械的に精度良く切断する装置を提供するものであり、大型ガラスルツボのみならず従来のガラスルツボについても好適な切断装置である。
【0004】
【課題を解決する手段】
本発明の第一のリムカット装置は、ルツボを保持して切断する機構からなる。すなわち第一発明は、ガラスルツボの開口縁部(リム)を切断する装置であって、ルツボの保持手段とリムの切断手段を有し、上記保持手段はルツボを把持する開閉自在なアームとその回転上下動手段を有し、上記切断手段は切断刃とその移動手段を備えており、上記保持手段によってルツボを保持し回転しながら切断刃を押し当ててリムを切断することを特徴とするガラスルツボのリムカット装置に関する。この装置構成によれば、ルツボを機械的に保持しながら安定にリムを切断することができる。
【0005】
本発明の第二のリムカット装置は、ルツボ保持機構およびリム切断機構に加えて、リムの切断に先だってルツボの姿勢を制御する機構を有する。すなわち第二発明は、上記保持手段および切断手段と共にルツボの芯出し機構を有しており、該芯出し機構は、ルツボを載置する回転台、該回転台の傾斜手段と移動手段、ルツボの位置合わせ手段、ルツボの偏心量と傾斜量を測定する手段を備え、このルツボの偏心量と傾斜量に基づいて回転台が傾斜してルツボを垂直に姿勢制御し、さらに回転台の移動によってルツボを上記保持手段に送り、該保持手段によってルツボを回転しながらリムを切断することを特徴とするガラスルツボのリムカット装置に関する。この装置構成によれば、ルツボの中心軸を垂直に保持して切断工程に導くことにより、リムを精度良く切断することができる。
【0006】
本発明の第三のリムカット装置は、ルツボ保持機構およびリム切断機構に加えて、切断したリムを排出する機構を有する。すなわち第三発明は、上記保持手段および切断手段と共に切断したリムの排出機構を有しており、該排出機構は、移動自在な搬送台を備え、該搬送台にはリムを支えるサポートローラが設けられており、上記保持手段によってルツボを回転しつつ、リムがサポートローラで支えられた状態で切断され、切断したリムを搬送台の移動によって外部に排出することを特徴とするリムカット装置に関する。この装置構成によれば、切断面の破損などを生じることがなく、切断精度が良く、しかも滑らかな切断面を得ることができる。また、切断したリムの排出も容易に行うことができる。
【0007】
本発明の第四のリムカット装置は、ルツボ保持機構およびリム切断機構に加えて、上記芯出し機構と上記排出機構とを併有する。すなわち第四発明は、上記保持手段および切断手段と共に上記芯出し機構と共に上記排出機構を有し、ルツボの芯出しから、リムの切断、およびリムの排出に至る一連の工程を連続して行う自動制御機構を有することを特徴とするリムカット装置である。
この装置構成によれば、芯出し機構、リム切断機構、排出機構によっておのおの芯出しステージ、切断ステージ、および排出ステージが一体に形成され、ルツボを載せた回転台が芯出しステージとリム切断ステージとを往復動し、芯出しステージにおいてルツボの姿勢を垂直に制御した後に、このルツボを載置した回転台が芯出しステージから切断ステージに移動し、切断ステージにおいて保持手段のアームが上記ルツボを把持し、回転しながらリムを切断し、次いで、搬出台が切断したリムを載置して切断ステージから搬出ステージに移動し、リムを外部に排出することにより、ルツボの姿勢制御からリムの切断、および排出に至る一連の工程が連続して自動的に行われる。
【0008】
本発明の上記リムカット装置は、好ましくは、上記保持手段のアームがステム部を介してフレームに上下動および回転自在に装着されており、さらに該アームは複数本に分かれてルツボを囲むように下方に延び、その基部がステム部下端の支持板に摺動自在に装着されており、この摺動によってアームが開閉し、ルツボを下向きに把持する装置構成を含む。ルツボを下向きに保持することにより、リムの切断と排出を容易に行うことができる。
【0009】
また、本発明の上記リムカット装置は、好ましくは、切断手段が切断刃をルツボに対して往復動および上下動する移動手段を有し、かつ切断刃が円形の回転刃によって形成されており、さらに切断面を面取りする円錐砥石が切断刃と同軸に設けられている装置構成を含む。
切断刃の位置を任意に調整する手段を有することにより、大きさの異なるルツボに対応して任意の幅にリムを切断することができる。また面取り用の円錐砥石が回転刃と一体に設けられていることにより、リムの切断後に回転刃と共通の回転手段を用いて切断面の面取りを行うことができる。
