JPH0729045B2 - ロッド解体機 - Google Patents
ロッド解体機Info
- Publication number
- JPH0729045B2 JPH0729045B2 JP13174187A JP13174187A JPH0729045B2 JP H0729045 B2 JPH0729045 B2 JP H0729045B2 JP 13174187 A JP13174187 A JP 13174187A JP 13174187 A JP13174187 A JP 13174187A JP H0729045 B2 JPH0729045 B2 JP H0729045B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rod
- support base
- holder
- holders
- claws
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Silicon Compounds (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〈技術分野〉 本発明は立設する多数の棒状部材を個々にその基端部か
ら折り取る解体搬出装置に関し、特に多結晶シリコン棒
をその製造装置から解体搬出するのに好適な解体機に関
する。
ら折り取る解体搬出装置に関し、特に多結晶シリコン棒
をその製造装置から解体搬出するのに好適な解体機に関
する。
〈従来の技術〉 現在、高純度の多結晶シリコンは製造装置の内部に多数
の種棒を立設し、原料ガスを装置内部に供給する一方、
該種棒を赤熱し、その表面にシリコンを析出させる方法
によって製造されている。上記種棒は析出反応の進行に
伴い次第にその径が太くなり、反応終了後、これを製品
として取り出す。この多結晶シリコン棒（ロッド）はそ
の基端部が細く、かつ比較的脆いので、ロッドを取り出
す際、折損しないように注意する必要がある。誤ってロ
ッドを折損すると、これが倒れ周囲のロッドをも破損
し、製造効率の大幅な低下を招く原因となる。特に最
近、生産性を高めるために、太くて長い大型ロッド製造
技術が必要とされてきたが、有効な機械的な搬出手段を
持ち得ず、生産するロッド径に限界があった。簡易な機
械的搬出手段としては、例えば、側面が開口した箱型の
容器を吊り下げ支持し、この容器内に手作業でロッドを
収納し、搬出する方法等もあるが、このような方法で
は、容器の支持が不安定であり、また作業が煩雑であ
り、作業効率が悪い等の問題がある。
の種棒を立設し、原料ガスを装置内部に供給する一方、
該種棒を赤熱し、その表面にシリコンを析出させる方法
によって製造されている。上記種棒は析出反応の進行に
伴い次第にその径が太くなり、反応終了後、これを製品
として取り出す。この多結晶シリコン棒（ロッド）はそ
の基端部が細く、かつ比較的脆いので、ロッドを取り出
す際、折損しないように注意する必要がある。誤ってロ
ッドを折損すると、これが倒れ周囲のロッドをも破損
し、製造効率の大幅な低下を招く原因となる。特に最
近、生産性を高めるために、太くて長い大型ロッド製造
技術が必要とされてきたが、有効な機械的な搬出手段を
持ち得ず、生産するロッド径に限界があった。簡易な機
械的搬出手段としては、例えば、側面が開口した箱型の
容器を吊り下げ支持し、この容器内に手作業でロッドを
収納し、搬出する方法等もあるが、このような方法で
は、容器の支持が不安定であり、また作業が煩雑であ
り、作業効率が悪い等の問題がある。
〈発明の構成〉 本発明は、移動台車のホルダーにロッドを押し倒して載
置させ、ホルダーにロッドを載置したまま搬出できるよ
うにして、解体搬出作業を安全にかつ迅速に行えるよう
にし、これにより従来の問題を解決したものである。
置させ、ホルダーにロッドを載置したまま搬出できるよ
うにして、解体搬出作業を安全にかつ迅速に行えるよう
にし、これにより従来の問題を解決したものである。
本発明によれば、移動台車に傾動自在な支持架台と該支
持架台を傾動する手段とが装着され、更に上記支持架台
の前面には連結部が昇降自在に装着され、該連結部には
樋状のホルダーと少なくとも一対の爪を有する爪部が装
着されており、上記ホルダーは縦長に配列され、かつそ
の側面が支持架台前面外方に向かって、開かれており、
また上記爪部は上記ホルダーの下端に位置し、かつ同様
に上記外方に向かって突設されていることを特徴とする
ロッド解体機が提供される。またその好適な実施態様と
して、上記一対の爪部はその各爪の間隔が調整可能であ
る上記ロッド解体機、或いは、上記ホルダーが少なくと