【0010】
さらに、本発明の上記リムカット装置は、好ましくは、芯出し機構の位置合わせ手段が、回転台の中心に向かって往復動する複数のヘッドによって形成されている装置構成、および、芯出し機構の偏心量と傾斜量を測定する手段が、回転台のルツボに対して垂直な基準位置からルツボ上側面までの距離とルツボ下側面までの距離とを測定する手段によって形成されている装置構成を含む。このような装置構成によってルツボの位置合わせや中心軸の制御を容易に行うことができ、リムの切断精度を高めることができる。
【0011】
さらに、本発明の上記リムカット装置は、好ましくは、排出機構の搬送台に、複数のサポートローラがルツボのリムの外周に沿う位置に立設されており、このサポートローラによってリムが挟持される装置構成、および、排出機構の搬送台に傾斜手段が設けられており、切断したリムを搬送台の傾斜によって外部に滑り落として排出する装置構成を含む。
リムの外周に沿って設けたサポートローラによってリムを保持しながら切断することにより、リムの切断が進行した際に、リムが傾いて切断部分を破損する等の不都合を防止することができる。また、テーブルの移動手段と傾斜手段を設けることにより、切断したリムを容易に取り出して排出することができる。
【0012】
【発明の実施態様】
以下、本発明を図面に示す実施態様に即して具体的に説明する。図示するリムカット装置の一例は、ルツボの芯出し機構10とリム切断機構30および排出機構50が一体に形成されたものであり、図1は装置の全体構成を示す正面図、図2はその平面図、図3はその側面図である。また、図4および図5は芯出し機構を示し、図6および図7はルツボの偏心量と傾斜量の測定手段を示す。図8は切断機構の概略を示し、図9および図10は搬出機構を示す。
【0013】
( A ) ルツボの芯出し機構 ( 装置 )
ルツボの芯出し装置10は、ルツボ1を載置する回転台11、該回転台11を傾斜する手段12、ルツボの位置合わせ手段13、回転するルツボの偏心量と傾斜量を測定する手段14、およびルツボの高さを測定する手段22を有する。回転台11はリム切断機構(装置)30に隣接して配置されている。図4に示すように、回転台11の上面には複数の溝15が回転台の中心から放射状に形成されており、この溝15に設けたヘッド16によってルツボの位置合わせ手段13が形成されている。該ヘッド16の下端は回転台11の下側に設けた伸縮ロッドないしモータ等の駆動手段17に連結されており、ヘッド16はこの駆動手段17により溝15に沿って前後進する。回転台11に載せられたルツボ1は上記ヘッド16によって周囲から回転台11の中心に向かって押圧され、ルツボ1の位置が調整される。
【0014】
図5に示すように、回転台11はフレーム18によって支えられており、回転台11とフレーム18の間に傾斜手段12が付設されており、またギア19を介して回転手段20が設けられている。さらに、回転台11にはこれをリム切断装置に移動する駆動手段21が設けられている。
【0015】
図6、図7に示すように、ルツボの偏心量と傾斜量を測定する手段14は、回転台11の側方に設けられており、回転台11のルツボ1に対して垂直な基準位置14cからルツボ上側面までの距離L1を測定する手段14aと、ルツボ下側面までの距離L2とを測定する手段14bを有する。この測定手段14a,14bは基準位置からルツボ側面に接触するように伸びる伸縮自在なロッドによって形成されている。なお、このような機械的な手段に代えて光学的に距離を測定するものでも良い。この上側の距離L1と下側の距離L2の差によってルツボの傾きが測定され、また、ルツボの回転に伴う距離L1,L2の変動によって回転中心からの偏心量が測定される。この距離L1,L2の差が実質的に零になるように回転台11を傾斜することによってルツボの中心軸Mが垂直に制御される。また、距離L1,L2の変動量が実質的に零になるようにルツボの位置を上記位置合わせ手段13によって調整することによりルツボの中心軸Mを回転中心に合わせることができる。
【0016】