も一対設けられ、該ホルダー相互の間隔が調整自在であ
る上記ロッド解体機、或いは、上記傾動手段はピストン
とアームとから形成され、上記ピストンとアームとのリ
ンク機構により、上記支持架台が傾動する上記ロッド解
体機が提供される。
持架台を傾動する手段とが装着され、更に上記支持架台
の前面には連結部が昇降自在に装着され、該連結部には
樋状のホルダーと少なくとも一対の爪を有する爪部が装
着されており、上記ホルダーは縦長に配列され、かつそ
の側面が支持架台前面外方に向かって、開かれており、
また上記爪部は上記ホルダーの下端に位置し、かつ同様
に上記外方に向かって突設されていることを特徴とする
ロッド解体機が提供される。またその好適な実施態様と
して、上記一対の爪部はその各爪の間隔が調整可能であ
る上記ロッド解体機、或いは、上記ホルダーが少なくと
も一対設けられ、該ホルダー相互の間隔が調整自在であ
る上記ロッド解体機、或いは、上記傾動手段はピストン
とアームとから形成され、上記ピストンとアームとのリ
ンク機構により、上記支持架台が傾動する上記ロッド解
体機が提供される。
以下、本発明を図面に示す一実施例に基づいて詳細に説
明する。
明する。
第１図は本発明に係るロッド解体機の側面図であり、ま
た第２図はその部分平面図、第３図はその部分概略斜視
図である。図示するように、本発明のロッド解体機は移
動台車10を有し、該移動台車10に支持架台11と傾動手段
12とが載設されている。支持架台11は上記移動台車10の
前面に沿って立設されており、傾動自在に支持されてい
る。
た第２図はその部分平面図、第３図はその部分概略斜視
図である。図示するように、本発明のロッド解体機は移
動台車10を有し、該移動台車10に支持架台11と傾動手段
12とが載設されている。支持架台11は上記移動台車10の
前面に沿って立設されており、傾動自在に支持されてい
る。
上記傾動手段12はピストン12aとアーム12bとのリンク機
構によって形成されており、上記支持架台11の側方に配
設されている。該ピストン12aの後端は移動台車10の上
面に軸支される一方、アーム12bの下端が該移動台車上
面に軸支され、上記ピストン12aのロッド先端と該アー
ム12bの先端とが回動自在に連結され、かつ、軸12cを介
して上記支持架台11の下端部に連結されている。該軸12
cは支持架台11の下端に突出した軸受部11bに固定され、
支持架台11はアーム12bの回動により該軸12cを支点とし
て傾動される。尚、本実施例では傾動手段としてピスト
ンとアームとを上記のように組み合わせたリンク機構を
用いているが上記傾動手段はこのようなリンク機構に限
らず用いることができる。
構によって形成されており、上記支持架台11の側方に配
設されている。該ピストン12aの後端は移動台車10の上
面に軸支される一方、アーム12bの下端が該移動台車上
面に軸支され、上記ピストン12aのロッド先端と該アー
ム12bの先端とが回動自在に連結され、かつ、軸12cを介
して上記支持架台11の下端部に連結されている。該軸12
cは支持架台11の下端に突出した軸受部11bに固定され、
支持架台11はアーム12bの回動により該軸12cを支点とし
て傾動される。尚、本実施例では傾動手段としてピスト
ンとアームとを上記のように組み合わせたリンク機構を
用いているが上記傾動手段はこのようなリンク機構に限
らず用いることができる。
上記支持架台11の前面は上記移動台車10より前方にやや
突出しており、該前面にロッド50の保持機構が形成され
ている。該ロッドの保持機構は、ロッド50を支える樋状
のホルダー13と該ホルダー13の下端の位置する爪部14、
これらを支える支柱15および連結部16とによって形成さ
れている。該ロッド保持機構は一本のロッド50を取り出
すように単一のホルダーを有する構成でもよいが、作業
能率を高めるには複数のホルダーを有するものが良い。
本実施例ではホルダー13を二個有するものが示されてい
る。上記ホルダー13は樋状をなし、立設しているロッド
50に対応して縦長に配設され、かつその開口側面が支持
架台前面外方に向かうように、即ちロッド50に向かって
配置されている。該ホルダー13の下端には一対の爪14a
を有する爪部14が設けられている。該爪14aはロッド50
の下端に差し込まれ該ロッド50を支持するためのもので
あり、ホルダー13と同様に外方に向かって突出してい
る。更に該一対の爪14aはロッド50の径に応じて爪相互
の間隔を調整できるよう形成されている。例えば第２図
に示すように爪14aはシャフト14bに螺合され、該シャフ