上記芯出し装置10によってルツボの芯出しステージが形成されており、該芯出しステージにおいて、回転台11に下向きに載置されたルツボ1は位置合わせ手段13によって中央に向かって押し付けられ回転中心付近にその中心軸が位置するように調整される。次いで回転され、その傾斜量と偏心量が測定され、この測定量に応じて回転台11が傾斜され、また位置合わせ手段13によって位置ズレが調整され、ルツボの中心軸が垂直になるように制御される。このようにして姿勢制御されたルツボ1を載せた回転台11は駆動手段21によってリム切断機構30に移動される。このとき、ルツボの高さを測定する装置22がフレーム34の上部に装着されており、回転台11がリム切断機構に移動する際に、ルツボ1がこの測定装置22の下方を通過し、超音波測定手段や光学的測定手段によってルツボ1の高さが測定される。
【0017】
( B ) リム切断機構 ( 装置 )
リム切断装置30はルツボ1の保持手段31とリムの切断手段40を有する。上記保持手段31はステム部32とその下端に設けた開閉自在なアーム33によって形成されており、該アーム33は上記ステム部32を介してフレーム34に装着されている。該フレーム34は上側に伸びて立設されており、保持手段31はフレーム34に吊り下げた状態に形成されており、このステム部32にはアーム31を回転し上下動する手段38が設けられている。さらに、上記アーム33はルツボ1を囲むように複数本設けられており(図示する例では3本)、その下端は下方に延びており、ルツボ1を傷つけないようにクッション材37が設けられている。一方、アーム33の基部33aはステム部下端に設けた支持板35に摺動自在に装着されている。これらのアーム33はステム部32のギア36を介してルツボ1の径方向に摺動することによって開閉し、ルツボ1を下向きに把持する。
【0018】
リムの切断手段40は、上記アーム33の下方に設けられており、切断刃41を有する。この切断刃41は円形の回転刃によって形成されており、伸縮自在なロッド42の先端に軸着されている。該切断刃41はルツボ1に対して水平に支持されていると共に該切断刃41を支持するロッド42にはルツボに対する切断刃41の高さを調整する昇降手段(図示省略)が設けられている。また該切断刃41の上面にはルツボの切断面を面取りする円錐台形の砥石43が同軸に設けられている。なお、切断手段40には、リムの切断が円滑に進行するように、切断箇所に水を噴射するノズル(図示省略)が設けられている。
【0019】
上記リム切断装置30によって切断ステージが形成されており、前述の芯出しステージにおいて姿勢制御されたルツボ1は回転台11に載置されてこの切断ステージに搬入される。切断ステージにおいて、回転台11がアーム33の下方に停止した後、アーム33が下降すると共にルツボ1の口径に応じて内側に移動してルツボ1を把持して吊り上げる。回転台11は芯出しステージに復帰する。一方、アーム33に保持されたルツボ1の下方には搬出機構(装置)50の搬送台51が進入し、この搬送台51に向かってアーム33が下降し、下向きに保持しているルツボ1を回転しながらリム2を搬送台51に立設したサポートローラ52の間に差し入れる。サポートローラ52はルツボ1の回転に伴って共回りし、リム2を挟持した状態となる。
【0020】
このルツボ1に対して切断刃41の高さが調整された後、切断刃41がロッド42によってルツボ1のリム2に押し当てられ、アーム33によってルツボ1を回転しながら切断刃41を回転してリム2を切断する。リム2はサポートローラ52によって挟持された状態で切断されるので、切断時の衝撃がルツボに加わらず切断面が破損しない。切断後、アーム33を上昇してルツボ1を持ち上げる。このルツボ1の下側に切断刃41と一体の円錐台形の砥石43を挿入し、その円錐面をルツボの切断面に押し当てて上記砥石43を回転し、ルツボ1を回転しながら切断面を面取りする。一方、切断されたリム2はサポートローラ52に支えられた状態で搬送台51に残るので、搬送台51を外部に移動してリム2を取り出す。
【0021】
( C ) 搬出機構 ( 装置 )
搬出装置50は移動自在な搬送台51を有する。図9,図10に示すように、搬送台51はフレーム54の上面に形成されており、該フレーム54にルツボのリム2を支える複数個(図示する例では3個)のサポートローラ52が設けられている。該サポートローラ52はルツボのリムに押圧するようにその外周に沿う位置に配設されており、また、搬送台51はその傾動が妨げられないないように複数に分割して形成され、その間にサポートローラ52が配設されている。該サポートローラ52はルツボの径に応じてローラ相互の間隔を調整できるように伸縮自在なロッド56に支持され、搬送台51が水平に位置するときにこの搬送台上面から突き出すように立設されている。また、搬送台51とフレーム54の間には搬送台51を上側に持ち上げて傾斜する傾動手段53が設けられている。さらに、搬送台51のフレーム54には走行手段55とその駆動手段(図示省略)設けられている。この搬送台51によって搬出ステージが形成される。