ト14bの回転により爪14aが相互に接近、離反してその間
隔が調整される。上記ホルダー13は支柱15に固定されて
おり、上記爪部14は該支柱15の下端に一体に装着されて
いる。更に該支柱15は連結部16に連結されており、該連
結部16は上記支持架台11の前面に取り付けられたシャフ
ト18に螺合し、該シャフト18の回転により該シャフト18
に沿って上下に移動される。又、ホルダー13を支える支
柱15はシャフト17によって連結部16に螺合されており、
該シャフト17に回転により、左右に移動され、ホルダー
13相互の間隔が調整できる。尚、上記シャフト14b,17に
は夫々ハンドル14c,17aが設けられており、また支持架
台11の上面にはシャフト18に螺合してこれを回転させる
ハンドル11aが装着されている。
突出しており、該前面にロッド50の保持機構が形成され
ている。該ロッドの保持機構は、ロッド50を支える樋状
のホルダー13と該ホルダー13の下端の位置する爪部14、
これらを支える支柱15および連結部16とによって形成さ
れている。該ロッド保持機構は一本のロッド50を取り出
すように単一のホルダーを有する構成でもよいが、作業
能率を高めるには複数のホルダーを有するものが良い。
本実施例ではホルダー13を二個有するものが示されてい
る。上記ホルダー13は樋状をなし、立設しているロッド
50に対応して縦長に配設され、かつその開口側面が支持
架台前面外方に向かうように、即ちロッド50に向かって
配置されている。該ホルダー13の下端には一対の爪14a
を有する爪部14が設けられている。該爪14aはロッド50
の下端に差し込まれ該ロッド50を支持するためのもので
あり、ホルダー13と同様に外方に向かって突出してい
る。更に該一対の爪14aはロッド50の径に応じて爪相互
の間隔を調整できるよう形成されている。例えば第２図
に示すように爪14aはシャフト14bに螺合され、該シャフ
ト14bの回転により爪14aが相互に接近、離反してその間
隔が調整される。上記ホルダー13は支柱15に固定されて
おり、上記爪部14は該支柱15の下端に一体に装着されて
いる。更に該支柱15は連結部16に連結されており、該連
結部16は上記支持架台11の前面に取り付けられたシャフ
ト18に螺合し、該シャフト18の回転により該シャフト18
に沿って上下に移動される。又、ホルダー13を支える支
柱15はシャフト17によって連結部16に螺合されており、
該シャフト17に回転により、左右に移動され、ホルダー
13相互の間隔が調整できる。尚、上記シャフト14b,17に
は夫々ハンドル14c,17aが設けられており、また支持架
台11の上面にはシャフト18に螺合してこれを回転させる
ハンドル11aが装着されている。
上記本実施例ではロッド保持装置の昇降動機構として一
対の上記ホルダーを一対に上下動する機構を示したが、
これに限らず支柱15を個別に上下動ないし横方向に移動
させるようにしても良い。又上記ロッド保持機構の昇降
手段として、連結とシャフトとが螺合するものを示した
が、その他、ラックとピニオンによるもの、チェーンに
よってスライドするものなど適宜用いることができる。
また、上記移動台車として、本実施例では本体10aの上
面に移動台10bを載設して微動調整できるものを示して
いるが、台車はこれに限らず移動可能なものであればよ
い。
対の上記ホルダーを一対に上下動する機構を示したが、
これに限らず支柱15を個別に上下動ないし横方向に移動
させるようにしても良い。又上記ロッド保持機構の昇降
手段として、連結とシャフトとが螺合するものを示した
が、その他、ラックとピニオンによるもの、チェーンに
よってスライドするものなど適宜用いることができる。
また、上記移動台車として、本実施例では本体10aの上
面に移動台10bを載設して微動調整できるものを示して
いるが、台車はこれに限らず移動可能なものであればよ
い。
次に、上記ロッド解体機によってロッド50を取り出すに
は、移動台車10を所定のロッド近傍に近付けハンドル11
aによりシャフト18を回転して支柱15即ちホルダー13を
上下動し、該ホルダー13の高さをロッド50に合わせる。
次に、上記ロッド解体機によってロッド50を取り出すに
は、移動台車10を所定のロッド50に近付け、上記爪14a
をロッド50の下端に挿入する。次いで支持架台11を傾斜
させて、これと一体に傾斜したホルダー13にロッド50を
押し倒して支持させ、移動台車10を後退させて、ロッド
50を引き出す。
は、移動台車10を所定のロッド近傍に近付けハンドル11
aによりシャフト18を回転して支柱15即ちホルダー13を