【0022】
リムの切断時、搬送台51は保持手段31の下方に位置し、アーム33によって下向きに把持されたルツボのリム2がサポートローラ52によって支えられている。この状態で保持手段31が回転し、ルツボ1の回転に伴ってリム2に圧接するサポートローラ52が共回りしながらリム2を支え、切断刃41によってリムが切断される。リムの切断後、ルツボはアーム33に把持されて上方に持ち上げられ、一方、搬送台51は切断したリム2をサポートローラ52の間に挟み込んだまま切断ステージ側方の排出ステージに移動する。排出ステージにおいて、搬送台51は傾動手段53によってサポートローラ52の上側に傾斜される。この傾斜によってリム2はサポートローラ52から外れ、搬送台51の上面を滑り落ち外部に排出される。リム2を排出した後に搬送台51は水平位置に復帰し、再び切断ステージに移動する。
【0023】
( D ) 作動
本発明の上記リムカット装置には、好ましくは、芯出し工程からリム切断工程および排出工程に至る動作を連続して一体的に制御する自動制御回路が設けられる。この自動制御回路によって一連の動作が自動化される。すなわち、芯出しステージにおいて、位置合わせ手段が作動してルツボの中心位置が調整され、その信号を受けて回転台11が始動し、同時に測定手段14が作動して回転するルツボ1の偏心量および傾斜量を測定する。この測定結果の信号を受けて回転台11の傾斜と位置合わせ手段が作動し、ルツボ1の姿勢を垂直に制御する。次いで、回転台11が切断ステージに移動され、その移送時に測定手段22によってルツボ1の高さが測定される。ルツボ1が保持装置31の切断位置に停止すると、その信号を受けて、測定したルツボの高さに応じて保持手段31が下降し、アーム33がルツボ1を囲む状態となる。引き続きアーム33が内側に向かって移動してルツボ1を把持する。このアーム33の移動は位置センサーやルツボに接触した際の接触圧などを検出することにより制御することができる。ルツボを把持した後、保持手段31が所定位置に上昇してルツボが持ち上げられ、回転台11は芯出しステージに復帰する。
【0024】
次いで、搬送台51が保持手段31のアーム下方に移動して切断位置で停止する。この停止信号を受けて保持手段31が下降し、搬送台51のサポートローラ52の間にリム2を挟み入れると共に保持手段31が回転する。この信号を受けて切断刃41の高さが調整されると共に切断刃41が回転され、伸縮ロッド42が伸びて切断刃41をルツボのリムに押し当ててリムの切断を開始する。リムの切断後、伸縮ロッド42が後退して切断刃41が待機位置に戻る。リムの切断終了は伸縮ロッド42の伸張長さ等によって検出される。切断刃41の後退後、その信号を受けて搬送台51が側方の排出ステージに移動する。この搬送台51の移動後、再び、伸縮ロッド42が保持手段31の下方に伸び、この信号を受けて保持手段31が下降し、切断刃41と一体に設けた砥石43の円錐面をルツボの切断面に押し当てると共に砥石43が回転し、切断面が面取りされる。
【0025】
一方、排出ステージに移動した搬送台51は、その停止信号を受けて切断ステージとは異なる側に傾動され、台上の切断リム2を側方に滑り落とす。この間に切断ステージではルツボの面取りが進み、面取り後、再び搬送台51が切断ステージに移動し、保持手段31の下方に停止する。この停止信号を受けて保持手段31が搬送台51に向かって下降し、面取りしたルツボ1を搬送台51に載せると共にアーム33が開いてルツボ1の把持を解除する。次いで保持手段31が上昇する一方、搬送台51が切断ステージから搬出ステージに移動してルツボ1を取り出す。
【0026】
【発明の効果】
本発明のリムカット装置はガラスルツボのリムを機械的に精度良く切断することができ、大型ガラスルツボについても短時間でリムの切断を完了することができる。また、本発明のリムカット装置は芯出しから切断したリムの排出に至る一連の動作を自動化できるので作業効率を大幅に高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 リムカット装置の全体構成を示す正面図
【図2】 リムカット装置の平面図
【図3】 リムカット装置の側面図
【図4】 回転台の概略を示す部分外観図
【図5】 回転台の構造を示す概略断面図
【図6】 測定手段の概略を示す部分外観図
【図7】 測定方法を示す説明図
【図8】 アームと切断手段の構造を示す部分斜視図
【図9】 搬出装置の概略斜視図
【図10】搬送装置の概略説明図
【符号の説明】
1−ルツボ、2−リム、10−芯出し装置、11−回転台、12−傾斜手段、13−位置合わせ手段、14−測定手段、15−溝、16−ヘッド、17−移動手段、18−フレーム、19−ギア、20−回転手段、22−高さ測定手段、30−切断装置、31−保持手段、32−ステム部、33−アーム、34−フレーム、35−支持板、36−ギア、37−クッション材、38−回転上下動手段、40−切断手段、41−切断刃、42−伸縮ロッド、43−砥石、50−排出装置、51−搬送台、52−サポートローラ、53−傾動手段、54−フレーム、55−走行手段、56−ロッド。
Claims (10)
- ガラスルツボの開口縁部(リム)を切断する装置であって、ルツボの芯出し機構と、ルツボの保持手段と、リムの切断手段を有し、
上記芯出し機構は、ルツボを載置する回転台、該回転台の傾斜手段と移動手段、ルツボの位置合わせ手段、ルツボの偏心量と傾斜量を測定する手段を備え、このルツボの偏心量と傾斜量に基づいて回転台が傾斜してルツボを垂直に姿勢制御し、さらに回転台の移動によってルツボを上記保持手段に送り、
上記保持手段はルツボを把持する開閉自在なアームとその回転上下動手段を有し、
上記切断手段は切断刃とその移動手段を備えており、上記保持手段によってルツボを回転しながら切断刃を押し当ててリムを切断することを特徴とするガラスルツボのリムカット装置。 - 請求項1のリムカット装置であって、切断したリムの排出機構を有しており、該排出機構は移動自在な搬送台を備え、該搬送台にはリムを支えるサポートローラが設けられており、上記保持手段によってルツボを回転しつつ、リムがサポートローラで支えられた状態で切断され、切断したリムを搬送台の移動によって外部に排出することを特徴とするリムカット装置。
- 請求項2のリムカット装置であって、上記芯出し機構と共に上記排出機構を有し、ルツボの芯出しから、リムの切断、およびリムの排出に至る一連の工程を連続して行う自動制御機構を有することを特徴とするリムカット装置。
- 請求項2または3のリムカット装置において、排出機構の搬送台に、複数のサポートローラがルツボのリムの外周に沿う位置に立設されており、このサポートローラによってリムが挟持されるリムカット装置。
- 請求項2〜4の何れかのリムカット装置において、排出機構の搬送台に傾斜手段が設けられており、切断したリムを搬送台の傾斜によって外部に滑り落として排出するリムカット装置。
- 請求項1〜5の何れかのリムカット装置において、上記保持手段のアームがステム部を介してフレームに上下動および回転自在に装着されており、さらに該アームは複数本に分かれてルツボを囲むように下方に延び、その基部がステム部下端の支持板に摺動自在に装着されており、この摺動によってアームが開閉し、ルツボを下向きに把持するリムカット装置。
- 請求項1〜6の何れかのリムカット装置において、切断手段が切断刃をルツボに対して往復動および上下動する移動手段を有し、かつ切断刃が円形の回転刃によって形成されており、さらに切断面を面取りする円錐砥石が切断刃と同軸に設けられているリムカット装置。
- 請求項1〜7の何れかのリムカット装置において、芯出し機構の位置合わせ手段が、回転台の中心に向かって往復動する複数のヘッドによって形成されているリムカット装置。
- 請求項1〜8の何れかのリムカット装置において、芯出し機構の偏心量と傾斜量を測定する手段が、回転台のルツボに対して垂直な基準位置からルツボ上側面までの距離とルツボ下側面までの距離とを測定する手段によって形成されているリムカット装置。
- 請求項1〜9の何れかのリムカット装置であって、姿勢制御されたルツボの高さを測定する高さ測定手段を有しており、回転台の移動によってルツボを上記保持手段に送る際に、姿勢制御されたルツボの高さを測定するリムカット装置。
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