上下動し、該ホルダー13の高さをロッド50に合わせる。
次に、上記ロッド解体機によってロッド50を取り出すに
は、移動台車10を所定のロッド50に近付け、上記爪14a
をロッド50の下端に挿入する。次いで支持架台11を傾斜
させて、これと一体に傾斜したホルダー13にロッド50を
押し倒して支持させ、移動台車10を後退させて、ロッド
50を引き出す。
〈発明の効果〉 上記本発明のロッド解体機は立設するロッドに沿ってホ
ルダーを立て、ホルダーでロッド側面全体を支えながら
傾斜させ、ロッドを押し倒して、取り出すので、ロッド
の支持が極めて安定であり、取り出し作業中にロッドが
損傷しても周囲のロッドまで破損する等の虞が無い。ま
たホルダーにロッドを押し倒して搬送し、従来のように
吊り下げ作業等が不要であるので、作業が迅速に行え、
ロッド解体取り出し作業の能率が向上する。又、搬送
中、ロッドがホルダーに面接触して支持されるので、ロ
ッドが安定に支持されると共にロッド表面が損傷するこ
とがなく、かつ搬送中にロッドが脱落する等の虞れも無
い。その結果、太く長い大型のロッドを製造する場合に
ハンドリング上の制約がなくなり、ロッド製造の収量を
上げ生産性を高めることが可能になる。
ルダーを立て、ホルダーでロッド側面全体を支えながら
傾斜させ、ロッドを押し倒して、取り出すので、ロッド
の支持が極めて安定であり、取り出し作業中にロッドが
損傷しても周囲のロッドまで破損する等の虞が無い。ま
たホルダーにロッドを押し倒して搬送し、従来のように
吊り下げ作業等が不要であるので、作業が迅速に行え、
ロッド解体取り出し作業の能率が向上する。又、搬送
中、ロッドがホルダーに面接触して支持されるので、ロ
ッドが安定に支持されると共にロッド表面が損傷するこ
とがなく、かつ搬送中にロッドが脱落する等の虞れも無
い。その結果、太く長い大型のロッドを製造する場合に
ハンドリング上の制約がなくなり、ロッド製造の収量を
上げ生産性を高めることが可能になる。
更に、本装置はその自動化が可能であり、例えば支持架
台、連結部、爪部等の移動部分にその移動量を検出する
リミットスイッチを設け、これを制御する制御部を付設
すれば予め定めたプログラムに従って自動的に前述の動
作を行なわせることができる等、ロッド取り出し作業の
自動化に繋がる幅広い応用が可能である。又、本発明の
装置は前記シリコン棒に限らず、他の棒状部材、例えば
セラミック棒などの取り出しにも好適に用いることがで
きる。
台、連結部、爪部等の移動部分にその移動量を検出する
リミットスイッチを設け、これを制御する制御部を付設
すれば予め定めたプログラムに従って自動的に前述の動
作を行なわせることができる等、ロッド取り出し作業の
自動化に繋がる幅広い応用が可能である。又、本発明の
装置は前記シリコン棒に限らず、他の棒状部材、例えば
セラミック棒などの取り出しにも好適に用いることがで
きる。
第１図ないし第３図は本発明に係るロッド解体機の一実
施例を示す概略図であり、第１図はその側面図、第２図
は支持架台と爪部との部分平面図、第３図は部分斜視図
であり一部を省略して示す。図面中、10……移動台車、
11……支持架台、12……傾動装置、13……フォルダー、
14……爪部、15……支柱、16……連結部、17,18……シ
ャフト
施例を示す概略図であり、第１図はその側面図、第２図
は支持架台と爪部との部分平面図、第３図は部分斜視図
であり一部を省略して示す。図面中、10……移動台車、
11……支持架台、12……傾動装置、13……フォルダー、
14……爪部、15……支柱、16……連結部、17,18……シ
ャフト
Claims (4)
- 【請求項１】移動台車に傾動自在な支持架台と該支持架
台を傾動する手段とが装着され、更に上記支持架台の前
面には連結部が昇降自在に装着され、該連結部には樋状
のホルダーと少なくとも一対の爪を有する爪部が装着さ
れており、上記ホルダーは縦長に配列され、かつその側
面が支持架台前面外方に向かって開かれており、また上
記爪部は上記ホルダーの下端に位置し、かつ同様に上記
外方に向かって突設されていることを特徴とするロッド
解体機。 - 【請求項２】上記一対の爪部はその各爪の間隔が調整可
能である特許請求の範囲第１項のロッド解体機。 - 【請求項３】上記ホルダーが少なくとも一対設けられ、
該ホルダー相互の間隔が調整自在である特許請求の範囲
第１項のロッド解体機。 - 【請求項４】傾動手段はピストンとアームとから形成さ
れ、上記ピストンとアームとのリンク機構により、上記
支持架台が傾動する特許請求の範囲第１項のロッド解体
機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13174187A JPH0729045B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | ロッド解体機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13174187A JPH0729045B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | ロッド解体機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63296840A JPS63296840A (ja) | 1988-12-02 |
| JPH0729045B2 true JPH0729045B2 (ja) | 1995-04-05 |
Family
ID=15065107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13174187A Expired - Lifetime JPH0729045B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | ロッド解体機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0729045B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102013219070A1 (de) | 2013-09-23 | 2015-03-26 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur Herstellung von polykristallinem Silicium |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101624724B (zh) * | 2008-08-22 | 2012-07-25 | 江西赛维Ldk光伏硅科技有限公司 | 多根多晶硅棒的取棒方法及其取棒装置和取棒装置组合件 |
| DE102009027830B3 (de) * | 2009-07-20 | 2011-01-13 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur Entnahme von Siliciumstäben aus einem Reaktor |
| US8906453B2 (en) | 2011-03-18 | 2014-12-09 | MEMC Electronics Materials, S.p.A. | Tool for harvesting polycrystalline silicon-coated rods from a chemical vapor deposition reactor |
| DE102013206339A1 (de) | 2013-04-10 | 2014-10-16 | Wacker Chemie Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Ausbau von polykristallinen Siliciumstäben aus einem Reaktor |
-
1987
- 1987-05-29 JP JP13174187A patent/JPH0729045B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102013219070A1 (de) | 2013-09-23 | 2015-03-26 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur Herstellung von polykristallinem Silicium |
| WO2015039841A1 (de) | 2013-09-23 | 2015-03-26 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur herstellung von polykristallinem silicium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63296840A (ja) | 1988-12-02 |
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